Page 1 Turbo-V 1K-G Pump Models 8698961R002, 8698962R001 Controller models 9698978M005, 9699454M002 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila...
Page 2 FAR 2.101(a) or as proceed beyond a WARNING notice “Restricted computer software” as until the indicated conditions are defined in FAR 52.227-19 (June 1987) fully understood and met. or any equivalent agency regulation or Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 2/304...
Page 3 Turbo-V 1K-G Turbo-V 1K-G Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 3/304...
Page 4 Turbo-V 1K-G 4/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 5: Table Des Matières
Preparazione per l'installazione 20 Installazione Fissaggio della pompa Uso 24 Manutenzione 27 Smaltimento Gebrauchsanleitung 29 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Informationen Lagerung Vor Der Installation 34 Installation 35 Befestigung Der Pumpe 36 Gebrauch Wartung Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 5/304...
Page 6 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información General 61 Almacenamiento Preparación Para La Instalación 64 Instalación 65 Uso 68 Mantenimiento 71 Eliminación 72 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 74 6/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 7 Bedrijfshandleiding 89 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 90 Algemene Informatie Opslag Uitpakken 94 Installatie Bevestiging Van De Pomp Gebruik Onderhoud 102 Afvalverwerking 103 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære Turbopumper 106 Generel Information 107 Opbevaring 109 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 7/304...
Page 8 Allmän Information 121 Förvaring Förberedelser för installationen 124 Installation 125 Fastsättning av pump Användning 128 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 133 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Generell Informasjon 135 Lagring Klargjøre til installasjon 138 Installasjon 139 8/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 9 Varastointi 151 Valmistelut asennusta varten152 Asennus Pumpun kiinnitys Käyttö Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 161 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 162 Általános Információ 163 Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés A szivattyú rögzítése 168 Használat Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 9/304...
Page 10 Mocowanie pompy 182 Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow 188 13 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 190 Všeobecné Informace Uskladnění 193 Příprava k instalaci 194 Instalace Montáž vývěvy 196 Použití Údržba Likvidace 10/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 11 Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 218 Splošne Informacije 219 Shranjevanje Priprava za montažo 222 Montaža Pritrjevanje črpalke 224 Uporaba Vzdrževanje 229 Odlaganje opadkov 230 16 Instructions for Use 231 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 232 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 11/304...
Page 12 Inlet Screen Installation 278 Water Cooling Kit Installation Vent Accessories Purge Valve Installation 289 Serial Cable Installation (for 9698978M005 Navigator controller only) 291 Turbo-V 1K-G Navigator Controller Installation Pump Used With Corrosive Gases 12/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 13 Contents Pump used in presence of magnetic fields Accessories and spare parts 298 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 13/304...
Page 14 Contents 14/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 15: Istruzioni Per L'uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16 Informazioni Generali 17 Immagazzinamento 19 Preparazione per l'installazione Installazione Fissaggio della pompa Uso 24 Accensione ed Uso della Turbo-V 1K-G Arresto della Turbo-V 1K-G Arresto di Emergenza Manutenzione 27 Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 15/304...
Page 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
AVVERTENZA! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 16/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 17: Informazioni Generali
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (45660 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. La Turbo-V 1K-G è totalmente priva di agenti contaminanti, ed è quindi adatta per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Page 18 I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 18/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 19: Immagazzinamento
10 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 19/304...
Page 20: Preparazione Per L'installazione
Istruzioni per l’uso Preparazione per l'installazione Preparazione per l'installazione La Turbo-V 1K-G viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 1K-G e a non sottoporla ad urti o vibrazioni.
Page 21: Installazione
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. La Turbo-V 1K-G deve essere collegata ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 22: Fissaggio Della Pompa
Fissare la Turbo-V 1K-G in posizione stabile montando la flangia di ingresso della turbopompa alla controflangia di sistema, con una connessione capace di resistere ad una coppia di 8900 Nm attorno al proprio asse.
Page 23 Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. La Turbo-V 1K-G ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile.
Page 24: Uso
Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). 24/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 25: Accensione Ed Uso Della Turbo-V 1K-G
Riferirsi al manuale dell’unità per l’uso con l’altro modello di controller (9699454M002). Per accendere la Turbo-V 1K-G è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa.
Page 26: Arresto Della Turbo-V 1K-G
Istruzioni per l’uso Arresto della Turbo-V 1K-G Per arrestare la Turbo-V 1K-G è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale).
Page 27: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione La Turbo-V 1K-G non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50°C.
Page 28: Smaltimento
Per maggiori informazioni riferirsi a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 28/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 29: Gebrauchsanleitung
Turbo-V 1K-G User ManualUser Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Informationen 31 Lagerung Vor Der Installation 34 Installation Befestigung Der Pumpe 36 Gebrauch Einschaltung und Gebrauch der Turbo-V 1K-G 39 Stoppen der Turbo-V 1K-G Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der originalanleitungen 29/304...
