Agilent Technologies Turbo-V 750 TwisTorr Mode D'emploi

page de 406

/ 406
Matières
Table des Matières
Signets

Table des Matières

Liens rapides

Télécharger ce manuel

Manuale di istruzioni

Bedienungshandbuch

Notice de mode d'emploi

Manual de istrucciones

Manual de istruções

Bedrijfshandleiding

Istrukstionsbog

Bruksanvisning

87-901-020-01 (A)

04/2011

Turbo-V 750/850

TwisTorr

Pump models: 969-6013, 969-6014,

969-6015, 969-6016, 969-6017, 969-6018,

969-6019

Pumping System models: 969-8813,

969-8814, 969-8815, 969-8816, 969-8818,

969-8819

Instruksjon manual

Ohjekäsikirja

Felhasználói kézikönyv

Podrecznik instrukcji

Návod k použití

Návod na obsluhu

Priročnik za navodila

User Manual

Table des Matières

Chapitres

Table des Matières

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies Turbo-V 750 TwisTorr

Page 1 Turbo-V 750/850 TwisTorr Pump models: 969-6013, 969-6014, 969-6015, 969-6016, 969-6017, 969-6018, 969-6019 Pumping System models: 969-8813, 969-8814, 969-8815, 969-8816, 969-8818, 969-8819 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití...
Page 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2011 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Page 3 Turbo-V 750/850 TwisTorr Turbo-V 750/850 TwisTorr Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 3/406...
Page 4 Turbo-V 750/850 TwisTorr 4/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 5: Table Des Matières
Contents Contents Istruzioni per l’uso 15 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16 Informazioni Generali 17 Immagazzinamento 19 Preparazione per l’installazione 20 Installazione 22 Fissaggio della pompa 23 Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 25 Manutenzione 30 Smaltimento 31 Gebrauchsanleitung 33 ...
Page 6 Contents Entsorgung 50 Mode d’emploi 51 Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 52 Indications generales 53 Stockage 55 Preparation pour l‘installation 56 Installation 58 Fixation de la pompe 59 Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system 61 Entretien 67 Mise au rebut 68 ...
Page 7 Contents Manual de Istruções 89 Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 90 Informações gerais 91 Armazenagem 93 Preparação para a instalação 94 Instalação 96 Fixação da bomba 97 Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 99 Manutenção 105 Eliminação 106 Bedrijfshandleiding 107 ...
Page 8 Contents Generel Information 127 Opbevaring 129 Forberedelse før installation 130 Installation 132 Fastgørelse af pumpe 133 Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 135 Vedligeholdelse 141 Bortskaffelse 142 Bruksanvisning 143 Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 144 Allmän Information 145 Förvaring 147 Förberedelser för installationen 148 ...
Page 9 Contents Klargjøre til installasjon 166 Installasjon 168 Festing av pumpen 169 Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 171 Vedlikehold 176 Eliminering 177 10 Ohjekäsikirja 179 Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 180 Yleisiä tietoja 181 Varastointi 183 Valmistelut asennusta varten184 Asennus 186 Pumpun kiinnitys 187 ...
Page 10 Contents A szivattyú rögzítése 205 A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata 207 Karbantartás 212 Megsemmisítés 213 12 Podrecznik Instrukcji 215 Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 216 Ogólne informacje 217 Magazynowanie 219 Przygotowanie do instalacji 220 Instalacja 222 Mocowanie pompy 223 Obsługa Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 225 ...
Page 11 Contents Údržba 249 Likvidace 250 14 Návod na Obsluhu 251 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 252 Všeobecné informácie 253 Uchovávanie 255 Príprava na inštaláciu 256 Inštalácia 258 Upevnenie vývevy 259 Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 261 Údržba 267 Likvidácia 268 ...
Page 12 Contents 16 Instructions for Use 287 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 288 General Information 289 Storage 291 Preparation for Installation 292 Installation 294 Pump Fixing 295 Use of Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 297 Maintenance 302 Disposal 303 17 Technical Information 305 ...
Page 13 Contents RS 232/RS 485 Communication Description 358 Soft Start 367 Leak Check Mode 368 Agilent T-Plus 369 Inlet screen installation 372 Air Cooling Kit Installation 374 Water Cooling Kit Connection 379 Vibration Isolator Installation 382 Connection of the High Vacuum Flange 382 ...
Page 14 Contents 14/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 15: Istruzioni Per L'uso
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 17 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 20 Installazione Fissaggio della pompa 23 Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 25 Come avviare il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Come arrestare il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System...
Page 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Page 17: Informazioni Generali
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Page 18 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Page 19: Immagazzinamento
Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –20 °C a 70 °C umidità...
Page 20: Preparazione Per L'installazione
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione Il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni.
Page 21 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Figura 1 L’imballo del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System comprende: Pompa con controller integrato Inlet screen (montato) Questo manuale di istruzioni su CD-ROM Scatola accessori: controconnettore a 15 vie “REMOTE I/O” IP-54 con integrate le connessioni necessarie a far partire la pompa controconnettore a 9 vie “SERIAL”...
Page 22: Installazione
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del ATTENZIONE! collegamento della turbopompa al sistema. Figura 2 Installare questo apparato solo in ambienti chiusi, ed in ogni caso non utilizzarlo in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Page 23: Fissaggio Della Pompa
Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa Fissaggio della pompa La mancata osservazione di queste istruzioni di installazione, nel caso in cui AVVERTENZA! si verifichi un guasto del rotore, può provocare il distacco della pompa dal sistema, causando danneggiamenti, gravi ferite o morte. Il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System può...
Page 24 Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa La seguente tabella descrive, per ogni flangia CF, il numero di viti necessarie e con quale coppia di serraggio stringerle secondo le raccomandazioni di Agilent. Si suggerisce di usare il materiale Agilent appropriato. Vedere l’appendice ”Technical Information” per la descrizione dettagliata.
Page 25: Uso Del Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Istruzioni per l’uso Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 80 °C.
Page 26: Come Avviare Il Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Istruzioni per l’uso Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Non usare mai la pompa in presenza di gas o vapori corrosivi che possano ATTENZIONE! danneggiare i materiali interni alla pompa. AVVERTENZA! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas.
Page 27 Istruzioni per l’uso Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System dare il segnale di START da remoto tramite l'interfaccia seriale RS 232/485 (vedere il paragrafo "RS 232/485 Communication Description" nell'appendice "Technical Information"). AVVERTENZA! Quando viene fornita l'alimentazione ed il controconnettore a 15 pin in dotazione è...
Page 28: Come Arrestare Il Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Istruzioni per l’uso Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Come arrestare il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Per arrestare la pompa si può usare uno dei seguenti metodi: togliendo il controconnettore di I/O in dotazione inviando un segnale di STOP da remoto tramite il connettore I/O (vedere il paragrafo "J1 –...
Page 29: Arresto Di Emergenza
Istruzioni per l’uso Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Arresto di Emergenza Per arrestare immediatamente in condizioni di emergenza il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System occorre staccare il cavo di alimentazione dall’alimentazione. Occorre però tenere conto che questa operazione oltre a disabilitare completamente l'alimentazione della pompa disabilita anche tutte le altre funzionalità...
Page 30: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Page 31: Smaltimento
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Page 32 Istruzioni per l’uso Smaltimento 32/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 33: Gebrauchsanleitung
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 34 Allgemeine Informationen 35 Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems43 Wie man das Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System startet 45 Wie man dasTurbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System anhält 47 Not-Aus Wartung...
Page 34: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Page 35: Allgemeine Informationen
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch be-stimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Page 36 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Page 37: Lagerung
Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –20 °C bis 70 °C Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 90 % (nicht kondensierend) Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in Gang zu...
Page 38: Vor Der Installation
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Modell Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Page 39 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Abbildung 1 Die Verpackung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems besteht aus: Pumpe mit integriertem Controller Zulaufsiebung (montiert) Dieses Bedienungshandbuch auf CD-ROM Schachtel mit Zubehör: Gegenstecker 15-fach “REMOTE I/O” IP-54 mit den notwendigen Anschlüssen, um die Pumpe zu starten Gegenstecker 9-fach “SERIAL”...
Page 40: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Installation Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß der VORSICHT! Turbopumpe an das System abnehmen. Abbildung 2 Das Gerät darf nur in geschlossenen Umgebungen installiert und nicht in Umgebungen benutzt werden, wo es Witterungsbedingungen (Regen, Frost und Schnee), Staub oder ätzenden Gasen ausgesetzt ist oder die explosionsfähig oder mit einer erhöhten Brandgefahr sind.
Page 41: Befestigung Der Pumpe
Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Befestigung der Pumpe Die Nichtachtung dieser Installationsanleitungen kann im Falle eines WARNUNG! Rotorschadens das Abtrennen der Pumpe vom System hervorrufen und damit Schäden, schwere Verletzungen oder Tod verursachen. Das Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System kann in jeder Position installiert werden.
Page 42 Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Die nachfolgende Tabelle beschreibt für jeden Flansch CF die Anzahl der notwendigen Schrauben und mit welchem Anzugsmoment sie gemäß Empfehlung von Agilent festzuschrauben sind. Man empfiehlt die Verwendung von passendem Agilent-Material. Für eine detaillierte Beschreibung bitte im Anhang ”Technical Information” nachschauen.
Page 43: Nutzung Des Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping Systems
Gebrauchsanleitung Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems In diesem Absatz sind die wichtigsten Arbeitsschritte beschrieben. Bevor man das System verwendet, alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse ausführen. Während des eventuellen Erhitzens der Vakuumkammer darf die Temperatur auf dem Eingangsflansch die 80 °C nicht überschreiten.
Page 44 Gebrauchsanleitung Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems Wenn die Pumpe in Betrieb ist, Stöße, Schwingungen oder brüske VORSICHT! Verschiebungen vermeiden. Die Lager könnten beschädigt werden. Für die Luftzufuhr der Pumpe inerte Luft oder Gas, frei von Staub und Teilchen, verwenden.
Page 45: Wie Man Das Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Startet
Gebrauchsanleitung Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems Wie man das Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System startet Vor dem Systemstart kontrollieren, dass der Gegenstecker I/O entfernt wurde. Ist das System an einer ferngesteuerten I/O Vorrichtung angeschlossen, sichergehen, dass das STOPP-Signal aktiv ist (siehe Absatz "J1 –...
Page 46 Gebrauchsanleitung Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems Das grüne LED auf der Stirntafel der Basis des 750/850 TwisTorr Pumping Systems zeigt mit der Frequenz seines Blinkens die Betriebsbedingungen des Systems an: Fix eingeschaltet: Die Pumpe ist in normaler Rotation. Langsam blinkend (Zeit etwa 400 ms): Das System ist auf der Rampe, am Bremsen oder am Stoppen oder “Waiting for interlock”;...
Page 47: Wie Man Dasturbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Anhält
Gebrauchsanleitung Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems Um den Stand des Schutzgrades IP-54 beizubehalten, muss man ausschließlich HINWEIS die mit der Pumpe mitgelieferten Stecker verwenden. Für das Speisekabel nur die PN benutzen: 969-9957 oder 969-9958. Dieses Kabel und den Stecker an eine angemessen geerdete Buchse anschließen, um elektrische Schläge zu vermeiden und den CE-Normen zu entsprechen.
Page 48: Not-Aus
Gebrauchsanleitung Nutzung des Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systems Not-Aus Um im Notfall sofort das Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System abzustellen, muss man das Speisekabel entfernen. Zu beachten ist, dass bei diesem Vorgang nicht nur die Versorgung der Pumpe vollständig unterbrochen wird sondern auch alle anderen Funktionen des Controllers, wie zum Beispiel die Verwaltung des kontrollierten Purgierens und Entlüftens und die Fähigkeit, mit dem Pumpensystem über I/Os, Serielle oder Profibus zu kommunizieren.
Page 49: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Page 50: Entsorgung
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Page 51: Mode D'emploi
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications generales 53 Stockage Preparation pour l‘installation 56 Installation Fixation de la pompe 59 Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system 61 Comment démarrer le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System62 Comment arrêter le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System...
Page 52: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Page 53: Indications Generales
