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Manuels Connexes pour Pfeiffer Vacuum HICUBE ECO
Sommaire des Matières pour Pfeiffer Vacuum HICUBE ECO
- Page 1 MANUEL DE L'UTILISATEUR Traduction d'original HICUBE ECO...
- Page 2 Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
- Page 3 Table des matières Table des matières A propos de ce manuel Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes Groupe cible Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations Sécurité Consignes générales de sécurité Consignes de sécurité Mesures de sécurité...
- Page 4 Mise hors service pendant une période prolongée Remise en service Mise au rebut de la pompe à vide Dysfonctionnements Généralités Dépannage Codes d’erreur Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Accessoires Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités 12.2 Caractéristiques techniques 12.3 Schémas cotés Déclaration de conformité...
- Page 5 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Autocollants sur le produit..................8 Tab. 2: Abréviations utilisées dans le document..............9 Tab. 3: Limites d'utilisation des groupes de pompage turbo..........15 Tab. 4: Options de combinaison de composants de groupe de pompage......17 Tab.
- Page 6 Fig. 15: Verrouillage de transport pour pompe de secours........... 32 Fig. 16: Exemple : Raccordement du câble de mise à la terre..........33 Fig. 17: Connecteur d'alimentation électrique et interrupteur principal du HiCube Eco..34 Fig. 18: Exemple : Écran DCU pour un second ensemble de paramètres......37 Fig.
- Page 7 Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le pro- duit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de dévelop-...
- Page 8 A propos de ce manuel 2. Étape 2 3..1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. Remarque Conseil 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification. Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve à...
- Page 9 CF : Raccord à fermeture métallique conforme à la norme ISO 3669 Mesure du diamètre (en mm) Display Control Unit (unité de commande et d’affichage de Pfeiffer Vacuum). Diamètre nominal (en tant que désignation de grandeur) Mesure de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz) Bride de vide secondaire, côté...
- Page 10 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, quatre niveaux de risques et un niveau de consignes sont identi- fiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ►...
- Page 11 Sécurité Risques lors de l’installation AVERTISSEMENT Danger de mort par choc électrique en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils connectés au secteur peuvent être sous ten- sion. Il existe un risque de mort par électrocution par contact avec des composants sous tension.
- Page 12 Sécurité ATTENTION Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pres- sion excessive Une conduite de refoulement défectueuse ou insuffisante peut entraîner une situation dan- gereuse, comme une hausse de la pression de refoulement. Il existe alors un risque d’écla- tement, susceptible de provoquer des blessures dues à...
- Page 13 ► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées. ► Utiliser uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le com- pensateur de vibration en cas de dysfonctionnement Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à...
- Page 14 Sécurité 2.3 Mesures de sécurité Obligation d'information sur les dangers possibles Le détenteur ou l'utilisateur du produit est dans l'obligation d'informer cha- que personne des dangers encourus avec ce produit. Chaque personne en charge de l'installation, du fonctionnement ou de la réparation du produit, doit lire, comprendre et respecter les parties de ce document dédiées à...
- Page 15 Sécurité Paramètre Valeur limite Rayonnement thermique maximum en fonction de la pompe turbo utilisée Température maximum admissible du rotor de 90 °C la pompe turbo Tab. 3: Limites d'utilisation des groupes de pompage turbo Remarques sur les conditions ambiantes Les températures ambiantes admissibles spécifiées s'appliquent au fonc- tionnement de la pompe turbo à...
- Page 16 3 Description du produit 3.1 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.tuvdotcom.com...
- Page 17 Options de combinaison de composants de groupe de pompage 3.2 Contenu de la livraison ● Groupe de pompage turbo HiCube Eco ● Cache de protection de la bride de vide secondaire ● Câble de rallonge pour accessoires M12 sur M12, 3 m ●...
- Page 18 Description du produit Interrupteur principal Refroidissement par air Fiche de connexion électrique 3.3.1 Interface de commande Le module d'affichage et de commande intégré DCU 002 sert au contrôle et à la surveillance du groupe de pompage turbo. En option, le DCU peut être utilisé comme commande à dis- tance, en retirant son boîtier et en utilisant un câble de rallonge.