Page 30: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. WARNUNG! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 30/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 31: Allgemeine Informationen
Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Die Turbo-V 1K-G ist eine Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-Anwendungen. Die Pumpe eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, ist jedoch nicht für die Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln geeignet.
Page 32 Die Warnhinweise deuten auf ein Verfahren oder ein besonderes Verhalten hin, das bei Nichtbeachtung der Vorsichtsmassnahmen, schwere persönliche Schäden verursachen könnte. Die Vorsichtshinweise erscheinen vor Verfahren, die bei Nichtbeachten, VORSICHT! Geräteschaden verursachen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen aus dem Text. HINWEIS 32/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 33: Lagerung
Monate ab dem Speditionsdatum. WARNUNG! Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 33/304...
Page 34: Vor Der Installation
Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Die Turbo-V 1K-G kann durch die Umgebung an sich nicht beschädigt werden. HINWEIS Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
Page 35: Installation
Turbopumpe an das System abnehmen. Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Die Turbo-V 1K-G ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe Schema in "Technical Information"). Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 35/304...
Page 36: Befestigung Der Pumpe
Für die Flansche F müssen die Stahlschrauben von der Klasse >8.8 sein Die Turbo-V 1K-G kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Die Turbo-V 1K-G kann nicht mittels ihres Sockels befestigt werden. HINWEIS 36/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 37 Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Die Turbo-V 1K-G hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung zugänglich ist. Sicherstellen, daß die Isolierung der an die Turbo-V 1K-G angeschlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung ausreichend isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1...
Page 38: Gebrauch
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder WARNUNG! radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. 38/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 39: Einschaltung Und Gebrauch Der Turbo-V 1K-G
Bitte beziehen Sie sich auf die Gebrauchsanleitung der Einheit für die Anwendung mit dem anderen Controller-Modell (9699454M002). Zur Einschaltung der Turbo-V 1K-G ist sie mit der erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Page 40: Stoppen Der Turbo-V 1K-G
Die Hochspannungen, die sich im Controller entwickeln, können zu schweren Schäden oder zum Tod führen. Vor den Wartungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen. Not-Aus Zur Stillsetzung der Turbo-V 1K-G in Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen. 40/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 41: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Die Turbo-V 1K-G erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Page 42: Entsorgung
Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Für weitere Informationen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 42/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 43: Mode D'emploi
Indications Générales Stockage Préparation pour l'Installation 48 Installation Fixation de la Pompe 51 Utilisation Mise en marche et utilisation de la Turbo-V 1K-G Arrêt de la Turbo-V 1K-G 55 Arrêt d'urgence 55 Entretien Mise au Rebut 57 Traduction des instructions originales...
Page 44: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 44/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 45: Indications Générales
La pompe Turbo-V 1K-G est une pompe turbomoléculaire pour applications à haut vide et ultra-haut vide. La pompe est en mesure de pomper tous les types de gaz et de composés gazeux mais elle n'est pas adaptée au pompage de liquides ou de particules solides.
Page 46 Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage. Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte. NOTE 46/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 47: Stockage
à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en ATTENTION! usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 47/304...
Page 48: Préparation Pour L'installation
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la Turbo-V 1K-G et à ne pas l’exposer à des choces ou des vibrations. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à...
Page 49 Mode d’emploi Préparation pour l'Installation Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 49/304...
Page 50: Installation
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". La Turbo-V 1K-G doit être raccordée à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information").
Page 51: Fixation De La Pompe
équipements environnants. Fixer la Turbo-V 1K-G de façon stable en assurant la collerette d'entrée de la turbopompe à la contre-collerette du système au moyen d'une connexion en mesure de résister à...
Page 52 à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie. La Turbo-V 1K-G dispose de connecteurs pour les entrées/sorties et pour la communication en série qui doivent être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que l'isolation du dispositif branché...
Page 53: Utilisation
Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger les paliers (voir l'appendice "Technical Information"). Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 53/304...
Page 54: Mise En Marche Et Utilisation De La Turbo-V 1K-G
(9699454M002), veuillez consulter le manuel de l’unité (9699454M002). Pour allumer la Turbo-V 1K-G il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe.
Page 55: Arrêt De La Turbo-V 1K-G
Mode d’emploi Utilisation Arrêt de la Turbo-V 1K-G Pour arrêter la Turbo-V 1K-G, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté par un câble d’alimentation à...
Page 56: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien La Turbo-V 1K-G n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Page 57: Mise Au Rebut
œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 57/304...
Page 58 Mode d’emploi Mise au Rebut 58/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 59: Manual De Istrucciones
Información General 61 Almacenamiento63 Preparación Para La Instalación Instalación Fijación de la bomba 66 Uso 68 Encendido y uso de Turbo-V 1K-G 69 Parada de Turbo-V 1K-G 70 Parada de emergencia Mantenimiento 71 Eliminación Traducción de las instrucciones originales 59/304...
Page 60: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 60/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 61: Información General
Turbo-V 1K-G es una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío. La bomba puede bombear cualquier tipo de gas o de composición gaseosa, pero no es adecuada para bombear líquidos...