Mode d’emploi Indications generales Indications generales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Page 54 Mode d’emploi Indications generales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manœuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions. Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non ATTENTION! respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage.
Page 55: Stockage
Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température : de –20 °C à...
Page 56: Preparation Pour L'installation
Mode d’emploi Preparation pour l‘installation Preparation pour l‘installation Le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Page 57 Mode d’emploi Preparation pour l‘installation Figure 1 Contenu de l’emballage du Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System: Pompe à contrôleur intégré Inlet screen (monté) Un mode d'emploi sur CD-ROM Boîte d'accessoires: contre-connecteur 15 voies "REMOTE I/O” IP-54 comprenant les connexions nécessaires pour démarrer la pompe contre-connecteur 9 voies “SERIAL”...
Page 58: Installation
Mode d’emploi Installation Installation Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de ATTENTION! brancher la turbopompe au système. Figure 2 Installer cet appareil uniquement dans un local fermé et ne jamais l'utiliser dans un milieu exposé aux conditions atmosphériques (pluie, gel, neige), à...
Page 59: Fixation De La Pompe
Mode d’emploi Fixation de la pompe Fixation de la pompe AVERTISSEMENT! Tout non-respect des présentes instructions lors de l'installation du système risque de provoquer un décrochement de la pompe du système en cas de panne du rotor et d'entraîner des dommages, des blessures graves ou la mort. Le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System peut être installé...
Page 60 Mode d’emploi Fixation de la pompe Le tableau ci-dessous décrit, pour chaque bride CF, le nombre de vis nécessaire et le couple de serrage préconisé par Agilent. Il est recommandé d'utiliser le matériel Agilent approprié. Consultez l'annexe ”Technical Information” pour une description détaillée. Tab.
Page 61: Utilisation Du Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Mode d’emploi Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system Ce paragraphe décrit les principales procédures d'utilisation. Avant d'utiliser le système, effectuez tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le réchauffement de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 80 °C.
Page 62: Comment Démarrer Le Turbo-V 750/850 Twistorr
Mode d’emploi Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system Evitez les chocs, les oscillations et les déplacements brusques de la pompe ATTENTION! pendant son fonctionnement. Les roulements peuvent être endommagés. Pour l'alimentation en air de la pompe utilisez de l'air ou un gaz inerte exempt de poussière ou de particules.
Page 63 Mode d’emploi Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system démontez (si présent) le contre-connecteur E/S du système ; pour mettre en marche le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System, celui-ci doit être alimenté par une tension de 48 VCC par une alimentation externe (969-6521) ; amener la pression intérieure de la chambre à...
Page 64 Mode d’emploi Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system AVERTISSEMENT! Si le système est mis sous tension pendant que le contre-connecteur 15 broches fourni est inséré, le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System démarre automatiquement. Le contrôleur fourni est raccordé mécaniquement et électriquement à la pompe. ATTENTION! La dépose du contrôleur du corps de pompe ne peut être effectuée que par un personnel agréé...
Page 65: Comment Arrêter Le Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Mode d’emploi Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system Comment arrêter le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Pour arrêter la pompe, procédez selon une des modalités suivantes: retirez le contre-connecteur d'E/S fourni envoyez un signal de STOP depuis un dispositif de commande distant à...
Page 66: Arrêt D'urgence
Mode d’emploi Utilisation du Turbo-V 750/850 TwisTorr pumping system Arrêt d’urgence Pour arrêter le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System en urgence, débranchez le câble d'alimentation de l'alimentation. Rappelons que cette opération interrompt totalement l'alimentation électrique de la pompe et désactive toutes les fonctions du contrôleur, telles que la gestion de la purge et de l'évent et la capacité...
Page 67: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien Le Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Page 68: Mise Au Rebut
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (unique-ment valide pour les pays de la Communauté euro-péenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Page 69 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 74 Instalación Fijación de la bomba 77 Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Cómo poner en funcionamiento el Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 81 Cómo parar el Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System...
Page 70: Manual De Istrucciones Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Page 71: Información General
Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Page 72 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza los símbolos convencionales siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
Page 73: Almacenamiento
Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –20 °C y 70 °C;...
Page 74: Preparación Para La Instalación
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Page 75 Manual de istrucciones Preparación para la instalación Figura 1 El embalaje del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System incluye: Bomba con controlador integrado Inlet screen (montado) Este manual de instrucciones en CD-ROM Caja de accesorios: contraconector de 15 vías “REMOTE I/O” IP-54 con las conexiones necesarias poner en funcionamiento la bomba integradas contraconector de 9 vías “SERIAL”...
Page 76: Instalación
Manual de istrucciones Instalación Instalación Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la bomba al ¡ATENCIÓN! sistema. Figura 2 Este equipo debe ser instalado sólo en ambientes cerrados y en ninguna circunstancia podrá utilizarse en ambientes expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos ni en ambientes explosivos o sujetos a elevado riesgo de incendio.
Page 77: Fijación De La Bomba
Manual de istrucciones Fijación de la bomba Fijación de la bomba ¡ADVERTENCIA! La falta de cumplimiento de estas instrucciones de instalación, en caso de que se produzca la avería del rotor, puede hacer que la bomba se desconecte del sistema, causando daños, heridas graves o la muerte. El Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System se puede instalar en cualquier posición.
Page 78 Manual de istrucciones Fijación de la bomba La tabla a continuación describe la cantidad de tornillos necesarios para cada brida CF y el par de apriete para apretarlos, según las recomendaciones de Agilent. Se recomienda usar el material Agilent adecuado. Para la descripción detallada, consultar el anexo ”Technical Information”.
Page 79: Uso Del Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Manual de istrucciones Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System En este apartado se presentan los procedimientos operativos principales. Antes de utilizar el sistema, realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el calentamiento eventual de la cámara de vacío, la temperatura en la brida de entrada no debe ser superior a 80 °C.
Page 80 Manual de istrucciones Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Evitar choques, oscilaciones o desplazamientos bruscos de la bomba cuando ¡ATENCIÓN! está en funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para hacer funcionar la bomba, utilizar aire o gas inerte libre de polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta correspondiente, debe ser inferior a 2 bar (más las presión atmosférica).
Page 81: Cómo Poner En Funcionamiento El Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Manual de istrucciones Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Cómo poner en funcionamiento el Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Antes de poner en funcionamiento el sistema, controlar que se haya desconectado el contraconector E/S. Si el sistema está conectado a un dispositivo de E/S a distancia, asegurarse de que la señal de STOP esté...
Page 82 Manual de istrucciones Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System La modalidad “Soft Start” está prevista para poner en funcionamiento la bomba después de un período de detención prolongado. Esto permite una óptima distribución de la grasa en los cojinetes. Para habilitar la modalidad “Soft Start” es necesario activarla mediante el software correspondiente o un mando de E/S a distancia (consultar los apartados “INTERCONNECTION”...
Page 83 Manual de istrucciones Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Antes de poner en funcionamiento el Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping NOTA System después de un período de detención prolongado, se debe activar la función especial SOFT START. El sistema se pone en funcionamiento gradualmente hasta alcanzar la máxima velocidad en un tiempo de aproximadamente 35 minutos.
Page 84: Cómo Parar El Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Manual de istrucciones Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Cómo parar el Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Para parar la bomba, se puede emplear uno de los siguientes métodos: desconectar el contraconector de E/S en dotación enviar la señal de STOP a distancia, mediante el conector E/S (consultar el apartado "J1 –...
Page 85: Parada De Emergencia
Manual de istrucciones Uso del Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Parada de Emergencia Para parar inmediatamente en situaciones de emergencia el Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System, se debe desconectar el cable de alimentación de la tensión. Sin embargo, se debe tener en cuenta que esta operación, además de inhabilitar completamente la alimentación de la bomba, también inhabilita todas las otras funciones del controlador, como por ejemplo, la gestión del Purge y del Vent...
Page 86: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Page 87: Eliminación
Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Page 88 Manual de istrucciones Eliminación 88/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 89: Manual De Istruções
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 90 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 97 Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Como arrancar o Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Como parar o Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System...
Page 90: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.
Page 91: Informações Gerais
Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Page 92 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! observados, podem causar danos à...
Page 93: Armazenagem
Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de –20 °C a 70 °C umidade relativa: de 0 a 90 % (não condensante) ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o...
Page 94: Preparação Para A Instalação
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair o controller e para não submetê-lo a choques ou vibrações.
Page 95 Manual de Istruções Preparação para a instalação Figura 1 A embalagem do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System contém: Bomba com controller integrado Inlet screen (montado) Este manual de instruções em CD-ROM Caixa de acessórios: contra-conector de 15 vias “REMOTE I/O” IP-54 contendo com as conexões necessárias para arrancar a bomba contra-conector de 9 vias “SERIAL”...
Page 96: Instalação
Manual de Istruções Instalação Instalação Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no CUIDADO! momento de ligar a turbobomba ao sistema. Figura 2 Instale este equipamento somente em locais fechados e, para todos os efeitos, não utilize o equipamento em ambientes expostos aos efeitos deletérios do tempo (chuva, gelo, neve), em ambientes sujeitos a pó, gases agressivos, ambientes explosivos ou com alto risco de incêndio.
Page 97: Fixação Da Bomba
Manual de Istruções Fixação da bomba Fixação da bomba A inobservância destas instruções de instalação, caso sejam verificadas ATENÇAO! avarias do rotor, pode provocar o desengate da bomba do sistema, causando danos, feridas graves ou até mesmo a morte. O Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System pode ser instalado em qualquer posição.
Page 98 Manual de Istruções Fixação da bomba A tabela a seguir descreve, para cada flange CF, o número de parafusos necessários e com qual torque de aperto devem ser apertados, de acordo com as recomendações da Agilent. Recomenda- se o uso de material Agilent apropriado. Ver o apêndice “Technical Information”...
Page 99: Uso Do Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Manual de Istruções Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Neste parágrafo são apresentados os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, realizar todas as conexões eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara de vácuo, a temperatura na flange de entrada não deve ser superior a 80 °C.
Page 100 Manual de Istruções Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Evitar golpes, oscilações ou deslocamentos bruscos da bomba quando a CUIDADO! mesma estiver em funcionamento. Os rolamentos poderiam danificar-se. Para o envio de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada pela porta adequada deve ser inferior a 2 bar (além da pressão atmosférica).
Page 101: Como Arrancar O Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Manual de Istruções Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Como arrancar o Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Antes do arranque do sistema, verificar que o contra-conector I/O seja removido. Se o sistema estiver conectado a um dispositivo de I/O remoto, certificar-se de que o sinal de STOP esteja activo (ver o parágrafo "J1 –...
Page 102 Manual de Istruções Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System aceso fixo: a bomba está em rotação normal; lampejante lento (período de aproximadamente 400 ms): o sistema está em estado de rampa, de travagem, de stop ou de "Waiting for interlock"; lampejante rápido (período de aproximadamente 200 ms): condição de erro.
