Page 1 Turbo-V 2K-G Pumping System Models 9698871 9698873 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning...
Page 2: Safety Notices
Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 3 Turbo-V 2K-G Turbo-V 2K-G Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 3/360...
Page 4 Turbo-V 2K-G 4/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 5: Table Des Matières
Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione Uso 23 Manutenzione 28 Smaltimento Gebrauchsanleitung 31 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 36 Installation 38 Gebrauch Wartung Entsorgung 47 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 5/360...
Page 6 Información general 69 Almacenamiento Preparación para la instalación 72 Instalación 74 Uso 77 Mantenimiento 82 Eliminación 83 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 86 Informações gerais 87 Armazenagem 89 6/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 7 Algemene informatie Opslag Uitpakken 108 Installatie Gebruik Onderhoud 118 Afvalverwerking 119 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information 123 Opbevaring 125 Forberedelse før installation 126 Installation 128 Anvendelse 131 Vedligeholdelse 136 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 7/360...
Page 8 Användning 149 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 157 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 159 Lagring Klargjøre til installasjon 162 Installasjon 164 Bruk Vedlikehold 171 Eliminering 172 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja 8/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 9 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 192 Általános információk Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 207 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 210 Informacje ogolne Magazynowanie 213 Przygotowanie do instalacji 214 Instalacja Użytkowanie Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 9/360...
Page 10 Údržba Likvidace Návod na Obsluhu 245 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 264 10/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 11 Preparation for Installation 286 Installation 288 Use 291 Maintenance Disposal Technical Information 299 Description of the Turbo-V 2K-G 301 Technical Specification 306 Turbo-V 2K-G Outline Interconnections Serial Cable Installation 319 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 11/360...
Page 12 Inlet Screen Installation 346 Water Cooling Connection Pump Purging and Venting 349 High Vacuum Flange Connection 351 Fore-Vacuum Pump Connection 352 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Orderable Parts 353 12/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 13: Istruzioni Per L'uso
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Uso della Turbo-V 2K-G 24 Come avviare il sistema 24 Come arrestare la Turbo-V 2K-G 27...
Page 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
AVVERTENZA! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 14/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 15: Informazioni Generali
La Turbo-V 2K-G è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare molti tipi di gas o di composto gassoso, ma non è...
Page 16 I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 16/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 17: Immagazzinamento
10 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 17/360...
Page 18: Preparazione Per L'installazione
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 2K-G e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Rimuovere la protezione dei connettori solo dopo che la turbopompa è...
Page 19 15 vie “REMOTE I/O” IP-54 con integrate le connessioni necessarie a far partire la pompa controconnettore a 9 vie “SERIAL” IP-54 da utilizzare per la connessione seriale staffetta per la ritenzione del cavo di alimentazione (montata). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 19/360...
Page 20: Installazione
(AWG18). Non rimuovere la copertura imbullonata prima del collegamento della ATTENZIONE! turbopompa al sistema. Rimuovere la protezione dei connettori solo dopo che la turbopompa è stata ATTENZIONE! fissata al sistema. 20/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 21 (vedere schema in "Technical Information"). La Turbo-V 2K-G può essere installata in qualsiasi posizione. Fissare la Turbo-V 2K-G in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 10600 Nm attorno al proprio asse.
Page 22 ISO 250 F Bullone con filettatura M10 22 Nm La Turbo-V 2K-G non può essere fissata tramite la sua base. Il sistema può essere NOTA fissato solo tramite la sua flangia ISO 250F. Il fissaggio deve realizzato in conformità alla norma ISO 1609. Devono essere usati bulloni in acciaio con una classe di resistenza di almeno 8,8”.
Page 23: Uso
(Azoto o Elio) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). Non usare mai la pompa in presenza di gas o vapori corrosivi che possano ATTENZIONE! danneggiare i materiali interni alla pompa. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 23/360...
Page 24: Uso Della Turbo-V 2K-G
(se presente) il controconnettore I/O collegare l'alimentazione di rete portare la pressione all0'interno della camera a vuoto a 0,1 mbar fornire alla Turbo-V 2K-G il segnale di START in uno dei seguenti modi: collegare il controconnettore I/O in dotazione dare il segnale di START da remoto tramite il connettore I/O (vedere il paragrafo "J1 –...
Page 25 La separazione del controller dal corpo pompa può solo essere effettuata da personale autorizzato dalla Agilent Vacuum Technologies. Quando si avvia la Turbo-V 2K-G per la prima volta, il controller NOTA automaticamente avvia il sistema con una procedura speciale che protegge i cuscinetti da possibili danni (SOFT START).
Page 26 Istruzioni per l’uso Il sistema è fornito di un LED verde pilotato da un segnale di stato. Il LED verde posto sul pannello frontale della Turbo-V 2K-G indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;...
Page 27: Come Arrestare La Turbo-V 2K-G
è stata integrata via I/Os, Seriale o Profibus. Inoltre, questa operazione non può garantire l'arresto immediato del rotore la cui velocità di rotazione diminuirà in funzione del grado di vuoto presente nel sistema. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 27/360...
Page 28: Manutenzione
"Request for Return" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della spedizione. Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. 28/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 29: Smaltimento
Per maggiori informazioni riferirsi a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 29/360...
Page 30 Istruzioni per l’uso Smaltimento 30/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 31: Gebrauchsanleitung
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen 33 Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Benutzung der Turbo-V 2K-G42 Ingangsetzung des Systems 42 Stillsetzung der Turbo-V 2K-G Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 31/360...
Page 32: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. WARNUNG! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 32/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 33: Allgemeine Informationen
Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Modell Turbo-V 2K-G ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System kann viele Arten von Gas oder gasförmigen Gemischen pumpen, ist jedoch nicht für das Pumpen von Flüssigkeiten oder...
Page 34 Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text HINWEIS hervorgehoben werden. 34/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 35: Lagerung
Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 35/360...
Page 36: Vor Der Installation
VORSICHT! Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Die Turbo-V 2K-G kann durch ledigliche Einwirkung von atmo-sphärischen HINWEIS Bedingungen nicht beschädigt werden. Es wird indes empfohlen, die Pumpe bis zur Installation am System geschlossen und versiegelt zu halten.
Page 37 Beutel mit Zubehör Gegenkonnektor mit 15 PINs “REMOTE I/O” IP-54 mit integrierten Anschlüssen für den Pumpenanlauf Gegenkonnektor mit 9 PINs “SERIAL” IP-54 für den seriellen Anschluss Halteschelle für das Stromversorgungskabel (montiert). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 37/360...
Page 38: Installation
(AWG18). Die angeschraubte Abdeckung darf erst nach Anschluss der Turbopumpe an das VORSICHT! System entfernt werden. Den Schutz der Steckverbinder erst entfernen, wenn die Turbopumpe am System VORSICHT! befestigt ist. 38/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 39 Schema in "Technical Information"). Modell Turbo-V 2K-G kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell Turbo-V 2K-G ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 10600 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Page 40 ISO 250 F Mutterschraube mit Gewinde M10 22 Nm Die Turbo-V 2K-G kann nicht über ihren Sockel befestigt werden. Zur HINWEIS Befestigung des Systems ist der Flansch ISO 250F zu verwenden. Die Befestigung muss nach ISO 1609 ausgeführt sein. Es sind Mutterschrauben aus Stahl mit einer Festigkeitsklasse von mindestens 8.8”...
Page 41: Gebrauch
Gasen mit Partikeln oder aggressiven Schadstoffe für die Lager, sind die Pumpen mit einer Öff-nungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Helium) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Information"). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 41/360...
Page 42: Benutzung Der Turbo-V 2K-G42
E/A-Gegenkonnektor entfernen (sofern vorhanden) Gerät an das Netz anschließen Druck in der Vakuumkammer auf 0,1 mbar bringen. Für die Erteilung des Signals START an die Turbo-V 2K-G gibt es die folgenden Möglichkeiten: Mitgelieferten E/A-Gegenkonnektor anschließen. Das Signal START von der Fernsteuerung über den E/A- Konnektor geben (siehe Abschnitt "J1 –...
Page 43 Controller enthalten. Die Trennung des Controllers vom Pumpenkorpus darf nur von Personen ausgeführt werden, die von Agilent Vacuum Technologies autorisiert sind. Bei Erstingangsetzung der Turbo-V 2K-G startet der Controller das System mit HINWEIS einer Spezialprozedur, um die Kugellager vor etwaigen Schäden zu schützen (SOFT START).
Page 44 Das System wird mit einer grünen LED geliefert, die von einem Statussignal angesteuert wird. Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell Turbo-V 2K-G gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an: Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.
Page 45: Stillsetzung Der Turbo-V 2K-G
Kommunikationsfähigkeit mit dem System deaktiviert, in dem die Pumpe über I/O´s, serielle Anschlüsse oder Profibus integriert ist. Außerdem kann dieser Vorgang nicht den sofortigen Stopp des Rotors garantieren, dessen Drehgeschwindigkeit aufgrund der Vakuumgröße im System verringert wird. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 45/360...