Page 62 Los mensajes de atención, aparecen cuando se está por realizar un determinado ¡ATENCIÓN! procedimiento que, en caso de no ejecutarse correctamente podría ser causa de daños en el equipo. Las notas contienen informaciones importantes extrapoladas del texto. NOTA 62/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 63: Almacenamiento63
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 63/304...
Page 64: Preparación Para La Instalación
Manual de istrucciones Preparación Para La Instalación Preparación Para La Instalación Turbo-V 1K-G se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Page 65: Instalación
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. Turbo-V 1K-G ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 66: Fijación De La Bomba
Fijar Turbo-V 1K-G en posición estable, montando la brida de entrada de la turbo-bomba en la contrabrida del sistema, con conexión capaz de resistir a un par de 8900 Nm en torno a su propio eje.
Page 67 Manual de istrucciones Instalación Turbo-V 1K-G con Navigator controller 9698978M005 pertenece a la segunda ¡ATENCIÓN! categoría de instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.
Page 68: Uso
(véase el anexo “Technical Information”). ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. 68/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 69: Encendido Y Uso De Turbo-V 1K-G
Consultar el manual de la unidad para el uso con el otro modelo de controller (9699454M002) Para encender Turbo-V 1K-G basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba.
Page 70: Parada De Turbo-V 1K-G
Manual de istrucciones Parada de Turbo-V 1K-G Para parar Turbo-V 1K-G basta con desenchufarla de la corriente. El controller incorporado detiene inmediatamente la bomba. ADVERTENCIA! Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente).
Page 71: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento Turbo-V 1K-G no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50ºC.
Page 72: Eliminación
Para mayor información, remitirse a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 72/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 73: Manual De Istruções
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações Gerais 75 Armazenagem 77 Preparação para a instalação 78 Instalação Fixação da bomba Utilização Acendimento e Utilização da Turbo-V 1K-G 84 Paragem da Turbo-V 1K-G Paragem de emergência 85 Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 73/304...
Page 74: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 74/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 75: Informações Gerais
às normas nacionais específicas. A Turbo-V 1K-G é uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo. A bomba é capaz de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso, mas não é adequada para bombear líquidos ou partículas sólidas.
Page 76 As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! observados, poderiam causar danificações no equipamento. As anotações contem informações importantes extraídas do texto. NOTA 76/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 77: Armazenagem
é de 10 meses a contar da data da expedição. Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 77/304...
Page 78: Preparação Para A Instalação
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair a Turbo-V 1K-G e para não submetê-la a choques ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é...
Page 79 Manual de Istruções Preparação para a instalação Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 79/304...
Page 80: Instalação
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". A Turbo-V 1K-G deve ser ligada a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). 80/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 81: Fixação Da Bomba
A classe de resistência dos parafusos de aço para as flanges "F" deve ser > 8.8 A Turbo-V 1K-G pode ser instalada em qualquer posição. A Turbo-V 1K-G não pode ser fixada por meio da sua base. NOTA Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 82 Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. A Turbo-V 1K-G tem dois conectores para as entradas/saídas e para a comunicação de série que devem ser ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes sob tensão. Assegure-se de que o isolamento do dispositivo ligado à...
Page 83: Utilização
"Technical Information”). ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 83/304...
Page 84: Acendimento E Utilização Da Turbo-V 1K-G
Consultar o manual da unidade para o uso com o outro modelo de controller (9699454M002). Para ligar a Turbo-V 1K-G é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba.
Page 85: Paragem Da Turbo-V 1K-G
Manual de Istruções Utilização Paragem da Turbo-V 1K-G Para deter a Turbo-V 1K-G é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que podem ser...
Page 86: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção A Turbo-V 1K-G não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Page 87: Eliminação
Para maiores informações consultar: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 87/304...
Page 88 Manual de Istruções Eliminação 88/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 89: Bedrijfshandleiding
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 90 Algemene Informatie 91 Opslag Uitpakken Installatie Bevestiging Van De Pomp 97 Gebruik Inschakeling en gebruik van de Turbo-V 1K-G 100 Afzetten van de Turbo-V 1K-G 101 Noodstop 101 Onderhoud Afvalverwerking 103 Vertaling van de originele instructies 89/304...
Page 90: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 90/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 91: Algemene Informatie
De Turbo-V 1K-G is een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen. De pomp is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
Page 92 De waarschuwingen worden voor de procedures getoond die, als deze niet in VOORZICHTIG! acht worden genomen, kunnen leiden tot beschadigingen aan de machine. De aantekeningen bevatten belangrijke informatie uit de tekst. OPMERKING 92/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 93: Opslag
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 93/304...
Page 94: Uitpakken
Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 1K-G niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399.
Page 95 Bedrijfshandleiding Uitpakken Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 95/304...