Page 103: Como Parar O Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Manual de Istruções Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Como parar o Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Para parar a bomba é possível utilizar um dos seguintes métodos: retirar o conta-conector I/O fornecido com o equipamento enviar um sinal de STOP à distância mediante o conector I/O (ver o parágrafo "J1 –...
Page 104: Paragem De Emergência
Manual de Istruções Uso do Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Paragem de Emergência Para parar imediatamente o Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System em condições de emergência, é necessário desconectar o cabo de alimentação da rede. No entanto, é necessário considerar que esta operação, além de desabilitar completamente a alimentação da bomba, desabilita também todas as outras funcionalidades do controller, como por exemplo a gestão do Purge e do Vent Controlado...
Page 105: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Page 106: Eliminação
Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Page 107: Bedrijfshandleiding
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 108 Algemene informatie 109 Opslag 111 Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp 115 Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Inschakelen van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 119 Uitschakelen van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 121 Noodstop...
Page 108: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Page 109: Algemene Informatie
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Page 110 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding hanteert de volgende symbolen: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Page 111: Opslag
Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van –20 °C tot 70 °C relatieve vochtigheid: van 0 tot 90 % (niet condenserend) de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft-...
Page 112: Uitpakken
Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken Het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Page 113 Bedrijfshandleiding Uitpakken Figuur 1 De verpakking van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System bevat: Pomp met ingebouwde controller Inlet screen (gemonteerd) Deze handleiding op CD-ROM Doos met toebehoren: 15-polige contraconnector “REMOTE I/O” IP-54 met ingebouwde verbindingen voor het starten van de pomp 9-polige contraconnector “SERIAL”...
Page 114: Installatie
Bedrijfshandleiding Installatie Installatie Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten VOORZICHTIG! mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. Figuur 2 Installeer dit apparaat uitsluitend in gesloten ruimten, en gebruik het in elk geval niet in ruimten die aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof of agressieve gassen zijn blootgesteld, of in ruimten met explosiegevaar of groot risico op brand.
Page 115: Bevestiging Van De Pomp
Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp Bevestiging van de pomp WAARSCHUWING! Indien deze installatie-instructies niet worden opgevolgd, kan bij optreden van een defect aan de rotor de pomp van het systeem losraken met als gevolg schade aan voorwerpen of ernstig letsel of levensgevaar voor personen. Het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Page 116 Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp In de volgende tabel is voor elke CF flens het aantal benodigde bouten aangegeven en het door Agilent aanbevolen aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden. Aangeraden wordt het geschikte Agilent materiaal te gebruiken. Zie de bijlage ”Technical Information”...
Page 117: Gebruik Van Het Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Bedrijfshandleiding Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System In deze paragraaf worden de belangrijkste bedrijfsprocedures vermeld. Alvorens het systeem te gebruiken moeten alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand worden gebracht. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 80 °C bedragen.
Page 118 Bedrijfshandleiding Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de pomp wanneer VOORZICHTIG! deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmosferische druk) bedragen.
Page 119: Inschakelen Van Het Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Bedrijfshandleiding Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Inschakelen van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Controleer alvorens het systeem te starten, of de I/O contraconnector is verwijderd. Indien het systeem op een remote I/O apparaat is aangesloten, controleren of het STOP-signaal actief is (zie paragraaf "J1 –...
Page 120 Bedrijfshandleiding Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System De groene LED op het voorpaneel van de basis van het 750/850 TwisTorr Pumping System geeft door de frequentie waarmee hij knippert, de werkcondities van het systeem aan: brandt onafgebroken: de pomp draait normaal; knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is in de status “oploop”...
Page 121: Uitschakelen Van Het Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Bedrijfshandleiding Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Om het beschermingsniveau IP-54 te behouden moeten uitsluitend de bij de OPMERKING pomp geleverde connectoren worden gebruikt. Gebruik voor de voedingskabel alleen de PN: 969-9957 of 969-9958. Gebruik deze kabel en stekker samen met een goed geaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en aan de vereisten van de EG-normen te voldoen.
Page 122: Noodstop
Bedrijfshandleiding Gebruik van het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Noodstop Om het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System in noodomstandigheden onmiddellijk te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de voedingseenheid afgekoppeld worden. Houd er echter rekening mee dat hierdoor behalve de voeding van de pomp ook alle andere functies van de controller worden uitgeschakeld, zoals bijvoorbeeld het beheer van de gestuurde Purge en Vent en de mogelijkheid om te communiceren met het systeem...
Page 123: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud Het Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd perso¬neel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Page 124: Afvalverwerking
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Page 125: Istruktionsbog
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Fastgørelse af pumpe 133 Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Start af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 136 Stop af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 139 Nødstop Vedligeholdelse 141 Bortskaffelse...
Page 126: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Page 127: Generel Information
Istruktionsbog Generel Information Generel Information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Page 128 Istruktionsbog Generel Information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Page 129: Opbevaring
Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra –20 °C til +70 °C, relativ fugtighed: fra 0 til 90% (ikke kondenserende).
Page 130: Forberedelse Før Installation
Istruktionsbog Forberedelse før installation Forberedelse før installation Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.
Page 131 Istruktionsbog Forberedelse før installation Figur 1 Emballagen for Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System indeholder: Pumpe med indbygget kontroller. Indgangsskærm (monteret). Denne instruktionsmanual på cd-rom. Kasse med tilbehør: Modstik med 15 stikben “REMOTE I/O” IP-54, med den alle de nødvendige stikforbindelser til at starte pumpen indbygget.
Page 132: Installation
Istruktionsbog Installation Installation Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes systemet. FORSIGTIG! Figur 2 Dette apparat må kun installeres i lukkede omgivelser og må under ingen omstændigheder benyttes på steder med skiftende vejrforhold (regn, is, sne), støv, aggressive luftarter eller i omgivelser med eksplosionsfare eller øget risiko for brand.
Page 133: Fastgørelse Af Pumpe
Istruktionsbog Fastgørelse af pumpe Fastgørelse af pumpe ADVARSEL! Manglende overholdelse af disse installationsinstruktioner kan, såfremt der opstår en fejl på rotoren, medføre at pumpen river sig løs fra systemet og medfører alvorlige personskader eller dødsfald. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System kan installeres i en hvilken som helst position.
Page 134 Istruktionsbog Fastgørelse af pumpe Den nedenstående tabel beskriver, for hver CF-flange, antallet af skruer der kræves, og med hvilket moment de skal fastspændes iht. Agilents anbefalinger. Det anbefales at anvende passende Agilent- materiale. Se bilaget ”Technical Information” for en detaljeret beskrivelse.
Page 135: Brug Af Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Istruktionsbog Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System I dette afsnit beskrives de vigtigste operative procedurer. Alle de elektriske og pneumatiske tilslutninger skal udføres, før systemet tages i brug. Under den eventuelle opvarmning af vakuumkammeret må indgangsflangens temperatur ikke overstige 80 °C.
Page 136: Start Af Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Istruktionsbog Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Anvend aldrig pumpen hvis der forefindes ætsende gasser eller dampe, som kan FORSIGTIG! beskadige pumpens inerte materialer. ADVARSEL! Når pumpen anvendes til at pumpe giftige, brændbare eller radioaktive gasser, skal de passende standardprocedurer for hver slags gas anvendes. Anvend ikke pumpen ved tilstedeværelse af eksplosive gasser.
Page 137 Istruktionsbog Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Ved at give START-signalet via fjernbetjening gennem den serielle grænseflade RS 232/485 (se afsnit "RS 232/485 Communication Description” i bilaget "Technical Information"). Den Indbyggede kontroller genkender automatisk tilstedeværelsen af signalerne INTERLOCK og START og starter pumpen. Funktionen “Soft Start”...
Page 138 Istruktionsbog Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Når man starter Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System efter en længere BEMÆRK inaktivitetsperiode, skal man aktivere specialfunktionen SOFT START, før systemet startes. Systemet startes i gradvise trin, indtil det opnår fuld hastighed efter cirka 35 minutter.
Page 139: Stop Af Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Istruktionsbog Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Stop af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Pumpen kan stoppes på en af de følgende måder: ved at trække det medfølgende I/O-modstik ud, ved at sende STOP-signalet via fjernbetjening gennem I/O-stikket (se afsnit "J1 – REMOTE I/O" i bilaget "Technical Information"). ved at sende STOP-signalet via fjernbetjening gennem den serielle grænseflade RS 232/485 (se afsnit "RS 232/485 Communication Description”...
Page 140: Nødstop
Istruktionsbog Brug af Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Nødstop For omgående at stoppe Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System i nødstilfælde skal man frakoble strømforsyningskablet. Man skal dog være opmærksom på at denne handling, udover at afbryde forsyningen af pumpen fuldstændigt, også inaktiverer alle kontrollerens andre funktioner, som f.eks.
Page 141: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 142: Bortskaffelse
Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Page 143: Bruksanvisning
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 144 Allmän Information Förvaring Förberedelser för installationen 148 Installation Fastsättning av pump 151 Användning av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 153 Hur Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System startas 154 Hur Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System stängs av 157 Nödstopp Underhåll Bortskaffning...
Page 144: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Page 145: Allmän Information
Bruksanvisning Allmän Information Allmän Information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Page 146 Bruksanvisning Allmän Information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå.
Page 147: Förvaring
Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -20 °C till +70 °C. Relativ fuktighet: 0 till 90 % (utan kondens). Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången.
Page 148: Förberedelser För Installationen
Bruksanvisning Förberedelser för installationen Förberedelser för installationen Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.
Page 149 Bruksanvisning Förberedelser för installationen Figur 1 I förpackningen för Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System finns följande: Pump med integrerad kontrollenhet Inlet screen (monterad) Instruktionsboken på CD-ROM Låda med tillbehör. 15-vägs motkontakt “REMOTE I/O” IP-54 med integrerade nödvändiga anslutningar för start av pumpen 9-vägs motkontakt “SERIAL”...
Page 150: Installation
Bruksanvisning Installation Installation Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till OBSERVER! systemet. Figur 2 Denna apparat får endast installeras inomhus. Den får inte användas i områden med regn, is, snö, damm, frätande gaser eller i områden med hög explosions- eller brandrisk.
Page 151: Fastsättning Av Pump
Bruksanvisning Fastsättning av pump Fastsättning av pump Om dessa installationsinstruktioner inte iakttas, kan det orsaka att pumpen VARNING! kopplas från systemet om det uppstår skada på rotorn vilket orsakar skador, allvarliga kroppsskador eller döden. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System kan installeras i vilken som helst position.
Page 152 Bruksanvisning Fastsättning av pump Följande tabell beskriver, för varje CF-fläns, analet skruvar som krävs och med vilket moment som de skall skruvas åt enligt rekommendationerna från Agilent. Det rekommenderas att använda motsvarande material från Agilent. Se bilagan "Technical Information" för en detaljerad beskrivning. Tab.
Page 153: Användning Av Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Bruksanvisning Användning av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Användning av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Detta avsnitt innehåller de huvudsakliga funktionsprocedurerna. Innan du använder systemet, utför alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Under en eventuell uppvärmning av vakuumkammaren, får temperaturen på ingångens fläns inte överstiga 80 °C. Operatören skall se till att förutse ett korrekt kylningsläge (WIN 106): 1 för kylning med vatten, 0 för kylning med forcerad luft (standardläge), vid inställning av seriekontroll WIN 106.
Page 154: Hur Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Startas