Page 46: Wartung
örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen. Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen. 46/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 47: Entsorgung
Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Für weitere Informationen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 47/360...
Page 48 Gebrauchsanleitung Entsorgung 48/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 49: Mode D'emploi
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications generales 51 Stockage Preparation pour l‘installation 54 Installation Utilisation Utilisation de la pompe Turbo-V 2K-G60 60 Mise en marche du système 60 Arrêt du système 63 Arrêt d’urgence...
Page 50: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 50/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 51: Indications Generales
Le Turbo-V 2K-G est un système intégré, constitué d'une pompe turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé et ultrapoussé et doté d'un contrôleur Le système est en mesure de pomper de nombreux types de gaz ou de composés gazeux, mais il...
Page 52: Cette Notice Utilise Les Signes Conventionnels Suivants
Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage. Les notes contiennent des renseignements importants, isolés du texte. NOTE 52/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 53: Stockage
à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée ATTENTION! en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 53/360...
Page 54: Preparation Pour L'installation
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le Turbo-V 2K-G et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Enlever la protection des connecteurs seulement après avoir fixée la turbopompe au système.
Page 55 Connecteur à 15 voies “REMOTE I/O” IP-54 avec toutes les connexions nécessaires à la mise en marche de la pompe. Connecteur à 9 voies “SERIAL” IP-54 à utiliser pour la connexion sérielle. Bride de retenue du câble d’alimentation (montée). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 55/360...
Page 56: Installation
Ne jamais retirer la protection boulonnée avant le branchement de la turbo ATTENTION! pompe au système. Enlever la protection des connecteurs seulement après avoir fixée la turbopompe ATTENTION! au système. 56/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 57 En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le Turbo-V 2K-G doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information"). Le Turbo-V 2K-G peut être installée dans n'importe quelle position.
Page 58 EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie. Utiliser les connecteurs fournis pour garantir le niveau de protection IP-54. Le Turbo-V 2K-G dispose de connecteurs pour les en-trées/sorties et pour la communication en série qui doivent être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie...
Page 59: Utilisation
à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (Azote ou Hélium) pour protéger les paliers (voir l'appendice "Technical Information"). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 59/360...
Page 60: Mise En Marche Du Système
Retirer (si monté) le connecteur E/S. Connecter au réseau. Porter la pression à l’intérieur de la chambre à vide à 0,1 mbar. Donner à la pompe Turbo-V 2K-G le signal de START de l’une des façons suivantes : 60/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 61 La séparation du contrôleur du corps de la pompe peut être effectuée uniquement par le personnel autorisé par la société Agilent Vacuum Technologies. Lors de la première mise en marche de la pompe Turbo-V 2K-G le contrôleur NOTE lance automatiquement le système en exécu-tant une procédure spéciale qui protège les paliers contre tout risque d’endommagement (SOFT START).
Page 62 CE. Le système est muni d’un LED vert piloté par un signal d’état. La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du Turbo-V 2K-G indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système:...
Page 63: Arrêt Du Système
232/485 (Cf. paragraphe "RS 232/485 Communication Description" dans l’appendice "Technical Information"). Arrêt d’urgence Pour arrêter le Turbo-V 2K-G en conditions d'urgence, il faut débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur. Il faut cependant rappeler que cette opération déshabilite non seulement l'alimentation de la pompe mais aussi toutes les autres fonctions du contrôleur...
Page 64: Entretien
être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition. En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales concernant la gestion des déchets. 64/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 65: Mise Au Rebut
œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 65/360...
Page 66 Mode d’emploi Mise au rebut 66/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 67: Manual De Istrucciones
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 68 Información general Almacenamiento 71 Preparación para la instalación 72 Instalación Uso de Turbo-V 2K-G Cómo poner en funcionamiento el sistema Cómo detener la Turbo-V 2K-G...
Page 68: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 68/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 69: Información General
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (33000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El Turbo-V 2K-G no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’...
Page 70 Los mensajes de atención se visualizan antes de procedimientos que, al no ¡ATENCIÓN! respetarse, podrían provocar daños al equipo. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 70/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 71: Almacenamiento
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 71/360...
Page 72: Preparación Para La Instalación
Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada. La Turbo-V 2K-G no puede sufrir daños sólo por quedar expuesta a la acción de NOTA la atmósfera. No obstante, se aconseja mantener la bomba cerrada y sellada hasta el momento de instalarla en el sistema a fin de prevenir la contaminación...
Page 73 9 vías “SERIAL” IP-54 a utilizar para efectuar la conexión serie abrazadera para retener el cable de alimentación (montada). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 73/360...
Page 74: Instalación
No retirar la cubierta empernada antes de haber conectado la bomba de turbina ¡ATENCIÓN! al sistema. Quitar la protección de los conectores solamente después de haber fijado al ¡ATENCIÓN! sistema la turbobomba. 74/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 75 Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El Turbo-V 2K-G ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). El Turbo-V 2K-G puede instalarse en cualquier posición. Fijar el Turbo-V 2K-G en posición estable conectando la brida de entrada de...
Page 76 ISO 250 F Perno con rosca M10 22 Nm La Turbo-V 2K-G no puede ser fijada por medio de su base. En efecto, el sistema NOTA puede fijarse únicamente mediante su brida ISO 250F. La fijación debe realizarse de conformidad con lo establecido por la norma ISO 1609. Deben utilizarse pernos de acero cuya clase de resistencia sea de al menos 8.8”.
Page 77: Uso
(Nitrógeno o Helio) para proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical Information”). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 77/360...
Page 78: Uso De Turbo-V 2K-G
0,1 mbar la presión en el interior de la cámara de vacío; dar la señal de START a la Turbo-V 2K-G mediante una de las siguientes formas: conectar el ensamble conector I/O suministrado adjunto;...
Page 79 La separación del controlador respecto del cuerpo de la bomba puede ser efectuada únicamente por personal autorizado por Agilent Vacuum Technologies. Al activar la Turbo-V 2K-G por primera vez, el controlador activa NOTA automáticamente el sistema mediante un procedimiento especial que protege los cojinetes contra posibles daños (SOFT START).
Page 80 Manual de istrucciones Al activar la Turbo-V 2K-G por primera vez, el controlador activa NOTA automáticamente el sistema mediante un procedimiento especial que protege los cojinetes contra posibles daños (SOFT START). El sistema se activa paso a paso hasta alcanzar la plena velocidad, en un lapso comprendido entre 10 minutos y 1 hora.
Page 81: Cómo Detener La Turbo-V 2K-G
RS 232/485 (véase el apartado "RS 232/485 Communication Description" en el apéndice "Technical Information"). Parada de Emergencia Para detener en condiciones de emergencia el Turbo-V 2K-G es necesario desconectar del controlador el cable de alimentación. De todas maneras, se debe tener en cuenta que esta operación además de inhabilitar completamente la alimentación de la bomba, inhabilita...
Page 82: Mantenimiento
Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo. En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo respetando las normas nacionales específicas. 82/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 83: Eliminación
Para mayor información, remitirse a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 83/360...
Page 84 Manual de istrucciones Eliminación 84/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 85: Manual De Istruções
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 86 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Uso da Turbo-V 2K-G Como activar o sistema 96 Como parar a Turbo-V 2K-G 99 Paragem de Emergência...
Page 86: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 86/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 87: Informações Gerais
às normas nacionais específicas. O Turbo-V 2K-G é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller.
Page 88 As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! observados, podem causar danos à aparelhagem. As notas contêm informações importantes destacadas do texto. NOTA 88/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 89: Armazenagem
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 89/360...
Page 90: Preparação Para A Instalação
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O Turbo-V 2K-G é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Page 91 15 vias “REMOTE I/O” IP-54 com todas as ligações necessárias para activar a bomba. conector conjugado de 9 vias “SERIAL” IP-54 a utilizar para a ligação série braçadeira de fixação do cabo de alimentação (montada). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 91/360...
Page 92: Instalação
(Fase+Neutro+Terra). A secção do cabo deve ser no mínimo de 0,75 mm² (AWG18). Não remover a cobertura aparafusada antes de ligar a turbobomba ao sistema. CUIDADO! Retirar a protecção dos conectores somente depois que a turbobomba estiver CUIDADO! fixada ao sistema. 92/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 93 Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O Turbo-V 2K-G deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). O Turbo-V 2K-G pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o Turbo-V 2K-G em posição estável ligando o flange de entrada da...
Page 94 ISO 250 F Parafuso com rosca M10. 22 Nm A Turbo-V 2K-G não pode ser fixada por meio da sua base. O sistema pode ser NOTA segurado só por intermédio da sua flange ISO 250F. A fixação deve ser realizada de acordo com o estabelecido na norma ISO 1609.
Page 95: Utilização
é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Hélio) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice "Technical Information”). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 95/360...
