Page 1 Turbo-V 81-T Models: 969-8905, 969-8906, 969-8907, 969-8908 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning...
Page 2: Safety Notices
Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Page 3 Turbo-V 81-T Turbo-V 81-T Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 3/228...
Page 4 Turbo-V 81-T 4/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 5: Table Des Matières
Preparazione per l’installazione 18 Installazione 19 22 Manutenzione 23 Smaltimento 24 Gebrauchsanleitung 25 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Informationen 27 Lagerung 29 Vor der Installation 30 Installation 31 Gebrauch 34 Wartung 35 Entsorgung 36 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 5/228...
Page 6 Información general 51 Almacenamiento 53 Preparación para la instalación 54 Instalación 55 57 Mantenimiento 58 Eliminación 59 Manual de Istruções 61 Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 62 Informações gerais 63 Armazenagem 65 6/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 7 Uitpakken 78 Installatie 79 Gebruik 82 Onderhoud 83 Afvalverwerking 84 Istruktionsbog 85 Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 86 Generel information 87 Opbevaring 89 Forberedelser før installation 90 Installation 91 Anvendelse 93 Vedligeholdelse 94 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 7/228...
Page 8 Instruksjon Manual 107 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 108 Generell informasjon 109 Lagring 110 Klargjøre til installasjon 111 Installasjon 112 Bruk 114 Vedlikehold 115 Eliminering 116 10 Ohjekäsikirja 117 Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 118 Yleisiä tietoja 119 8/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 9 Telepítés 132 Használat 135 Karbantartás 136 Megsemmisítés 137 12 Podrecznik Instrukcji 139 Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 140 Ogólne Informacje 141 Magazynowanie 142 Przygotowanie do instalacji 143 Instalacja 144 Użytkowanie 147 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 9/228...
Page 10 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 162 Všeobecné informácie 163 Uchovávanie 164 Príprava na inštaláciu 165 Inštalácia 166 Použitie 169 Údržba 170 Likvidácia 171 15 Priročnik za Navodila 173 Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 174 10/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 11 Installation 188 190 Maintenance 191 Disposal 192 17 Technical Information 193 Description of the Turbo-V 81-T 194 Technical Specification 198 Turbo-V 81-T Outline 200 Inlet Screen Installation 203 Heater Band Installation 206 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 11/228...
Page 12 Water Cooling Kit Installation 210 Vent Accessories 213 Vibration Isolator Installation 214 Typical Layout Diagram 215 Pump used in Presence of Magnetic Fields 220 Accessories and Spare Parts 221 Vent Valve Model Selection Table 222 12/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 13: Istruzioni Per L'uso
Turbo-V 81-T User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 13/228...
Page 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
AVVERTENZA! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 14/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 15: Informazioni Generali
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (80000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Il Turbo-V 81-T è totalmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Page 16 I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 16/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 17: Immagazzinamento
10 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 17/228...
Page 18: Preparazione Per L'installazione
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione La Turbo-V 81-T viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni.
Page 19: Installazione
+5 °C a +35 °C (vedere grafico nell’appendice “Technical Information”) umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante). In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 19/228...
Page 20 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 La Turbo-V 81-T può essere installata in qualsiasi posizione. Fissare la Turbo-V 81-T in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 250 Nm attorno al proprio asse.
Page 21 Istruzioni per l’uso Installazione La Turbo-V 81-T non può essere fissata tramite la sua base. NOTA La Turbo-V 81-T appartiene alla seconda categoria di installazione (o ATTENZIONE! sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria.
Page 22: Uso
"Technical Information"). AVVERTENZA! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. 22/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 23: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Le pompe della serie Turbo-V 81-T non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Page 24: Smaltimento
24/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 25: Gebrauchsanleitung
Turbo-V 81-T User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 25/228...
Page 26: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. WARNUNG! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 26/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 27: Allgemeine Informationen
Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern. In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 27/228...
Page 28 Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen WARNUNG! Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben HINWEIS werden. 28/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 29: Lagerung
Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 29/228...
Page 30: Vor Der Installation
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Turbo-V 81-T wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Die Pumpe ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Page 31: Installation
Temperatur: von +5 °C bis +35 °C (siehe Diagramm im Anhang "Technical Information") Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 95 % (nicht kondensierend). Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 31/228...