Bruksanvisning Användning av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Använd aldrig pumpen om det finns korrosiva gaser eller ångor som kan skada OBSERVER! materialen i pumpen. VARNING! När pumpen används för en pumpning av giftiga, antändabara eller radioaktiva gaser, följ de typiska procedurerna för varje gas. Använd inte pumpen med explosiva gaser.
Page 155 Bruksanvisning Användning av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System aktivera START-signalen genom fjärrkontroll med seriegränssnittet RS 232/485 (se avsnittet "RS 232/485 Communication Description" i bilagan "Technical Information"). Den integrerade kontrollenheten känner automatiskt igen de närvarande signalerna för INTERLOCK och START och startar pumpen.
Page 156 Bruksanvisning Användning av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System När Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System startas efter ett längre OBSERVERA stillastående, innan systemet startas, skall den speciella funktionen SOFT START aktiveras. Systemet startas stegvis till en maximal hastighet inom en tid på...
Page 157: Hur Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Stängs Av
Bruksanvisning Användning av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Hur Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System stängs av Pumpen kan stängas av på ett av de följande sätten: koppla från motkontakten I/O som medföljer sänd en STOP-signal genom fjärrkontroll med kontakten I/O (se avsnittet "J1 –...
Page 158: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC.
Page 159: Bortskaffning
Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Page 160 Bruksanvisning Bortskaffning 160/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 161: Instruksjon Manual
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 163 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Hvordan starte Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Hvordan stanse Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Nødstopp Vedlikehold...
Page 162: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Turbomolekylærpumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Page 163: Generell Informasjon
Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Page 164 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! fore til at utstyret skades.
Page 165: Lagring
Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges: Temperatur: fra –20 °C til 70 °C. Relativ fuktighet: fra 0 til 90 % (uten kondensering). Kunden må...
Page 166: Klargjøre Til Installasjon
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Page 167 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Figur 1 Emballasjen til Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System inkluderer: Pumpe med innebygd controller Inlet screen (montert) Denne bruksanvisningen på CD-ROM Eske med tilbehør: 15-veis motkoblingsstykke “REMOTE I/O” IP-54 med de koblingene som er nødvendige for å sette pumpen i gang innebygd 9-veis motkoblingsstykke “SERIAL”...
Page 168: Installasjon
Instruksjon Manual Installasjon Installasjon Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet. Figur 2 Dette apparatet må bare installeres i lukkede lokaler. Det må iallfall ikke installeres i lokaler som er utsatt for vær og vind (regn, frost, snø), støv, aggressive gasser, i eksplosive eller brannfarlige miljøer.
Page 169: Festing Av Pumpen
Instruksjon Manual Festing av pumpen Festing av pumpen ADVARSEL! Manglende overholdelse av disse installasjonsanvisningene, i tilfelle det oppstår et problem med eller en skade på rotoren, kan medføre at pumpen kobles fra systemet og dermed forårsake skader, alvorlig personskader eller død.
Page 170 Instruksjon Manual Festing av pumpen Følgende tabell beskriver, for hver flense CF, antallet påkrevde skruer og hvilket dreiemoment som skal brukes for å stramme dem i samsvar med anbefalingene fra Agilent. Det anbefales å bruke passende materialer fra Agilent. Se vedlegget ”Technical Information” for detaljerte beskrivelser.
Page 171: Bruk Av Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Instruksjon Manual Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System I dette avsnittet gjengis hovedfremgangsmåtene for drift. Før systemet tas i bruk, utføre alle elektriske koblinger og trykkluft. Under den eventuelle oppvarmingen av vakuumkammeret, må temperaturen på...
Page 172: Hvordan Starte Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Instruksjon Manual Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Bruk aldri pumpen med etsende gasser eller damp som kan skade materiale inne FORSIKTIG! i pumpen. ADVARSEL ! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brennbare eller radioaktive gasser, følg de passende fremgangsmåtene som er typisk riktige for hver type gass. Bruk ikke pumpene med eksplosive gasser.
Page 173 Instruksjon Manual Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System GI startsignalet via fjerninnretning gjennom koblingsstykket I/O (se avsnittet "J1 – REMOTE I/O" i vedlegget "Technical Information") GI startsignalet via fjerninnretning gjennom serialt grensesnitt RS 232/485 (se avsnittet "RS 232/485 Communication Description" i vedlegget "Technical Information").
Page 174 Instruksjon Manual Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ADVARSEL ! Når strømmen er tilkoblet og motkoblingsstykket med 15 pin som følger med er satt inn, vil Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System startes automatisk. Kontrolleren leveres allerede mekanisk og elektrisk tilkoblet til pumpen. FORSIKTIG! Adskillelsen av kontrolleren fra pumpehuset kan bare gjøres av godkjent personale fra Agilent Vacuum Technologies.
Page 175: Hvordan Stanse Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Instruksjon Manual Bruk av Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Hvordan stanse Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System For å stanse pumpen kan en av følgende metoder benyttes: Ved å fjerne motkoblingsstykket I/O som følger med Ved å sende et stoppsignal via fjerninnretning gjennom koblingsstykket I/O (se avsnittet "J1 –...
Page 176: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 177: Eliminering
Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Page 178 Instruksjon Manual Eliminering 178/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 179: Ohjekäsikirja
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 180 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 187 Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin Käyttö 189 Miten Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System käynnistetään 190 Miten Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System pysäytetään Hätäpysäytys 194 Huolto 195...
Page 180: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 180/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 181: Yleisiä Tietoja
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Page 182 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: VAROITUS! Vaara-merkinnät saavat käyttäjän huomion kiinnittymään erityisiin toimintotapoihin, joiden seuraamatta jättäminen voi aiheuttaa vakavia henkilövaurioita. Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vahingoittumiseen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOM 182/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 183: Varastointi
Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -20 °C – 70 °C. suhteellinen kosteus: 0 – 90 % (ei tiivistävä). Asiakkaan tulee aina käynnistää...
Page 184: Valmistelut Asennusta Varten184
Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.
Page 185 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Kuva 1 Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System -järjestelmän pakkaus sisältää: Integroidulla controllerilla varustetun pumpun Inlet screenin (asennettu) Tämän käyttöohjeen CD-ROM-muodossa Lisävarustelaatikon: 15-tie “REMOTE I/O” IP-54 vastaliitin, johon kuuluu tarvittavat liitännät pumpun käynnistämistä varten sarjakytkennässä käytettävä 9-tie “SERIAL” IP-54 liitin. Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 185/406...
Page 186: Asennus
Ohjekäsikirja Asennus Asennus Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään HUOMIO! järjestelmään. Kuva 2 Asenna laite ainoastaan suljettuun tilaan. Älä käytä sitä ilmastotekijöille (sade, pakkanen, lumi), pölylle tai syövyttäville kaasuille altistuvissa, räjähdysvaarallisissa tai erittäin palovaarallisissa tiloissa. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen lämpötila: + 5 °C - +45 °C...
Page 187: Pumpun Kiinnitys
Ohjekäsikirja Pumpun kiinnitys Pumpun kiinnitys Asennusohjeiden noudattamatta jättäminen, mikäli roottorissa syntyy vika, VAROITUS! voi aiheuttaa pumpun irtoamisen järjestelmästä ja näin ollen vahinkoja, vakavia vammoja tai kuoleman. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System voidaan asentaa mihin asentoon tahansa. Kiinnittäkää Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System vakaaseen asentoon asentamalla turbopumpun sisääntulolaippa järjestelmän vastalaippaan liitoksella, joka kestää...
Page 188 Ohjekäsikirja Pumpun kiinnitys Seuraavassa taulukossa kuvataan jokaista CF -laippaa kohti tarvittavien ruuvien määrä ja niiden kiristysmomentit Agilentin antamien suositusten mukaisesti. Käytä tarkoituksenmukaista Agilent-materiaalia. Katso yksityiskohtainen kuvaus liitteestä "Technical Information". Tab. 3 LAIPPA MÄÄ-RÄ KIRISTYS- MOMENTTI CFF 6” 20 Nm CFF 8” 20 Nm CFF 10”...
Page 189: Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping Systemin Käyttö
Ohjekäsikirja Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin Käyttö Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin Käyttö Tässä kappaleessa esitetään tärkeimmät käyttömenetelmät. Ennen järjestelmän käyttöä, suorittakaa kaikki sähkö- ja paineilmaliitännät. Vakuumikammion mahdollisen kuumenemisen aikana, sisäänmenossa olevan laipan lämpötila ei saa ylittää 80 °C. Käyttäjän tulee varmistaa oikea jäähdytystapa (WIN 106): 1 vesijäähdytystä, 0 pakoteltua ilmajäähdytystä...
Page 190: Miten Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Käynnistetään
Ohjekäsikirja Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin Käyttö Älkää koskaan käyttäkö pumppua jos paikalla on syövyttäviä kaasuja tai höyryjä, HUOMIO! jotka voivat vahingoittaa pumpun sisällä olevia materiaaleja. VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, palavien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudata jokaiselle kaasutyypille kuuluvia menetelmiä. Älä käytä...
Page 191 Ohjekäsikirja Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin Käyttö syöttäkää START -signaali kauko-ohjauksella sarjaliitännän RS 232/485 kautta (ks. kappale "RS 232/485 Communication Description" liitteestä "Technical Information"). Integroitu controller tunnistaa automaattisesti INTERLOCK- ja START-signaalin ja käynnistää pumpun. “Soft Start” -tila on käytettävissä pumpun käynnistämiseksi pitkän seisokkiajan jälkeen.
Page 192 Ohjekäsikirja Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin Käyttö Kun Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System käynnistetään pitkän HUOM seisokkiajan jälkeen, ennen järjestelmän käynnistämistä, erityinen SOFT START -toiminto tulee aktivoi-da. Järjestelmä käynnistetään askel askeleelta ja täysi nopeus saavutetaan noin 35 minuutissa. Kun järjestelmä on saavuttanut täyden nopeuden "soft start"...
Page 193: Miten Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Pysäytetään
Ohjekäsikirja Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin Käyttö Miten Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System pysäytetään Pumpun pysäyttämiseksi voidaan käyttää yhtä seuraavista menetelmistä: kytkeä varustuksiin kuuluva I/O vastaliitin irti lähettää STOP-signaali kauko-ohjauksesta liittimen I/O avulla (ks. kappale "J1 – REMOTE I/O" liitteestä "Technical Information") lähettää...
Page 194: Hätäpysäytys
Ohjekäsikirja Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin Käyttö Hätäpysäytys Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping Systemin pysäyttämiseksi hätätilassa virtajohto tulee kytkeä irti virransyötöstä. On kuitenkin pidettävä mielessä, että pumpun deaktivoimisen lisäksi tämä toimenpide 3399kytkee pois myös kaikki muut controllerin toiminnot kuten esimerkiksi Purge ja valvottu Vent sekä mahdollisuuden kommunikoida järjestelmän kanssa, johon pumppu on liitetty I/Os:n, sarjaliitännän tai Profi-busin kautta.
Page 195: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.
Page 196: Hävittäminen
Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Page 197: Felhasználói Kézikönyv
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 198 Általános Információ 199 Tárolás Előkészítés telepítésre 202 Telepítés A szivattyú rögzítése 205 A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata 207 A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System indítása 209 A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System leállítása 211 Vészleállítás Karbantartás...
Page 198: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...
Page 199: Általános Információ
Felhasználói Kézikönyv Általános Információ Általános Információ A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Page 200 Felhasználói Kézikönyv Általános Információ Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: VESZÉLY! A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják.
Page 201: Tárolás
Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C relatív páratartalom: 0 – 90 % (nem kondenzáló) A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani, amikor a felhasználó...
Page 202: Előkészítés Telepítésre
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System-et különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. VESZÉLY! Bizonyos modellek több mint 18 kg súlyúak (a 969-8814, 969-8816, 969-6014, 969-6016, 969-6017 modellek).
Page 203 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Ábra 1 A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System csomagolása az alábbiakat tartalmazza: Szivattyú integrált vezérlővel Inlet screen (beszerelve) Ez a kézikönyv CD-ROMON A kiegészítők doboza: 15 eres ellencsatlakozó “REMOTE I/O” IP-54 a szivattyú elindításához szükséges integrált csatlakozásokkal 9 eres ellencsatlakozó...
Page 204: Telepítés
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez FIGYELEM! való csatlakoztatása előtt. Ábra 2 Csak beltéri környezetbe telepítse az eszközt, és semmilyen esetben se használja atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben.
Page 205: A Szivattyú Rögzítése
Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A szivattyú rögzítése Ezeknek az összeszerelési utasításoknak be nem tartása a rotor VESZÉLY! meghibásodása esetén ezt eredményezheti, hogy a szivattyú elválik a rendszertől és ezzel kárt, súlyos sérülést vagy halált okozhat. A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System-et bármilyen helyzetben össze lehet szerelni.