Page 96: Installatie
In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie De Turbo-V 1K-G moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical information"). 96/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 97: Bevestiging Van De Pomp
De klasse van de stalen schroeven voor de "F" flenzen moet > 8.8 zijn De Turbo-V 1K-G kan in alle standen worden geïnstalleerd. De Turbo-V 1K-G kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. OPMERKING Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 98 Controleer of de inrichting verbonden met de Turbo-V 1K-G goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.
Page 99: Gebruik
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 99/304...
Page 100: Inschakeling En Gebruik Van De Turbo-V 1K-G
9698978M005). Raadpleeg de handleiding van het systeem voor gebruik met het andere controllermodel (9699454M002). Om de Turbo-V 1K-G in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp.
Page 101: Afzetten Van De Turbo-V 1K-G
De in de controller ontwikkelde hoge voltage kan ernstige letsels of de dood veroorzaken. Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden aan het systeem uit te voeren. Noodstop Om de Turbo-V 1K-G in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 101/304...
Page 102: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De Turbo-V 1K-G is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is...
Page 103: Afvalverwerking
Kijk voor meer informatie op: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 103/304...
Page 104 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 104/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 105: Istruktionsbog
Turbo-V 1K-G User ManualUser Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære Turbopumper 106 Generel Information 107 Opbevaring Forberedelse før installation Installation Fastgørelse af pumpe 112 Anvendelse Start og anvendelse af Turbo-V 1K-G 115 Stop af Turbo-V 1K-G Nødstop Vedligeholdelse 117 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 105/304...
Page 106: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
ADVARSEL! For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 106/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 107: Generel Information
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (45660 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. Turbo-V 1K-G er helt uden skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. Hvis Turbo-V 1K-G pumpen anvences med Navigator controlleren 9698978M005, er den udstyret med hjælpestik, der gør det muligt at...
Page 108 Beskederne Giv agt vises før procedurer, som skal følges, da man ellers risikerer FORSIGTIG! at beskadige apparaturet. Bemærkningerne indeholder vigtige informationer, som er taget fra teksten. BEMÆRK 108/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 109: Opbevaring
De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra  forsendelsesdatoen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 109/304...
Page 110: Forberedelse Før Installation
Turbo-V 1K-G leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 1K-G ikke tabes eller udsættes for stød eller vibrationer. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
Page 111: Installation
Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes FORSIGTIG! systemet. Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. Turbo-V 1K-G skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 111/304...
Page 112: Fastgørelse Af Pumpe
Montér Turbo-V 1K-G i en stabil position ved at montere turbopumpens indgangsflange på systemets kontraflange. Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på 8.900 Nm omkring dens egen akse.
Page 113 (eller overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. Turbo-V 1K-G er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang til de spændingsførende dele. Kontrollér, at anordningen, der er tilsluttet Turbo-V 1K-G, har en passende isolering.
Page 114: Anvendelse
ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”). ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. 114/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 115: Start Og Anvendelse Af Turbo-V 1K-G
Navigator controller (model 9698978M005). Der henvises til enhedens manual for brug med en anden model controller (9699454M002). For at starte Turbo-V 1K-G er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen.
Page 116: Stop Af Turbo-V 1K-G
Istruktionsbog Anvendelse Stop af Turbo-V 1K-G For at afbryde Turbo-V 1K-G er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen. ADVARSEL! For operatørens sikkerhed skal Turbo-V controller'en strømforsynes med et 3- trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på...
Page 117: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Turbo-V 1K-G behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 118: Bortskaffelse
For yderligere oplysninger, ret henvendelse til: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 118/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 119: Bruksanvisning
Turbo-V 1K-G User ManualUser Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära Turbopumpar Allmän Information 121 Förvaring Förberedelser för installationen Installation Fastsättning av pump 126 Användning Start och användning av Turbo-V 1K-G 129 Att stänga av Turbo-V 1K-G 130 Nödstopp 130 Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 119/304...
Page 120: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 120/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 121: Allmän Information
Systemet Turbo-V 1K-G är en turbomolekylär pump för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. Pumpen kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. Dock lämpar sig inte pumpen för pumpning av vätskor eller fasta partiklar.
Page 122 åtgärd som, om den inte utförs på rätt sätt, kan orsaka allvarliga personskador. Varningsmeddelanden visas före vissa procedurer som kan orsaka skada på OBSERVER! maskinen, om de inte iakttas. Anmärkningarna innehåller viktig information som tagits ur texten. OBSERVERA 122/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 123: Förvaring
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från  leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent-återförsäljaren för ytterligare information. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 123/304...
Page 124: Förberedelser För Installationen
Turbo-V 1K-G levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att Turbo-V 1K-G inte tappas eller utsätts för stötar eller vibrationer vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.
Page 125: Installation
OBSERVER! systemet. I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. Turbo-V 1K-G måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 125/304...
Page 126: Fastsättning Av Pump
Fäst Turbo-V 1K-G i ett stabilt läge genom att ansluta turbopumpens intagsfläns till systemets fläns som måste tåla ett vridmoment på...
