Technische Daten; Technical Data; Fiche Technique - Pfeiffer Vacuum TPH 062 Instructions De Service

2 Technische Daten

Turbomolekularpumpe/Turbomolecular pump/Pompe turbomoléculaire
Anschlußnennweite Nominal connection
of diameter
Eingang Inlet
Ausgang Outlet
Saugvermögen für Volume flow rate for
N2 N2
He He
H2 H2
Empfohlene Vorpumpe: Recommended backing
pump:
Antriebselektronik Electronic drive unit
Kompressionsver- Compression
hältnis für ratio for
N2 N2
He He
H2 H2
Theor. Enddruck Theoretical final
pressure
Enddruck 1 ) Final pressure 1)
Enddruck 1) Final pressure 1)
Enddruck 1) Final pressure 1)
Nenndrehzahl Rated rotation speed
Stand-by Drehzahl Stand-by rotation
Hochlaufzeit 2) Run-up time 2)
Betriebsmittel- Operating fluid
füllung 3) filling 3)
Kühlart, Type of cooling,
serienmäßig standard
Wassertemperatur Water temperature
bei Kühlwasser- at cooling water
anschluß connection
Kühlwasserbedarf Cooling water con-
bei Wasserkühlung sumption with water-
cooling
Zul. Umgebungs- Permissible ambient
temperatur bei temperature for
Luftkühlung air cooling
Zulässiges Magnet- Permissible magnetic
feld, max. 4) field, max. 4)
Gewicht Weight
1) Erläuterungen unter 2.1
2) bis 90 % der Nenndrehzal
3) Im Betriebsmittelspeicher enthalten
4) Bei stärkeren Magnetfeldern Abschirmung
auf Anfrage

2 Technical Data

Diamètre nominal de
raccordement
Entrée
Sortie
Capacité d'aspiration
N2
He
H2
Pompe primaire
recommandée:
Electronique d'entraînement
Taux de
compression pour
N2
He
H2
Pression finale théor.
Pression finale 1)
Pression finale 1)
Pression finale 1)
Vitesse nominale
Vitesse de ratation stand-by
Temps d'accélération 2)
Fluide moteur 3)
Mode de refroidissement,
standard
Température d l'eau pour
raccord de refroidissement
à l´eau
Consommation d´eau
de refroidissement pour
refroidissement à l´eau
Température ambiante
admissible pour
refroidissement à l´air
Champ magnétique
admissible, maxi. 4)
Poids
1) For explanations, see 2.1
2) Up to 90 % of the rated rotation speed
3) Included in the operating fluid reservoir
4) For higher magnetic fields, screening is
available on request

2 Fiche technique

TPH 062 TPH 062
TPU 062
DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-K/
DN 63 CF-F
DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF
l/s 30 56
l/s 40 52
l/s 34 45
m 3 /h
1,5 1,5
TCP 121 / 380
1 · 10 8 1 · 10 8
7 · 10 3 7 · 10 3
6 · 10 2 6 · 10 2
10 -11 10 -11
mbar
<1 · 10 -10 <1 · 10 -10
mbar
<1 · 10 -9 <1 · 10 -9
mbar
<1 · 10 -8 <1 · 10 -8
mbar
1/min 90000 90000
1/min 60000 60000
min 2 2
cm 3
4 4
Konvektion/Convection/Convection
° C 5 - 25 5 - 25
l/h 15 15
° C 0 - 35 0 - 35
mT 7 7
kg 3,6 3,6/3,8
1) Explications au paragraphe 2.1
2) Jusqu'à 90 % de la vitesse nominale
3) Dans le réservoir de fluide moteur
4) En cas de champs magnétiques plus
TPH 055 TPH 055
DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-KF
DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF
30 55
35 48
30 40
1,5 1,5
TCP 015
1 · 10 6 1 · 10 6
6 · 10 2 6 · 10 2
1 · 10 2 1 · 10 2
10 -10 10 -10
- -
- -
<1 · 10 -7 <1 · 10 -7
90000 90000
60000 60000
3 3
4 4
5 - 25 5 - 25
15 15
0 - 35 0 - 35
7 7
3,6 3,6
puissants, bouclier sur demande
7