Page 96: Uso Da Turbo-V 2K-G
à rede de alimentação eléctrica. deixar aumentar a pressão dentro da câmara de vácuo até atingir 0,1 mbars. fornecer à Turbo-V 2K-G o sinal de START num dos seguintes modos: 96/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 97 ATENÇAO! Quando o aparelho está ligado à rede de alimentação eléctrica e o conector conjugado de 15 pinos, fornecido de série, está introduzido, a Turbo-V 2K-G activa-se automaticamente. O controller é fornecido com todas as ligações mecânicas e as conexões CUIDADO! eléctricas com a bomba já...
Page 98 (período de aprox. 400 ms): o sistema está em  estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop, ou de “waiting for interlock”.  intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição de erro. 98/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 99: Como Parar A Turbo-V 2K-G
Description” no apêndice “Technical Information”). Paragem de Emergência Para parar o Turbo-V 2K-G em condições de emergência é necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação. É preciso ter em conta que esta operação além de desabilitar completamente a alimentação da bomba desabilita também todas as outras funções do controller,...
Page 100: Manutenção
"Request for Return" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da expedição. Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação respeitando as normas nacionais específicas. 100/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 101: Eliminação
Para maiores informações consultar: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 101/360...
Page 102 Manual de Istruções Eliminação 102/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 103: Bedrijfshandleiding
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 104 Algemene informatie 105 Opslag 107 Uitpakken Installatie Gebruik Gebruik van de Turbo-V 2K-G Hoe wordt het systeem gestart 114 Hoe wordt de Turbo-V 2K-G gestopt 117 Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 119 Vertaling van de originele instructies 103/360...
Page 104: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 104/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 105: Algemene Informatie
De Turbo-V 2K-G is een geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen plus bijbehorende controller bestaat.
Page 106 Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan VOORZICHTIG! apparatuur kunnen veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 106/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 107: Opslag
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 107/360...
Page 108: Uitpakken
Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 2K-G niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Verwijder de bescherming van de connectors uitsluitend nadat de turbopomp aan het systeem is bevestigd.
Page 109 Bedrijfshandleiding Uitpakken In de verpakking van de Turbo-V 2K-G zijn aanwezig: pomp met geïntegreerde controller inlet screen (gemonteerd) deze handleiding op CD-ROM zak met accessoires 15-pin contraconnector IP-54 voor “REMOTE I/O” connector met alle geïntegreerde aansluitingen die benodigd zijn om de pomp op te starten 9-pin contraconnector IP-54 voor “SERIAL”...
Page 110: Installatie
Verwijder niet de opgeboute afdekking voordat de turbopomp met het systeem VOORZICHTIG! wordt verbonden. Verwijder de bescherming van de connectors uitsluitend nadat de turbopomp VOORZICHTIG! aan het systeem is bevestigd. 110/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 111 "Technical information"). De Turbo-V 2K-G kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de Turbo-V 2K-G in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 10600 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
Page 112 Controleer of de inrichting verbonden met de Turbo-V 2K-G goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.
Page 113: Gebruik
(stikstof of helium) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 113/360...
Page 114: Gebruik Van De Turbo-V 2K-G
I/O contraconnector (indien aanwezig) sluit het voedingsnet aan breng de druk in de vacuümkamer op 0,1 mbar geef aan de Turbo-V 2K-G het START signaal op een van de volgende manieren: 114/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 115 De controller kan slechts van het pomplichaam worden gescheiden door hiertoe bevoegd personeel van Agilent Vacuum Technologies. Wanneer de Turbo-V 2K-G voor de eerste keer wordt gestart, start de controller OPMERKING automatisch het systeem met een speciale procedure die de lagers tegen mogelijke schade beschermt (SOFT START).
Page 116 Het systeem is voorzien van een groene LED die door een statussignaal wordt aangestuurd. De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de Turbo-V 2K-G geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan: brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;...
Page 117: Hoe Wordt De Turbo-V 2K-G Gestopt
RS 232/485 (zie paragraaf "RS 232/485 Communication Description" in de bijlage "Technical Information"). Noodstop Om de Turbo-V 2K-G in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. Men moet er echter rekening mee houden dat hiermee niet alleen de...
Page 118: Onderhoud
Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. 118/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 119: Afvalverwerking
Kijk voor meer informatie op: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 119/360...
Page 120 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 120/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 121: Istruktionsbog
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Brug af Turbo-V 2K-G Start af systemet 132 Afbrydelse af Turbo-V 2K-G 134 Nødstop Vedligeholdelse 136 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 121/360...
Page 122: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
ADVARSEL! For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 122/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 123: Generel Information
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (33000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. Turbo-V 2K-G er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. Endvidere er systemet udstyret med kontakter, som gør det muligt at fjernstyre systemet ved hjælp af en host computer, der er tilsluttet med...
Page 124 Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 124/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 125: Opbevaring
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 125/360...
Page 126: Forberedelse Før Installation
Turbo-V 2K-G leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 2K-G ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Fjern beskyttelsen fra konnektorerne, kun efter at turbopumpen er blevet fastgjort til systemet.
Page 127 15-benet “REMOTE I/O” kontakt (IP-54) med indbyggede tilslutninger, der er nødvendige i forbindelse med start af pumpen 9-benet “SERIAL” kontakt (IP-54) til seriel tilslutning af pumpe Konsol til blokering af strømkabel (monteret). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 127/360...
Page 128: Installation
(Fase+Neutral+Jord). Ledningens snit skal mindst være på 0,75 mm (AWG18). Fjern først den fastboltede afskærmning, når turbopumpen er blevet sluttet til FORSIGTIG! systemet. Fjern beskyttelsen fra konnektorerne, kun efter at turbopumpen er blevet FORSIGTIG! fastgjort til systemet. 128/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 129 Turbo-V 2K-G skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). Turbo-V 2K-G kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør Turbo-V 2K-G i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 10600 Nm omkring akselen.
Page 130 ISO 250 F Bolt med M10 gevind 22 Nm Turbo-V 2K-G pumpen kan ikke fastgøres ved hjælp af dens sokkel. Pumpen kan BEMÆRK kun monteres ved hjælp af dens ISO 250F flange. Fastgørelsen skal opfylde kravene i ISO 1609 standarden. Benyt stålbolte med en modstandsklasse på min.
Page 131: Anvendelse
ædelgasser (kvælstof eller helium) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”). Pumpen må aldrig bruges hvis der er gasser eller ætsende dampe, der kan FORSIGTIG! beskadige pumpens indvendige dele. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 131/360...
Page 132: Brug Af Turbo-V 2K-G
Fjern I/O kontakten (hvis den er monteret) Tilslut strømmen Indstil trykket i vakuumkammeret til 0,1 mbar Overfør startsignalet til Turbo-V 2K-G på en af følgende måder: Tilslut den medleverede I/O kontakt Overfør det fjernstyrede startsignal ved hjælp af I/O kontakten (se afsnittet "J1 - REMOTE I/O" i bilaget "Technical Information")
Page 133 Istruktionsbog Anvendelse ADVARSEL! Turbo-V 2K-G starter automatisk efter tilslutning af strøm og indsættelse af den medleverede 15-benede kontakt. Ved levering er styreenheden allerede sluttet mekanisk og elektrisk til pumpen. FORSIGITG! Det er kun personale fra Agilent Vacuum Technologies, som må fjerne styreenheden fra pumpehuset.
Page 134: Afbrydelse Af Turbo-V 2K-G
Anvendelse Systemet er udstyret med en grøn LED, som overvåges af et signal for tilstand. Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TURBO-V 2K-G’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: konstant tændt: pumpen er i normal rotation ...
Page 135: Nødstop
Istruktionsbog Anvendelse Nødstop Afbrydelse af Turbo-V 2K-G i nødsituationer sker ved at koble ledningen fra styreenheden. Det er vigtigt at notere, at denne operation, ud over at afkoble fuldstændigt pumpens tilførsel, afkobler desuden også alle de andre controller funktioner, som for eksempel...
Page 136: Vedligeholdelse
“Request for Return”, der er vedlagt denne instruktionsmanual, udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets emballage inden afsendelse. Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. 136/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 137: Bortskaffelse
For yderligere oplysninger, ret henvendelse til: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 137/360...
Page 138 Istruktionsbog Bortskaffelse 138/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 139: Bruksanvisning
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 140 Allmän Information Förvaring Förberedelser för installationen 144 Installation Användning Användning av Turbo-V 2K-G Hur du startar systemet Hur du stoppar Turbo-V 2K-G Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna...
Page 140: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 140/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 141: Allmän Information
Systemet Turbo-V 2K-G bestär av en turbomolekylär pump för höga och mycket höga vakuumtillämpningar och en styrenhet. Systemet kan pumpa många typer av gaser eller gasblandningar. Det kan dock inte användas för att pumpa vätskor eller fasta partiklar.
Page 142 Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå. Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA 142/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 143: Förvaring
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från  leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent-återförsäljaren för ytterligare information. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 143/360...