Page 32 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Modell Turbo-V 81-T kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell Turbo-V 81-T ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 250 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Page 33 Installation Modell Turbo-V 81-T kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden. HINWEIS Der Turbo-V 81-T gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von den VORSICHT! Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Page 34: Gebrauch
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder WARNUNG! radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. 34/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 35: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Die Pumpen der Serie Turbo-V 81-T erfordern keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C...
Page 36: Entsorgung
Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. 36/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 37: Mode D'emploi
Turbo-V 81-T User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation Utilisation Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 37/228...
Page 38: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 38/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 39: Indications Générales
Les pompes de la série Turbo-V 81-T sont des pompes turbomoléculaires pour des applications de vide poussé et ultrapoussé en mesure de pomper n’importe quel type de gaz ou de composé...
Page 40: Cette Notice Utilise Les Signes Conventionnels Suivants
Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les notes contiennent des renseignements importants isolés du texte. NOTE 40/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 41: Stockage
à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage pour toutes raisons, la pompe ATTENTION! doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 41/228...
Page 42: Preparation Pour L'installation
Mode d’emploi Preparation pour l’installation Preparation pour l’installation Le Turbo-V 81-T est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Page 43: Installation
0 – 95 % (non condensante). En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 43/228...
Page 44 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Le Turbo-V 81-T peut être installée dans n'importe quelle position. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 250 Nm autour de son axe Par exemple le flasque ISO 63 peut être fixé...
Page 45 Mode d’emploi Installation Le Turbo-V 81-T ne peut être fixé par sa base. NOTE Le Turbo-V 81-T appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou ATTENTION! surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie.
Page 46: Utilisation
(voir l'appendice "Technical Information"). AVERTISSEMENT! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. 46/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 47: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien Les pompes de la série Turbo-V 81-T ne demandent aucun entretien. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Page 48: Mise Au Rebut
Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le processus de collecte et mise au rebut. 48/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 49: Manual De Istrucciones
Turbo-V 81-T User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50 Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 54 Instalación Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 49/228...
Page 50: Manual De Istrucciones Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 50/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 51: Información General
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (80000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El Turbo-V 81-T no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’...
Page 52 Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 52/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 53: Almacenamiento
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 53/228...
Page 54: Preparación Para La Instalación
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El Turbo-V 81-T se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Page 55: Instalación
Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V 81-T deben usarse exclusivamente con uno de los controladores Agilent y deben conectarse a una bomba primaria (véase esquema en “Technical Information”).
Page 56 Agilent. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. El Turbo-V 81-T no puede fijarse utilizando su base. NOTA El Turbo-V 81-T pertenece a la segunda categoría de instalación (o sobretensión) ¡ATENCIÓN! prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.
Page 57: Uso
(Nitrógeno o Helio) para proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical Information”). ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 57/228...
Page 58: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento Las bombas de la serie Turbo-V 81-T no requieren mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Page 59: Eliminación
éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 59/228...
Page 60 Manual de istrucciones Eliminación 60/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 61: Manual De Istruções
Turbo-V 81-T User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 62 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 61/228...
Page 62: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 62/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 63: Informações Gerais
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (80000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O Turbo-V 81-T é totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Page 64 As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais. As notas contêm informações importantes destacadas do texto. NOTA 64/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 65: Armazenagem
é de 10 meses a contar da data da expedição. Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 65/228...
Page 66: Preparação Para A Instalação
à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. Figura 1 O Turbo-V 81-T não pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto à NOTA atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
Page 67: Instalação
Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". As bombas turbomoleculares da série Turbo-V 81-T devem ser utilizadas somente com um dos adequados controller Agilent e devem ser ligadas numa bomba primária (ver o esquema em "Technical Information").
Page 68 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 O Turbo-V 81-T pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o Turbo-V 81-T em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 250 Nm ao redor do próprio eixo.
Page 69: Utilização
"Technical Information”). ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 69/228...
Page 70: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção As bombas da série Turbo-V 81-T não necessitam de qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Page 71: Eliminação
Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna verificação dos termos e condições do contrato de venda. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 71/228...