Page 206 Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése Az alábbi táblázat CF karimánként megadja a szükséges acélcsavarok számát, valamint a Agilent által ajánlott, szorításhoz szükséges nyomatékot. Ajánlatos a megfelelő Agilent anyagot használni. A részletes leíráshoz lásd a ”Technical Information” függeléket. Tab. 3 KARIMA RÖGZÍTŐ...
Page 207: A Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Használata
Felhasználói Kézikönyv A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata Ebben a szakaszban a legfontosabb működtetési eljárások találhatók. A rendszer használata előtt végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást. A vákuumkamra esetleges melegítése alatt a bemeneti karimán lévő hőmérséklet nem haladhatja meg a 80 °C-t.
Page 208 Felhasználói Kézikönyv A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata Kerüljük el, hogy a szivattyú ütődjék, ingadozzék vagy hirtelen elmozduljon FIGYELEM! működés közben. A csapágyak károsodhatnak. A szivattyú bemeneti levegőjéhez por- és szemcsementes levegőt vagy iners gázt használjunk. A megfelelő nyíláson a bemenőnyomás 2 bar alatt legyen (a légnyomáson felül). A partikulátumot vagy a csapágyakra agresszív szennyeződést tartalmazó...
Page 209: A Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Indítása
Felhasználói Kézikönyv A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System indítása A rendszer elindítása előtt ellenőrizze, hogy az I/O ellencsatlakozó el legyen távolítva. Ha a rendszer egy külön szabályozott I/O berendezéshez van kötve, győződjön meg arról, hogy a STOP jelzés aktív legyen (lásd a "J1 –...
Page 210 Felhasználói Kézikönyv A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata A 750/850 TwisTorr Pumping System alapjának homlokzati panelén lévő zöld LED villogásának gyakoriságával a rendszer működési helyzetét mutatja: állandóan világít: a szivattyú normális forgásban van; lassú villogás (kb 400 ms periódus): a rendszer rámpa-, fékezés-, Stop-, vagy “Waiting for interlock”-állapotban van;...
Page 211: A Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Leállítása
Felhasználói Kézikönyv A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata Az IP-54védelmi szint megtartásához kizárólag a szivattyúval együtt adott MEGJEGYZÉS csatlakozókat használja. A tápvezetékként csak PN: 969-9957 or 969-9958-t használjon. Ezt a vezetéket és dugót csak megfelelően földelt aljzattal használja azáramütések elkerülése és az uniós szabványok követelményeinek megtartása végett.
Page 212: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Vészleállítás A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System vészhelyzetben való azonnali leállításához a tápvezetéket azonnal szét kell csatlakoztatni. Figyelni kell azonban arra, hogy ez a művelet a szivattyú teljes kikapcsolásán túl kikapcsolja a controller minden más működési lehetőségét is, mint pl. az ellenőrzött Purge és a Vent irányítást, azzal a rendszerrel való...
Page 213: Megsemmisítés
Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Page 214 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 214/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 215: Podrecznik Instrukcji
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje Magazynowanie Przygotowanie do instalacji 220 Instalacja Mocowanie pompy Obsługa Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 225 W jaki sposób uruchomić Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 226 W jaki sposób zatrzymać...
Page 216: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Page 217: Ogólne Informacje
Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje Ogólne informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych.
Page 218 Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROZENIE! Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora co do danej procedzury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść...
Page 219: Magazynowanie
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego i niezawodności pomp turbomolekularnych Agilent , muszą być przestrzegane następujące zalecenia: podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe: temperatura: od –20 °C do 70 °C wilgotnosc wzgledna: od 0 do 90 % (bez opar) klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić...
Page 220: Przygotowanie Do Instalacji
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji System Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować...
Page 221 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Posta 1 Opakowanie Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System zawiera: Pompę z wbudowanym sterownikiem Inlet screen (zamontowany) Niniejszą instrukcję obsługi na CD-ROM Pudełko z akcesoriami: Przeciwzłącze 15-drogowe“REMOTE I/O” IP-54 z wbudowanymi podłączeniami koniecznymi do uruchomienia pompy Przeciwzłącze 9-drogowe “SERIAL”...
Page 222: Instalacja
Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w momencie połączenia UWAGA! pompy do systemu. Posta 2 Zainstalować ten aparat tylko w zamkniętych miejscach, i nie stosować go w miejscach wystawionych na działanie czynników atmosferycznych (deszcz, mróz, śnieg), pyłów, niszczących gazów , w środowiskach wybuchowych lub z wysokim ryzykiem pożarowym.
Page 223: Mocowanie Pompy
Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Mocowanie pompy Nieprzestrzeganie niniejszych instrukcji dotyczących instalacji w przypadku ZAGROZENIE! usterki wirnika może doprowadzić do odłączenia się pompy od układu, powodując poważne szkody rzeczowe, obrażenia cielesne lub nawet śmierć. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System może być zainstalowana w dowolnym położeniu.
Page 224 Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Poniższa tabela podaje, dla każdego kołnierza CF, ilość koniecznych śrub oraz odpowiadający im moment dokręcania zgodnie z zaleceniami firmy Agilent. Zaleca się stosowanie odpowiednich materiałów firmy Agilent. W załączniku ”Technical Information” zamieszczono szczegółowy opis. Tab. 3 KOŁNIERZ MOMENT DOKRĘCENIA CFF 6”...
Page 225: Obsługa Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Podrecznik Instrukcji Obsługa Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Obsługa Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System W tym punkcie podano podstawowe procedury operacyjne. Przed rozpoczęciem wykorzystywania systemu należy wykonać wszystkie podłączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzewania komory próżniowej temperatura na kołnierzu wejściowym nie może przekroczyć 80 °C. Operator musi się...
Page 226: W Jaki Sposób Uruchomić Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Podrecznik Instrukcji Obsługa Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Unikać uderzeń, wahnięć, gwałtownych przesunięć podczas działania pompy. UWAGA! Takie sytuacje mogą doprowadzić do uszkodzenia łożysk. Do przewietrzania pompy należy stosować powietrze lub gaz obojętny pozbawione pyłów i cząsteczek stałych. Ciśnienie w otworze wlotowym musi być niższe od 2 bar (powyżej ciśnienia atmosferycznego).
Page 227 Podrecznik Instrukcji Obsługa Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System W celu uruchomienia systemu należy wykonać niżej wymienione operacje: wymontować (jeżeli istnieje) przeciwzłącze I/O systemu; w celu włączenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System należy do niego doprowadzić napięcie 48 V prądu stałego za pomocą...
Page 228 Podrecznik Instrukcji Obsługa Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System miga szybko (co około 200 ms): stan błędu. ZAGROZENIE ! Kiedy zostaje doprowadzone zasilanie i jest włączone dostarczone przeciwzłącze 15-stykowe, Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System uruchamia się automatycznie. Dostarczony sterownik jest już podłączony mechanicznie i elektrycznie do pompy. UWAGA! Oddzielenie sterownika od korpusu pompy może zostać...
Page 229: W Jaki Sposób Zatrzymać Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Podrecznik Instrukcji Obsługa Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System W celu utrzymania poziomu ochrony IP-54 należy stosować tylko i wyłącznie PRZYPIS złącza dostarczone razem z pompą. Do zasilania można stosować wyłącznie kabel PN: 969-9957 lub 969-9958. Ten kabel i wtyczka muszą być stosowane razem z odpowiednio uziemionym gniazdkiem w celu uniknięcia porażenia prądem elektrycznym oraz w celu spełnienia wymagań...
Page 230: Zatrzymanie Alarmowe
Podrecznik Instrukcji Obsługa Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Zatrzymanie Alarmowe Aby natychmiast zatrzymać Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System w przypadku zagrożenia, należy odłączyć kabel zasilania od źródła zasilania. Należy jednak pamiętać, że tego typu działanie prowadzi nie tylko do całkowitego odcięcia zasilania pompy, ale powoduje również...
Page 231: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed przystapieniem do jakiejkolwiek interwencji w systemie nalezy odlaczyc go od zrodla zasilania., otworzyc odpowiedni zawor pompy odczekac az wirnik sie zatrzyma calkowicie i temperatura powierzchni obudowy pompy obnizy sie ponizej 50 °C.
Page 232: Przetworstwo Odpadow
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej .
Page 233: Návod K Použití
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 234 Všeobecné informace 235 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Upevnění vývěvy Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Způsob uvedení vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping system do činnosti 245 Způsob zastavení...
Page 234: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Page 235: Všeobecné Informace
Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Page 236 Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol: NEBEZPEČÍ! Nebezpečí hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Pozor hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení.
Page 237: Uskladnění
Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C Rozpětí...
Page 238: Příprava K Instalaci
Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System se šroubovanou přírubou se dodává ve speciálním ochranném balení. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování...
Page 239 Návod k Použití Příprava k instalaci Postava 1 Obal vývěvy Turbo-V 750/850 TwissTorr Pumping System obsahuje: Vývěvu s vestavěným řídicím zařízením Vstupní mřížku (namontovanou) Tento návod na CD-ROM Krabici s příslušenstvím: Konektor - protikus, 15-pólový, „REMOTE I/O“ IP 54 s vestavěnými potřebnými připojeními pro uvedení...
Page 240: Instalace
Návod k Použití Instalace Instalace Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte šroubovací POZOR! víko. Postava 2 Toto zařízení instalujte pouze v místnosti a v žádném případě vývěvu nepoužívejte v prostředí s atmosférickými srážkami (déšť, sníh, led), prachem, agresivními plyny nebo ve výbušném prostředí a v prostředí, kde hrozí...
Page 241: Upevnění Vývěvy
Návod k Použití Upevnění vývěvy Upevnění vývěvy Nedodržení těchto pokynů pro instalaci může v případě poruchy rotoru NEBEZPEČÍ! způsobit oddělení vývěvy ze systému a způsobit škody, vážná zranění nebo smrt. Vývěva Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System může být nainstalována v libovolné poloze. Vývěvu Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System se šroubovanou přírubou umístěte do stabilní...
Page 242 Návod k Použití Upevnění vývěvy Následující tabulka popisuje pro každou přírubu CF potřebný počet šroubů a příslušný utahovací moment. Utáhněte je dle doporučení firmy Agilent. Doporučuje se použít vhodný materiál od firmy Agilent. Viz příloha „Technical Information“ ohledně podrobného popisu. Tab.
Page 243: Použití Vývěvy Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System243
Návod k Použití Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System V tomto odstavci jsou uvedeny základní provozní postupy. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Během případného ohřevu vakuové komory nesmí být teplota na vstupní...
Page 244 Návod k Použití Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Zabraňte nárazům nebo prudkým posunům vývěvy během její činnosti. Mohlo by POZOR! dojít k poškození ložisek. Pro zavzdušnění vývěvy použijte vzduch nebo inertní plyn zbavený prachu nebo částic. Vstupní tlak prostřednictvím příslušného portu musí...
Page 245: Způsob Uvedení Vývěvy Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Do Činnosti
Návod k Použití Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Způsob uvedení vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping system do činnosti Před uvedením systému do činnosti zkontrolujte, zda je odpojen konektor-protikus I/O. Když je systém připojen k zařízení I/O z dálkového ovládacího místa, ujistěte se, že signál STOP je aktivní (viz odstavec „J1 –...
Page 246 Návod k Použití Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Zelená LED umístěná na čelním panelu základy vývěvy 750/850 TwisTorr Pumping System informuje prostřednictvím své frekvence o provozních podmínkách systému: rozsvícená stálým světlem: čerpadlo se nachází ve stavu běžného otáčení; pomalu bliká...
Page 247: Způsob Zastavení Vývěvy Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Návod k Použití Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Pro zachování třídy ochrany IP-54 používejte výhradně konektory dodané s POZNÁMKA vývěvou. Pro napájecí kabel použijte pouze PN: 969-9957 or 969-9958. Použijte tento kabel a zástrčku spolu s náležitě uzemněnou zásuvkou, aby se zabránilo zásahu elektrickým proudem a aby byly splněny požadavky předpisů...
Page 248: Nouzové Zastavení
Návod k Použití Použití vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Nouzové zastavení Pro okamžité zastavení vývěvy Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System v podmínkách nouzového stavu je třeba odpojit napájecí kabel od napájecího přívodu. Je však třeba mít na paměti, že tato operace nejen kompletně...
Page 249: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System se šroubovanou přírubou nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 250: Likvidace
Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Page 251: Návod Na Obsluhu
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 253 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 256 Inštalácia Upevnenie vývevy 259 Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Spôsob uvedenia zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping system do činnosti 263 Spôsob zastavenia zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System 265 Núdzové...
Page 252: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...