Page 144: Förberedelser För Installationen
Turbo-V 2K-G levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att Turbo-V 2K-G inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har satts fast på...
Page 145 15-polig kontakt IP54 "REMOTE I/O" med inbyggda anslutningar som behövs för att kunna starta pumpen 9- polig kontakt IP54 "SERIAL" som används för den seriella anslutningen Kabelklammer för att hålla fast strömkabeln Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 145/360...
Page 146: Installation
Kabelns tvärsnitt ska vara minst 0,75 mm (AWG18). Ta inte bort skruvlocket förrän turbopumpen ansluts till systemet. OBSERVER! Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har satts fast på OBSERVER! systemet. 146/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 147 Turbo-V 2K-G måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). Turbo-V 2K-G kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 10600 Nm kring sin axel.
Page 148 ISO 250 F M10 bult 22 Nm Turbo-V 2K-G kan inte fästas med hjälp av sitt fundament. Systemet kan endast OBSERVERA fästas med hjälp av flänsen ISO 250F. Fastsättningen måste ske i överensstämmelse med ISO-standard 1609. Stålbultar med en sträckgräns på...
Page 149: Användning
ädelgas (Kväve eller Helium) för att skydda lagren (se bilagan “Technical information”). Använd aldrig pumpen om det finns frätande gaser eller ångor som kan skada OBSERVER! pumpens invändiga material. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 149/360...
Page 150: Användning Av Turbo-V 2K-G
Ta bort I/O-kontakten (om sådan finns) Anslut pumpen till elnätet Pumpa ned trycket i vakuumkammaren till 0,1 mbar Skicka startsignal till Turbo-V 2K-G på något av följande sätt: Anslut den medlevererade I/O-kontakten Skicka en fjärrstyrd startsignal via I/O-kontakten (se avsnitt “J1 - REMOTE I/O”...
Page 151 OBSERVER! Frånkoppling av styrenheten från pumpen får endast göras av auktoriserad personal från Agilent Vacuum Technologies. När du använder Turbo-V 2K-G för första gången startas systemet automatiskt av OBSERVERA styrenheten med en speciell procedur som skyddar lagren mot eventuella skador (SOFT START).
Page 152 Bruksanvisning Användning Systemet är utrustat med en grön LED för statussignal. Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av TURBO-V 2K-G anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar: fast sken: pumpen roterar normalt;  långsamt blinkande (ungefär var 400 ms) : systemet är i lage för ...
Page 153: Hur Du Stoppar Turbo-V 2K-G
“Technical Information”). Nödstopp Dra ut elsladden från styrenheten för att utföra ett nödstopp av Turbo-V 2K-G. Utöver att denna operation totalt kopplar från pumpens försörjning, avaktiveras även alla andra funktioner på styrenheten, som till exempel hanteringen av rensningen och den styrda ventilatorn.
Page 154: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 2K-G är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC.
Page 155: Bortskaffning
återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. För ytterligare information, se: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 155/360...
Page 156 Bruksanvisning Bortskaffning 156/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 157: Instruksjon Manual
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 159 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 167 Bruk av Turbo-V 2K-G 168 Hvordan starte opp systemet Hvordan stoppe Turbo-V 2K-G Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen...
Page 158: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
ADVARSEL! For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 158/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 159: Generell Informasjon
Turbo-V 2K-G systemet består av en turbo-molekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg og en styreenhet. Systemet kan pumpe mange typer gass eller gassblandinger, men er ikke egnet for pumping av væsker eller faste partikler.
Page 160 Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! fore til at utstyret skades. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK 160/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 161: Lagring
Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra  sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen returneres FORSIKTIG! til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent-forhandleren for informasjon. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 161/360...
Page 162: Klargjøre Til Installasjon
Når Turbo-V 2K-G pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Fjern beskyttelsen på koplingsstykket kun etter at turbopumpa er festet til systemet.
Page 163 15-polig kontakt IP54 "REMOTE I/O" med inbyggda anslutningar som behövs för att kunna starta pumpen 9- polig kontakt IP54 "SERIAL" som används för den seriella anslutningen Kabelklammer för att hålla fast strömkabeln Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 163/360...
Page 164: Installasjon
+ jording). Kabelens tverrsnitt skal være minst 0,75 mm (AWG18). Ikke ta av det fastskrudde dekslet før turbopumpen koples til systemet. FORSIKTIG! Fjern beskyttelsen på koplingsstykket kun etter at turbopumpa er festet til FORSIKTIG! systemet. 164/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 165 Turbo-V 2K-G må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). Turbo-V 2K-G kan monteres i en valgfri stilling. Fest Turbo-V 2K-G i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 10600 Nm rundt aksen.
Page 166 ISO 250 F Bolt med M10 gjenge 22 Nm Turbo-V 2K-G kan ikke festes med bruk av bunnen. Systemet kan kun festes MERK med ISO 250F flensen. Festingen må utføres i henhold til ISO 1609 standarden. Det må brukes stålbolter med en styrkeklasse på minst 8.8”.
Page 167: Bruk
å bruke for å mate pumpen med en strømning av uvirksom gass (nitrogen eller helium) for å beskytte lagrene (se vedlegget "Technical Information"). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 167/360...
Page 168: Hvordan Starte Opp Systemet
Fjern I/O kontakten (hvis finnes) Kople til strømmen Før trykket i vakuumkammeret til 0,1 mbar Gi et startsignal til Turbo-V 2K-G på en av følgende måter: Kople til I/O kontakten som følger med Gi et fjernstyrt startsignal med I/O kontakten (se avsnittet "J1 - REMOTE I/O"...
Page 169 Instruksjon Manual Bruk ADVARSEL ! Turbo-V 2K-G starter automatisk når strømmen er tilkoplet og 15-veis kontakten som følger med er satt inn. Ved levering er styreenheten koplet mekanisk og elektrisk til pumpen. FORSIKTIG! Demontering av styreenheten fra pumpehuset må kun utføres av autorisert personale fra Agilent Vacuum Technologies.
Page 170: Hvordan Stoppe Turbo-V 2K-G
Instruksjon Manual Bruk Systemet leveres med en grønn LED styrt av et statussignal. Den grønne lysdioden LD1 på TURBO-V 2K-G basepanel angir systemets funksjon ved hjelp av blink: den lyser fast: pumpen roterer normalt  den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i stilling for ...
Page 171: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe Turbo-V 2K-G i en nødsituasjon. Det må i alle tilfeller tas med i beregningen at dette inngrepet, foruten å koble ut pumpens mating fullstendig, kobler også ut alle andre funksjoner for kontrolleren, som for eksempel styring av Purge og kontrollert Vent samt evnen til å...
Page 172: Eliminering
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. For mer informasjon: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 172/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 173: Ohjekäsikirja
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 174 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 183 Turbo-V 2K-G -pumpun käyttö Järjestelmän käynnistys Turbo-V 2K-G -pumpun pysäytys 187 Hätäpysäytys 187 Huolto 188 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 173/360...
Page 174: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 174/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 175: Yleisiä Tietoja
Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Technical Information”. Tämä laitteeseen kiinnitetty symboli osoittaa käyttäjälle, että käyttöohjeisiin on tutustuttava sekä oman turvallisuuden että laitteen vahingoittumisen estämisen kannalta. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 175/360...
Page 176 Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio-merkinnät varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vaurioitumiseen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa.. HUOM 176/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 177: Varastointi
Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta  toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 177/360...
Page 178: Valmistelut Asennusta Varten
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Turbo-V 2K-G ei vaurioidu ilmalle altistuessaan. On kuitenkin suositeltavaa HUOM säilyttää pumppu suljettuna ja sinetöitynä, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten estetään järjestelmän likaantuminen.
Page 179 15 vie “REMOTE I/O” IP-54 con integrate le connessioni necessarie a far partire la pompa controconnettore a 9 vie “SERIAL” IP-54 da utilizzare per la connessione seriale staffetta per la ritenzione del cavo di alimentazione (montata). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 179/360...
Page 180: Asennus
Johdon halkaisijan on oltava vähintään 0,75 mm (AWG18). Älä poista pulteilla kiinnitettyä kantta ennen turbopumpun kytkemistä HUOMIO! järjestelmään. Poista liittimien suoja ainoastaan sen jälkeen, kun turbopumppu on kiinnitetty HUOMIO! järjestelmään. 180/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 181 Turbo-V 2K-G tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). Turbo-V 2K-G voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää Turbo-V 2K-G vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 10600 Nm:n momentin akselinsa ympäri. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 181/360...
Page 182 IP54-eristyksen. Turbo-V 2K-G laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että Turbo-V 2K-G laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.
Page 183: Käyttö
(Typpi tai Helium) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information” -liite). Älä käytä pumppua syövyttävien kaasujen tai höyryjen läheisyydessä: ne HUOMIO! saattavat vahingoittaa pumpun sisämateriaaleja. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 183/360...