Page 127 åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till Turbo-V 1K-G har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1.
Page 128: Användning
(se bilagan “Technical information”). VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. 128/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 129: Start Och Användning Av Turbo-V 1K-G
Navigator controller (modell 9698978M005). Se enhetens handbok för användning med den andra modellen av styrenhet (9699454M002). För att starta Turbo-V 1K-G behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen.
Page 130: Att Stänga Av Turbo-V 1K-G
Bruksanvisning Användning Att stänga av Turbo-V 1K-G Om du vill stänga av Turbo-V 1K-G behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar)
Page 131: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 1K-G är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Page 132: Bortskaffning
återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. För ytterligare information, se: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 132/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 133: Instruksjon Manual
Turbo-V 1K-G User ManualUser Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Generell Informasjon 135 Lagring Klargjøre til installasjon 138 Installasjon Festing av pumpen Bruk 142 Starte og bruke Turbo-V 1K-G 143 Stoppe Turbo-V 1K-G Nødstopp 144 Vedlikehold Eliminering Oversettelse av den originale bruksanvisningen 133/304...
Page 134: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylær Pumper
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. ADVARSEL! For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 134/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 135: Generell Informasjon
Turbo-V 1K-G er en turbo-molekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuum. Pumpen kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. Det er ikke egnet for å pumpe væsker eller faste partikler.
Page 136 Advarslene vises før man starter en manøver som, dersom den ikke blir korrekt FORSIKTIG! utført, kan forårsake skader på apparatet. Merknadene inneholder viktige opplysninger som er tatt ut av teksten. MERK 136/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 137: Lagring
Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra  sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent-forhandleren for informasjon. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 137/304...
Page 138: Klargjøre Til Installasjon
Når Turbo-V 1K-G pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100 % resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
Page 139: Installasjon
Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet. Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. Turbo-V 1K-G må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 139/304...
Page 140: Festing Av Pumpen
Dette kan føre til alvorlige skader eller død og/eller skader på annet utstyr i nærheten. Fest Turbo-V 1K-G i en stabil posisjon, monter turbopumpens innløpsflens til systemets motflens med en tilkopling som er i stand til å tåle et dreiemoment på 8900 Nm rundt sin egen akse.
Page 141 Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til Turbo-V 1K-G har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.
Page 142: Bruk
å beskytte lagrene (se “Technical Information). ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. 142/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 143: Starte Og Bruke Turbo-V 1K-G
Navigator controller (modell 9698978M005). Se enhetens brukerhåndbok enheten hvis styreinnretningen du bruker, er en annen modell (9699454M002). Turbo-V 1K-G startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen. Første igangsetting av pumpen skjer med MYK START, som etter denne første igangsettingssyklusen deaktiveres, slik at etterfølgende...
Page 144: Stoppe Turbo-V 1K-G
Høyspenningene som utvikler seg inne i styreenheten kan føre til alvorlige skader eller dødsulykker. Før man utfører vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten, er det nødvendig å kople fra strømkabelen. Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe Turbo-V 1K-G i en nødsituasjon. 144/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 145: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold Turbo-V 1K-G er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 146: Eliminering
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtaler og betingelser i kjøpekontrakten. For mer informasjon: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 146/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 147: Ohjekäsikirja
Turbo-V 1K-G User ManualUser Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 148 Yleisiä Tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten 152 Asennus Pumpun kiinnitys Käyttö Turbo-V 1K-Gin käynnistys ja käyttö Turbo-V 1K-Gin pysäyttäminen Hätäpysäytys 158 Huolto Hävittäminen Alkuperäisten ohjeiden käännös 147/304...
Page 148: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 148/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 149: Yleisiä Tietoja
Turbo-V 1K-G on turbomolekyylipumppu korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Se kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (45660 kierrosta/min.
Page 150 Varoitusviestit visualisoituvat ennen toimintoja, jotka laiminlyötyinä voivat HUOMIO! aiheuttaa vahinkoja itse laitteistolle. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstistä valittua informaatiota. HUOM 150/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 151: Varastointi
Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu  soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta  toimituspäivästä. Varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 151/304...
Page 152: Valmistelut Asennusta Varten152
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Turbo-V 1K-G ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään.
Page 153: Asennus
Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään HUOMIO! järjestelmään. Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. Turbo-V 1K-G tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 153/304...
Page 154: Pumpun Kiinnitys
ISO 160 F 25 Nm ISO 200 F 25 Nm Laippojen F teräsruuvien tulee olla luokkaa > 8.8 Turbo-V 1K-G voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Turbo-V 1K-Gia ei voida kiinnittää perustansa kautta. HUOM 154/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 155 Turbo-V 1K-G laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että Turbo-V 1K-G laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla. Ks. “Technical Information” -liitettä lisävarusteiden asentamista varten.