- Page 19 Poignée encastrée Consignes pour un transport sécurisé sans emballage Pour un transport sans emballage, les groupes de pompage turbo HiCube Eco sont munis de poignées encastrées sur les côtés du cadre du logement. 1. Observer le poids spécifié sur la plaque signalétique.
- Page 20 Transport et stockage 4.2 Protection pour le transport Les pompes de secours des groupes de pompage turbo en ligne HiCube sont protégées contre les dommages pouvant survenir pendant le transport. Manipulation du verrouillage de transport 1. Ne libérer le verrouillage de transport de la pompe de secours qu'immédiatement avant la mise en service sur le lieu d'installation.
- Page 21 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bri- de de vide élevé).
- Page 22 Installation 4. Installer des blindages appropriés si les champs magnétiques environnants excèdent les niveaux admissibles. 5. Si un chauffage de boîtier ou un refroidissement par eau est utilisé, s'assurer que la température au niveau de la bride de raccordement à la chambre de vide n'excède pas 120 °C.
- Page 23 Tab. 5: Conditions requise pour le raccordement de vide secondaire sur site ► Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide secondaire de la pompe turbo. Couple maximum produit en cas d'éclatement : Le couple théorique calculé en cas d'écla- tement (rupture de l'arbre du rotor) conformément à...
- Page 24 ● Les accessoires suivants ne sont pas inclus dans la livraison. Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur dans la bride de vide secondaire protègent la pompe turbo contre les corps étrangers prove- nant de la chambre de vide.
- Page 25 Raccord à bride ISO-KF à ISO-KF Utilisation d'un collier de serrage 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccorde- ment. 2. Fixer le raccord de vide secondaire sur la pompe turbo et le collier de serrage sur la contre-bride.
- Page 26 ● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride. Raccordement des griffes et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccorde- ment. 2. Raccorder la bride conformément au schéma, à l'aide des composants du kit de monta- 3.
- Page 27 Installation Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccorde- ment. 2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbo.
- Page 28 Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants 1. Pour le raccordement de la pompe turbo, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbo.
- Page 29 Raccordement des goujons et des trous taraudés 1. Pour le raccordement de la pompe turbo, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-bride.
- Page 30 Installation ATTENTION Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pres- sion excessive Une conduite de refoulement défectueuse ou insuffisante peut entraîner une situation dan- gereuse, comme une hausse de la pression de refoulement. Il existe alors un risque d’écla- tement, susceptible de provoquer des blessures dues à...
- Page 31 – Noter la longueur du câble de commande. 4. Dévisser la fiche de connexion du câble de commande M12 du DCU. Câble fourni à la livraison D'autres longueurs de câble sont disponibles sur demande, parmi les ac- cessoires Pfeiffer Vacuum. PM 061 270 -X RS-485 Fig. 14: Raccordement du DCU en tant que commande à...
- Page 32 2. Utiliser le module d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum DCU 002. 5.8 Dépose du verrouillage de transport Tous les groupes de pompage turbo en ligne HiCube Eco sont équipés d'un verrouillage de transport pour les pompes à vide primaire. La pompe à vide primaire est fixée en diagonale sur la plaque de base du groupe de pompage, avec des écrous et des vis à...
- Page 33 Installation Procédure 1. Faire tourner l'écrou à six pans de verrouillage de transport vers le haut, jusqu'en butée. 2. Libérer également le verrouillage de transport de l'autre côté. 5.9 Mise à la terre du groupe de pompage Fig. 16: Exemple : Raccordement du câble de mise à la terre Accessoires requis ●...
- Page 34 Installation Fig. 17: Connecteur d'alimentation électrique et interrupteur principal du HiCube Eco Prise secteur Câble d'alimentation électrique spécifique à chaque pays (fourni à la livraison) Mise sous tension du HiCube Eco 1. Veiller à ce que l'interrupteur principal soit désactivé avant d'effectuer le raccordement.
- Page 35 Pfeiffer Vacuum et, en externe, via l’interface RS-485, en utilisant le protocole Pfeiffer Vacuum. Pour les deux ensembles de paramètres, le DCU sert d'interface utilisateur. Le HiCube Eco contrôle deux ensembles indépendants de paramètres, un pour la pompe turbo et un pour la pompe à...