Page 184: Turbo-V 2K-G -Pumpun Käyttö
(se presente) il controconnettore I/O collegare l'alimentazione di rete portare la pressione all0'interno della camera a vuoto a 0,1 mbar fornire alla Turbo-V 2K-G il segnale di START in uno dei seguenti modi: Liitä ohessa toimitettu I/O-liitin Anna START-etäsignaali I/O-liittimellä (ks. "Technical Information"-liitteen kappale "J1 - REMOTE I/O")
Page 185 Käytä sähkökaapelina ainoastaan tuotetta 9699957 tai 9699958 ja kiinnitä sähkökaapeli valvojaan erityisellä kannattimella (ks. seuraava kuva). Käytä tätä kaapelia ja pistoketta yhdessä oikein maadoitetun pistorasian kanssa, jotta sähköiskuilta vältytään ja CE- normien vaatimukset täyttyvät. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 185/360...
Page 186 Ohjekäsikirja Käyttö Järjestelmä on varustettu vihreällä LED-valolla, jota ohjataan tilasignaalilla. Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TURBO-V 2K-G:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;  vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-,  jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”- tilassa;...
Page 187: Turbo-V 2K-G -Pumpun Pysäytys
Purge- ja Vent-toimintojen hallinnan ja kommunikointimahdollisuuden sen järjestelmän kanssa, johon pumppu on kytketty I/O-, sarja- tai Profibus-portin välityksellä. Lisäksi toimenpide ei takaa roottorin välitöntä pysähtymistä, koska pyörintänopeus laskee suhteessa järjestelmän alipaineen määrään. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 187/360...
Page 188: Huolto
"Request for Return” -kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen lähettämistä. Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla. 188/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 189: Hävittäminen
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Lisätietoja varten viitatkaa osoitteeseen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 189/360...
Page 190 Ohjekäsikirja Hävittäminen 190/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 191: Felhasználói Kézikönyv
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános információk 193 Tárolás Előkészítés telepítésre 196 Telepítés Használat A Turbo-V 2K-G használata 202 A rendszer elindítása A rendszer leállítása Vészleállítás 205 Karbantartás Megsemmisítés 207 Az eredeti utasítás fordítása...
Page 192: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 192/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 193: Általános Információk
„Technical Information” függelékben. Ez a berendezésen látható szimbólum azt jelzi a kezelőnek, hogy a saját biztonsága érdekében és a berendezés károsodásának elkerüléséhez el kell olvassa a használati utasításokat. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 193/360...
Page 194 A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják. A megjegyzések fontos, a szövegből kivonatolt információkat tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 194/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 195: Tárolás
10 hónap. Ha bármely okból kifolyólag a tárolási idő ezt meghaladja, vissza kell küldeni a FIGYELEM! szivattyút a gyárba. Valamennyi információ elérése érdekében kéretik kapcsolatba lépni, a Agilent helyi képviselőjével. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 195/360...
Page 196: Előkészítés Telepítésre
Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. A környezetnek való szokásos kitettség nem károsíthatja a Torbo-V 2K-G-t. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos azt zárva és tömítve tartani, amíg nem telepítik a rendszerbe. Ez megakadályozza a rendszer szennyeződését. 196/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 197 IP 54 15 tűs csatlakozó "REMOTE I/O" számára a szivattyú indításához szükséges összes vezetékkel. IP 54 9 tűs csatlakozó soros csatlakozáshoz használandó "SERIAL" csatlakozóhoz Tartóbilincs a tápkábel (szerelt) megtartásához. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 197/360...
Page 198: Telepítés
Ne távolítsa el a csavarozott kupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez való FIGYELEM! csatlakoztatása előtt. Csak azután vegye le a csatlakozók védőburkolatát, ha a turbószivattyú már FIGYELEM! rögzítve van a rendszerhez. 198/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 199 Information”. A Turbo-V 2K-G-t elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „Technical Information”). A Turbo-V 2K-G-t bármely helyzetben lehet telepíteni. Rögzítse a Turbo-V 2K-G-t stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 10600 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Page 200 RÖGZÍTŐ NYOMATÉK ISO 250 F M10 csavarok 22 Nm A Turbo-V 2K-G nem rögzítehető az alapjával. A rendszer csak ISO 250F MEGJEGYZÉS karimával rögzíthető. A rögzítést az ISO 1609 norma szerint kell végezni. Legalább 8.8” teherbírási osztályú acélcsavarokat kell használni.
Page 201: Használat
érdekében a szivattyúhoz közömbös gázt (Nitrogén vagy Hélium) kell áramoltatni (lásd „Technical Information” függelék). A szivattyút soha ne használjuk olyan korrodáló gáz vagy gőz jelenlétében FIGYELEM! használni, amely károsíthatja a szivattyú belsejében lévő anyagokat. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 201/360...
Page 202: A Turbo-V 2K-G Használata
(ha jelen van) a rendszer B/K csatlakozóját dugja be a tápkábelt szivattyúzza le a vákuumkamrát 0.1 mbarra adjon a Turbo-V 2K-G-nek start jelet a következő módszerek valamelyikével: a mellékelt B/K csatlakozó csatlakoztatása távoli start jel adása a B/K csatlakozón keresztül (lásd „Technical Information”...
Page 203 FIGYELEM! szállítják. A vezérlőnek a szivattyúról való leválasztását csak jogosult Agilent vákuumtechnológiai személyzet végezheti. Amikor legelőször futtatja a Turbo-V 2K-G-t, a vezérlő egység automatikusan MEGJEGYZÉS elindítja a rendszert egy különleges eljárással, amely védi a csapágyakat az esetleges sérülésektől (SOFT START). A rendszer lépésről lépésre, fokozatosan indul teljes sebességig 10 perctől 1 órán belülig.
Page 204 Felhasználói Kézikönyv Használat A rendszer el van látve egy zölt állapotled jellel. A Turbo-V 2K-G-n elhelyezett zöld LED a villogásának gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit. nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog;  lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer emelkedőben, ...
Page 205: A Rendszer Leállítása
(lásd „Technical Information” függelék „RS 232/485 kommunikáció leírása”). Vészleállítás A Turbo-V 2K-G vészhelyzetben való azonnali leállításához le kell kapcsolni a tápfeszültséget. Mindig figyelni kell arra, hogy ez a művelet, azonfelül, hogy teljesen kikapcsolja a szivattyú táplálását, kikapcsolja a controller minden egyéb funkcióját is, mint például a Purge és az Ellenőrzött Vent vezérlést és azt a képességet, hogy...
Page 206: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Turbo-V 2K-G nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő elektromos szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Page 207: Megsemmisítés
és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Részletes információk végett forduljon az alábbi címhez: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 207/360...
Page 208 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 208/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 209: Podrecznik Instrukcji
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Informacje ogolne 211 Magazynowanie 213 Przygotowanie do instalacji 214 Instalacja Użytkowanie Użytkowanie Turbo-V 2K-G 220 Jak uruchomić system 220 Jak zatrzymać Turbo-V 2K-G 223 Zatrzymanie Alarmowe 223...
Page 210: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 210/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 211: Informacje Ogolne
System Turbo-V 2K-G jest zintegrowanym systeme składającym się z pompy turbomolekularnej dla zastosowań wysokich i ultra wysokich próżni jak i przez odpowiedni system sterowania tzw. kontroler. System jest w stanie pompować...
Page 212 Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 212/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 213: Magazynowanie
Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy odesłać UWAGA! pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 213/360...
Page 214: Przygotowanie Do Instalacji
UWAGA! części przeznaczonych do próżni. Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Turbo-V 2K-G nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na działanie PRZYPIS atmosfery. Zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała dobrze zamknięta. Jest to w celu zabezpieczenia przed zanieczyszczeniem systemu.
Page 215 15 drogowy “REMOTE I/O” IP-54 z zintegrowanymi połączeniami potrzebnymi do uruchomienia pompy konektor 9-drogowy “SERIAL” IP-54 do zastosowania dla połączenia szeregowego wspornik do podtrzymania kabla zasilania (zamontowany). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 215/360...
Page 216: Instalacja
Kabel musi mieć przekrój co najmniej 0,75 mm (AWG18). Nie zdejmować zamocowanej śrubami pokrywy przed podłączeniem turbopompy UWAGA! do systemu. Zdjąć obudowę konektorów tylko wtedy, gdy turbopompa została przymocowana UWAGA! do systemu. 216/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 217 W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information” Turbo-V 2K-G musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w “Informacjach Technicznych”) Turbo-V 2K-G może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji . Zamocować Turbo-V 2K-G w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na...
Page 218 ISO 250 F Śruba mocująca z gwintem M10 22 Nm Turbo-V 2K-G nie może być zamocowany poprzez własną podstawę. System PRZYPIS może być zamocowany tylko poprzez własny kołnierz ISO 250 F. Mocowanie musi być zrealizowane zgodnie z normą ISO 1609. Muszą być zastosowane śruby mocujące ze stali z klasą...