Page 156: Käyttö
(typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information” -liite). Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten VAROITUS! kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. 156/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 157: Turbo-V 1K-Gin Käynnistys Ja Käyttö
Ohjekäsikirja Käyttö Turbo-V 1K-Gin käynnistys ja käyttö Seuraavat ohjeet koskevat Turbo-V 1K-G -pumppua, kun sitä käytetään yhdessä Navigator controller -ohjaimen (malli 9698978M005) kanssa. Viittaa toisen controllerin (9699454M002) käyttöön liittyvän mallin käyttöohjeeseen. Turbo-V 1K-Gin käynnistykseen riittää, että se kytketään sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää...
Page 158: Turbo-V 1K-Gin Pysäyttäminen
CE- normien vaatimukset täyttyvät. Valvojassa kehittyvät korkeajännitteet voivat aiheuttaa vakavia onnettomuuksia tai jopa kuoleman. Irrota sähkökaapeli ennen yksikön sisälle suoritettavien huoltotoimenpiteiden aloittamista. Hätäpysäytys Turbo-V 1K-G on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla sähkökaapeli ohjausyksiköstä. 158/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 159: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto Turbo-V 1K-G ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50ºC:en.
Page 160: Hävittäminen
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Lisätietoja varten viitatkaa osoitteeseen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 160/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 161: Felhasználói Kézikönyv
Turbo-V 1K-G User ManualUser Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 162 Általános Információ 163 Tárolás Előkészítés telepítésre A szivattyú rögzítése 168 Használat A Turbo-V 1K-G bekapcsolása és használata A Turbo-V 1K-G kikapcsolása 172 Vészleállítás Karbantartás Megsemmisítés 174 Az eredeti utasítás fordítása 161/304...
Page 162: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
– esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 162/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 163: Általános Információ
általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A Turbo-V 1K-G egy turbo-molekuláris szivattyú nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz. A szivattyú bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok vagy szilárd részecskék szivattyúzására.
Page 164 A figyelmeztető üzenetek azon eljárások előtt kerülnek megjelenítésre, melyek FIGYELEM! figyelmen kívül hagyása a berendezés károsodásához vezethet. A megjegyzések fontos, a szövegből kivonatolt információkat tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 164/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 165: Tárolás
Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap a  szállítás dátumától. Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a FIGYELEM! gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 165/304...
Page 166: Előkészítés Telepítésre
A Turbo-V 1K-Got különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A Turbo-V 1K-G kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és ne tegye ki bármilyen hirtelen ütésnek vagy rázkódásnak. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett módon.
Page 167: Telepítés
Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez FIGYELEM! való csatlakoztatása előtt. Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Technical Information”. A Turbo-V 1K-Got primer szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „Technical Information”). Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 167/304...
Page 168: A Szivattyú Rögzítése
ISO 160 F 25 Nm ISO 200 F 25 Nm Az „F” karima acélcsavarjai osztályának > 8.8-nak kell lennie. A Turbo-V 1K-G bármely helyzetben telepíthető. A Turbo-V 1K-G nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS 168/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 169 Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A 9698978M005 Navigator controlleres Turbo-V 1K-G a második telepítési (vagy FIGYELEM! túlfeszültség) kategóriához tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A Turbo-V 1K-Gnak olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlakozásai vannak, amelyeket úgy kell külső...
Page 170: Használat
(pl. N2, Ar) stabil áramlását védelmet viselő szivattyú számára (lásd „Technical Information” függelék). VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. 170/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 171: A Turbo-V 1K-G Bekapcsolása És Használata
Használat A Turbo-V 1K-G bekapcsolása és használata Az alábbi utasításokat a Navigator controller (9698978M005 modell) együtt használt Turbo-V 1K-G esetében kell alkalmazni. Kövesse az egység kézikönyvét a másik kontrollermodellel való használat végett (969945M002). A Turbo-V 1K-G bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget.
Page 172: A Turbo-V 1K-G Kikapcsolása
Felhasználói Kézikönyv Használat A Turbo-V 1K-G kikapcsolása A Turbo-V 1K-G kikapcsolásához le kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. VESZÉLY! A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó...
Page 173: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Turbo-V 1K-G nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Page 174: Megsemmisítés
és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Részletes információk végett forduljon az alábbi címhez: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 174/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 175: Podrecznik Instrukcji
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 176 Ogólne Informacje Magazynowanie 179 Przygotowanie do instalacji Instalacja Mocowanie pompy 182 Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie pompy Turbo-V 1K-G 185 Zatrzymanie pompy Turbo-V 1K-G 186 Zatrzymanie Alarmowe 186 Konserwacja Przetworstwo odpadow 188 Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 175/304...
Page 176: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
ZAGROZENIE! Aby nie dopuścić do uszkodzenia aparatury i zapobiec obrażeniom cielesnym operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 176/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 177: Ogólne Informacje
Turbo-V 1K-G jest pompą turbomolekularną stosowsaną w przypadku wysokiej i ultra- wysokiej próżni. Pompa jest w stanie pompować jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej, ale nie jest przystosowana do pompowania płynów lub stałych cząstek.