- Page 36 Mise en service du groupe de pompage ► Démarrer le groupe de pompage turbo. 6.3 Fonctionnement normal Utilisation du DCU ► Lors de l'utilisation du module d'affichage et de commande DCU 002 Pfeiffer Vacuum, prière de se référer au manuel de l'utilisation fourni à la livraison. 36/66...
- Page 37 Lest d’air Le groupe de pompage turbo HiCube Eco, avec pompe à membrane MVP 015-2 servant de pompe de secours, est équipé d'une fonction de lest d'air automatique. Si toutefois un retard dans le temps d'accélération se produit encore, en raison de la condensation dans la zone de vide préliminaire,...
- Page 38 Utilisation Arrêter le groupe de pompage turbo. Naviguer parmi l'intégralité du premier ensemble de paramètres puis directement dans le second ensemble de paramètres, jusqu'au paramètre [030] : Mode valve. Appuyer simultanément sur les deux touches pour ouvrir le mode Édition. Sélectionner l'option "2"...
- Page 39 ► La vitesse maximum d'augmentation de la pression de 15 hPa/s ne doit pas être dé- passée. ► La mise à l'air manuelle et non contrôlée de très petits volumes est à éviter. ► Utiliser une vanne de mise à l'air de la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum si né- cessaire. Mise à l'air manuelle La mise à...
- Page 40 Utilisation Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo. La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité...
- Page 41 3. En cas de charges extrêmes ou de processus avec des fluides contaminés, consulter Pfeiffer Vacuum Service pour déterminer des intervalles de maintenance plus courts. 4. Pour toutes les autres opérations de nettoyage, maintenance ou réparation, contacter le centre Pfeiffer Vacuum Service adéquat.
- Page 42 Maintenance Fig. 19: Remplacement des fusibles secteur Interrupteur principal Fusibles Porte-fusibles Prise secteur Remplacement des fusibles défectueux Pièces détachées requises ● 2 x fusibles, 5 x 20 (T 2 A H 250 V CA) 1. Arrêter le groupe de pompage. 2.
- Page 43 Maintenance 7.4.1 Suppression des raccordements électriques Avant toute intervention, toujours débrancher l'appareil de l'alimenta- tion secteur 1. Arrêter l'appareil. 2. Attendre que tous les composants soient complètement immobilisés. 3. Mettre hors circuit l'interrupteur principal. 4. Débrancher le câble d'alimentation de l'appareil. Fig.
- Page 44 Maintenance Outillage nécessaire ● Clé Allen ● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6) Procédure 1. Desserrer et déposer la conduite de vide préliminaire de la pompe turbo. 2. Veiller à ne pas tordre ou endommager le flexible de vide préliminaire. 3.
- Page 45 2. Nettoyer l'extérieur du groupe de pompage turbo avec un chiffon non pelucheux et un peu d'alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demander au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer entièrement le groupe de pompage. 4. Si nécessaire, demander au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer entièrement les com- posants du groupe de pompage.
- Page 46 Mise hors service Procédure ► Toutes les substances doivent être mises au rebut conformément aux réglementations locales. 46/66...
- Page 47 ► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées. ► Utiliser uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le com- pensateur de vibration en cas de dysfonctionnement Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à...
- Page 48 Les avertissements (* Warning F––– *) sont uniquement indiqués et n'entraînent pas l'arrêt de composants. Gestion des messages d'erreur sur le HiCube Eco 1. Commencer par supprimer la cause de l'erreur. Valider le message d'erreur en appuyant sur la touche...
- Page 49 ● Remplacer complètement le ma- nomètre ** Error E040 ** Défaut maté- ● RAM externe défaillante ● Contacter Pfeiffer Vacuum Servi- riel ** Error E042 ** Défaut maté- ● Somme de contrôle EPROM in- ● Contacter Pfeiffer Vacuum Servi-...
- Page 50 Dysfonctionnements Écran Problème Causes possibles Remède E021 L'unité d’entraînement ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. électronique ne détecte ● Valider uniquement à la vitesse de rota- pas la pompe tion f = 0 E043 Erreur de configuration in- ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service.
