Agilent Technologies HS-16 Manuel D'instructions

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Pompes à diffusion à

haut débit

Pièce n° 699901140

Rév. C

Janvier 2005

HS-16

HS-20

HS-32

NHS-35

NOTICE: This document contains references to Varian.

Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent

Technologies. For more information, go to

www.agilent.com/chem.

vacuum technologies

MANUEL D'INSTRUCTIONSH

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies HS-16

Page 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. vacuum technologies Pompes à diffusion à MANUEL D'INSTRUCTIONSH haut débit HS-16 HS-20 HS-32 NHS-35 Pièce n° 699901140 Rév. C Janvier 2005...
Page 2 Pompes à diffusion à haut débit ® Liquide pour pompe à diffusion Santovac 5 de SANTOVAC FLUIDS, INC. ® Viton estunemarque déposée de E.IduPont de Nemours and Company.. Copyright 2005 Vacuum Technologies...
Page 3 Pompes à diffusion à haut débit Table des matières Dangers des pompes à diffusion ....1 Explosion ....... 2 Dangers de pressurisation .
Page 4 Câblage HS-16 200/240/400/430/440/480 V 19 Emplacements des schémas de câblage..17 Câblage HS-16 415 V ....20 Températures des rupteurs thermiques ..18 Câblage HS-20 200/240/400/430/480 V .
Page 5 Pompes à diffusion à haut débit Préface Mise en garde Le fonctionnement et la maintenance de cet équipement impliquent des risques sérieux. L’utilisateur est responsable de préserver un environnement de Garantie fonctionnement sécurisé à tout instant. Varian n’accepte aucune responsabilité pour des blessures ou dommages Les produits fabriqués par le Vendeur sont garantis contre découlant du fonctionnement ou de l’entretien de cet tous défauts, pièces et main d’oeuvre, durant douze(12)
Page 6 Pompes à diffusion à haut débit Instructions d’utilisation Cet équipement est conçu uniquement pour les professionnels. L’utilisateur doit lire ce manuel d’instructions et toute autre information supplémentaire fournie par Vacuum Technologies avant d’utiliser cet équipement. Vacuum Technologies ne peut être tenu responsable d’un événement découlant du non respect de ces instructions, d’une utilisation incorrecte par des personnes non qualifiées, d’interférence non autorisée avec l’équipement, ou de toute action contraire aux mesures approuvées par des normes nationales spécifiques.
Page 7 è conforme alla/e sequente/I norma/o documento/I normativo/i. VMF-11 VHS-6 HS-16 AX-65 VHS-250 HS-20 AX-150...
Page 8 Pompes à diffusion à haut débit Cette page a été laissée intentionnellement vierge.
Page 9 Pompes à diffusion à haut débit Dangers des pompes à diffusion Les concepteurs de systèmes avec pompes à diffusion doivent éliminer autant que possible les dangers. Pour les dangers qui ne peuvent être éliminés, des avertissements, des procédures et des instructions sur l’utilisation et l’entretien corrects sont fournis.
Page 10 Pompes à diffusion à haut débit Explosion Tableau 2 Situations explosives ❑ Le fonctionnement de la pompe à diffusion sans une évacuation continue inférieure à 0,5 Torr Situation source Action interdite de l’explosion (0,67 mbar), ou sans liquide de refroidissement, et en introduisant un agent d’oxydation (comme l’air) ou Ne faites pas fonctionner la Température excessive...
Page 11 Pompes à diffusion à haut débit Substances dangereuses Dangers de pressurisation ❑ ❑ Les grandes pompes à vide et leurs composants sont Dangers chimiques de l’acétone et de l’alcool : Les conçus pour fournir un vide ; elles ne sont pas pompes à...
Page 12 Pompes à diffusion à haut débit Températures élevées Hautes tensions ❑ ❑ Surfaces chaudes : Les températures de la chaudière Les éléments chauffants d’une pompe à diffusion atteignent 275°C fonctionnent à des tensions mortellement élevées. ce qui peut provoquer des brûlures graves. Vérifiez Concevez les systèmes pour éviter que les hautes toujours que les surfaces ont atteint la température tensions n’affectent le personnel.