Page 219: Użytkowanie
Aby możliwe było pompowanie gazów, zawierających cząsteczki lub zanieczyszczenia niszczące łożyska, pompy te są wyposażone w odpowiedi wlot, poprzez który należy dostarczyć pompie przepływ obojętnego gazu (Azot i Hel) dla zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek “Technical Information”). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 219/360...
Page 220: Użytkowanie Turbo-V 2K-G
(jeśli jest obecny) konektor I/O podłączyć zasilanie sieci doprowadzić ciśnienie wewnątrz komory próżniowej na wartość 0,1 mbar dostraczyć do Turbo-V 2K-G sygnał STARTU w jeden z następujących sposobów: podłączyć konektor I/O na wyposażeniu 220/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 221 Odseparowanie kontrolera od korpusu pompy może być tylko wykonane przez personel upoważniony przez firmę Agilent Vacuum Technologies. Kiedy uruchamia się Turbo-V 2K-G po raz pierwszy, kontroler automatycznie PRZYPIS uruchamia system ze specjalną procedurą która chroni łożyska przed możliwym ich uszkodzeniem (SOFT START).
Page 222 CE. ć System jest wyposażony w zieloną diodę LED pilotowaną przez sygnał stanu. Zielona dioda led znajdująca się na panelu przednim Turbo-V 2K-G wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan operacyjny systemu: zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie normalnych ...
Page 223: Jak Zatrzymać Turbo-V 2K-G
I/Os, linii szeregowej lub Profibus. Ponadto ta operacja nie może zagwarantować natychmiastowego zatrzymania wirnika, którego prędkość będzie się zmniejszała w zależności od stopnia próżni w układzie. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 223/360...
Page 224: Konserwacja
–kopia- karty musi być włożony do opakowania systemu przed jego wysyłką. Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi normami w meritum sprawy. 224/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 225: Przetworstwo Odpadow
, po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. W@ięcej informacji zamieszczono: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 225/360...
Page 226 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 226/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 227: Návod K Použití
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 228 Všeobecné informace 229 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 237 Používání zařízení Turbo-V 2K-G 238 Jak se zařízení uvádí do provozu 238 Jak se zařízení zastavuje Nouzové...
Page 228: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 228/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 229: Všeobecné Informace
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěva Turbo-V 2K-G je integrovaný systém s turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zařízení může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs.
Page 230 činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Pozor hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení. Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA 230/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 231: Uskladnění
10 měsíců ode dne  doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 231/360...
Page 232: Příprava K Instalaci
POZOR! manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. V normálním prostředí se vývěva Turbo-V 2K-G nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému. Tím se zamezí znečištění tohoto zařízení.
Page 233 I/O" (dálkové vstupy a výstupy) s veškerým propojením nezbytným pro spuštění čerpadla 9-kolíkový konektor IP-54 pro připojení ke konektoru "SERIAL", který se použije k sériovému připojení Příchytka pro uchycení napájecího kabelu (namontována). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 233/360...
Page 234: Instalace
+ zemnicí vodič). Průřez vodičů kabelu musí být nejméně 0,75 mm (AWG18). Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte šroubovací POZOR! víko. Odejměte zakrytí konektorů až poté, co bude turbovývěva připevněná k systému. POZOR! 234/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 235 V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Vývěva Turbo-V 2K-G se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz "Technical Information"). Vývěvu Turbo-V 2K-G lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu Turbo- V 2K-G upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné...
Page 236 žádná elektrická součást nebyla přístupná. Pro zachování ochranného krytí IP-54 použijte odpovídající dodané konektory. Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě Turbo-V 2K-G byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice EN 61010-1. Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technical Information".
Page 237: Použití
(dusík nebo helium) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu Information"). Nikdy nepoužívejte vývěvu v přítomnosti korozivních plynů nebo výparů, které POZOR! by mohly poškodit materiály použité uvnitř vývěvy. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 237/360...
Page 238: Používání Zařízení Turbo-V 2K-G
I/O konektor (je-li) zapojte do síťové zásuvky vyčerpejte podtlakovou komoru na 0,1 mbar jedním z následujících způsobů přiveďte do vývěvy Turbo-V 2K-G spouštěcí signál: připojte dodaný odpovídající I/O konektor přiveďte do konektoru I/O spouštěcí signál ze vzdáleného místa (viz odstavec "J1-REMOTE I/O"...
Page 239 POZOR! Odpojení regulátoru od vývěvy musí provádět jenom oprávnění pracovníci firmy Agilent Vacuum Technologies. Když spouštíte vývěvu Turbo-V 2K-G úplně poprvé, ovládací jednotka spustí toto POZNÁMKA zařízení automaticky speciálním postupem, který chrání ložiska vývěry před případným poškozením (POZVOLNÝ ROZBĚH). Zařízení se pak postupně rozbíhá...
Page 240 (interval cca 400 ms): systém se pozvolna rozbíhá  nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na blokování”; rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.  240/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 241: Jak Se Zařízení Zastavuje
RS232/RS 485" v příloze "Technical Information"). Nouzové zastavení Chcete-li vývěvu Turbo-V 2K-G v nouzové situaci okamžitě zastavit, je třeba přerušit síťové napájení. Je však třeba mít na paměti, že tato operace nejen kompletně vypne napájení čerpadla, ale zruší i všechny ostatní...
Page 242: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Zařízení Turbo-V 2K-G nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 243: Likvidace
Podrobnejší informace můžete získat na internetové stránce: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 243/360...
Page 244 Návod k Použití Likvidace 244/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 245: Návod Na Obsluhu
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 247 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 250 Inštalácia Použitie Použitie zariadenia Turbo-V 2K-G 256 Ako zariadenie spustiť 256 Ako zariadenie zastaviť 259 Núdzové zastavenie Údržba Likvidácia...
Page 246: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované, aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy! 246/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 247: Všeobecné Informácie
„Technical Information“. Tento symbol, který je aplikován na přístroji, informuje operátora, že si musí přečíst návod k použití pro zajištění své bezpečnosti i pro zabránění poškození přístroje. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 247/360...
Page 248 Nebezpečíe majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA 248/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 249: Uchovávanie
Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 249/360...
Page 250: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Turbo-V 2K-G je dodaný v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Page 251 "REMOTE I/O" , obsahujúci všetky spojenia potrebné pre spustenie vývevy 9 kolíkový konektor IP-54 ako protikus pre sériový konektor používaný pre sériové spojenie Úchytná svorka a pre napájací kábel (namontovaná). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 251/360...
Page 252: Inštalácia
+ zemniaci vodič). Prierez vodičov kábla musí byť najmenej 0,75 mm (AWG18). Neodstraňujte priskrutkovaný ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu k POZOR! systému. Kryty z konektorov odstráňte až po pripevnení turbovývevy k sústave. POZOR! 252/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 253 V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Zariadenie Turbo-V 2K-G sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technical Information“). Zariadenie Turbo-V 2K-G môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Upevnite Turbo-V 2K-G do stabilnej polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby...
Page 254 žiadna elektrická súčasť. Pre získanie úrovne ochrany IP-54 použite dodané protikusy konektorov. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k Turbo-V 2K-G má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1. O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technical Information”.
Page 255: Použitie
(dusík a hélium) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok „Technical Information“). Nikdy nepoužívajte vývevu v pre korozívne plyne alebo výpary, ktoré by mohli POZOR! poškodiť materiály, použité vo vnútri vývevy. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 255/360...
Page 256: Použitie Zariadenia Turbo-V 2K-G
Systém naštartujte sledom nasledovných krokov: odpojte (ak je pripojený) I/O konektor zasuňte napájaciu šnúru vyčerpajte vákuovú komoru na 0,1 mbar Dajte signál pre spustenie vývevy Turbo-V 2K-G jedným z nasledovných spôsobov. pripojením dodaného protikusu I/O konektora poslaním vzdialeného signálu spustenia cez I/O konektor (pozri odstavec "J1-REMOTE I/O"...
Page 257 POZOR! Odpojenie kontrolného modulu od vývevy treba zveriť autorizovaným servisným technikom firmy Agilent Vacuum Technologies. Pri prvom spustení vývevy Turbo-V 2K-G kontrolný modul automaticky naštartuje POZNÁMKA systém zvláštnym postupom, ktorý chráni ložiská systému pred poškodením (SOFT START). Systém sa dosiahne plnú rýchlosť postupne v časovom intervale od 10 minút do jednej hodiny.
Page 258 Návod na Obsluhu Použitie Systém je vybavený zelenou stavovou LED-diódou. Zelená LED dióda LD1 na základnom čelnom paneli Turbo-V 2K-G base ukazuje frekvenciou blikania spôsob činnosti systému: žiadne blikanie: výveva normálne rotuje;  pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom z ...