- Page 51 ● Contrôler les conditions de fonctionne- circuit de chauffage TMS n'est pas dans la pla- ment ge admissible, entre ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. +5 °C et 85 °C F007 Sous-tension/panne de ● Panne de secteur ● Contrôler l’alimentation de secteur...
- Page 52 Dysfonctionnements Écran Problème Causes possibles Remède F116 Évaluation de la tempéra- ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ture du palier défaillante F117 Température élevée de la ● Refroidissement dé- ● Améliorer le refroidissement partie inférieure de la faillant ● Contrôler les conditions de fonctionne-...
- Page 53 Nous nous efforçons constamment de perfectionner notre coeur de métier, le service pour les composants du vide. Et notre service est loin d'être terminé une fois que vous avez acheté un produit de Pfeiffer Vacuum. Bien souvent, il ne fait que commencer avec la qualité éprouvée Pfeiffer Vacuum, bien sûr ! Dans le monde entier, nos commerciaux et nos spécialistes du SAV sont là...
- Page 54 Apposez la déclaration de contamination à l'extérieur de l'emballage. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG Expédiez ensuite votre produit vers le Centre de service de votre région. Vous recevez une réponse/un devis de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les commandes de SAV, nos conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos conditions de réparation et de maintenance...
- Page 55 Accessoires 11 Accessoires Recommandation Veuillez vous référer à la liste d'accessoires pour chaque composant dans leur manuel de l'utilisateur respectif ou en ligne sur pfeiffer-vacuum.de. 55/66...
- Page 56 Caractéristiques techniques et dimensions 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ●...
- Page 57 Caractéristiques techniques et dimensions Pompe Turbomoléculaire HiPace 30 HiPace 30 HiPace 30 Pompe à vide primaire MVP 015-2 MVP 015-4 MVP 030-3 Pression limite < 1 · 10 < 1 · 10 < 1 · 10 Débit pour N 22 l/s 22 l/s 22 l/s Débit de la pompe primaire à...
- Page 58 Caractéristiques techniques et dimensions Pompe à vide primaire MVP 015-2 MVP 015-4 MVP 030-3 Pression limite < 1 · 10 < 1 · 10 < 1 · 10 Débit pour N 32 l/s 32 l/s 32 l/s Débit de la pompe primaire à 50 Hz 1 m³/h 0,75 m³/h 1,8 m³/h...
- Page 59 Caractéristiques techniques et dimensions Débit pour N 67 l/s 67 l/s 67 l/s Débit de la pompe primaire à 50 Hz 1 m³/h 0,75 m³/h 1,8 m³/h Temps de pompage enceinte d'un volume de 56 s 83 s 14 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 557 s 834 s...
- Page 60 Caractéristiques techniques et dimensions Pression limite < 1 · 10 < 1 · 10 < 1 · 10 < 1 · 10 < 1 · 10 < 1 · 10 Débit pour N 260 l/s 260 l/s 260 l/s 260 l/s 260 l/s 260 l/s Débit de la pompe pri-...
- Page 61 Caractéristiques techniques et dimensions Raccordement sec- 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz teur: fréquence (plage) Type de refroidisse- ment, standard Humidité relative de 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 –...
- Page 62 Caractéristiques techniques et dimensions Fig. 24: Dimensions du HiCube 30 Eco, DN 63 ISO-K Fig. 25: Dimensions du HiCube 80 Eco, DN 40 ISO-KF Fig. 26: Dimensions du HiCube 80 Eco, DN 63 CF-F Fig. 27: Dimensions du HiCube 80 Eco, DN 63 ISO-K 62/66...
- Page 63 Caractéristiques techniques et dimensions Fig. 28: Dimensions du HiCube 300 Eco, DN 100 CF-F Fig. 29: Dimensions du HiCube 300 Eco, DN 100 ISO-K 63/66...
- Page 64 ● Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses 2011/65/UE La personne en charge de la compilation des documents techniques est M. Hel- mut Bernhardt, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Groupe de pompage turbo HiCube Eco Normes harmonisées et normes et spécifications nationales qui ont été appli- quées :...
- Page 65 65/66...