Page 13 Pompes à diffusion à haut débit Bases d’une pompe à diffusion Les pompes à diffusion sont utilisées quand le débit pour Fonctionnement de la pompe les charges gazeuses élevées est important. Les pompes à − La pompe à diffusion fonctionne en chauffant le fluide de diffusion commencent à...
Page 14 Pompes à diffusion à haut débit...
Page 15 Pompes à diffusion à haut débit...
Page 16 Cette relation est illustrée dans le groupe de graphiques pour les grandes pompes à vide des Figure 2 à Figure 5. Figure 2 Courbes de vitesse et de débit HS-16, 8,1 kW8 Figure 4 Courbes de vitesse et de débit HS-32 Figure 5 Courbes de vitesse et de débit NHS-35...
Page 17 Serpentin de refroidissement de la tubulure de vide primaire Verre indicateur avec remplissage et purge 1/4 F.P.T. Serpentins de Refroidissement Rapide (option) Figure 6 Vue générale de HS-16 avec les brides ASA Tableau 6 Dimensions des brides de HS-16 Tubulure de Unités Admission...
Page 18 Pompes à diffusion à haut débit Tableau 7 HS-20 : Dimensions et poids Unités HS-20 Hauteur minimale pouce (mm) 56 (1422) comprenant l’espacement pour l’accès à l’élément chauffant Poids livres (kg) 600 (272,2) Branchements : Corps et tubulure de pouces 1/4 FPT vide primaire pouces...
Page 19 Pompes à diffusion à haut débit Tableau 9 HS-32 : Dimensions et poids Unités HS-32 Hauteur minimale pouce (mm) 74 (1879,6) comprenant l’espacement pour l’accès à l’élément chauffant Poids livres (kg) 1500 (680,4) Branchements : Corps et tubulure de vide pouces 3/8 FPT primaire...
Page 20 Pompes à diffusion à haut débit Tableau 10 Dimensions de la bride de HS-32 Tubulure de vide Unités Admission primaire Admission, 800 F Tubulure, 200 K Rainure pour joint Diam. int. pouce (mm) 32,5 (825,5) 7,44 (189,0) 32,75 (831,9) Nécessite NW-200 Largeur pouces (mm) 0,56 (14,2)
Page 21 Pompes à diffusion à haut débit Tableau 12 Dimensions des brides de NHS-35 Tubulure de vide Unités Admission primaire Admission, 1000 F Tubulure, 200 K Cercle de boulonnage pouce (mm) 38,50 (977,9) 9,50 (241,3) 42,90 (1089,7) Nb d’orifices Taille des orifices pouce (mm) 0,87 (22,1) 0,81 (20,6)
Page 22 Pompes à diffusion à haut débit Déballage Installation ❑ A V E R T I S S E M E N T S Avant de lever une pompe, vérifiez le Montage poids de l’équipement dans le 1. Enlevez les couvercles de bride, les prises vierges et Tableau 4à...
Page 23 Pompes à diffusion à haut débit Nettoyage d’une pompe neuve Démontage pour le nettoyage initial Cette procédure implique le nettoyage des éléments NOTE Une pompe neuve doit être nettoyée suivants : uniquement si le vide souhaité est ❑ − Groupe de tuyères inférieur à...
Page 24 Pompes à diffusion à haut débit particulier les rainures de joints toriques, à l’air comprimé propre, sec et exempt d’huile. 4. Réinstallez la bague ronde d’étanchéité.
Page 25 Pompes à diffusion à haut débit Branchements du système et des utilitaires A VERTI S SEMENT La panne d’un utilitaire peut provoquer une surchauffe, endommager l’équipement ou le faire exploser. Concevez votre système de manière à protéger le personnel et le matériel de ces dangers. Branchements du vide Eau de refroidissement Le corps de la pompe doit être installé...
Page 26 Pompes à diffusion à haut débit Branchement du serpentin de Refroidissement Obtention d’un vide élevé sur la NHS-35 Rapide Pendant un fonctionnement à faible pression (inférieure à − Le serpentin de Refroidissement Rapide situé au niveau 1x10 Torr), la pression limite peut être abaissée en de la tôle de chaudière doit être connecté...
Page 27 à câblage. diffusion. Tableau 13 Emplacements des schémas de câblage Tension de source Câblage HS-16 Câblage HS-20 Câblage HS-32 Câblage NHS-35 Figure 13à la page 23 Figure 15à la page 25 Figure 11à...
Page 28 Tableau 14 Températures des rupteurs thermiques ❑ un niveau de fluide faible dans la chaudière Unité Si vous déterminez que la pompe n’a pas surchauffé, que HS-16 HS-20 HS-32 NHS-35 le rupteur thermique est tombé en panne ou qu’il n’est plus correctement étalonné,...
Page 29 440 V ≈ 41 Ω 440 V ≈ 72 Ω 440 V ≈ 61 Ω 480 V ≈ 55 Ω 480 V ≈ 46 Ω 480 V ≈ 85 Ω 480 V ≈ 72 Ω Figure 11 Câblage 200/240/400/430/440/480 V HS-16...
Page 30 Pompes à diffusion à haut débit Figure 12 Câblage 415 V HS-16...