Page 178 Sygnaly wzrokowe ukazujace sie przed procedura jezeli zostana zlekcewazone UWAGA! moga spowodowac uszkodzenia urzadzenia. Przypisy zawieraja najwazniejsze informacje wyciagniete z tekstu. PRZYPIS 178/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 179: Magazynowanie
10  miesięcy od daty wysyłki. Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy UWAGA! odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 179/304...
Page 180: Przygotowanie Do Instalacji
UWAGA! części przeznaczonych do próżni. Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Pompa Turbo-V 1K-G, nie może być uszkodzona poprzez wystawienie jej na PRZYPIS działanie atmosfery. W związku z tym zaleca się, aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
Page 181: Instalacja
W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information” Pompa Turbo-V 1K-G musi być podłączona do głównej pompy (patrz schemat w dodatku “Technical Information”) Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 181/304...
Page 182: Mocowanie Pompy
25 Nm Dla kołnierzy F śruby stalowe muszą posiadać klasę > 8.8 Pompa Turbo-V 1K-G może być zainstalowana w jakiejkolwiek pozycji. Pompa Turbo-V 1K-G nie może być mocowana poprzez własną podstawę. PRZYPIS 182/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 183 żadna część znajdująca się pod napięciem nie mogła być dostępna. Należy upewnić się, czy izolacja podłączonego urządzenia do pompy Turbo-V 1K-G, posiada odpowiednie odizolowanie nawet w stanie pojedynczej usterki zgodnie z wymaganiami normy EN 61010-1. Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z „Technical Information”.
Page 184: Użytkowanie
2 bar (ponad ciśnienie atmosferyczne). Dla pompowania niszczących gazów, pompy te są wyposażone w odpowiedi wlot poprzez który należy dostarczyć pompie przepływ obojętnego gazu (Azot Argon) dla zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek „Technical Information”). 184/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 185: Włączenie I Użytkowanie Pompy Turbo-V 1K-G
Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. Włączenie i Użytkowanie pompy Turbo-V 1K-G Niżej podane instrukcje mają zastosowanie w przypadku pompy Turbo-V 1K-G stosowanej razem ze sterownikiem typu Navigator controller (model 9698978M005). W przypadku pracy z innym modelem sterownika (9699454M002) postępować zgiodnie z instrukcją...
Page 186: Zatrzymanie Pompy Turbo-V 1K-G
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Zatrzymanie pompy Turbo-V 1K-G Aby zatrzymać pompę Turbo-V 1K-G wystarczy odłączyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę. ZAGROZENIE! Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler Turbo-V powinien być zasilany kablem zasilającym o 3 przewodach (zobacz tabelę części dających się zamówić) i zamontowaną wtyczką (zgodna z międzynarodowymi normami).
Page 187: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Pompa Turbo-V 1K-G nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
Page 188: Przetworstwo Odpadow
Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. W@ięcej informacji zamieszczono: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 188/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 189: Návod K Použití
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Všeobecné Informace Uskladnění Příprava k instalaci 194 Instalace Montáž vývěvy 196 Použití Zapnutí a používání vývěvy Turbo-V 1K-G 199 Zastavení Turbo-V 1K-G 200 Nouzové zastavení 200 Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 189/304...
Page 190: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence zranění obsluhy! 190/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 191: Všeobecné Informace
čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 45660 ot/min.) poháněná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem. Turbo-V 1K-G je zcela zbavena znečišťujících látek, a proto je vhodná pro aplikace vyžadující “čisté” vakuum. Když se vývěva používá se zařízením Navigator controller 9698978M005, je vybavena přídavnými konektory pro připojení...
Page 192 Tyto zprávy bývají vizualizovány před jakoukoliv procedurou, je třeba se jimi řídit, POZOR! aby nedošlo k poškození přístroje. Poznámky, vyjmuté z textu obsahují velmi důležité informace. POZNÁMKA 192/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 193: Uskladnění
10 měsíců ode dne  doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 193/304...
Page 194: Příprava K Instalaci
POZOR! manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. Turbo-V 1K-G se nemůže poškodit tím, že zůstane jednoduše vystavena POZNÁMKA atmosférickým vlivům.Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
Page 195: Instalace
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Turbo-V 1K-G se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz schéma v části "Technical Information"). Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 195/304...
Page 196: Montáž Vývěvy
úlomky, které by mohly způsobit vážný úraz nebo smrt a také poškodit okolní zařízení. Upevněte Turbo-V 1K-G do stabilní polohy a přívodní přírubu turbomolekulární vývěvy připevněte k protipřírubě systému pomocí přípojky, která odolá točivému momentu 8900 Nm kolem své osy.
Page 197 Návod k Použití Montáž vývěvy Podle směrnice EN 61010-1 patří Turbo-V 1K-G se zařízením Navigator controller POZOR! 9698978M005 do druhé elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu. Vývěva Turbo-V 1K-G je vybavena vstupními a výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které...