Page 72 Manual de Istruções Eliminação 72/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 73: Bedrijfshandleiding
Turbo-V 81-T User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag Uitpakken Installatie Gebruik Onderhoud Afvalverwerking 84 Vertaling van de originele instructies 73/228...
Page 74: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 74/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 75: Algemene Informatie
De pompen van de serie Turbo-V 81-T zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen die elk soort gas en niet- corrosieve gasvormige verbindingen kunnen pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
Page 76 Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 76/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 77: Opslag
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 77/228...
Page 78: Uitpakken
Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 81-T niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399.
Page 79: Installatie
+5 °C tot +35 °C (zie grafiek in de bijlage “Technical Information”) relatieve vochtigheid: 0 – 95 % (niet condenserend). In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 79/228...
Page 80 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 De Turbo-V 81-T kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de Turbo-V 81-T in een stabiele positie en verbind de in¬laatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 250 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
Page 81 Bedrijfshandleiding Installatie De Turbo-V 81-T kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. OPMERKING De Turbo-V 81-T behoort tot de tweede installatiecategorie (of VOORZICHTIG! overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet.
Page 82: Gebruik
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van giftige, brandbare of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. 82/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 83: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De pompen van de serie Turbo-V 81-T zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Page 84: Afvalverwerking
84/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 85: Istruktionsbog
Turbo-V 81-T User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Anvendelse Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 85/228...
Page 86: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det ADVARSEL! strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 86/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 87: Generel Information
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (80000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. Turbo-V 81-T er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med anvendelse af...
Page 88 Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 88/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 89: Opbevaring
De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra forsendelsesdatoen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 89/228...
Page 90: Forberedelser Før Installation
Turbo-V 81-T leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 81-T ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100 % og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
Page 91: Installation
Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. De turbomolekylære pumper i serien Turbo-V 81-T må kun benyttes med en af de specielle Agilent controller og de skal tilsluttes med en primær pumpe (se skemaet under "Technical Information").
Page 92 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Turbo-V 81-T kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør Turbo-V 81-T i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 250 Nm omkring akselen.
Page 93: Anvendelse
ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”) ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 93/228...
Page 94: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Pumperne i serien Turbo-V 81-T kræver ikke nogen form for vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 95: Bortskaffelse
Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 95/228...
Page 96 Istruktionsbog Bortskaffelse 96/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 97: Bruksanvisning
Turbo-V 81-T User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 98 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Användning Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 97/228...
Page 98: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 98/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 99: Allmän Information
Pumparna av serie Turbo-V 81-T är molekylära turbopumpar för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. Systemet kan pumpa alla typer av gaser och ej frätande gasblandningar, men kan dock inte användas för att pumpa vätskor eller fasta partiklar.
Page 100: Förvaring
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka till OBSERVER! fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent -återförsäljaren för ytterligare information. 100/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 101: Förberedelser För Installation
OBSERVER! pga. kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. Figur 1 Normal påverkan från omgivningen kan inte skada Turbo-V 81-T. Trots det är det OBSERVERA säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den.
Page 102: Installation
I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical Information“ för ytterligare upplysningar. De molekylära pumparna av typen Turbo-V 81-T bör endast användas med en av de speciella Agilent systemen och måste anslutas till en huvudpump (se schemat "Technical Information").
Page 103 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Turbo-V 81-T kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 250 Nm kring sin axel. Flänsen ISO 63 kan till exempel fixeras med höghållfasta stålbyglar (modell...
Page 104: Användning
Helium) för att skydda lagren (se bilagan “Technical Information”). VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. 104/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 105: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 81-T pumparna kräver inget som helst underhåll. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat...
Page 106: Bortskaffning
återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. 106/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 107: Instruksjon Manual
Turbo-V 81-T User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 109 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 107/228...
Page 108: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må ADVARSEL! installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 108/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 109: Generell Informasjon
Turbo-V 81-T er en turbomolekylær pumpe for høye- og ultrahøye vakuumanlegg som kan pumpe alle typer gasser eller gassblandinger. Den egner seg ikke for pumping av væsker eller faste partikler.