Page 253: Všeobecné Informácie
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Page 254 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍE ! Nebezpečíe majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia.
Page 255: Uchovávanie
Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu, prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 90 % (bez kondenzácie) zákazník musí...
Page 256: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas dopravy), obráťte sa na zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Page 257 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Postava 1 Obal zariadenia Turbo-V 750/850 TwissTorr Pumping System obsahuje: Vývevu so vstavaným riadiacim zariadením Vstupnú mriežku (namontovanú) Tento návod na CD-ROM Škatuľu s príslušenstvom: Konektor - protikus, 15-pólový, „REMOTE I/O“ IP 54 so zabudovanými kontaktmi pre uvedenie vývevy do chodu Konektor –...
Page 258: Inštalácia
Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Neodstraňujte priskrutkovaný ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu k POZOR! systému. Postava 2 Zariadenie vždy nainštalujte v miestnosti a v žiadnom prípade ho nepoužívajte v prostredí, v ktorom by bolo vystavené vplyvu počasia (dážď, sneh, mráz), prachu, agresívnym plynom, výbušným alebo veľmi horľavým látkam.
Page 259: Upevnenie Vývevy
Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Upevnenie vývevy Nedodržanie týchto pokynov pre inštaláciu môže v prípade poruchy rotora NEBEZPEČÍE! spôsobiť oddelenie vývevy od systému a spôsobiť škody, vážne zranenia alebo smrť. Zariadenie Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Upevnite zariadenie Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System do stabilnej polohy tak, že pripevníte vstupnú...
Page 260 Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Nasledujúca tabuľka popisuje pre každú prírubu CF potrebný počet skrutiek a príslušný uťahovací moment. Utiahnite ich podľa odporučenia firmy Agilent. Odporúča sa použiť vhodný materiál od firmy Agilent. Viď príloha „Technical Information“ ohľadne podrobného popisu. Tab.
Page 261: Použitie Zariadenia Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Návod na Obsluhu Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System V tomto odseku sú uvedené základné prevádzkové postupy. Pred použitím systému vykonajte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Počas prípadného ohrevu vákuovej komory nesmie byť teplota na vstupnej prírube vyššia ako 80 °C.
Page 262 Návod na Obsluhu Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Zabráňte nárazom alebo prudkým posunom vývevy počas jej činnosti. Mohlo by POZOR! dôjsť k poškodeniu ložísk. Pre zavzdušnenie vývevy použite vzduch alebo inertný plyn zbavený prachu alebo častíc. Vstupný tlak prostredníctvom príslušného portu musí...
Page 263: Spôsob Uvedenia Zariadenia Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Do Činnosti
Návod na Obsluhu Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Spôsob uvedenia zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping system do činnosti Pred uvedením systému do činnosti skontrolujte, či je odpojený konektor-protikus I/O Keď je systém pripojený k zariadeniu I/O z diaľkového ovládacieho miesta, uistite sa, že signál STOP je aktívny (viď...
Page 264 Návod na Obsluhu Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Systém signalizuje stav prostredníctvom zelenej LED. Zelená LED, umiestnená na čelnom paneli základne zariadenia 750/850 TwisTorr Pumping System, informuje prostredníctvom svojej frekvencie o prevádzkových podmienkach systému: rozsvietená stálym svetlom: výveva sa nachádza v stave bežného otáčania;...
Page 265: Spôsob Zastavenia Zariadenia Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Návod na Obsluhu Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Pre zachovanie triedy ochrany IP-54 používajte výhradne konektory dodané s POZNÁMKA vývevou. Pre napájací kábel použite len PN: 969-9957 alebo 969-9958. Použite tento kábel a zástrčku spolu s náležite uzemnenou zásuvkou, aby sa zabránilo zásahu elektrickým prúdom, a aby boli splnené...
Page 266: Núdzové Zastavenie
Návod na Obsluhu Použitie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Núdzové zastavenie Pre okamžité zastavenie zariadenia Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System v podmienkach núdzového stavu je potrebné odpojiť napájací kábel od napájacieho prívodu. Je však potrebné mať na pamäti, že táto operácia nielen úplne vypne napájanie vývevy, ale zruší...
Page 267: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať kvalifikovaný personál. NEBEZPEČÍE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 268: Likvidácia
Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Page 269: Priročnik Za Navodila
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 270 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrjevanje črpalke Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Zagon sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System281 Zaustavitev sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Zaustavitez v sili Vzdrževanje...
Page 270: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Page 271: Splošne Informacije
Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Page 272 Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: SVARILO! Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.
Page 273: Shranjevanje
Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do 70 °C območje relativne vlažnosti: 0 do 90 % (brez kondenza) Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko.
Page 274: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.
Page 275 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Slika 1 Embalaža naprave Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System vsebuje: Črpalka z vgrajenim kontrolerjem Inlet screen (nameščen) Ta priročnik z navodili na CD-ROMU Škatla z dodatno opremo: 15-potni protikonektor “REMOTE I/O” IP-54 z vgrajenimi povezavami, ki so potrebne za zagon črpalke 9-potni protikonektor “SERIAL”...
Page 276: Montaža
Priročnik za Navodila Montaža Montaža Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Slika 2 Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara.
Page 277: Pritrjevanje Črpalke
Priročnik za Navodila Pritrjevanje črpalke Pritrjevanje črpalke Neupoštevanje teh navodil glede namestitve lahko v primeru okvare rotorja SVARILO! povzroči odklop črpalke s sistema s posledičnimi okvarami, hudimi poškodbami ali celo smrtjo. Sistem Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System je mogoče namestiti v kakršnem koli položaju. Namestite TV 801 Navigator Bolted Flang na stabilno pozicijo tako, da zmontirate dovodno prirobnico turbo črpalke na prirobnico na sistemu tako, da povezava lahko zdrži navor večji od 8000 Nm okoli osi.
Page 278 Priročnik za Navodila Pritrjevanje črpalke Naslednja preglednica navaja potrebno število vijakov in zatezni moment vijačenja slednjih za vsako prirobnico CF, po priporočilih Agilenta. Svetuje se uporaba ustreznega materiala Agilent. Za podrobnejši opis si oglejte dodatek »Technical Information«. Tab. 3 PRIROBNICA ŠT.
Page 279: Uporaba Sistema Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Priročnik za Navodila Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Ta del opisuje osnovne delovne postopke. Pred uporabo sistema izvedite vse električne in pnevmatske vezave. Med morebitnim segrevanjem vakuumske komore, temperatura na vhodni prirobnici ne sme presegati 80 °C. Upravljavec mora zagotoviti ustrezno hlajenje (WIN 106): 1 za vodno hlajenje, 0 za prisilno zračno hlajenje (privzeti način) na serijskem upravljalniku WIN 106.
Page 280 Priročnik za Navodila Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Izogibajte se udarcem, nihanju in sunkovitim premikom črpalke med delovanjem POZOR! slednje, saj bi lahko prišlo do poškodbe ležajev. Za dovod zraka črpalki uporabite zrak ali inertni plin brez prahu in delcev. Vhodni tlak, dovajan skozi ustrezna vrata, mora biti nižji od 2 barov (višji od atmosferskega tlaka).
Page 281: Zagon Sistema Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping
Priročnik za Navodila Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Zagon sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Pred zagonom sistema preverite, ali je protikonektor I/O odstranjen. Če je sistem vezan na oddaljeno vhodno/izhodno napravo, preverite, ali je signal STOP aktiven (oglejte si odstavek "J1 – REMOTE I/O" v dodatku "Technical Information").
Page 282 Priročnik za Navodila Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Zelena LED lučka, nameščena na prednji plošči podnožja sistema 750/850 TwisTorr Pumping System, s pogostostjo utripanja označuje stanje delovanja sistema: stalno sveti: črpalka se normalno vrti; počasi utripa (približno 400 ms): sistem je v ustavljanja, in sicer zaviranja, upočasnjevanja ali stana “Waiting for interlock”;...
Page 283: Zaustavitev Sistema Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Priročnik za Navodila Uporaba sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Zaustavitev sistema Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Za zaustavitev črpalke ravnajte na enega od naslednjih načinov: odklopite priloženi protikonektor I/O pošljite oddaljeni signal za zaustavitev (STOP) preko konektorja I/O (oglejte si del "J1 – REMOTE I/O" v dodatku "Technical Information") pošljite oddaljeni signal za zaustavitev (STOP) preko serijskega vmesnika RS 232/485 (oglejte si del "RS 232/485 Communication...
Page 284: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 285: Odlaganje Opadkov
Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Page 286 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 286/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 287: Instructions For Use
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 288 General Information Storage Preparation for Installation 292 Installation Pump Fixing Use of Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System How to Start the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System How to Stop the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Emergency Stop...
Page 288: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Page 289: General Information
Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Page 290 Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment.
Page 291: Storage
Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -20 °C to 70 °C relative humidity range: 0 to 90 % (non condensing) the turbomolecular pumps must be always soft-started when...
Page 292: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage, which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Page 293 Instructions for Use Preparation for Installation Figure 1 T The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System package includes: Pump with integrated controller Inlet screen (mounted) This instruction manual on CD-ROM Accessories bag: 15 pin mating connector IP-54 for "REMOTE I/O" connector with all the interconnections necessary to start the pump.
Page 294: Installation
Instructions for Use Installation Installation Do not remove the bolted cap before connecting the tur-bopump to the system. CAUTION! Figure 2 Install this device only in indoors ambient and in any case don't use in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases or in explosive environments or those with a high fire risk.
Page 295: Pump Fixing
Instructions for Use Pump Fixing Pump Fixing WARNING! Failure to comply with these installation instructions could result in the pump detaching from the system in the event of a rotor failure, which could cause property damage or serious injury or death. The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System can be installed in any position.
Page 296 Instructions for Use Pump Fixing The following table shows, for each CF flange, the necessary number of screws and the relevant fixing torque as recommended by Agilent. Please use the appropriate Agilent hardware. See the appendix "Technical Information" for a detailed description. Tab.
Page 297: Use Of Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Instructions for Use Use of Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Use of Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical and pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 80 °C.
Page 298: How To Start The Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Instructions for Use Use of Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. The pump is designed to pump high throughput of N , Ar and lighter gas.
Page 299 Instructions for Use Use of Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System “Soft Start” mode is provided to start the pump after a protracted stop. This allows a better grease distribution in the bearings. To enable the “Soft Start” mode it must be activated by the suitable software or Remote I/O command (see the paragraphs “INTERCONNECTIONS”...
Page 300: How To Stop The Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Instructions for Use Use of Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System In order to maintain the IP-54 protection level you must use only the connectors NOTE provided with the pump. Use connectors PN: 969-9957 or 969-9958 for the power cable. Use this cable and plug together with a properly grounded plug to prevent electric shocks and to comply with EC Standards.
Page 301: Emergency Stop
Instructions for Use Use of Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Emergency Stop To immediately stop the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug. It must be however noted that this operation, in addition to cutting off the pump power, also cuts off all other controller functions, such as Purge and Controlled Vent management and the capability of communicating with the system in which the...
Page 302: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Page 303: Disposal
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Page 304 Instructions for Use Disposal 304/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 305: Technical Information
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual Technical Information Description of the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pump Description Controller Description Technical Specification Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline 319 Output Power during High Temperature Condition Interconnections Earth (Ground) Connection Power Supply Input 340 P1 –...
Page 306 Technical Information Stop Speed Reading How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller How to Connect the Outputs of the Controller 354 J2 – Serial Serial Cable Installation 356 Procedure to Connect the Serial and I/0 Ports to an External Cable RS 232/RS 485 Communication Description 358 Window Meanings...
