Pfeiffer Vacuum TSD 022 Mode D'emploi
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Pfeiffer Vacuum TSD 022 Mode D'emploi

Groupe de pompage turbomolrculaire drag
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Betriebsanleitung
Operating Instructions
Mode d'emploi
..............................................
TSD 022
TSH 064 D / TSU 064 D
TSH 065 D / TSU 065 D
PM 800 374 BN/C (9703)
.........................................
..............................
Seite 2
Page 14
Page 26
Turbomolekular-Drag Pumpstand
Turbomolecular Drag Pumping Stations
Groupe de pompage turbomoléculaire
drag
N 3725

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Table des Matières
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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum TSD 022

Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum TSD 022

  • Page 1 Seite 2 Operating Instructions ......Page 14 Mode d’emploi ..........Page 26 TSD 022 TSH 064 D / TSU 064 D TSH 065 D / TSU 065 D Turbomolekular-Drag Pumpstand Turbomolecular Drag Pumping Stations Groupe de pompage turbomoléculaire drag PM 800 374 BN/C (9703)

  • Page 2: Table Des Matières

    Inhalt Seite Seite 1. Wichtig für Ihre Sicherheit ....2 5. Was tun bei Störungen? ......8 2. Kennenlernen des Pumpstandes ... 3 6. Wartung ............ 8 2.1. Hauptmerkmale ..............3 6.1. Schmiermittel..............8 2.2. Pumpstandsteuerung ............3 7. Service............9 2.3.

  • Page 3: Kennenlernen Des Pumpstandes

    2. Kennenlernen des Pumpstandes 2.1. Hauptmerkmale Nicht bestimmungsgemäße Verwendung Als nicht bestimmungsgemäß gilt u. a.: – Das Pumpen von korrosiven oder explosiven Gasen, Der Turbomolekular-Drag-Pumpstand TSD 022 – das Einsetzen des Pumpstandes in explosionsgefährdeten Hochvakuumflansch Bereichen Antriebselektronik – das Verwenden von Zubehörteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt werden oder mit dem Hersteller nicht abgesprochen wurden.

  • Page 4: Pumpstandkomponenten

    2.3. Pumpstandkomponenten Pumpstand TSD 022 TSH 064 D TSH 064 D TSH 065 D TSH 065 D Betriebsanleitung TSU 064 D TSU 065 D Pumpstandkomponenten Turbomolekular-Drag-Pumpe TPD 022 PM 800 412 BN TMH 064 TMH 064 PM 800 308 BN mit...

  • Page 5: Installation

    3. Installation 3.1. Hinweise vor der Installation Trockenvorlage TTV 001 (Zubehör) Die Trockenvorlage hält beim Fluten mit atmosphärischer Luft Keine eigenmächtigen Umbauten und Ver- WARNUNG die Feuchtigkeit von der Apparatur fern. änderungen an dem Turbopumpstand Die Trockenvorlage TTV 001 mit vorhandenen vornehmen.
  • Page 6 Anschlußplan PM 041 532-S...

  • Page 7: Anschluß Der Vakuumapparatur

    3.5. Anschluß der Vakuumapparatur Verankerungspunkte an der Unterseite des Pumpstandes Das Gewicht eines frei auf den Vakuumflansch Gummifüße (4x) ACHTUNG Gewindeschrauben M6 (4x) angeflanschten Rezipienten darf 200 N (entspricht 20 kg) nicht überschreiten. Wichtig! Größte Sauberkeit beim Montieren aller Hochvakuum-Teile! Unsaubere Bauteile verlängern die Auspumpzeit! Blinddeckel am Hochvakuumflansch erst bei anschlußfertiger Apparatur abnehmen, damit sich in der...

  • Page 8: Betrieb

    4. Betrieb 4.1. Schmiermittelfüllung – Läuft die Vakuumpumpe nach dem Einschalten nicht an, siehe unter "Was tun bei Störungen?" in der entsprechen- – Das Lager der Turbomolekular-Drag-Pumpe ist werkseitig den Betriebsanleitung. mit der erforderlichen Menge Schmiermittel versehen. Der – Der Hochlauf der Turbomolekular-Drag-Pumpe erfolgt Wechsel des Schmiermittelspeichers ist nach den automatisch.

  • Page 9: Service

    7. Service Kontaminierte Geräte vor der Einsendung oder Nehmen Sie bitte unseren Service in Anspruch WARNUNG vor einer eventuellen Entsorgung dekontaminie- Sollte wider Erwarten ein Schaden an Ihrem Pumpstand auf- ren! Mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv treten, haben Sie verschiedene Möglichkeiten, Ihre Anlagen- kontaminierte Geräte nicht versenden! Verfügbarkeit aufrecht zu erhalten: –...