Page 110: Lagring
Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger, må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent -forhandleren for informasjon. 110/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 111: Klargjøre Til Installasjon
Når Turbo-V 81-T pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte.
Page 112: Installasjon
0 – 95 % (uten kondens) Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. Turbo-V 81-T pumpen skal kun brukes sammen med en av de egnede Agilent-styreenhetene og den må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information").
Page 113 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Turbo-V 81-T kan monteres i en valgfri stilling. Fest Turbo-V 81-T i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 250 Nm rundt aksen. For eksempel ISO 63 flensen kan festes ved å...
Page 114: Bruk
(Nitrogen eller lettere gasser) koples for å beskytte lagrene (se “Technical Information). ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. 114/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 115: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold Turbo-V 81-T pumpeseriene er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 116: Eliminering
Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. 116/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 117: Ohjekäsikirja
Turbo-V 81-T User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 118 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö Huolto Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 117/228...
Page 118: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 118/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 119: Yleisiä Tietoja
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (80000 kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. Turbo-V 81-T -järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana.
Page 120: Varastointi
Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft- start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. 120/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 121: Valmistelut Asennusta Varten
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Kuva 1 Turbo-V 81-T ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen.
Page 122: Asennus
Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. Sarjan Turbo-V 81-T turbomolekyylipumppuja saa käyttää ainoastaan yhdessä tarkoitusta varten olevien Agilent valvojien kanssa ja ne on kytkettävä pääpumppuun (ks. "Technical Information" liitteen kaaviota). 122/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 123 PCB 24 V: 969-9538 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 Turbo-V 81-T voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää Turbo-V 81-T vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 250 Nm:n momentin akselinsa ympäri. Esimerkiksi laippa ISO 63 voidaan kiinnittää...
Page 124: Käyttö
(typpi tai Helium) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information” -liite). VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. 124/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 125: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto Sarjan Turbo-V 81-T pumput eivät vaadi mitään huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Page 126: Hävittäminen
EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. 126/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 127: Felhasználói Kézikönyv
Turbo-V 81-T User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Tárolás Előkészítés telepítésre 131 Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 137 Az eredeti utasítás fordítása 127/228...
Page 128: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 128/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 129: Általános Informáicó
A szivattyúzási műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral hajtott nagysebességű turbina (max. 80000 fordulat/perc) biztosítja. A Turbo-V 81-T szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta” vákuumot igénylő alkalmazásokra. A következő bekezdések a berendezést használó kezelő biztonságának garantálásához szükséges összes információt tartalmazzák. Részletes információt talál a „Technical Information”...
Page 130: Tárolás
Egy turbomolekuláris szivattyú raktározási ideje 10 hónap a szállítás dátumától számítva. Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a FIGYELEM! gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. 130/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 131: Előkészítés Telepítésre
Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. Ábra 1 A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a Turbo-V 81-Tt. Mégis MEGJEGYZÉS ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 131/228...
Page 132: Telepítés
+5 °C-tól +35 °C-ig (lásd a nyomás-hőmérséklet diagramot a „Technical Information” függelékben) relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló) Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Technical Information”. 132/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 133 Felhasználói Kézikönyv A Turbo-V 81-T széria turbómolekuláris szivattyúit kizárólag a megfelelő Agilent vezérlő egységek egyikével szabad használni, és a szivattyúkat előzőleg egy elsődleges szivattyúra kell kötni (lásd a “Technical Informationk” (Technical Information) részben megadott rajzot). Az alkalmazható vezérlő egységek a következők:...
Page 134 Felhasználói Kézikönyv Telepítés A Turbo-V 81-T nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS A Turbo-V 81-T a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik az FIGYELEM! EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Technical Information”.
Page 135: Használat
áramlását védelmet viselő szivattyú számára (lásd „Technical Information” függelék). VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 135/228...
Page 136: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Turbo-V 81-T típusú szivattyúk nem igényelnek karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Page 137: Megsemmisítés
A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 137/228...
Page 138 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 138/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 139: Podrecznik Instrukcji
Podrecznik Instrukcji Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje Magazynowanie Przygotowanie do instalacji 143 Instalacja Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 139/228...
