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5.5 Heizen der Turbopumpe
Die Heizung der Turbopumpe wird
durch den Schalter S2 an der TCP
ein- oder ausgeschaltet (ist über
Drehzahl verriegelt). Um den End-
druck in möglichst kurzer Zeit zu er-
reichen, ist es zweckmäßig, Turbo-
pumpe und Rezipient zu heizen.
Achtung!
Der Enddruck richtet sich nach der
Sauberkeit der Turbopumpe und des
Rezipienten.
Zur Vermeidung der Kondensation
von Reaktionsprodukten in der Turbo-
pumpe kann es vorteilhaft sein, diese
während des Prozesses zu beheizen.
Ist der beheizte Rezipient direkt an-
geflanscht, so muß darauf geachtet
werden, daß die Temperatur des
Hochvakuumflansches beim Heizen
der Apparatur 160 °C nicht über-
schreitet.
Wird der Rezipient höher als 200 °C
geheizt, so muß die Wärmestrahlung
vom Rezipienten auf den Pumpenro-
tor, z.B. mit einem Strahlungsschild
verhindert werden.
Die Heizdauer für Turbopumpe und
Rezipient richtet sich nach dem Ver-
schmutzungsgrad und dem
gewünschten Enddruck. Sie sollte
mindestens 4 Stunden betragen.
5.6 Ausheizen der Meß-Systeme
Schlecht ausgeheizte Meß-Systeme
können erhebliche Mengen Gase
abgeben, die das Meßergebnis ver-
fälschen und einen Teil des Saug-
vermögens der Pumpe in Anspruch
nehmen. Dies kann der Anlaß sein,
daß das gewünschte Hochvakuum
nicht erreicht wird.
5. 7 Abschalten
Vor dem Abschalten:
– HV-Ventil schließen, falls vor-
handen.
Turbopumpe abschalten
Bei Anschluß nach Schaltplan – siehe
Betriebsanleitung der Antriebselek-
tronik – wird mit dem Abschalten der
Turbopumpe:
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5.5 Turbo Pump Heating
Turbo pump heating is switched
on and off via switch S2 on the
TCP (locked via rotation speed).
To reach final pressure in the shortest
possible time, it is adviseable to
heat vacuum chamber and turbo
pump.
Important:
Final pressure depends on the clean-
liness of turbopump and vacuum
chamber.
It can also be advantageous to
heat the turbo pump during the
process in order to avoid condensa-
tion of the reaction products in the
pump.
If the heated vacuum chamber is flan-
ged directly, it must be ensured that
the temperature of the high vacuum
flange does not exceed 160 °C during
heating of the apparatus.
If the vacuum chamber is heated up to
a temperature above 200 °C, thermal
radiation from the vacuum chamber
to the pump rotor must be prevented,
e.g. by installing a heat radiation
shield.
The heating time for the turbo pump
and vacuum chamber depends on the
degree of contamination and the final
pressure required. It should be at least
4 hours.
5.6 Baking out the Measuring
Systems
Poorly baked out measuring systems
can give off considerable volumes of
gas which can falsify measuring re-
sults and take up part of the volume
flow rate of the pump. This can be the
reason that the required high vacuum
is not attained.
5.7 Switching off Procedure
Before Switching off:
– Close the high vacuum valve if
applicable.
Switching off the turbopump
Providing connections have been
made in accordance with the wiring
diagram (see operating instructions,
electronic drive unit), when the turbo-
pump is switched off:
5.5 Chauffage de la pompe turbo
Le chauffage de la pompe turbo sera
mis en marche ou mis à l'arrêt par
l'interrupteur S 2 à la TCP (il est ver-
rouillé par la vitesse de rotation). Afin
d'atteindre le plus rapidement possi-
ble la pression finale, il est utile de
chauffer la pompe turbo et le réci-
pient.
Attention!
La pression finale est en fonction de
la propreté de la pompe turbo et du
récipient.
Afin d'éviter la condensation de pro-
duits réactifs dans la pompe turbo,
il est avantageux de la chauffer pen-
dant le processus.
Si le récipient chauffé est directement
bridé, il faut faire attention à ce que la
température de la bride de vide élevé
ne dépasse pas 160˚C pendant le
chauffage de l'appareillage.
Si le récipient est chauffé au-dessus
de 200˚C, le rayonnement thermique
du récipient sur le rotor de la pompe
devra être empêché avec, par ex., un
écran protecteur.
Le temps de chauffage de la pompe
turbo et du récipient est en fonction
du degré de salissure et de la pression
finale souhaitée. Il devra être au
moins de 4 heures.
5.6 Etuvage des systèmes de mesure
Des systèmes de mesure mal étuvés
peuvent transmettre des quantités de
gaz très élevées, qui faussent le résul-
tat de mesure et utilise une partie de
la capacité d'aspiration de la pompe.
Ce qui peut avoir pour effet que le
vide élevé souhaité ne puisse pas être
atteint.
5.7 Mise à l'arrêt
Avant la mise à l'arrêt:
– Fermer la valve de vide élevé,
si existante.
Mise à l'arrêt de la pompe turbo
Si le branchement est suivant le
schéma électrique - voir les instruc-
tions de service de l'électronique
d'entraînement, avec la mise à l'arrêt
de la pompe turbo, les actions suivan-
tes s'effectueront:
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