Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping Systemin Käyttö - Agilent Technologies Turbo-V 750 TwisTorr Mode D'emploi

Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin Käyttö
Tässä kappaleessa esitetään tärkeimmät käyttömenetelmät. Ennen
järjestelmän käyttöä, suorittakaa kaikki sähkö- ja paineilmaliitännät.
Vakuumikammion mahdollisen kuumenemisen aikana,
sisäänmenossa olevan laipan lämpötila ei saa ylittää 80 °C.
Käyttäjän tulee varmistaa oikea jäähdytystapa (WIN 106): 1
vesijäähdytystä, 0 pakoteltua ilmajäähdytystä varten (oletustapa),
asettamalla WIN 106 sarjaohjaus. Lisätietoja varten ks. liite
"Technical Information". Käyttäjän on varmistettava oikea
toimintatapa pumpattavan kaasun perusteella (WIN 157): 1 N
kevyempiä kaasuja varten, 0 Argon-kaasua varten (oletustapa),
asettamalla WIN 157 sarjaohjaus. Lisätietoja varten ks. liite
"Technical Information".
VAROITUS! Älkää koskaan antako pumpun toimia jos sisäänmenossa olevaa laippaa ei
ole kiinnitetty vakuumikammioon ja suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko
turbopumppuun ja siihen liittyviin lisävarusteisiin lämmitystoimenpiteiden
aikana. Korkea lämpötila voi aiheuttaa henkilövahinkoja.
Välttäkää pumpun kolhimista, kallistamista tai äkillisiä siirtoja sen toiminnan
HUOMIO!
aikana. Laakerit voivat vahingoittua. Käyttäkää pumpun paineensyötössä ilmaa
tai jalokaasua, joka ei sisällä pölyä tai hiukkasia. Sisäänmenossa olevan
tarkoituksenmukaisen portin läpi kulkevan paineen tulee olla alle 2 baria
(ilmanpaineen lisäksi). Hiukkasia tai laakereille aggressiivisia saasteita
sisältävien kaasujen pumppaamista varten pumput on varustettu
tarkoituksenmukaisella portilla (tai erityisellä integroidulla purge/vent -
lisävarusteella) jonka kautta pumpulle on toimitettava jalokaasuvirtaus (typpi,
helium tai argon) pumpun laakereiden suojaamista varten (ks. liite "Technical
Information").
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01
Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin Käyttö
(A)
10
Ohjekäsikirja
, ja
2
189/406