Table des Matières
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3 Technische Daten
Turbomolekularpumpe
mit Klammerflansch
CF-Flansch
Anschlußnennweite
Eingang
Ausgang
Saugvermögen für
Stickstoff N
2
Helium He
Wasserstoff H
2
Kompressionsverhältnis für
N
2
He
H
2
Empfohlene Vorpumpe, min.
Antriebselektronik
4)
Gasdurchsatz, max.
1)
Theoretischer Enddruck
2)
Enddruck 1
2)
Enddruck 2
2)
Enddruck 3
Nenndrehzahl
Stand-by Drehzahl
3)
Hochlaufzeit
Betriebsmittel
Füllmenge
Art
Kühlart
Serienmäßig
Kühlwasserbedarf
Zul. Kühlwasser-
temperatur
Heizmanschette im Lieferumfang
Leistungsaufnahme Heizung
Zulässiges Magnetfeld
6)
max.
Gewicht
1)
Der Wert, dem sich der Druck innerhalb des
Meßdoms asymptotisch nähert. Er ist der nied-
rigste Druck, der mit der Pumpe erreicht wer-
den kann (lt. DIN 28 428).
2)
Der Druck, der im Meßdom maximal 48 Stun-
den nach dem Ausheizen erreicht wird.
3)
Bis 90 % der Nenndrehzahl.
4)
Die Turbopumpe TPH/TPU 2200 dürfen bei End-
drehzahl nur bis 5 mbar l/s Gasdurchsatz betrie-
ben werden. Die Vorpumpe muß so gewählt
werden,
daß ein Vorvakuumdruck von 0,1 mbar, gemes-
sen am Vorvakuumanschluß der Turbopumpe,
nicht überschritten wird.
Bei höheren Gasdurchsätzen oder Vorvakuum-
drücken wird durch Molekülreibung an den
Rotorscheiben die zulässige Betriebstemperatur
überschritten. sind größere Durchsätze erfor-
derlich, so ist unbedingt mit Stand-by Drehzahl
zu arbeiten.
5)
Die Pumpe kann für Betrieb mit Betriebsmittel
F3 vorgesehen sein (siehe Typenschild).
Achtung!
Eine mit TL 011 gefertigte Pumpe kann nicht
auf den Betrieb mit F3 umgestellt werden und
umgekehrt.
6)
Bei stärkeren Magnetfeldern Abschirmung auf
Anfrage.
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3 Technical Data
Turbomolecular pump
with clamping flange
CF-flange
Connection, nominal diameter
Inlet
Outlet
Volume flow rate for
Nitrogen N
2
Helium He
Hydrogen H
2
Compression ratio for
N
2
He
H
2
Recommended backing pump, min.
Electronic drive unit
4)
Gas throughput, max.
1)
Theoretical final pressure
2)
Final pressure 1
2)
Final pressure 2
2)
Final pressure 2
Rated rotation speed
Stand-by rotation speed
3)
Run-up time
Pump fluid
Filling quantity
Type
Type of cooling,
standard
Cooling water requirement
Permissible cooling
water temperature
Heating jacket included in delivery
Power input of heater
Permissible magnetic
6)
field, max.
Weight
1)
Value to which the pressure in the test dome
converges asymptotically. It is the lowest pres-
sure†which can be attained with the pump (as
per German Industrial Standard 28 428).
2)
The pressure which is reached in the test dome
48 hours after baking out.
3)
Up to 90 % of the rated rotation speed.
4)
At final rotation speed, the turbopumps
TPH/TPU 2200 may only be operated up to 5
mbar l/s gas throughput. The backing pump
must be so selected that a backing pressure of
0.1 mbar, measured at the fore-vacuum connec-
tion of the turbopump, is not exceeded. Greater
gas throughputs or fore-vacuum pressures will
cause the permitted operating temperature to
be exceeded as a result of molecular friction on
the rotors. Where greater gas throughputs are
required, it is essential to operate in stand-by
rotation speed mode.
5)
Pumps can be supplied for operations involving
pump fluid F3 (see rating plate). However it is
important to note that a pump manufactured
for TL 011 cannot be modified for F3 operati-
ons, nor vice versa.
6)
For more powerful magnetic fields, shielding is
available on request.
3 Fiche technique
Pompe turbomoléculaire
avec bride à griffes
bride CF
Diamètre nominal des raccords
Entrée
Sortie
Capacité d'aspiration pour
Azote N
2
Helium He
Hydrogène H
2
Taux de compression pour
N
2
He
H
2
Pompe primaire recommandée, min. m
Commande électronique
4)
Débit de gaz, max.
1)
Pression finale théorique
2)
Pression finale 1
2)
Pression finale 2
2)
Pression finale 2
Vitesse nominale
Vitesse en mode Stand-by
3)
Temps d'accéleration
Fluide moteur
Quantité de remplissage
Type
Mode de refroidissement,
Standard
Consommation eau de refroidissement
Température d'eau de
refroidissement admissible
Chaufferette comprise dans
la fourniture
Puissance absorbée par le chauffage W
Champ magnétique
6)
admissible, max.
Poids
1)
2)
3)
4)
5)
6)
TPH 2200
DN 250 ISO-K
DN 63 ISO-K
l/s
2200
l/s
3200
l/s
2800
8
10
4
4 · 10
3
2 · 10
3
/h
60
TCP 600
mbar l/s 12
-11
mbar
10
-10
mbar
<1 ·10
-9
mbar
<1 · 10
-8
mbar
<1 · 10
1/min
36000
1/min
24000
min
16
3
cm
2 x 125
5
TL 011
)
Wasser/water/Eau
l/h
˚C
5 - 25
nein/no/non
400
mT
13,4
kg
75
La valeur dont la pression s'approche de
manière asymptotique dans le dôme de
mesure. C'est la pression minimale qui peut
être atteinte avec la pompe (conformément à
DIN 28 428).
La pression qui sera atteinte dans un dôme de
mesure au maximum 48 heures après l'étu-
vage.
jusqu'à 90 % de la vitesse nominale.
Les pompes turbo TPH/TPU 2200 ne doivent
être utilisées en vitesse de rotation finale seule-
ment avec un débit de gaz de maximum 5 mbar
l/s.
La pompe primaire doit être sélectionnée, afin
qu'une pression de vide primaire de†0,1 mbar,
mesurée au raccord de vide primaire de la
pompe turbo,
ne soit pas dépassée. En cas de débits de gaz
ou de pressions de vide primaire plus élevés, la
température de service admissible sera dépas-
sée en raison de la friction des molécules sur
les disques du rotor. Si des débits plus élevés
sont nécessaires, il faudra absolument travail-
ler à la vitesse de rotation mode stand-by.
La pompe est prévue seulement pour le fonc-
tionnement avec du fluide moteur F3 (voir pla-
que signalétique).
Attention:
Une pompe prévue pour être utilisée avec TL
011 ne peut pas être modifiée pour l'exploita-
tion avec F3 et vice versa.
En cas de champs magnétiques plus puissants,
mesures de blindage sur demande.
TPU 2200
DN 250 CF-F
DN 63 ISO-K
2200
3200
2800
8
10
4
4 · 10
3
2 · 10
60
TCP 600
12
-11
10
-10
<1 · 10
-9
<1 · 10
-8
<1 · 10
36000
24000
16
2 x 125
5
TL 011
)
40
40
5 - 25
ja/yes/oui
400
13,4
80
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