Použití Vývěvy Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System243; Použití Vývěvy Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System - Agilent Technologies Turbo-V 750 TwisTorr Mode D'emploi

Table des Matières

Publicité

Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping
System
V tomto odstavci jsou uvedeny základní provozní postupy.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická
připojení.
Během případného ohřevu vakuové komory nesmí být teplota na
vstupní přírubě vyšší než 80°C.
Obsluha se musí ujistit o přípravě správného způsobu chlazení (WIN
106): 1 pro chlazení vodou, 0 pro chlazení nuceným oběhem vzduchu
(přednastavený režim), nastavením sériového ovládacího příkazu
WIN 106. Podrobnější informace najdete v příloze „Technical
Information".
Obsluha se musí ujistit o přípravě správného způsobu činnosti s
ohledem na čerpaný plyn (WIN 157): 1 pro N
argon (přednastavený režim), nastavením sériového ovládacího
příkazu WIN 157. Podrobnější informace najdete v příloze „Technical
Information".
NEBEZPEČÍ!
Nenechávejte vývěvu v činnosti, když vstupní příruba není připojena k
vakuové komoře nebo když není uzavřena uzavírací přírubou. Nedotýkejte se
turbovývěvy a jejího příslušenství během operací ohřevu. Vysoká teplota by
mohla způsobit zranění osob.
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01
Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System
Návod k Použití
a lehčí plyny, 0 pro
2
(A)
13
243/406

Publicité

Table des Matières
loading

Table des Matières