  • Page 10: Technische Daten

    8. Technische Daten Pumpstand Einheit TSD 022 TSH 064 D TSH 064 D TSH 065 D TSH 065 D TSU 064 D TSU 065 D Anschlußnennweite DN 63 ISO-K DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-K DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-K...

  • Page 11: Zubehör

    PM 015 245-T PVC-Schlauch 8/14; 1m N 2358 170 JS Lenkrollensatz PM 015 083 -T für fahrbaren Pumpstand Adaptersatz für TSD 022 PM 053 127-T für Reduzierung auf DN 40 ISO-KF Heizmanschette Turbopumpe TPD 022 115 V/230 V PM 043 443-T...
  • Page 12 Erklärung über Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und Wenn die Reparatur/Wartung im Herstellerwerk und nicht am -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und Ort ihres Einsatzes erfolgen soll, wird die Sendung vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt. Ist das nicht der gegebenenfalls zurückgewiesen.
  • Page 13 Notizen / Notes:...

  • Page 14: Safety Precautions

    INDEX Page Page 1. Safety Precautions........ 14 5. What To Do In Case Of Breakdowns ? ........20 2. Understanding The Pumping Station ........15 6. Maintenance .......... 20 2.1. Main Features..............15 6.1. Lubrication ................ 20 2.2. Pumping Station Control ..........15 7.

  • Page 15: Understanding The Pumping Station

    2.1. Main Features Improper Use Certain types of use are regarded as improper, e.g. – Pumping corrosive or explosive gases. Turbomolecular Drag Pumping Station TSD 022 – Operating the pumping station where explosive processes are involved. High vacuum flange Electronic drive unit –...

  • Page 16: Pumping Station Components

    2.3. Pumping Station Components Pumping Station TSD 022 TSH 064 D TSH 064 D TSH 065 D TSH 065 D Operating Instructions TSU 064 D TSU 065 D Pumping Station Components Turbomolecular Drag Pump TPD 022 PM 800 412 BN...

  • Page 17: Installation

    3. Installation Drier TTV 001 (accessory) 3.1. Preparations For Installation The drier keeps moisture away from the equipment when Do not carry out any unauthorised conversions venting with atmospheric air. or modifications on the pumping station. Fix Drier TTV 001 to the rear side of the pumping station casing (insert nuts), using the knurled screws and two holders (accessory) provided.
  • Page 18 Wiring Diagram PM 041 532 -S...

  • Page 19: Connecting The Vacuum Equipment

    3.5. Connecting The Vacuum Equipment Anchoring Points On The Underside Of The Pumping Station The weight of a vacuum chamber freely flanged Rubber feet (4x) onto the vacuum flange must not exceed 200 N M6 screws (4x) (corresponds to 20 kg). Important Observe strict cleanliness when fitting all HV parts.

  • Page 20: Operations

    4. Operations 4.1. Lubricant Filling – If the vacuum pump does not start after switching on please refer to the Section "What To Do In The Case Of – On delivery, the bearing of the turbomolecular drag pump Breakdowns" in the relevant operating instructions. has already been provided with the required amount of –...

  • Page 21: Service

    7. Service Decontaminate units before returning or possi- Do Make Use Of Our Service Facilities ble disposal. Do not return any units which are In the event that repairs are necessary a number of options radioactively, microbiologically or biologically are available to you to ensure any system down time is kept contaminated.

  • Page 22: Technical Data

    8. Technical Data Pumping Station Unit TSD 022 TSH 064 D TSH 064 D TSH 065 D TSH 065 D TSU 064 D TSU 065 D Connection nominal diameter DN 63 ISO-K DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-K DN 40 ISO-KF...

  • Page 23: Accessories

    PVC hose 8/14; 1m N 2358 170 JS Set of rollers PM 015 083 -T For mobile pumping stations Adapter set for TSD 022 PM 053 127-T For reduction to DN 40 ISO-KF Heating jacket, turbopump TPD 022 115 V/230 V...

  • Page 24: Declaration Of Contamination

    Declaration of Contamination of Vacuum Equipment and Components The repair and/or service of vacuum components will only be The manufacturer could refuse to accept any equipment carried out if a correctly completed declaration has been without a declaration. submitted. Non-completion will result in delay. This declaration can only be completed and signed by authorised and qualified staff: 1.
  • Page 25 Notizen / Notes:...

  • Page 26: Important Pour Votre Sécurité

    Table des matières Page Page 1. Important pour votre sécurité ....26 5. Que faire en cas de pannes?....32 2. Familiarisation avec le groupe de 6. Entretien ..........32 6.1. Lubrifiant................32 pompage ..........27 2.1. Caractéristiques principales.......... 27 7.