Page 31 Pompes à diffusion à haut débit Figure 13 Câblage 200/240/400/430/480 V HS-20...
Page 32 Pompes à diffusion à haut débit Figure 14 Câblage 415 V HS-20...
Page 33 Pompes à diffusion à haut débit Figure 15 Câblage 200 V HS-32...
Page 34 Pompes à diffusion à haut débit Figure 16 Câblage 240 V HS-32...
Page 35 Pompes à diffusion à haut débit Figure 17 Câblage 460 V HS-32...
Page 36 Pompes à diffusion à haut débit Figure 18 Câblage 415 V HS-32...
Page 37 Pompes à diffusion à haut débit Figure 19 Câblage 480 V HS-32...
Page 38 Pompes à diffusion à haut débit = 67.8A à 240V = 34.6A à 400V = 31,5A à 410V Figure 20 Câblage 240/400/440 V NHS-35...
Page 39 Pompes à diffusion à haut débit Figure 21 Câblage 415 V NHS-35...
Page 40 Pompes à diffusion à haut débit Figure 22 Câblage 480 V NHS-35...
Page 41 Pompes à diffusion à haut débit Essai de vide initial Avant de charger le fluide dans la pompe, effectuez cet Pour réaliser l'essai de vide initial : essai de vide initial pour établir l’étanchéité du système et 1. Confirmez les caractéristiques de la pression de vide de ses connexions de vide.
Page 42 Pompes à diffusion à haut débit Ajout ou remplacement du fluide La charge de fluide recommandée pour chaque pompe est indiquée dans le Tableau 4à la page 6. de la pompe Les fluides peuvent être stockés dans des conteneurs propres et étanches, et doivent être clairement identifiés A V E R T I S S E M E N T S Le risque d’explosion sur les grandes selon leurs types.
Page 43 Pompes à diffusion à haut débit Pour ajouter ou remplacer le fluide de pompage : 4. Enlevez le bouchon de l’orifice de remplissage de la pompe et versez le fluide jusqu’au niveau FULL 1. Repérez les raccords de remplissage et de purge sur COLD (plein à...
Page 44 Pompes à diffusion à haut débit Fonctionnement Pendant l’installation initiale, le fluide de la pompe ❑ N’actionnez pas l’élément chauffant ATTENTION nouvellement installée peut être soumis à un dégazage. sans fluide dans la pompe. Cela peut Cela peut entraîner des variations de pression dans la détruire l’...
Page 45 Pompes à diffusion à haut débit Procédure de démarrage Procédure d’arrêt Pour démarrer la pompe : 1. Videz la pompe à diffusion à l’aide d’une pompe de A VERTI S SEMENT 1. La décharge ou l’admission d’air prévidage mécanique pour obtenir une pression dans une pompe équipée d’une inférieure à...
Page 46 Pompes à diffusion à haut débit Maintenance Effectuez ces vérifications périodiques pour assurer un fonctionnement sans problème. Cette maintenance évite des procédures d’arrêt et de nettoyage coûteuses. Conservez un journal quotidien sur la performance de la pompe et du système pour identifier les variations importantes qui nécessitent une action corrective. Inspections périodiques L’intervalle maximum entre les inspections de la pompe Pour réaliser la maintenance générale, procédez comme...
Page 47 Pompes à diffusion à haut débit Nettoyage Sécurité pendant le nettoyage Le nettoyage d’une pompe à diffusion implique Un nettoyage complet de la pompe peut être nécessaire l’utilisation d’acétone et d’alcool qui sont des produits suite à une détérioration du fluide. L’enlèvement de la toxiques et explosifs.
Page 48 Pompes à diffusion à haut débit Procédures de démontage et de remontage Chapeau refroidi Pour démonter le chapeau refroidi, consultez la Figure 24 Pourremonter le chapeau refroidi : et procédez comme suit. 1. Insérez l’extrémité de la conduite d’eau du chapeau dans l’ouverture de l’orifice du chapeau située sur le Le déflecteur halo se démonte de la NOTE...
Page 49 à ce que le sommet de l’accouplement des tuyères soit aligné avec le bouchon à orifice inférieur comme illustré à la Figure 25 Groupe de tuyères HS-16 Figure 27.
Page 50 Pompes à diffusion à haut débit Pour démonter le groupe de tuyères : Groupe de tuyères HS-20 1. Enlevez le chapeau refroidi ou le déflecteur halo comme décrit dans la section “Chapeau refroidià la page 40. 2. Dévissez le chapeau des tuyères de l’accouplement. 3.