Page 259: Ako Zariadenie Zastaviť
(pozri odstavec "Popis komunikácie cez RS232/RS 485" dodatku k "Technical Information"). Núdzové zastavenie Ak chcete zariadenie Turbo-V 2K-G okamžite vypnúť v stave núdze, musíte vytiahnuť kábel napájania zo zásuvky zdroja napájania. Je však potrebné mať na pamäti, že táto operácia, okrom toho, že úplne vypne napájanie vyradeného čerpadla i všetky ostatné...
Page 260: Údržba
Kópiu dotazníka vložte do balíka so systémom a odošlite spolu s ním. Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so špecifickými predpismi danej krajiny. 260/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 261: Likvidácia
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Podrobnejšie informácie môžete získať na internetovej stránke: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 261/360...
Page 262 Návod na Obsluhu Likvidácia 262/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 263: Priročnik Za Navodila
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 264 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Uporaba Turbo-V 2K-G 274 Zagon sistema 274 Zaustavljanje sistema 277 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku...
Page 264: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 264/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 265: Splošne Informacije
Turbo-V 2K-G je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev.
Page 266 če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe POZOR! opreme. Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila. OPOMBA 266/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 267: Shranjevanje
 datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti POZOR! v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 267/360...
Page 268: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Naprava Turbo-V 2K-G je dobavljena v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Odstranite zaščito spajal samo potem, ko je turbočrpalka že priključena na sistem. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.
Page 269 15 pinski priključek IP 54 za »REMOTE I/O« priključek z vsemi medpovezavami, potrebnimi za zagon črpalke 9 pinski priključek IP-54 za »SERIAL« priključek, ki se uporablja za serijsko povezavo Nosilec za napetostni kabel (vgrajen). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 269/360...
Page 270: Montaža
Presek kabla mora biti najmanj 0,75 mm (AWG18). Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Odstranite zaščito spajal samo potem, ko je turbočrpalka že priključena na POZOR! sistem. 270/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 271 V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". Turbo-V 2K-G morate priključiti na primarno črpalko (glej "Technical Information"). Turbo-V 2K-G lahko namestite v poljuben položaj. Turbo-V 2K-G namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko prenese navor...
Page 272 ISO 250F prirobnice. Pritrjevanje morate izvesi v skladu z ISO 1609 normo. Uporabiti morate jeklene vijaki z najmanjšo močjo 8.8”. Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 2K-G v skupino za drugo nameščanje (ali POZOR! prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.
Page 273: Uporaba
(Dušik ali Helij) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Technical Information”). Črpalke nikoli ne uporabljajte v prisotnosti razjednih plinov ali hlapov, ki bi lahko POZOR! poškodovali inertne materiale črpalke. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 273/360...
Page 274: Uporaba Turbo-V 2K-G
Oddajte oddaljeni signal za zagon preko I/O priključka (glej odstavek "J1-REMOTE I/O" v prilogi "Technical Information"). Oddajte oddaljeni signal za zagon preko RS 232/485 serijskega vmesnika (glej odstavek "RS232/RS 485 Opis komunikacij" v prilogi "Technical Information"). 274/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 275 POZOR! upravljalca iz črpalke mora izvesti samo pooblaščeno osebje Agilent Vacuum Technologies. Ko prvič zaženete Turbo-V 2K-G, kontrolna enota samodejno zažene sistem s OPOMBA posedbno proceduro, ki zavaruje tečaje proti poškodbam (SOFT START) Sistem se po korakih zažene do polne hitrosti v času od 10 minut do 1 ure. Ko sistem doseže polno hitrost se mehki zagon onemogoči in naslednji zagoni so normalni.
Page 276 Priročnik za Navodila Uporaba Sistem ima zeleni statusni signal Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči Turbo-V 2K-G, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;  Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju ...
Page 277: Zaustavljanje Sistema
(glej odstavek "RS232/RS 485 Opis komunikacij" v prilogi "Technical Information"). Zaustavitev v sili Za zaustavitev naprave Turbo-V 2K-G v sili morate odstraniti napetost. Treba je vsekakor upoštevati dejstvo, da ta operacija ne le popolnoma onemogoči napajanje črpalke, temveč onemogoči tudi vse druge funkcije krmilnika, kot so na primer upravljanje nadzorovanega Čiščenja in Izpusta in sposobnost sporočanja s...
Page 278: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Turbo-V 2K-G ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 279: Odlaganje Opadkov
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Za podrobnejše informacije si oglejte spletno stran: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 279/360...
Page 280 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 280/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 281: Instructions For Use
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 282 General Information Storage Preparation for Installation 286 Installation Use of Turbo-V 2K-G How to Start the System Up 292 How to Stop the System Emergency Stop...
Page 282: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel WARNING! the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 282/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 283: General Information
The Turbo-V 2K-G is an integrated system with a turbomolecular pump for high and ultra-high vacuum applications with its relevant controller. The system can pump many types of gases or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid particles.
Page 284 The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. The notes contain important information taken from the text. NOTE 284/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 285: Storage
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 285/360...
Page 286: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The Turbo-V 2K-G is supplied in a special protective pack-ing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Page 287 9 pin mating connector IP-54 for "SERIAL" connector to be used for serial connection Retaining bracket to retain the power cable (mounted) Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 287/360...
Page 288: Installation
0.75 mm (AWG18). Do not remove the bolted cap before connecting the turbopump to the system. CAUTION! Remove connector protections only after fixing the turbopump to the system. CAUTION! 288/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 289 The Turbo-V 2K-G must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). The Turbo-V 2K-G can be installed in any position. Fix the Turbo-V 2K-G in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 10600 Nm around its axis.
Page 290 ISO 250 F M10 bolts 22 Nm The Turbo-V 2K-G cannot be fixed by means of its base. The system can only be NOTE fixed through its ISO 250F flange. Fixing must be done according to ISO 1609 norm. Steel bolts with a strength class at least of 8.8” must be used.
Page 291: Use
, He) for pump bearing protection (see the appendix "Technical Information"). Never use the pump with corrosive gases or vapor to avoid damage to the internal CAUTION! materials of the pump. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 291/360...
Page 292: Use Of Turbo-V 2K-G
(if present) the system mating I/O connector plug on the mains pump the vacuum chamber down to 0.1 mbar give the Turbo-V 2K-G a start signal by one of the following methods: connecting the provided mating I/O connector giving a remote start signal through the I/O connector (see para.
Page 293 Detaching of the controller from the pump must be carried out by authorized Agilent Vacuum Technologies personnel only. When you run the Turbo-V 2K-G for the very first time, the control unit NOTE automatically starts the system with a special procedure which protects the bearings from possible damages (SOFT START).
Page 294 Instructions for Use The system is provided with a green status led signal. The green LED located on the Turbo-V 2K-G base front panel indicates with its flashing frequency the system operating conditions: with no flashing: the pump is normally rotating;...
Page 295: How To Stop The System
"Technical Information"). Emergency Stop To immediately stop the Turbo-V 2K-G in an emergency condition it is necessary to remove the mains. It must be however noted that this operation, in addition to cutting off the pump power, also cuts off all...
Page 296: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The Turbo-V 2K-G does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...
Page 297: Disposal
Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H) 297/360...
Page 298 Instructions for Use Disposal 298/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 299: Technical Information
Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual Technical Information Description of the Turbo-V 2K-G Pump Description Controller Description Technical Specification Turbo-V 2K-G Outline Interconnections J1 – Remote I/O J2 – Serial Serial Cable Installation 319 RS 232/RS 485 Communication Description Window Meanings 325...
Page 300 Purge and Vent Installation Pump Used With Corrosive Gases 349 High Vacuum Flange Connection Fore-Vacuum Pump Connection Pump Used in Presence of Magnetic Fields 352 Accessories and Spare Parts 353 300/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 301: Description Of The Turbo-V 2K-G
Description of the Turbo-V 2K-G Description of the Turbo-V 2K-G The Turbo-V 2K-G pumping system consists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system has an ISO 250 F high vacuum flange and an on board controller supplied at 208-240 Vac.
Page 302: Pump Description
400 W, for Argon selection the user must set the maximum foreseen water cooling temperature (Twater,max) by the window 158. After these settings the controller will operate as shown in the following diagram. 302/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 303 Tb = upper bearing temperature  Tbody = measured water cooling related tem-perature  Tbody,lim = body temperature corresponding to Twater,max,  according to Figure 2 WIN.118 = set the body temperature control  Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 303/360...
Page 304 The pump can be water cooled only. For this purpose the customer must use the dedicated chan-nel on the pump body. The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm. 304/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 305: Controller Description
At every power-up the controller is in “Remote Mode” of operation and accepts only commands from J1 remote I/O connector. To put it in “Serial Mode” of operation please refer to the serial com-mand table. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 305/360...
Page 306: Technical Specification
Coolant water Minimum flow: 200 l/h (0.89 GPM) Temperature: +10 °C to +35 °C Pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 psi) Noise level <45 dB(A) at 1 meter 306/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 307 Environment protection IP54 Weight kg (lbs) 35 (77.16) When the Turbo-V 2K-G has been stored at a temperature less than 5 °C, wait NOTE until the system has reached the above mentioned temperature before starting the pump. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01...
