Table des Matières
Publicité
7 Betrieb
mit TCP 5000
7.1 Allgemeine Angaben
Je nach Pumpenkonfiguration ist
der Betrieb mit TCP 5000 möglich.
Ein Austausch der Antriebselektronik
ist nicht möglich.
Durch den Einsatz der TCP 5000
ändern sich einige technische Daten.
Turbomolekularpumpe
Antriebselektronik
1)
Gasdurchsatz, max.
2)
Hochlaufzeit
1)
Die Turbopumpe TPH/TPU 2200 dürfen bei End-
drehzahl nur bis 5 mbar l/s Gasdurchsatz betrie-
ben werden. Die Vorpumpe muß so gewählt
werden, daß ein Vorvakuumdruck von 0,1 mbar,
gemessen am Vorvakuumanschluß der Turbo-
pumpe, nicht überschritten wird. Bei höheren
Gasdurchsätzen oder Vorvakuumdrücken wird
durch Molekülreibung an den Rotorscheiben
die zulässige Betriebstemperatur überschritten.
Sind größere Durchsätze erforderlich, so ist
unbedingt mit Stand-by Drehzahl zu arbeiten.
2)
Bis 90 % der Nenndrehzahl.
Alle anderen Angaben zu den Techni-
schen Daten entsprechen denen bei
Betrieb mit TCP 600 (siehe 3).
7.2 Elektrischer Anschluß
Der elektrische Anschluß ist nach der
Betriebsanleitung der Antriebselek-
tronik TCP 5000 (PM 800 134 BD, E, F)
auszuführen. Die beiden Betriebsmit-
telpumpen werden von einer Hilfs-
wicklung im Motor-Stator versorgt.
Bei abgeschalteter Pumpe erhalten
die Betriebsmittelpumpen während
der Auslaufzeit aus der Hilfswicklung
Spannung. Die Elektronik ist unter
Haube 72 angeordnet (Schaltplan
PM 053 407–S). Zum Anschluß der
Turbopumpe wird serienmäßig ein
3 m langes Kabel PM 011 232 -X ein-
gesetzt (andere Längen auf Anfrage).
7.3 Inbetriebnahme der Pumpe
Es gilt Punkt 5.2 dieser Anweisung mit
folgenden Abweichungen:
– Bei blindgeflanschtem UHV-
Anschluß erreichen die Pumpen
ihre Nenndrehzahl in ca. 6 min.
– Läßt sich die Pumpe nicht einschal-
ten oder fällt sie nach kurzer Zeit
wieder aus, Abschnitt Drucktaster
"Reset" unter 7.4 beachten.
34
7 Operations
with the TCP 5000
7.1 General Notes
Depending on the pump configura-
tion, operations with a TCP 5000 are
possible. An exchange of electronic
drive unit is not possible.
The use of the TCP 5000 alters certain
technical data.
Turbomolecular Pump
Electronic drive unit
1)
Gas throughput, max.
2)
Run up time
1)
At final rotation speed, Turbomolecular Pumps
TPH/TPU 2200 may only be operated up to
5 mbar l/s gas throughput. The backing pump
must be so selected that, measured at the
turbo pump fore-vacuum connection, a fore-
vacuum pressure of 0.1 mbar is not exceeded.
Greater gas throughputs or fore-vacuum pres-
sures will cause the permissible operating
temperature to be exceeded as a result of
molecular friction acting on the rotor discs.
Where greater gas throughputs are required,
stand-by rotation speed mode must be selected
without fail.
2)
Up to 90 % of rotation speed.
All other details in respect to technical
data are as for operations with the
TCP 600 (see Section 3).
7.2 Electrical Connections
Electrical connections must be
executed as per the operating instruc-
tions for the Electronic Drive Unit
TCP 5000 (PM 800 134 BD, E, F).
The two pump fluid pumps are
powered by an auxiliary coil in the
motor/stator. When the pump is
switched off, the pump fluid pumps
receive power from the auxiliary coil
during the running down period.
The electronics are arranged under
hood 72 (Wiring Diagram PM 053
407–S). A standard 3 m long cable
(PM 011 232 -X) is used for connecting
the turbopump (other lengths on
request).
7.3 Starting the Pump for the first Time
Except for the following, the instruc-
tions in Section 5.2 are applicable:
– For blank flanged UHV connection
the pump attains its rated rotation
speed in approx. 6 minutes.
– If it is not possible to switch on the
pump or if it stops again after a
short time please refer to the notes
concerning the push-button switch
in Section 7.4 ("Reset").
Pompe turbomoléculaire
Electronique d'entrainement
1)
Débit de gaz, max.
2)
Temps d'accélération
7 Fonctionnement
avec TCP 5000
7.1 Indications générales
Suivant la configuration de la pompe,
le fonctionnement avec TCP 5000 est
possible. Un remplacement de l'élec-
tronique d'entraînement n'est pas
possible.
Par l'utilisation avec TCP 5000 quel-
ques données techniques sont modi-
fiées.
TPH/U 2200
TPC 5000
mbar l/s
15
min
16
1)
Les pompes turbo TPH/TPU 2200 ne doivent
être utilisées à la vitesse de rotation finale que
pour un débit de gaz de 5 mbar l/s maximum.
La pompe primaire doit être choisie de telle
façon qu'une pression de vide primaire de
0,1 mbar, mesurée au raccord de vide primaire
de la pompe, ne soit pas dépassée. Pour des
débits de gaz plus élevés ou des pressions de
vide primaire plus importantes, la température
de service admissible sera dépassée par la
friction des molécules sur les disques du rotor.
Si des débits plus élevés sont nécessaires,
il faudra absolument travailler à la vitesse de
rotation Stand-by.
2)
Jusqu'à 90 % de la vitesse de rotation nominale.
Toutes les autres indications sur la
fiche technique correspondent au
fonctionnement avec TCP 600 (voir 3).
7.2 Branchement électrique
Le branchement électrique est à
effectuer suivant les instructions de
service de l'électronique d'entraîne-
ment TCP 5000 (PM 800 134 BD, E, F).
Les deux pompes de fluide moteur
seront alimentées par un bobinage
auxiliaire dans le moteur-stator. Lors-
que la pompe est à l'arrêt, les pompes
de fluide moteur reçoivent du bobi-
nage auxiliaire une tension pendant la
phase de décélération. L'électronique
est monté sous le capot 72 (schéma
électrique PM 053 407 -S). Pour le rac-
cordement de la pompe turbo, un
câble de 3m de long PM 011 232–X
sera livré en série (autres longueurs
sur demande).
7.3 Mise en marche de la pompe
Comme décrit dans le point 5.2 de ces
instructions de service avec les dif-
férences suivantes:
– Pour le raccord d'ultra-vide bridé
par obturation, les pompes atteig-
nent leur vitesse de rotation nomi-
nale en environ 6 min.
– Si la pompe ne se met pas en
marche, ou s'arrête peu après,
voir chapitre bouton poussoir
"Réinitialisation" 7.4.
Publicité
Table des Matières