Page 51 Pompes à diffusion à haut débit Pour remonter le groupe de tuyères : 6. Installez le groupe de tuyères inférieur dans la pompe. 1. Replacez les tuyères du 4ème étage sur la base de tuyères. 7. Vérifiez que le groupe inférieur repose fermement sur la pompe, l'éjecteur étant correctement 2.
Page 52 Pompes à diffusion à haut débit Pour démonter le groupe de tuyères : Groupe de tuyères HS-32 1. Dévissez et enlevez l’écrou hexagonal maintenant en place le chapeau refroidi. Notez son orientation avant l’enlèvement. Chapeau refroidi 2. Enlevez le chapeau refroidi (ou le déflecteur halo) comme décrit dans la section “Chapeau refroidià...
Page 53 Pompes à diffusion à haut débit Pour remonter le groupe de tuyères : 7. En utilisant le membre transversal et l’équipement de levage approprié, abaissez l’ensemble du groupe de 1. Si la tige de tuyères centrale a été enlevée ou tuyères dans le corps de la pompe, sur la tige centrale desserrée pendant le démontage, revissez-la dans la de tuyères.
Page 54 Pompes à diffusion à haut débit 8. Enlevez les écrous de fixation et soulevez le 3ème Groupe de tuyères NHS-35 étage et le tube de fractionnement pour les détacher du 4ème étage. Eau refroidie 9. Enlevez la protection du 4ème étage. Chapeau refroidi 10.
Page 55 Pompes à diffusion à haut débit Procédure de remplacement de l’élément Pour remplacer un élément chauffant : chauffant 1. Utilisez un ohmmètre au niveau du coffret électrique pour déterminer quel élément chauffant est La Figure 30 montre les composants du groupe défectueux.
Page 56 Pompes à diffusion à haut débit ATTENTION Le câblage et les cosses de l’élément chauffant ne doivent pas être composés de fils en cuivre ou plaqués cuivre car ils pourraient s’oxyder rapidement et tomber en panne à cause des hautes températures présentes à...
Page 57 Pompes à diffusion à haut débit Détection des pannes Fuite Dégazage Si vous pensez qu’une fuite est la cause d’une faible Les systèmes à vide poussé, même sans fuite externe, performance, vérifiez tout d’abord les éléments suivants : peuvent présenter des charges gazeuses élevées à cause des dégazages provenant des surfaces ou des procédés ❑...
Page 58 Pompes à diffusion à haut débit Faible performance de la pompe ou du système Le Tableau 15 indique les pannes, les causes probables et les actions correctives à entreprendre en cas de problème avec une grande pompe à diffusion. Tableau 15 Guide de détection des pannes Erreur Cause probable Action corrective...
Page 59 Pompes à diffusion à haut débit Pièces de rechange Tableau 16 Pièces de rechange HS-16 Numéro de pièce Descriptif 79299301 Chapeau refroidi, comprend une vis n°10-32 SST Rd Hd et un écrou hexagonal n°10-32 SST L8839301 Groupe de joints pour chapeau refroidi L8840301 Groupe d'écrous et de fouloirs pour chapeau refroidi...
Page 60 Pompes à diffusion à haut débit Tableau 17 Pièces de rechange HS-20 Numéro de pièce Descriptif 84358301 Chapeau refroidi, comprend une vis n°10-32 SST Rd Hd et un écrou hexagonal n°10-32 SST 660811494 Joint pour chapeau refroidi F2622001 Fouloir pour chapeau refroidi, laiton 75786001 Ecrou pour chapeau refroidi 622445026...
Page 61 Pompes à diffusion à haut débit Tableau 18 Pièces de rechange HS-32 Numéro de pièce Descriptif 77252801 Chapeau refroidi, comprend une vis n°10-32 SST Rd Hd et un écrou hexagonal n°10-32 SST 660811494 Guide de chapeau refroidi F2622001 Fouloir pour chapeau refroidi (laiton) 75786001 Ecrou pour chapeau refroidi 622445026...
Page 62 Pompes à diffusion à haut débit Tableau 19 Pièces de rechange NHS-35 Numéro de pièce Descriptif 81437301 Chapeau refroidi (comprend une vis n°10-32 SST Rd Hd et un écrou hexagonal n°10-32) SST 660811494 Joint pour chapeau refroidi F2622001 Fouloir pour chapeau refroidi (laiton) 75786001 Ecrou pour chapeau refroidi 622445026...
Page 64 Bureaux de ventes et de services Bureaux de ventes et de services Canada Japon Autres pays Coordination centrale par le biais de : Varian, Inc. Varian, Inc. Varian, Inc. Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Via F.lli Varian 54 121 Hartwell Avenue 4-16-36 Shibaura 10040 Leini, (Torino) Lexington, MA 02421...

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