  • Page 27: Familiarisation Avec Le Groupe De Pompage

    Opérations pas prévues, entre autres: – Le pompage de gaz corrosif ou explosif, – l'installation du groupe de pompage dans les endroits Le groupe de pompage turbomoléculaire drag TSD 022 sujets aux explosions – la mise en oeuvre d'accessoires non spécifiés dans ces Bride de vide élevé...

  • Page 28: Composants Du Groupe De Pompage

    2.3. Composants du groupe de pompage Groupe de pompage TSD 022 TSH 064 D TSH 064 D TSH 065 D TSH 065 D Mode d’emploi TSU 064 D TSU 065 D Composants du groupe de pompage Pompe turbomoléculaire drag TPD 022...

  • Page 29: Installation

    3. Installation 3.1. Directives avant l'installation Cartouche siccative TTV 001 (accessoire) La cartouche siccative éloigne l'humidité de l'appareil lors de Ne jamais transformer ou modifier soi-même le la remise à l'air au moyen de l'air atmosphérique. groupe de pompage turbomoléculaire. Fixer au dos du carter du groupe de pompage (écrous encastrés) la cartouche siccative TTV 001 avec les vis moletées existantes et les deux supports (accessoires).
  • Page 30 Schéma de raccordement PM 041 532-S...

  • Page 31: Branchement De L'enceinte De Vide

    3.5. Branchement de l'enceinte de vide Points d'ancrage sous le groupe de pompage Le poids d'un récipient librement relié à la bride Pieds en caoutchouc (4x) ATTENTION de vide ne doit pas dépasser 200 N (correspond Vis taraudées M6 (4x) à...

  • Page 32: Fonctionnement

    4. Fonctionnement 4.1. Versement d'un lubrifiant – Si la pompe à vide ne démarre pas après l'enclenchement, se reporter à "Que faire en cas d'anomalies?" dans les – Le roulement de la pompe turbomoléculaire drag compor- modes d’emploi concernées. te, départ usine, la quantité requise du lubrifiant. –...

  • Page 33: Service Après-Vente

    7. Service Après-Vente Décontaminer les appareils qui le sont avant de Ayez recours à notre service Après-Vente les expédier ou une mise au rebut. Ne pas trans- Si contre toute attente votre groupe de pompage devait subir mettre les appareils contaminés par des un dommage, vous avez alors plusieurs possibilités pour en produits microbiologiques, explosifs ou radioac- conserver la disponibilité.

  • Page 34: Données Techniques

    8. Données techniques Groupe de pompage Unité TSD 022 TSH 064 D TSH 064 D TSH 065 D TSH 065 D TSU 064 D TSU 065 D Diamètre nom. de raccordement DN 63 ISO-K DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-K...

  • Page 35: Accessoires

    8/14; 1m N 2358 170 JS Jeu de galets directeurs PM 015 083 -T pour groupe de pompage mobile Jeu d'adaptateurs pour TSD 022 PM 053 127-T pour réduction à DN 40 ISO-KF Chaufferette de turbopompe TPD 022 115 V/230 V...

  • Page 36: Déclaration Sur L'état De Contamination

    Déclaration sur l´etat de contamination de matériel de technique du vide Notre service peut intervenir et s´occuper du matériel seule- Selon l´etat du matériel, nous nous réservons le droit de refu- ment si vous l´avez envoyé avec certificat précisement rem- ser la réparation dans notre usine.

  • Page 37: Declaration Of Conformity

    DE, AT Pfeiffer Vacuum GmbH Konformitätserklärung im Sinne folgender EU-Richtlinien: - Maschinen 89/392/EWG Emmeliusstr. 33 - Elektromagnetische Verträglichkeit 89/336/EWG D-35614 Asslar - Niederspannung 73/23/EWG Hiermit erklären wir, daß das unten aufgeführte Produkt den Bestimmungen der EU-Maschinenrichtlinie 89/392/EWG - Anhang IIA, der EU-Richtlinie über elek- tromagnetische Verträglichkeit 89/336/EWG und der EU-Niederspannungsrichtlinie 73/23/EWG entspricht.
  • Page 38 89/392/CEE - Apêndice II A, na Directiva CE sobre compatibilidade electromagnética, na redacção 89/336/CEE, e na Directiva CE sobre baixa tensão, na redacção 73/23/CEE. Abaixo, dá-se indicação das directivas aplicadas, das normas harmonizadas e das normas e especificações aplicades no respectivo país. Produkt/Product/Produit/Prodotto/Producto/Produkt/Produkt/Produto/ TSD 022 TSH/TSU 064 D TSH/TSU 065 D...

Ce manuel est également adapté pour:

Tsh 064 dTsu 064 dTsh 065 dTsu 065 d

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