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Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping
Systems
In diesem Absatz sind die wichtigsten Arbeitsschritte beschrieben.
Bevor man das System verwendet, alle elektrischen und
pneumatischen Anschlüsse ausführen.
Während des eventuellen Erhitzens der Vakuumkammer darf die
Temperatur auf dem Eingangsflansch die 80 °C nicht überschreiten.
Der Bediener muss sicherstellen, dass er die korrekte Küh-lungsart
(WIN 106) vorbereitet hat: 1 für Wasserkühlung, 0 für
Gebläsekühlung (Standard), Einstellung über serielle Steuerung WIN
106. Für weitere Details im Anhang "Technical Information"
nachschauen.
Der Bediener muss sicherstellen, dass er die korrekte Be-triebsart
abhängig vom zu pumpenden Gas vorbereitet hat (WIN 157): 1 für N
und leichtere Gase, 0 für Argon (Standard), Einstellung über serielle
Steuerung WIN 157. Für weitere Details im Anhang "Technical
Information" nachschauen.
WARNUNG!
Die Pumpe niemals in Betrieb nehmen, wenn der Eingangsflansch nicht an
die Vakuumkammer angeschlossen oder der Verschlussflansch nicht
geschlossen ist. Während der Erhitzung nicht die Turbopumpe und ihr
eventuelles Zubehör anfassen. Die erhöhte Temperatur kann Verletzungen an
Personen verursachen.
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01
Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems
Gebrauchsanleitung
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