Page 308 Technical Information Technical Specification 308/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 309: Turbo-V 2K-G Outline
Technical Information Turbo-V 2K-G Outline Turbo-V 2K-G Outline The following figure shows the Turbo-V 2K-G outlines (dimensions are in mm [inches]). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 309/360...
Page 310: Interconnections
Optocoupled INTERLOCK (+) Optocoupled INTERLOCK (-) Optocoupled SPEED SETTING (+) Optocoupled FAULT COMMOMN Relay SOFT START (+) Optocoupled SET POINT Relay +24 Vdc Transformer PURGE (+) Optocoupled SET POINT Relay 310/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 311 12 to 24 V  duty cycle range: from 25 % to 75 % corresponding to a pump  speed from 475 Hz to 555 Hz linearly (see the following diagram). Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 311/360...
Page 312 ANALOG OUTPUT: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power) set by the user through serial line (window 111). The default setting is the frequency (see the following example diagram). 312/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 313 The signal can be "active close", or "active open". Moreover, if the reference quantity is the frequency or the current drawn, it is possible to set the hysteresis (in % of the threshold value) to avoid bouncing. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 313/360...
Page 314 The SET POINT signal has the following default settings: reference quantity: controller status  thereshold: not relevant  hysteresis: not relevant  activation type: active close (NO)  delay time: 0 second  314/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 315 When no external input-output device is available the J1 connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input. Electrical Connections Examples: Start-Stop or Interlock  Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 315/360...
Page 316 The same thing occurs for the vent valve with pin 12. Note that the vent and purge valve can also be controlled by means of the serial connection (see the following diagram for details). 316/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 317: J2 - Serial
Stop Breaking If win.147=0 Start Command J2 – Serial This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the Turbo-V 2K-G. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 317/360...
Page 318 SIGNAL NAME RESERVED TX (RS232) RX (RS232) SPARE A + (RS485) SPARE B – (RS485) RESERVED A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional). 318/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 319: Serial Cable Installation
1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE); 2. the controller answer with an ANSWER + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 319/360...
Page 320 <ETX> (End of transmission) = 0x03  <CRC> = XOR of all characters subsequent to <STX> and  including the <ETX> terminator. The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character. 320/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 321 The command execution has been successfully completed NACK 1 byte (0x15) The command execu-tion has been failed Unknown 1 byte (0x32) The specified window in the command is not Window a valid window Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 321/360...
Page 322 The RS-485 is a 2-wire (gnd optional) half-duplex communication link. NOTE Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW 322/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 323 Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Inverter ADDR WINDOW Source: Inverter Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Inverter ADDR WINDOW Source: Inverter Destination: PC ADDR Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 323/360...
Page 324 Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL CONFIGURATION Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR WINDOW DATA 324/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 325: Window Meanings
Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 (default = 4) Pump life/ cycle time/ cycle To reset write ‘1’ number reset Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 325/360...
Page 326 Reserved to Agilent service Set purge valve open/close 0 = close 1 = open (default = 0) Set valves command source 0 = Serial 1 = Remote (default = 0) 326/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 327 Starting = 2 Auto-tuning = 3 Braking = 4 Normal = 5 Fail = 6 Error code Bit description: see the following figure Controller temperature n. 1 °C Pump body temperature °C Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 327/360...
Page 328 (where “XXXX” are variable) Reserved to Agilent service RS 485 address 0 to 31 (default = 0) Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0) 328/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 329 Technical Information Serial Cable Installation TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 329/360...
Page 330: Profibus Option
(measures) and output data (commands) to the controller, and in addiction provides standard and user related diagnostics, in order to allow the user to manage the exceptions. Mechanical This option is mounted in the “Option” space 330/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 331: Configuration
00 to 7D are permitted; this setting is read by the interface during the power-on phase, so any change of the switch position after the power-on is ignored. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 331/360...
Page 332 Regular data exchange). This failure has priority (in the indication) over the previous. Blink fast Gateway fail (internal check) or wrong address set (address > 0x7D or address not stable during power-on). Blink slow Gateway operating properly. 332/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 333: Software Operation And State Machine
Each device has its own state machine to manage the device operation. PROFIBUS STATE MACHINE Status Meaning POWER_ON Interface set-up WAIT_PRM Wait for parameterisation from the master WAIT_CFG Wait for configuration from the master DATA_EX Regular data exchange Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 333/360...
Page 334 ProfiBus State machine is not in Data Exchange mode As a general rule, unrecoverable communication errors make each machine to jump to the state immediately following the power-on state (WAIT_PRM or SRC_ADDR). 334/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 335: Message Mapping
As a consequence of this, the scale and the meaning of some parameters depends directly to the specific model of Turbo Pump controller connected to the interface. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 335/360...
Page 336: Profibus Message Mapping
Set how long the vent will remain open, then both purge 0 = inf. and vent will be closed. Valid only in “purge/vent auto mode” (Parameter Buffer byte-15 B1=0); 0 = infinite (the valve remain open till a start command) 336/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 337 1 = current 2 = time 3 = status (normal operation) B6. B7 - Analog Output Type Set the analog output on remote I/O connector proportional to: 0 = frequency 1 = power Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 337/360...
Page 338 1 = yes (after a stop command the user can know the real rotor speed; see In Buff. Byte Offset 6) (this function is available for the latest controllers, otherwise will be ignored) 338/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 339 Total pump running time 0-100 Voltage Voltage provided to the motor °C 0-70 Pump Bearing Temperature Read the pump upper bearing temperature.If > 60°C the controller goes in fail and the pump is stopped Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 339/360...
Page 340 B5 – Over-voltage (not used) B4 – Verify Line Select (the auto voltage selection mismatch the real input voltage) B3 – Power Fail (internal circuitry failure) 340/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 341 0 = close, 1 = open B5 – Set Point Status 0 = open, 1 = closed B6 – Flow meter Alarm Status Specific option, not available on standard models B7 – Not Used Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 341/360...
Page 342: Diagnostic Management
(diag status byte): Write success Controller response was “NACK” Controller response was “Unknown window” Controller response was “Bad Data Type” 342/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 343: Diagnostic Buffer
(slave has to be re-parameterised) stat diag (static diagnosis) fixed ‘1’ wd_on (response monitoring active) Freeze mode (received freeze command) Synch mode (received synch command) reserved diag deactivated (slave is parameterised by another master) Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 343/360...
Page 344 Vent Valve Open Delay diag status 7 - 4 Vent Open Time diag status 3 - 0 Vent/Purge Auto/Man diag status 7 - 4 Vent/Purge Remote/Profibus diag status 3 - 0 344/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 345 7 - 4 Start/Stop/Interlock Mode diag status 3 - 0 Set Point Type diag status 7 - 4 Analog Out Type 3 - 0 Reserved 7 - 4 Reserved 3 - 0 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 345/360...
Page 346: Inlet Screen Installation
The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. It is welded to the center ring of the ISO 250 F viton gasket. 346/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 347 If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should CAUTION! be installed to pre-vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump. The maximum temperature allowed for the inlet flange is 80 °C. Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 347/360...
Page 348: Water Cooling Connection
The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is suggested. 348/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 349: Pump Purging And Venting
Technical Information Pump Purging and Venting Pump Purging and Venting The Turbo-V 2K-G pump is equipped with an integrated purging and venting valve device. Both valves are fed through a single gas port, with 1/8 NPT thread or Swagelok connector.
Page 350 Turn off the Turbopump. Open the Turbo-V 2K-G vent electro valve up to the atmospheric pressure in the system. When the Turbo-V 2K-G pump and the backing pump are stopped...
Page 351: High Vacuum Flange Connection
High Vacuum Flange Connection High Vacuum Flange Connection To connect the Turbo-V 2K-G pump to the ISO F inlet flange position the integrated inlet screen - centering ring as shown in the figure. Then fix the two flanges with the bolts as shown in the following figures.
Page 352: Fore-Vacuum Pump Connection
If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. The Turbo-V 2K-G pump is characterized by its high compression ratio also for NOTE oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming.
Page 353: Accessories And Spare Parts
Water cooling kit for 6x8 (IDxOD) flexible tube (plastic model) 9699348 Water cooling kit for 3/8 in. ID flexible tube (metallic model) 9699338 IP-54 Accessory kit – Type 1 9698960 Turbo-V Remote Panel 9698850 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 353/360...
Page 354 Technical Information Accessories and Spare Parts 354/360 Turbo-V 2K-G Pumping System User Manual / 87-900-968-01 (H)
Page 360 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Ce manuel est également adapté pour:

9698871 9698873

Agilent Technologies Turbo-V 2K-G Notice De Mode D'emploi

Liens rapides

Chapitres

Manuels Connexes pour Agilent Technologies Turbo-V 2K-G

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies Turbo-V 2K-G