Table des Matières
Publicité
Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System
I dette afsnit beskrives de vigtigste operative procedurer. Alle de
elektriske og pneumatiske tilslutninger skal udføres, før systemet
tages i brug.
Under den eventuelle opvarmning af vakuumkammeret må
indgangsflangens temperatur ikke overstige 80 °C.
Operatøren skal sørge for at afkølingen er korrekt indstillet (WIN
106): 1 for vandafkøling, 0 for tvungen luftafkøling
(standardindstilling), ved indstilling af den serielle styring WIN 106.
For yderligere oplysninger henvises til bilaget "Technical
Information".
Operatøren skal sørge for at indstille driften korrekt i funktion af den
type gas, som skal pumpes (WIN 157): 1 for N
for argon (standardindstilling), ved indstilling af den serielle styring
WIN 157. For yderligere oplysninger henvises til bilaget "Technical
Information".
ADVARSEL!
Sæt aldrig pumpen i drift hvis indgangsflangen ikke er tilsluttet
vakuumkammeret eller ikke er lukket med lukkeflangen. Rør aldrig ved
turbopumpen og dens eventuelle ekstraudstyr under opvarmningen. Den høje
temperatur kan give forbrændinger.
Undgå stød, svingninger eller pludselige bevægelser af pumpen, når den er i drift.
FORSIGTIG!
Kuglelejerne kan blive beskadigede. Til fremføring af luft fra pumpen skal der
anvendes luft eller inerte gasser fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem
den relevante åbning skal være under 2 bar (over det atmosfæriske tryk). For at
pumpe gas, der indeholder partikler eller forurenende stoffer som kan beskadige
kuglelejerne, er disse pumper udstyret med en åbning (eller en specifik anordning
til purge/vent som ekstraudstyr), gennem hvilken det er nødvendigt at forsyne
pumpen med inerte gasser (nitrogen, helium eller argon) for at beskytte pumpens
kuglelejer (se bilaget "Technical Information").
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01
Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System
(A)
Istruktionsbog
eller lettere gasser, 0
2
135/406
7
Publicité
Chapitres
Table des Matières
