Table des Matières
Publicité
– Rest des Reinigungsmittels im
Kugelgehäuse über HV-Flansch
ausgießen. Der noch in der Pumpe
verbleibende Rest wird am
Betriebsmittelablaß abgelassen.
– Bei einer gründlichen Reinigung
sollte das Reinigungsmittel minde-
stens dreimal gewechselt werden.
– Pumpe ca. 30 Minuten stehen-
lassen, damit die Reinigungsmittel-
Rückstände aus der Pumpe ver-
dampfen.
– Pumpe an eine Vorpumpe an-
schließen und bis ca. 10
kuieren, damit Reinigungsmittel-
Rückstände abgesaugt werden.
– Pumpe belüften und von Vorpumpe
trennen.
– Pumpe, wie unter 6.1 beschrieben,
mit Betriebsmittel füllen.
– Pumpe bei geöffnetem Hoch-
vakuumanschluß etwa 1 Minute
einschalten, damit die Kugellager
des Rotors bei niedriger Drehzahl
mit Betriebsmittel versorgt werden.
– Anschließend kann die Pumpe in
Betrieb genommen werden. Beim
ersten Evakuierungsvorgang ist die
Pumpzeit, bedingt durch Reini-
gungsmittelreste, länger.
6.4 Prüfen des Antriebsmotors
Fig. 11
Hinweis:
Der Antrieb der Turbo-Molekular-
pumpen TPH/TPU 2200 ist nach
Schaltplan PM 053 407 -S ausgeführt.
Die beiden Betriebsmittel-Pumpen zur
Lagerschmierung werden von der
Motorhilfswicklung gespeist.
Test des Antriebes bei 20 °C
G-F Hallsondenpfad
L-H Hallsondenausgang 1
J-K Hallsondenausgang 2
F-M Temperatursensoren
E-A
E-B
E-C Motorspulen
E-D
N-P R
TPH/TPU 2200
F
mit/with/avec TCP 600
mit/with/avec TCP 5000
Die Messung des Antriebs bei Betrieb
erfolgt mit Testadapter PM 031 522 -U,
Betriebsanleitung PM 800 313 BD, E, F.
Der Testadapter wird zum Messen der
Stromaufnahme der verschiedenen
Motorsignale und als Adapter für das
Frequenz-Meßgerät "Counter 2002"
eingesetzt.
– Repeat this procedure with fresh
cleaning agent at least three times
to ensure thorough cleaning.
– Let the pump stand for at least 30
minutes so that cleaning agent
residues evaporate away from the
pump.
– Connect the pump to a backing
pump and evacuate to approx. 10
mbar so that any cleaning agent
residues are sucked away.
– Vent the pump and separate from
backing pump.
-1
mbar eva-
– Fill up the pump with pump fluid as
per Section 6.1.
– Switch on the pump for approx.
1 minute with open high vacuum
connection so that the ball bearings
of the rotor are provided with pump
fluid at low rotation speed.
– The turbo pump is now ready for
operation. Initial evacuation takes
longer owing to the effect of clean-
ing agent residues.
6.4 Checking the Drive Motor
Fig. 11
Please note:
The drive element of Turbomolecular
Pumps TPH/TPU 2200 is executed as
per Wiring Diagram PM 053 407 -S.
Both bearing lubricating pump fluid
pumps are powered by the auxiliary
winding.
Operational test at 20 °C
Hall probe path
Hall probe output 1
Hall probe output 2
Temperature sensors
Motor coils
Drive measurements during operati-
ons are made with Test Adapter
PM 031 522 -U, Operating Instructions
PM 800 313 BD, E, F. The test adapter
is used to measure current take-up of
the various motor signals and as an
adapter for the Frequency Measuring
Unit "Counter 2002".
-1
Test de l'entraînement à 20 °C
Trajet de courant des sondes
de Hall
Sortie 1 des sondes de Hall
Sortie 2 des sondes de Hall
Sondes de température
Bobines de moteur
– Il faudra changer le produit de net-
toyage au moins 3 fois pour attein-
dre un nettoyage à fond.
– Laisser la pompe 30 minutes dans
cet état afin que les résidus de
produit de nettoyage puissent
s'évaporer.
– Raccorder la pompe à une pompe
primaire et évacuer jusqu'à env.
-1
10
mbar, afin d'aspirer les résidus
de produits de nettoyage.
– Aérer la pompe et la démonter de la
pompe primaire.
– Remplir la pompe avec du fluide
moteur comme décrit dans 6.1.
– Mettre la pompe en marche avec le
raccord de vide élevé ouvert pour
environ 1 minute, afin que les roule-
ments à bille du rotor soient ali-
mentés avec du fluide moteur avec
une vitesse de rotation minime.
– La pompe turbo peut être alors
mise en service. Lors du premier
processus d'évacuation, le temps
de pompage est plus long à cause
des résidus de produit de net-
toyage.
6.4 Contrôle du moteur
d'entraînement
Fig. 11
Remarque:
L'entraînement des pompes turbo-
moléculaires TPH/TPU 2200 est effec-
tué suivant le schéma électrique
PM 053 407 -S. Les deux pompes de
fluide moteur seront alimentées pour
la lubrification des paliers avec le
bobinage auxiliaire du moteur.
Widerstände/Resistors/Résistances
100 Ω ≤ R ≤ 200 Ω
ca. 40 Ω (20 Ω ... 55 Ω)
ca. 40 Ω (20 Ω ... 55 Ω)
100 Ω ≤ R ≤ 300 Ω
0,2 Ω
ca./approx/env.
4,32 k Ω
3,32 k Ω
La mesure de l'entraînement en service
s'effectue avec le Testadapter
PM 031 522 -U, instructions de service
PM 800 313 BD, E, F. Le Testadapter sera
utilisé pour mesurer l'alimentation en
courant des différents signaux du
moteur et comme Adapter pour
l'appareil de mesure de fréquence
"Counter 2002".
31
Publicité
Table des Matières