Page 140: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 140/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 141: Ogólne Informacje
Pompy z serii Turbo-V 81-T to pompy turbomolekularne przeznaczone są do wywoływania wysokiej i ultra wysokiej próżni, są wstanie pompować jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej nie korozyjnej.
Page 142: Magazynowanie
10 miesięcy od daty wysyłki. Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy odesłać UWAGA! pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. 142/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 143: Przygotowanie Do Instalacji
Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Posta 1 Turbo-V 81-T, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na działanie PRZYPIS atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
Page 144: Instalacja
“Technical Information”) względna wilgoć 0 – 95 % (bez opar). W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information”. 144/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 145 Podrecznik Instrukcji Pomp turbomolekularnych z serii Turbo-V 81-T należy używać wyłącznie wraz ze specjalnym kontrolerem Agilent i muszą być one podłączone do pompy głównej (zobacz schemat w "Technical Information "). Kontrolery będące w dyspozycji są następujące: Rack controller 81-AG: 969-8988...
Page 146 Podrecznik Instrukcji Instalacja Turbo-V 81-T nie może być mocowany poprzez własną podstawę. PRZYPIS Turbo-V 81-T należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) przewidzianej UWAGA! przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z “Technical Information”.
Page 147: Użytkowanie
(Azot i Hel) dla zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek “Technical Information”). ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 147/228...
Page 148: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Pompy z serii Turbo-V 81-T nie wymagają żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
Page 149: Przetworstwo Odpadow
. Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 149/228...
Page 150 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 150/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 151: Návod K Použití
Turbo-V 81-T User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 152 Všeobecné informace 153 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 151/228...
Page 152: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 152/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 153: Všeobecné Informace
Nehodí se pro čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 80000 ot/min.) poháněná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem. Vývěva Turbo-V 81-T neobsahuje žádné kontaminující látky a proto se hodí pro aplikace vyžadující "čisté" vakuum. Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění...
Page 154: Uskladnění
10 měsíců ode dne doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. 154/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 155: Příprava K Instalaci
Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. Postava 1 V normálním prostředí se vývěva Turbo-V 81-T nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
Page 156: Instalace
Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Turbomolekulární čerpadlo řady Turbo-V 81-T lze používat jen ve spojení s některým ze speciálních controllerů Agilent a musí být připojeno k primárnímu čerpadlu (viz schéma v bodu Technical Information). 156/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 157 Agilent. Viz podrobný popis v příloze “Technical Information”. Vývěvu Turbo-V 81-T nelze připevnit pomocí její podstavy. POZNÁMKA Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva Turbo-V 81-T do druhé elektroinstalační POZOR! (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu.
Page 158: Použití
(Dusîk nebo helium) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu “Technical Information”). NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. 158/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 159: Údržba
Návod k Použití Údržba Čerpadla řady Turbo-V 81-T nevyžadují žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 160: Likvidace
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. 160/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 161: Návod Na Obsluhu
Návod na Obsluhu Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 162 Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 161/228...
Page 162: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení rotora, sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované, aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy! 162/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 163: Všeobecné Informácie
úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. Čerpadlá série Turbo-V 81-T sú turbomolekulárnymi čerpadlami na vytvorenie vysokého a ultravysokého vákua, ktoré sú schopné odčerpať ľubovoľný nekorozívny druh plynu alebo plynnej zmesi. Nie sú...
Page 164: Uchovávanie
10 mesiacov odo dňa dodania Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. 164/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 165: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Zariadenie Turbo-V 81-T sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Page 166: Inštalácia
+5 °C do +35 °C (pozri závislosť tlaku od teploty v dodatku “Technical Information”) relatívna vlhkosť: 0 – 95 % (bez kondenzácie) V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. 166/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 167 Návod na Obsluhu Turbomolekulárne čerpadlá série Turbo-V 81-T sa môžu používať len s niektorým z príslušných kontrolných zariadení Agilent a musia byť zapojené na primárne čerpadlo (viď schému v materiále “Technical Information”). K dispozícii sú nasledujúce kontrolné zariadenia: Rack controller 81-AG: 969-8988...
