Cómo poner en funcionamiento el Turbo-V 750/850
TwisTorr Pumping System
Antes de poner en funcionamiento el sistema, controlar que se haya
desconectado el contraconector E/S. Si el sistema está conectado a
un dispositivo de E/S a distancia, asegurarse de que la señal de STOP
esté activa (consultar el apartado "J1 – REMOTE I/O" en el anexo
"Technical Information").
Para poner en funcionamiento el sistema, llevar a cabo los siguientes
pasos:
1
2
3
4
El controlador integrado reconoce automáticamente la presencia de
las señales de INTERLOCK y START y pone en funcionamiento la
bomba.
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01
Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System
desconectar (si está presente) el contraconector E/S del sistema;
para poner en funcionamiento el Turbo-V 750/850 TwisTorr
Pumping System, se debe suministrar una tensión de 48 Vcc
mediante un Alimentador externo (969-6521);
llevar la presión en el interior de la cámara de vacío a 0,1 mbar;
dar la señal de START al Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping
System de una de las siguientes maneras:
a
conectar el contraconector E/S en dotación
b
dar la señal de START a distancia mediante el conector E/S
(consultar el apartado "J1 – REMOTE I/O" en el anexo
"Technical Information")
c
dar la señal de START a distancia mediante la interfaz serial
RS 232/485 (consultar el apartado "RS 232/485
Communication Description" en el anexo "Technical
Information").
Manual de istrucciones
(A)
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