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3.3 Enddruck
Unter dem Enddruck von Turbomole-
kularpumpen wird nach DIN 28 428
der Druck verstanden, der in einem
Meßdom 48 Stunden nach dem Aus-
heizen erreicht wird. Der Enddruck für
die PFEIFFER-Turbopumpe liegt je
nach verwendetem Vorpumpensystem
bei folgenden Werten:
Enddruck
Final pressure
Pression, finale
-10
(1)1 · 10
-9
(2)1 · 10
-8
(3)1 · 10
Jede Turbo-Molekularpumpe unter-
schreitet während der Endabnahme
die Enddruckwerte (2) und (3), wobei
der Enddruck (3) ohne Ausheizen der
Pumpen erreicht wird.
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3.3 Final Pressure
In accordance with German Industrial
Standard DIN 28 428, the final pres-
sure of turbomolecular pumps is the
pressure which is attained in a mea-
suring dome 48 hours after baking-
out. Depending on the backing pump
system, final pressure values for
PFEIFFER turbopumps are as follows;
During final acceptance tests, all turbo
Vorpumpensystem
Zweistufige Drehschieber-
vakuumpumpe und
Turbopumpe
Zweistufige Dreh-
schiebervakuumpumpe
Zweistufige Dreh-
schiebervakuumpumpe
pumps fall below the final pressure
values (2) and (3), with the final
pressure (3) being attained without
baking-out of the pumps.
Backing-pump combination
Two-stage rotary vane
vacuum pump and turbo-
molecular pump
Two-stage rotary vane
vacuum pump
Two-stage rotary vane
vacuum pump
3.3 Pression finale
On entend par pression finale des
pompes turbomoléculaires, la pres-
sion suivant DIN 28 428 qui sera
atteinte dans un dôme de mesure,
48 heures après l'étuvage.
Les valeurs de pression atteintes avec
la pompe turbo PFEIFFER, suivant le
système de pompes primaires utilisé,
sont les suivantes:
Combinaison des
pompes primaires
Pompe à vide rota-
tive à palettes à
deux étages et pompe
turbomoléculaire
Pompe à vide rota-
tive á palettes à
deux étages
Pompe à vide rota-
tive à palettes à
deux étages
Pendant la réception finale, chaque
pompe turbomoléculaire descend en-
dessous des valeurs (2) et (3) de la
pression finale, la pression finale (3)
étant atteinte sans l'étuvage des
pompes.
Dichtung für
Ansaugflansch
Seal for intake
socket
Joint pour bride
d'aspiration
Metall
Metal
Métal
Metall
Metal
Métal
Viton
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