Page 168 Návod na Obsluhu Inštalácia Zariadenie Turbo-V 81-T sa nemôže upevniť pomocou vlastnej základne. POZNÁMKA Zariadenie Turbo-V 81-T patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie podľa POZOR! smernice EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje uvedenej kategórii. O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technical Information”.
Page 169: Použitie
(Dusîk a hélium) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok “Technical Information”). NEBEZPEČÍ! Ak vývevu používate na odčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 169/228...
Page 170: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Čerpadlá série Turbo-V 81-T nevyžadujú žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 171: Likvidácia
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 171/228...
Page 172 Návod na Obsluhu Likvidácia 172/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 173: Priročnik Za Navodila
Turbo-V 81-T User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 173/228...
Page 174: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 174/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 175: Splošne Informacije
Črpalke iz serije Turbo-V 81-T so turbomolekularne črpalke za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo. Sistem lahko črpa vse tipe plinov ali nekorozivnih plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev.
Page 176: Shranjevanje
Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti POZOR! v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. 176/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 177: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Turbo-V 81-T je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
Page 178: Montaža
V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". Turbomolekularne črpalke iz serije Turbo-V 81-T se lahko uporabljajo samo s primernimi krmilniki Agilent in morajo biti priključene na primarno črpalko (glej sliko v sekciji “Technical Information”).
Page 179 "Technical Information". Naprave Turbo-V 81-T ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo ploskvijo. OPOMBA Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 81-T v skupino za drugo nameščanje (ali POZOR! prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.
Page 180: Uporaba
(Dušik ali Helij) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Technical Information”). SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. 180/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 181: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Črpalke iz serije Turbo-V 81-T ne potrebujejo nikakršnega vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 182 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 182/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 183: Instructions For Use
Turbo-V 81-T User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Storage Preparation for Installation 187 Installation Maintenance Disposal Original Instructions 183/228...
Page 184: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 184/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 185: General Information
The Turbo-V 81-T is a turbo-molecular pump for high and ultra-high vacuum applications which can pump any type of non-corrosive gas or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid particles.
Page 186: Storage
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. 186/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 187: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for Installation The Turbo-V 81-T is supplied in a special protective pack-ing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Page 188: Installation
In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The Turbo-V 81-T pumps must be used in conjunction with one of the suitable Agilent controller and they must be connected to a primary pump (see "Technical Information").
Page 189 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996 The Turbo-V 81-T can be installed in any position. Fix the Turbo-V 81-T in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 250 Nm around its axis.
Page 190: Use
Helium) for pump bearing protection (see the appendix "Technical Information"). WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. 190/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 191: Maintenance
Instructions for Use Maintenance The Turbo-V 81-T series pumps does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...
Page 192: Disposal
The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. 192/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 193: Technical Information
Turbo-V 81-T User Manual Technical Information Description of the Turbo-V 81-T Pump Description Technical Specification Turbo-V 81-T Outline Inlet Screen Installation Heater Band Installation Air Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Installation Vent Accessories Vibration Isolator Installation Typical Layout Diagram...
Page 194: Description Of The Turbo-V 81-T
Technical Information Description of the Turbo-V 81-T Description of the Turbo-V 81-T The Turbo-V 81-T pump is available in four versions. The difference among the four versions lies purely in the high vacuum connection. The four versions are: Model 969-8905 with ISO 63 high vacuum flange;...
Page 195 Technical Information Figure 4 Model 969-8906 Figure 5 Model 969-8907 Figure 6 Model 969-8908 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 195/228...
Page 196 The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 16 NW flange. 196/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 197 Technical Information PUMP CONTROLLER CONNECTOR FOREPUMP CONNECTOR Figure 7 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 197/228...
Page 198: Technical Specification
120 °C at inlet flange max. (CF flange) 80 °C at inlet flange max. (ISO flange) Vibration level (displacement) < 0.01 μm at inlet flange Noise level ≤ 45 dB (A) at 1 meter 198/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 199 Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump) When the Turbo-V 81-T has been stored at a temperature less than 5 °C, wait NOTE until the system has reached the above mentioned temperature.
