Technische Daten; Maßbild - Pfeiffer Vacuum TSD 022 Mode D'emploi

8. Technische Daten

Pumpstand
Anschlußnennweite
Saugvermögen für
Stickstoff N 2
Helium He
Wasserstoff H 2
Arbeitsbereich
von
bis
Vorpumpe Saugvermögen
Elektrischer Anschlußwert
Gewicht
Pumpstandkomponenten
Turbomolekular-Drag-Pumpe
Membranvakuumpumpe
Antriebselektronik
Pumpstand-Steuergerät
Flutventil
1) Klammerwert bei Reduzierung auf DN 40 ISO-KF.
2) Im Lieferumfang enthalten.
8.1 Maßbild
TSD 022
TSH/U 064 D
TSH/U 065 D
10
Einheit TSD 022
DN 63 ISO-K
18 (15) 1)
l/s
12 (10) 1)
l/s
9 (7) 1)
l/s
mbar 1000
2 · 10 -7
mbar
m 3 /h
2
kW 0,3
kg 24,5
TPD 022
MZ 2T
TCP 015
TCS 015
—
A
360
375
400
TSH 064 D TSH 064 D
TSU 064 D
DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-K
DN 63 CF-F
30 53
40 42
20 31
1000 1000
< 1 · 10 -8 < 1 · 10 -9
2 2
0,3 0,3
25 25/25,2
— —
TMH 064 TMH 064
TMU 064
MZ 2T MZ 2T
TCP 015 TCP 015
TCS 015 TCS 015
TSF 012 2) TSF 012 2)
TSH 065 D TSH 065 D
TSU 065 D
DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-K
DN 63 CF-F
30 56
40 48
34 36
1000 1000
< 1 · 10 -8 < 1 · 10 -9
2 2
0,3 0,3/0,35
26 26/26,4
— —
TMH 065 TMH 065
TMU 065
MZ 2T MZ 2T
TCP 015 TCP 015
TCS 015 TCS 015
TSF 012 2) TSF 012 2)