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Lage sein, Gefahren zu erkennen
und ihnen entgegen zu wirken.
– Die Anwendung durch nichtautori-
siertes Personal oder eine unvor-
sichtige Handhabung kann zu einem
erhöhten Gefahrenpotential führen.
– Bei allen Arbeiten, die Installation,
Inbetriebnahme, Betrieb und
Instandhaltung betreffen, sind die
in den beigefügten Betriebsanlei-
tungen angegebenen Ausschaltpro-
zeduren zu beachten.
– Es ist jede Arbeitsweise zu unter-
lassen, die die Sicherheit des Bedie-
ners und der Pumpe beeinträchtigt.
– Eigenmächtige Umbauten und Ver-
änderungen, die die Sicherheit
beeinflussen, sind nicht gestattet.
– Nach Elektromontage- und Elektro-
instandhaltungsarbeiten sind alle
Schutzmaßnahmen zu testen (Bei-
spiel Schutzleitertest).
– Für den Betrieb der Anlage gelten
die örtlichen Sicherheits- und
Unfallverhütungsvorschriften.
– Unklarheiten bzgl. Sicherheit,
Bedienung und Wartung können
mit der nächsten Balzers-Vertretung
oder Tochtergesellschaft abgeklärt
werden.
1.2.1 Sicherheitshinweise zum
Arbeiten mit der Turbomole-
kularpumpe
– Pumpe niemals mit offenem HV-
Flansch betreiben. Verletzungs-
gefahr durch rotierende Turbine
und durch Kontakt mit den gepump-
ten Medien (Prozeßgasen). Durch
Hineinfallen von Gegenständen
kann die Pumpe zerstört werden.
– Steckverbindung zur Antriebs-
elektronik nur bei gezogenem Netz-
stecker und Stillstand der Pumpe
lösen. An den Kontakten können
Spannungsspitzen bis 200 V auf-
treten.
– Verbindungsleitungen von der
Turbomolekularpumpe zur Vor-
pumpe nur bei Stillstand der Anlage
lösen um Kontakt mit Prozeßgasen
auszuschließen.
– Vor der Demontage der Turbomole-
kularpumpe aus der Anlage, Flut-
vorgang wie unter 4.5 beschrieben,
durchführen.
– Pumpe in die Anlage fest installie-
ren.
– Hinweise auf Gefahren, die durch
Kontakt mit gefährlichen Pumpme-
dien entstehen können, sind vom
Betreiber entsprechend mitzuteilen.
Entsprechende Schutzmaßnahmen
sind vorzuschreiben.
– Any use by unauthorized personnel
or careless handling may increase
the potential danger.
– The switch-off procedures des-
cribed in the attached operating
instructions must be observed in
all installation, commissioning,
operating and maintenance work.
– No operating modes must be used
which may affect the safety of the
operator and pump.
– All unauthorized modifications and
alterations affecting safety are pro-
hibited.
– All safety protection measures must
be tested on completion of electrical
installation and electrical mainten-
ance work (e.g. earthing resistance).
– All relevant local safety and acci-
dent prevention regulations apply
for operation of the system.
– Any unclear points with regard to
safety, operation and maintenance
should be clarified with your nea-
rest Balzers agency or subsidiary.
1.2.1 Working with Turbomolecular
Pumps; Safety Information
– Never operate the pump with open
HV flange because this may cause
injuries from the rotating turbine
and contact with vacuum with the
pumped media (process gases).
– Only uncouple the connection to the
electronic drive unit after you have
disconnected the mains plug and
the pump is at standstill. Peak volta-
ges of up to 200 V may be present
at the contacts.
– Only remove the connecting lines
between the turbomolecular pump
and the backing pump when the
system is at standstill so as to avoid
any contact with vacuum.
– Before you remove the turbomole-
cular pump from the system, the
pump must be vented as described
in Section 4.5.
– Install the pump firmly in the
system so as to avoid danger from
the resultant torques.
– The user must provide information
on any danger that may arise from
coming into contact with any hazar-
dous media to be pumped. Appro-
priate safety precaution instructions
must be provided.
– L'utilisation par du personnel non
autorisé ou un maniement impru-
dent peuvent accroître le danger
potentiel.
– Pour tous les travaux, l'installation,
la mise en service, le fonctionne-
ment et l'entretien, les informations
de déconnexion indiquées dans les
instructions de service ci-jointes
doivent être respectées.
– Il faut s'abstenir de travailler d'une
façon qui porte atteinte à la sécurité
du conducteur et de la pompe.
– Des transformations et modificati-
ons de votre propre chef ayant une
influence la sécurité ne sont pas
autorisées.
– Après des travaux de montage et
d'entretien en électricité, toutes les
mesures de protection doivent être
testées (par exemple le conducteur
de protection).
– Les prescriptions locales de sécurité
et de prévention des accidents sont
dans tous les cas valables pour le
fonctionnement de l'installation.
– Les questions relatives à la sécurité,
au maniement et à la maintenance
peuvent être résolues avec le repré-
sentant ou la filiale Balzers les plus
proches.
1.2.1 Instructions de sécurité pour le
travail avec la pompe turbo-
moléculaire
– Ne jamais utiliser la pompe avec la
bride de vide élevé ouverte. Il y a
danger d'accident par la rotation de
la turbine et par le contact des
agents pompés. Il y a danger de
détérioration de la pompe par la
chute d'objets.
– Démonter le connecteur de l'élec-
tronique d'entraînement seulement
lorsque le connecteur d'alimenta-
tion du réseau est enlevé et la
pompe est à l'arrêt. Des pointes de
tension jusqu'à 200 V pourraient se
produire sur les contacts.
– Les raccordements de la pompe
turbo à la pompe primaire ne peu-
vent être enlevés qu'à l'arrêt.
– Avant le démontage de la pompe
turbo du système, effectuer la
remise à l'air comme indiqué
dans 4.5.
– Fixer la pompe dans l'installation.
– Les indications concernant les
dangers provenant de contacts
avec des agents pompés seront à
communiquer par l'utilisateur.
Par conséquent des mesures de
sécurité seront à prescrire par
celui-ci.
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