Table des Matières
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Inhalt
1
1.1
1.2
1.2.1
1.3
2
3
3.1
3.2
3.3
4
4.1
4.2
4.3
4.4
4.4.1
4.4.2
4.5
4.5.1
4.6
5
5.1
5.2
5.3
5.4
5.5
5.6
5.7
5.8
6
6.1
6.2
6.3
6.3.1
6.4
6.4.1
6.4.2
6.5
6.6
2
Contents
1
General
1.1
Important Information
1.2
Safety Instructions
1.2.1
Working with Turbomolecular
Pumps; Safety Information
1.3
Other Information
2
Backing Pumps
3
Technical Data
3.1
Dimensions
3.2
Volume Flow Rate
3.3
Final Pressure
4
Installation
4.1
High Vacuum Connection
4.2
Splinter Shield
4.3
Fore-vacuum Connection
4.4
Cooling
4.4.1
Water Cooling
4.4.2
Air Cooling
4.5
Venting the Turbo Pump
4.5.1
Fitting the Venting Unit
4.6
Electrical Connections
5
Operation
5.1
Filling in the Pump Fluid
5.2
Starting the Pump for the first
Time
5.3
Monitoring Switching
5.4
Operating Characteristics
under Gas Load
5.5
Turbo Pump Heating
5.6
Baking out the Measuring
Systems
5.7
Switching off Procedure
5.8
Shutting down the Turbo
Pump
6
Maintenance
6.1
Changing the Pump Fluid
6.2
Cleaning Strainer and Floater
6.3
Cleaning the Turbo Pump
6.3.1
Cleaning in fully assembled
Condition
6.4
Checking the Drive Motor
6.4.1
6.4.2
6.5
6.6
Table des matières
I
1
Généralités
1.1
Indications importantes
1.2
Instructions de sécurité
1.2.1
Instructions de sécurité pour le
travail avec la pompe
turbomoléculaire
1.3
Indications diverses
2
Pompes à vide primaire
3
Fiche technique
3.1
Encombrements
3.2
Capacité d'aspiration
3.3
Pression finale
4
Installation
4.1
Raccord de vide élevé
4.2
Pare-éclats
4.3
Raccord de vide primaire
4.4
4.4.1
Refroidissement par eau
4.4.2
Refroidissement par air
4.5
Remise à l'air de la pompe
turbo
4.5.1
Montage du dispositif de
remise à l'air
4.6
Branchement électrique
5
Fonctionnement
5.1
Remplissage de fluide moteur
5.2
Mise en marche de la pompe
5.3
Circuits de contrôle et de sur-
veillance
5.4
Comportement avec charge de
gaz
5.5
Chauffage de la pompe turbo
5.6
Etuvage des systèmes de
mesure
5.7
Mise à l'arrêt
5.8
Immobilisation de la pompe
turbo
6
Entretien
6.1
Changement du fluide moteur
6.2
Nettoyage des tamis et des
flotteurs
6.3
Nettoyage de la pompe turbo
6.3.1
Nettoyage sans démontage
6.4
Contrôle du moteur d'entraîne-
ment
6.4.1
6.4.2
6.5
6.6
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