Page 307 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange 382 Installation of ISO-K Flange 383 Installation of ISO-F Flange Installation of ConFlat Flange 384 Connection of the Fore-Vacuum Pump 386 Connection to the Pump Pump used with Corrosive Gases – Pump Purging Purging the Pump through the Standard Purge Port –...
Page 308: Description Of The Turbo-V 750/850 Twistorr
The pumping system consists of a pump with a dedicated integrated controller. The system is available in three models for Turbo-V 750 TwisTorr and three models for TV 850 TwisTorr. The models of each group differ in the high vacuum flange.
Page 309 Technical Information Description of the Turbo-V 750/850 TwisTorr Figure 4 Model 969-8814 Figure 5 Model 969-8815 Figure 6 Model 969-8816 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 309/406...
Page 310 Figure 8 Model 969-8819 The pumps only are available with the following seven models: Turbo-V 750 TwisTorr pump: Model 969-6013 with ISO 160 K high vacuum flange; Model 969-6014 with ConFlat 8” high vacuum flange; Model 969-6017 with ConFlat 6” high vacuum flange;...
Page 311 Technical Information Description of the Turbo-V 750/850 TwisTorr The following figure shows the seven models. Figure 9 Model 969-6013 Figure 10 Model 969-6014 Figure 11 Model 969-6015 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 311/406...
Page 312 Technical Information Description of the Turbo-V 750/850 TwisTorr Figure 12 Model 969-6016 Figure 13 Model 969-6017 Figure 14 Model 969-6018 312/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 313: Pump Description
Technical Information Description of the Turbo-V 750/850 TwisTorr Figure 15 Model 969-6019 The pumps must be driven with the dedicated rack controller (models: 969-9525, 969-9526). Pump Description The Turbo-V 750/850 TwisTorr pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 5 bladed stages and 2 TwisTorr drag stages.
Page 314 Technical Information Description of the Turbo-V 750/850 TwisTorr WARNING! The pump must always be cooled before starting using it. Running the pump without cooling it could damage inside components. The pump can be cooled by water or by forced air: in the first case the customer can use the dedicated stainless steel channel on the pump body, in the second case an external optional fan 48 Vdc is available (model 969-6503).
Page 315: Controller Description
Technical Information Description of the Turbo-V 750/850 TwisTorr WARNING! The user must set the gas type load (WIN 157) and the cooling mode (WIN 106) before starting the pump. For details on the applied power derate see the “Output Power during High Temperature condition”...
Page 316: Technical Specification
Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 4 Technical Specification Pumping speed ISO 160 / CF 8” ISO 200 / CF 10” 700 l/s 750 l/s 680 l/s 690 l/s 580 l/s 590 l/s 680 l/s 700 l/s Gas throughput at full rotational speed (with Air cooling (best Water cooling (best recommended forepump)
Page 317 Technical Information Technical Specification Vibration level (displacement) < 0.01 μm at inlet flange Lubricant Permanent lubrication Cooling requirements Forced air (up to 35 °C ambient temperature) Water (mandatory if ambient temperature > 35 °C) Coolant water Minimum flow: 100 l/h (0.89 GPM) Temperature: +15 °C to +30 °C Pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 psi) Noise level...
Page 318 Technical Information Technical Specification Pollution degree Storage temperature -20° C to +70° C Weight kg (lbs) Pumping System Pump ISO 160 K: 15.9 (35.1) 15.7 (35.0) CF 8”: 22.5 (49.6) 22.3 (49.2) ISO 200 K: 16.1 (35.5) 15.8 (35.0) CF 10”: 22.6 (50.0) 22.4 (49.4) CF 6”...
Page 319: Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System Outline
Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline The following figures show the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System outlines (dimensions are in mm [inches]). Figure 16 Turbo-V 750 TwisTorr Pumping System ISO 160 K (969-8813) Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 319/406...
Page 320 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 17 Turbo-V 750 TwisTorr Pumping System CFF 8” (969-8814) 320/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 321 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 18 Turbo-V 850 TwisTorr Pumping System ISO 200 K (969-8815) Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 321/406...
Page 322 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 19 Turbo-V 850 TwisTorr Pumping System CFF 10” (969-8816) 322/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 323 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 20 Turbo-V 750 TwisTorr Pumping System ISO 160 F (969-8818) Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 323/406...
Page 324 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 21 Turbo-V 750 TwisTorr Pumping System ISO 160 F (969-8819) 324/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 325 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline (*): total vertical space required for pump connector (elbow type) insertion Figure 22 Turbo-V 750 TwisTorr Pump ISO 160 K (969-6013) Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 325/406...
Page 326 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline (*): total vertical space required for pump connector (elbow type) insertion Figure 23 Turbo-V 750 TwisTorr Pump CFF 8” (969-6014) 326/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 327 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline (*): total vertical space required for pump connector (elbow type) insertion Figure 24 Turbo-V 850 TwisTorr Pump ISO 200 K (969-6015) Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 327/406...
Page 328 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline (*): total vertical space required for pump connector (elbow type) insertion Figure 25 Turbo-V 850 TwisTorr Pump CFF 10” (969-6016) 328/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 329 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline (*): total vertical space required for pump connector (elbow type) insertion Figure 26 Turbo-V 750 TwisTorr Pump CFF 6” (969-6017) Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 329/406...
Page 330 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline (*): total vertical space required for pump connector (elbow type) insertion Figure 27 Turbo-V 750 TwisTorr Pump ISO 160 F (969-6018) 330/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 331 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline (*): total vertical space required for pump connector (elbow type) insertion Figure 28 Turbo-V 850 TwisTorr Pump ISO 200 F (969-6019) Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 331/406...
Page 332 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 29 Turbo-V 750 TwisTorr Pump ISO 160 K with mounted Fan and Purge/Vent device accessories 332/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 333 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 30 Turbo-V 750 TwisTorr Pumping System ISO 160 K with mounted Fan and Purge/Vent device accessories Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 333/406...
Page 334 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 31 Graph of Pumping Speed vs. Inlet Pressure for Turbo-V 750 TwisTorr pump Figure 32 Graph of Pumping Speed vs. Inlet Pressure for Turbo-V 850 TwisTorr pump 334/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 335 Technical Information Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Outline Figure 33 Graph of Compression Ratio vs. Foreline Pressure Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 335/406...
Page 336: Output Power During High Temperature Condition
Technical Information Output Power during High Temperature Condition Output Power during High Temperature Condition During operation the controller limits the power provided to the motor according to: Gas type load (selectable WIN 157: see the following "Window Meanings" paragraph) Cooling mode (selectable WIN 106: see the following "Window Meanings"...
Page 337 Technical Information Output Power during High Temperature Condition Figure 34 Applied Power Limit for Nitrogen (or lighter gases) and Forced Air Cooling (BLUE line: integrated controller, RED line: rack controller) ARGON - Forced Air Cooling BODY Temperature [°C] Figure 35 Applied Power Limit for Argon and Forced Air Cooling Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 337/406...
Page 338 Technical Information Output Power during High Temperature Condition NITROGEN - Water Cooling BODY Temperature [°C] Figure 36 Applied Power Limit for Nitrogen (or lighter gases) and Water Cooling ARGON - Water Cooling BODY Temperature [°C] Figure 37 Applied Power Limit for Argon and Water Cooling 338/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 339: Interconnections
Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System interconnections. Earth (Ground) P2 - Fan Output Power J1 – Input-Output ☺ LED Status P1 – Purge Vent Supply J2 – Serial Line ☺ Figure 38 Earth (Ground) Connection We recommend that you fit a separate earth (ground) conductor to the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System.
Page 340: Power Supply Input
Technical Information Interconnections Power Supply Input The controller must be supplied with a voltage of 48 Vdc (± 10 %) according to the drawing (use 3 pins for each pole). Input current during Normal Operation: 8.5 A + VDC + VDC + VDC Common Common...
Page 341: P2 - External Fan
Technical Information Interconnections P2 – External Fan This is a dedicated 48 Vdc connector (M12) to supply the optional external fan. Figure 41 J1 – In-Out Figure 42 This connector carries all the input and output signals to remote control the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System. It is a 15-pins D type connector;...
Page 342 Technical Information Interconnections Tab. 5 PIN N. SIGNAL NAME INPUT/OUTPUT START/STOP (+) START/STOP (-) INTERLOCK (+) INTERLOCK (-) SPEED SETTING (+) SPEED SETTING (-) SOFT START (+) SOFT START (-) +24 Vdc CONTACT: NORMALLY OPEN PROGRAMMABLE SET POINT CONTACT: NORMALLY OPEN FAULT OUTPUT PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (+) GROUND...
Page 343 Technical Information Interconnections CONTACT: This output signal (OPTOMOS solid state relay) is enabled when the reference quantity chosen (frequency, current, time) is higher than the set threshold. The signal is “normally open” (it will close the circuit when activated) or “normally close”. The factory default setting are: Frequency: 720 Hz (90 % of the max rotational frequency) Hysteresis: 2 %...
Page 344 Technical Information Interconnections The duty cycle percentage is referred to the low level portion of the PWM signal NOTE High Speed is the nominal rotational frequency of the pump (825 Hz). Low NOTE Speed (350 Hz) corre-sponds to the rotational frequency for a stand by status. Users can set rotational frequency between these two values.
Page 345 Technical Information Interconnections Figure 44 The analog output for power is showed in the fo-lowing diagram: Power (W) Figure 45 FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. ON = Output Voltage < 1 V OFF= Output Voltage = 24 V Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 345/406...
Page 346 Technical Information Interconnections Figure 46 PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, current or time) is higher than the set threshold. The signal can be "high level active" (that is the output is normally at 0 Vdc and becomes 24 Vdc when activated), or "low level active"...
Page 347 Technical Information Interconnections Figure 47 The set point output stays at 0 Vdc until the frequency becomes higher than 505 Hz (that is 500 Hz + 1 % of 500 Hz), then the output goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency becomes lower than 495 Hz (that is 500 Hz –...
Page 348 Technical Information Interconnections Figure 48 348/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 349: Auto Pump Speed Mode - With Purge/Vent Device Accessory Only
Technical Information Auto Pump Speed Mode – with Purge/Vent Device Accessory Only Auto Pump Speed Mode – with Purge/Vent Device Accessory Only The default setting for vent operating mode is “Au-to Pump Speed” (Win 125 = 2). When activated the procedure guarantees that the pump is slowed down properly modulating in automated way the vent valve.
Page 350: Stop Speed Reading
Technical Information Stop Speed Reading Figure 49 Vent and Purge valves diagram for “Auto Time” mode Stop Speed Reading This function allows the user to read the pump rotational frequency (window 232) even after a stop command. The function can be activated/deactivated by serial line (WIN 167).
Page 351: How To Connect The Open-Collector Inputs Of The Controller
Technical Information Stop Speed Reading How to Connect the Open-Collector Inputs of the Controller Here below there are the typical connections of the open collector input of the integrated controller to an external system. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc Please note that on the connector a 24 Vdc, 60 mA voltage, a GROUND signal and the open collector pin are available.
Page 352 Technical Information Stop Speed Reading Figure 51 Case 2 with relay utilisation 352/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 353 Technical Information Stop Speed Reading Figure 52 Case 2 with transistor utilisation Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 353/406...
Page 354: How To Connect The Outputs Of The Controller
Technical Information Stop Speed Reading How to Connect the Outputs of the Controller The following figure shows a typical logic output connection (relay coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The following figure refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9.
Page 355: J2 - Serial
Technical Information Stop Speed Reading J2 – Serial Figure 55 This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System. Tab. 6 PIN N. SIGNAL NAME +5V OUT TX (RS232) RX (RS232)
Page 356: Serial Cable Installation
Technical Information Serial Cable Installation Serial Cable Installation In order to maintain the IP-54 protection level, please use a certified IP-54 connector or the one provided by Agilent. The supplied serial cable must be installed when the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System has to be controlled by means of a remote com-puter.
Page 357 Technical Information Procedure to Connect the Serial and I/0 Ports to an External Cable Figure 56 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 357/406...