Page 200: Turbo-V 81-T Outline
Technical Information Turbo-V 81-T Outline Turbo-V 81-T Outline The following figure shows the Turbo-V 81-T outlines (dimensions are in inches [mm]). Figure 8 Turbo-V 81-T outline 200/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 201 Technical Information Figure 9 Graph of pumping speed vs inlet pressure with a 8 m mechanical pump Figure 10 Graph of compression ratio vs foreline pressure Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 201/228...
Page 202 Technical Information Turbo-V 81-T Outline Figure 11 Graph of Nitrogen throughput against inlet pressure using a DS102 as forevacuum pump 202/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 203: Inlet Screen Installation
0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 203/228...
Page 204 Technical Information Inlet Screen Installation Figure 14 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 15 204/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 205 Technical Information The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange (dimensions are in inches [mm]). Figure 16 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 205/228...
Page 206: Heater Band Installation
80 °C. The heater band must be mounted such that there is perfect thermal contact with the pump wall to obtain fast and efficient heating. Figure 18 206/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 207 If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should CAUTION! be installed to pre-vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump. The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120 °C. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 207/228...
Page 208: Air Cooling Kit Installation
2.60 W The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump and in different positions. To fix the fan to the Turbo-V 81-T case execute the following procedure (see the following figure): Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws;...
Page 209 Technical Information Figure 20 Figure 21 Figure 22 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 209/228...
Page 210: Water Cooling Kit Installation
The two model part numbers are: 969-9823 (metallic model), and 969-9824 (plastic model). Figure 23 The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure Figure 24 210/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 211 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. The water kit is assembled as shown in the figure. Figure 25 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 211/228...
Page 212 2 and 4 bar. The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is suggested. 212/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 213: Vent Accessories
To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). Figure 27 Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 213/228...
Page 214: Vibration Isolator Installation
969-9375 for ISO 63 flange; model 969-9376 for CFF 4.5” flange. They typically reduce the vibration transmitted from the Turbo-V 81-T to the system by a factor of 20. Please refer to the relevant instruction manual. 214/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 215: Typical Layout Diagram
Vacuum chamber Ionization gauge Fore-vacuum pump connecting flange Oil mist eliminator Fore-vacuum pump with internal one-way valve 10 Fore-vacuum pump control relay 11 Connection for water cooling 12 Roughing line with valve (optional) Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 215/228...
Page 216: With Standard Rack Controller
Vacuum pump shut-off valve (optional) System vent valve (optional) Vacuum chamber Ionization gauge Fore-vacuum pump connecting flange Oil mist eliminator Fore-vacuum pump with internal one-way valve 10 Fore-vacuum pump control relay 11 Connection for water cooling 216/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 217: Connection A - High Vacuum Flange
13 Turbopump 14 Flexible connection Connection A - High Vacuum Flange To connect the Turbo-V 81-T pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Figure 31 Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure.
Page 218: Connection Configurations
Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope as this may cause the pump rotor to lock. Connection Configurations Figure 33 218/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 219: Connection B - Fore-Vacuum Pump
Technical Information Connection B - Fore-Vacuum Pump A flange KF 16 NW is available to connect the Turbo-V 81-T pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Page 220: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Agilent's special-ist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. 220/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 221: Accessories And Spare Parts
PCB 24 V 969-9538 Turbo-V 81-AG Navigator Controller 24 Vdc 969-8995 Turbo-V 81-AG Navigator Controller 100-240 Vac 969-8996 For a complete overview of Agilent's extensive product lines, please refer to the Agilent catalog. Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 221/228...
Page 222: Vent Valve Model Selection Table
N.O. 969-9844 (cable 0.7 m) (any version) Turbo-V 81-AG Rack Controller N.O. 969-9844 (cable 0.7 m) (any version) Controller TV70 Navigator (P/N 969-8970, 969-8971) 969-9834 Turbo-V 70 Rack controller (P/N 969-9405, 969-9505) 969-9843 222/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01...
Page 228 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Ce manuel est également adapté pour:

969-8905 969-8906 969-8907 969-8908

Agilent Technologies Turbo-V 81-T Mode D'emploi

Les langues disponibles

Liens rapides

Chapitres

Manuels Connexes pour Agilent Technologies Turbo-V 81-T

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies Turbo-V 81-T