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Montage:
– Splitterschutz 2 in Hochvakuum-
flansch 1 einlegen.
– Ring 3 einsetzen.
– Gewindestift 4 anziehen (3 Stück).
4.3 Vorvakuumanschluß
Fig. 6
– Anschluß 7 an TPH/TPU,
DN 63 ISO-K.
– Anschluß 52 an Vorvakuumpumpe
DN 40 ISO-KF.
– Die Verbindungen in der Vor-
vakuumleitung 53 können mit Klein-
flansch- oder Klammerflansch Bau-
elementen hergestellt werden.
– Bei starren Rohrverbindungen ist
ein Federungskörper einzubauen.
– Bauelemente siehe 9 Zubehör.
Weitere Bauteile im PFEIFFER-Kata-
log "Komponenten für die Vakuum-
technik".
– Um die Belüftung des Rezipienten
über die Vorvakuumpumpe zu ver-
hindern, empfiehlt sich der Einbau
eines Vakuum-Sicherheitsventils 54.
In PFEIFFER-Vorvakuumpumpen ist
ein Hochvakuum-Sicherheitsventil
integriert.
Fig. 6
7 Vorvakuumanschluß Turbopumpe
52 Sauganschluß Vorvakuumpumpe
53 Vorvakuumleitung
54 Vakuum-Sicherheitsventil
4.4 Kühlung
Zum Abführen der Wärme müssen die
Turbopumpen gekühlt werden.
4.4.1 Wasserkühlung
Fig. 7
– Die Turbopumpe ist serienmäßig
wassergekühlt.
– Die Pumpe kann vom Kühlwasser-
netz (Maximalüberdruck 6 bar)
oder Kühlaggregat TZK 400 ver-
sorgt werden.
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Fitting:
– Place splinter shield 2 in high
vacuum flange 1.
– Insert ring 3.
– Tighten stud 4 (three pieces).
4.3 Fore-vacuum Connection
Fig. 6
– Connection 7 on the TPH/TPU,
DN 63 ISO-K.
– Connection 52 on the backing
pump, DN 40 ISO-KF.
– Connections to fore-vacuum line 53
can be made using small flange or
clamping flange components.
– In case of rigid pipe connections, a
bellows must be fitted to reduce the
transmission of vibrations.
– For components please refer to Sec-
tion 9, "Accessories". Further com-
ponents are listed in the PFEIFFER
catalogue "Components for vacuum
technique".
– In order to prevent the vacuum
chamber from being vented via the
backing pump, we recommend the
use of a vacuum safety valve 54 in
the†fore-vacuum line. High vacuum
safety valves are integrated in
PFEIFFER backing pumps.
7 Fore-vacuum connection, turbo pump
52 Intake connection, backing pump
53 Fore-vacuum line
54 Vacuum safety valve
4.4 Cooling
Turbo pumps must be cooled in order
to dissipate the heat produced during
heating.
4.4.1 Water Cooling
Fig. 7
– The turbopump is water cooled as
standard.
– The pump can be supplied from the
mains (maximum over-pressure
6 bar) or via Cooling Unit TZK 400.
Montage:
– Placer le pare-éclats 2 dans la bride
de vide élevé 1.
– Placer la bague 3.
– Serrer les vis sans tête 4 (3 pièces).
4.3 Raccord de vide primaire
Fig. 6
– Raccord 7 à TPH/TPU, DN 63 ISO-K.
– Raccord 52 à la pompe de vide pri-
maire DN 40 ISO-KF.
– Les raccordements de la conduite
de vide primaire 53 peuvent être
réalisés avec des petites brides ou
brides à griffes.
– Pour des conduites rigides, un souf-
flet sera à monter.
– Eléments de montage voir accessoi-
res 9. Les autres composants sont
présentés dans le catalogue-
PFEIFFER "Composants pour la
technique de vide".
– Afin d'empêcher l'entrée d'air dans
le récipient par la pompe de vide
primaire, il est recommandé de
monter une soupape de sécurité de
vide 54. Les pompes à vide primaire
PFEIFFER sont équipées en série de
soupapes de sécurité de vide élevé.
7 Raccord de vide primaire de la pompe turbo
52 Raccord d'aspiration de la pompe à vide
primaire
53 Conduite de vide primaire
54 Soupape de sécurité de vide
4.4 Refroidissement
Pour évacuer la chaleur, les pompes
turbo devront être refroidies.
4.4.1 Refroidissement par eau
Fig. 7
– La pompe turbo est équipée en
série d'un système de refroidisse-
ment par eau.
– La pompe peut être alimentée soit
par eau de refroidissement de
réseau (sur-pression maximum
6 bar) ou par un système de refroi-
dissement TZK 400.
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