Page 358: Rs 232/Rs 485 Communication Description
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description RS 232/RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector P2. The communication protocol is the same (see the structure below), but only the RS 485 manages the address field. Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the T-Plus software.
Page 359 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) <ADDR> (Unit address) = 0x80 + device number (0 to 31) (for RS 485) <WIN> (Window) = a string of 3 numeric char-acter indicating the window number (from ‘000’...
Page 360 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE. Using the RS 485 interface, the message structure re-mains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned...
Page 361 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 361/406...
Page 362 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 362/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 363: Window Meanings
Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Window Meanings Tab. 9 Read/ Write Data Description Admitted Type Values Start/Stop (in remote mode the Start = 1 window is a read only) Stop = 0 Low Speed (in remote mode the 0 = OFF window is read only) 1 = ON...
Page 364 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/ Write Data Description Admitted Type Values Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 19200 = 5 38400 = 6 (default = 4) Interlock type Impulse = 0 Continuous = 1...
Page 365 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/ Write Data Description Admitted Type Values External Fan activation 0 = OFF 1 = ON (default = 0) Set purge Valve open/close 0 = close (N.C.) 1 = open (Default =1) Vent Valve opening (Time 0 to 65535 bit expressed in 0.2 sec) 0 = infinite...
Page 366 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/ Write Data Description Admitted Type Values Error code Bit description: see the following figure Electronics temperature °C Body temperature °C Rotational frequency Cycle time in minutes (zeroed by 0 to 999999 the reset command) Cycle number (zeroed by the 0 to 999999 reset command)
Page 367: Soft Start
Technical Information Soft Start TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. (T-bearing > 60 °C) OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. (T > 65 °C) OUTPUT FAIL POWER FAIL (V supply < 43 Vdc) Figure 57 Window N. 206 Bit Description Soft Start “Soft Start”...
Page 368: Leak Check Mode
Technical Information Leak Check Mode Leak Check Mode “Leak check” mode is provided to run the pump when a leak check is needed on the system. Basically both Vent and Purge valves are closed in order to avoid any “artificial” leak. The power usable by the pump is limited to 20% of the set maximum power (WIN 168).
Page 369: Agilent T-Plus
Technical Information Agilent T-Plus Agilent T-Plus Agilent T-plus (Turbo Pumps Linked User Software) is the communication, control and monitoring software for Agilent Turbo molecular Pumps and all other Agilent products featuring the Agilent Window Serial Protocol. With T-plus, you can simultaneously drive and control one or more Turbo Pumps, connected to a PC through an RS232 or an RS485 serial communication and by an easy User Interface it is possible to obtain totally control of the Vacuum Pumps.
Page 370: Embedded Data Logger Manager (New Function)
Technical Information Agilent T-Plus Embedded Data logger Manager (New Function) This controller integrates the data logger function, it enables the controller to manage some log files with a big amount of data. The user can download this data using the T-plus software. Figure 59 The EDLM Interface will be as shown below: Figure 60...
Page 371 Technical Information Agilent T-Plus In this screen the user would: Select the pump data download file. This file could be a new or an existing file. When any file is selected Start Download button will be enabled. If an exiting file is selected Start Download and Show Graph buttons will be enabled.
Page 372: Inlet Screen Installation
Technical Information Inlet screen installation Inlet screen installation Figure 61 Figure 62 Figure 63 372/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 373 Technical Information Inlet screen installation The inlet screens mod. 969-9302, 969-9304 and 969-9316 prevent the blades of the pump from be-ing damaged by debris greater than 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure.
Page 374: Air Cooling Kit Installation
Technical Information Air Cooling Kit Installation Air Cooling Kit Installation An air cooling kit (mod. 969-6503) is available to improve the Turbo- V 750/850 TwisTorr Pumping System cooling during operational conditions with-out heavy gas loads. Fan specifications: air flow: 187 m input voltage: 48 Vdc dimensions: 127 x 127 x 38 mm (5 x 5 x 1.5 in.) power: 5 W...
Page 375: Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System With Integrated Controller
Technical Information Air Cooling Kit Installation Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System with Integrated Controller To fix the fan to the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System execute the following procedure: Insert the connection cable with the plug in the connection P2 on the integrated controller;...
Page 376: Turbo-V 750/850 Twistorr Pump With Standard Rack Controller
Technical Information Air Cooling Kit Installation Figure 68 Start the FAN as explained in the following section: “Drive the external fan”. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pump with Standard Rack Controller To fix the fan to the Turbo-V 750/850 TwisTorr pump execute the following procedure: Lock the connection cable in one of two slots placed laterally to the fan, so that the cable connector remains outside the plastic...
Page 377 Technical Information Air Cooling Kit Installation Figure 69 Position the fan ensuring that the holes in the plate line up with those in the pump base; Insert the three screws enclosed into the package and tighten with a screwdriver; Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01 377/406...
Page 378: Drive The External Fan
Technical Information Air Cooling Kit Installation Figure 70 Add to the connection cable the proper exten-sion cable (models: 969-6514, 969-6515, 969-6516, 969-6517) needed to reach the control-ler. Insert the plug in the connection P2 on the rack controller rear panel. Start the FAN as explained in the following section: “Drive the external fan”.
Page 379: Water Cooling Kit Connection
Technical Information Water Cooling Kit Connection Water Cooling Kit Connection The Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System has a water cooling loop made of a corrosion re-sistant stainless steel pipe with two standard 1/8 G connections. Two types of water cooling kits are available to be mounted. The two model part numbers are: 969 9337 (metallic model), and 969-9347 (plastic model).
Page 380 Technical Information Water Cooling Kit Connection The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure Figure 73 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the stainless steel pipe with a recom-mended closing torque of 5 Nm. Figure 74 380/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 381 Technical Information Water Cooling Kit Connection Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. These hoses must be held on the respective noz-zles using hose clips to avoid NOTE that the tube(s) gets loose or disconnected during operation.
Page 382: Vibration Isolator Installation
Technical Information Vibration Isolator Installation Vibration Isolator Installation Five vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accesso-ries. The five model part numbers are the following: model 969-9345 for ISO 160 flange; model 969-9346 for ISO 200 flange; model 969-9334 for CFF 6”...
Page 383: Installation Of Iso-K Flange
Technical Information Connection of the High Vacuum Flange WARNING! If the pump is fastened on a vacuum chamber with different flange Agilentts there exists the chance of twisting or tearing-off in case the rotor is suddenly blocked. The combination of different flange types is not allowed in any case. Agilent Vacuum will not accept any liability for all damages resulting from not allowed fastening.
Page 384: Installation Of Iso-F Flange
Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-F Flange For ISO-F flange connections, fix the two flanges with the screws as shown in the following figure (a protective screen can optionally be used). Figure 76 Use the required number of hex screws: 8 for ISO 160 flange 12 for ISO 200 flange Tighten the screws with a torque of 25 Nm.
Page 385 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Figure 77 Use the required number of screws: 16 for CFF 6” 20 for CFF 8” 24 for CFF 110” Attach the units and tighten each screw in turn. Re-peat the sequential tightening until the flange faces meet. Tighten the screws with a torque of 20 Nm.
Page 386: Connection Of The Fore-Vacuum Pump
Technical Information Connection of the Fore-Vacuum Pump Connection of the Fore-Vacuum Pump A flange KF 25 NW is available to connect the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Page 387: Connection To The Pump
Technical Information Connection to the Pump Connection to the Pump THERMISTOR BEARING + t° THERMISTOR BODY + t° PUMP MOTOR TURBO-V PUMP Figure 78 The turbopump is connected to the controller through an 8-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the bearing temperature sensor (NTC type, 30 KΩ...
Page 388: Pump Used With Corrosive Gases - Pump Purging
Technical Information Pump used with Corrosive Gases – Pump Purging Pump used with Corrosive Gases – Pump Purging For pumping gases containing particulate or ag-gressive pollutants for the bearings, the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System is fitted with a special port (or the integrated purge/vent device accessory) to allow a steady flow of inert gas (like He, N , Ar) for pump bearing protection.
Page 389 Technical Information Pump used with Corrosive Gases – Pump Purging Figure 79 Then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm). Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s. To prevent bearing damage, Agilent suggests a minimum purge gas flow rate of CAUTION! 10 sccm (0.17 mbar l/s).
Page 390: Purging The Pump Through The Integrated Purge/Vent Device Accessory - Purge/Vent Device Installation
Technical Information Pump used with Corrosive Gases – Pump Purging Purging the Pump through the Integrated Purge/Vent Device Accessory – Purge/Vent Device Installation An integrated purging and venting device (969-6502) is available as an accessory to both purge and vent the TV750/850 TwisTorr Pumping System.
Page 391 Technical Information Pump used with Corrosive Gases – Pump Purging Both valves are fed through a single gas port, with 1/8 Gas thread. To supply the inert purge gas to the pump through the purge/vent device, connect a gas purge line to the common 1/8 Gas thread port. The purging device automatically provides about 20 sccm when fed with 1 bar (14 psi) absolute (atmospheric pressure).
Page 392 Technical Information Pump used with Corrosive Gases – Pump Purging Figure 82 Use the previously unscrewed four M x 20 screws to fix the purge/vent device to the pump body. Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System: insert the connection cable with the plug in the connection P1 on the integrated controller.
Page 393: Venting The Turbo-V 750/850 Twistorr Pumping System
Technical Information Venting the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Venting the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System After the turbopump is switched off, it must be vented to avoid contamination due to particles streaming back from the fore-vacuum section. The recommended procedures to vent the system are described in the following.
Page 394: Venting Procedure With Contaminants And/Or Corrosiv
Technical Information Venting the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Venting procedure with Contaminants and/or Corrosive Gases – Without Purge/Vent Device Accessory Close the process gases flowing into the system before sending the STOP signal to the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System;...
Page 395: Venting Procedure With Contaminants And/Or Corrosiv
Technical Information Venting the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System The described venting modality should be avoided because it may cause CAUTION! uncontrolled venting. A too rapid slow down of the rotor may seriously dam-age the pump and void the pump warranty. Please, use the integrated purge/vent device ac-cessory (969-6502) and Agilent “Controlled Vent Procedure”...
Page 396 Technical Information Venting the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System When the Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo V pump. In doing this, leave the chamber or the Turbo-V vent valve (positioned on the enve- lope) opened, to avoid system overpressures.
Page 397: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
Technical Information Pump used in Presence of Magnetic Fields Pump used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor.
Page 398: Accessories And Spare Parts
Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 10 Accessories and spare parts Description Part number TURBO-V 750/850 TWISTORR POWER SUPPLY (5 m CABLE) 969-6521 T-Plus software and serial cable 969-9883 Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958 Mains cable European Plug, 3m long 969-9957...
Page 399 Technical Information Accessories and Spare Parts Description Part number CABLE TURBO-V 750/850 TWISTORR PURGE/VENT 25 m EXTENSION 969-6506 CABLE TURBO-V 750/850-AG RACK CNT 969-9525 TURBO-V 750/850-AG RACK CNT PROFIBUS 969-9526 TMP Profibus Gateway 969-9261 Forepump DS 302, with 1 ph., universal motor 949-9325 Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 300 single phase, universal motor PTS03001UNIV...
Page 400 Technical Information Accessories and Spare Parts 400/406 Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01...
Page 406 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Ce manuel est également adapté pour:

Turbo-v 850 twistorr 969-6013 969-6014 969-6015 969-6016 969-6017 ... Afficher tout

Agilent Technologies Turbo-V 750 TwisTorr Mode D'emploi

Table des Matières

Deutsch

Français

Español

Português

Dutch

Dansk

Svenska

Norsk

Suomi

Magyar

Polski

Čeština

Slovenčina

Slovenščina

English

16 Instructions for Use

17 Technical Information

Liens rapides

Chapitres

Manuels Connexes pour Agilent Technologies Turbo-V 750 TwisTorr

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies Turbo-V 750 TwisTorr