Page 198: Použití
(viz přílohu "Technical Information"). NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. 198/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 199: Zapnutí A Používání Vývěvy Turbo-V 1K-G
Navigator controller (model 9698978M005Vycházejte z návodu k jednotce pro použití s jiným modelem řídicího zařízení (9699454M002). Pro uvedení vývěvy Turbo-V 1K-G do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu.
Page 200: Zastavení Turbo-V 1K-G
Vysoké napětí, které vzniká v controlleru může způsobit vážné zranění, i smrtelné. Před prováděním zásahů údržby uvnitř jednotky přívodní kabel odpojte. Nouzové zastavení Pro okamžité zastavení Turbo-V 1K-G v nouzové situaci je třeba odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky. 200/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 201: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Turbo-V 1K-G nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 202: Likvidace
Podrobnejší informace můžete získat na internetové stránce: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 202/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 203: Návod Na Obsluhu
Turbo-V 1K-G User ManualUser Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné Informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu 208 Inštalácia Upevnenie vývevy Použitie Zapnutie a použitie zariadenia Turbo-V 1K-G Zastavenie Turbo-V 1K-G 214 Núdzové zastavenie 214 Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 203/304...
Page 204: Bezpečnostný Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy! 204/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 205: Všeobecné Informácie
úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. La Turbo-V 1K-G je turbomolekulárna výveva, určená pre aplikácie s vysokým a veľmi vysokým vákuom.Výveva dokáže vyčerpať ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov. Nie je však vhodná na vyčerpávanie tekutín alebo pevných častí.
Page 206 špecifikácie, ktoré, v prípade že nebudú správne vykonané, môžu vážne ohroziť jeho zdravie. Signály pozoru sú zobrazené pred akýmkoľvek postupom. Musia byť dodržané, POZOR! aby nedošlo k poškodeniu prístroja. Poznámky vybraté z textu, obsahujú veľmi dôležité informácie. POZNÁMKA 206/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 207: Uchovávanie
10 mesiacov odo  dňa dodania. Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu POZOR! do závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 207/304...
Page 208: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Turbo-V 1K-G je dodávaná v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Pri vybaľovaní dávajte pozor, aby Turbo-V 1K-G nespadla a nevystavujte ju náhlym nárazom, otrasom alebo vibráciám.
Page 209: Inštalácia
V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Turbo-V 1K-G musí byť pripojená k primárnemu čerpadlu (viď schéma v časti "Technical Information"). Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 209/304...
Page 210: Upevnenie Vývevy
V takom prípade sa môžu z vývevy alebo systému prudko vymrštiť kovové časti a spôsobiť vážne zranenie alebo smrť a/alebo poškodiť ďalšie zariadenia. Upevnite Turbo-V 1K-G do stabilnej polohy tak, že pripevníte vstupnú prírubu turbovývevy k prírube systému. Pripojenie musí byť schopné vydržať točivý moment 8900 Nm okolo vlastnej osi.
Page 211 žiadna elektrická súčasť. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k k Turbo-V 1K-G má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 212: Použitie
Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok „Technical Information“). NEBEZPEČÍ! Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. 212/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 213: Zapnutie A Použitie Zariadenia Turbo-V 1K-G
Navigator controller (model 9698978M005). Vychádzajte z návodu k jednotke pre použitie s iným modelom riadiaceho zariadenia (9699454M002). Ak chcete zapnúť zariadenie Turbo-V 1K-G, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu.
Page 214: Zastavenie Turbo-V 1K-G
Návod na Obsluhu Použitie Zastavenie Turbo-V 1K-G Ak chcete zastaviť Turbo-V 1K-G, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍ! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré možno objednať) so zástrčkou (medzinárodne schválenou).
Page 215: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie Turbo-V 1K-G nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 216: Likvidácia
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Podrobnejšie informácie môžete získať na internetovej stránke: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 216/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 217: Priročnik Za Navodila
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 218 Splošne Informacije 219 Shranjevanje Priprava za montažo 222 Montaža Pritrjevanje črpalke 224 Uporaba Vklop in uporaba naprave Turbo-V 1K-G Izklop naprave Turbo-V 1K-G 228 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov 230 Prevod navodil v izvirniku 217/304...
Page 218: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
V primeru nepravilnega delovanja sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja, morate natančno slediti navodilom za nameščanje, opisanim v tem priročniku! 218/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 219: Splošne Informacije
Turbo-V 1K-G je turbomolekularna črpalka za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo. Črpalka lahko črpa vse tipe plinov ali plinskih zmesi, vendar ni primerna za črpanje tekočin ali trdnih delcev.
Page 220 Kršitev svarila lahko privede do lažjih ali hudih telesnih poškodb. Znak ‘pozor’ se pojavi pred postopke, ki če jih uporabnik zanemari, lahko POZOR! napravo poškoduje. Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila. OPOMBA 220/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 221: Shranjevanje
Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od  datuma odpreme. Če je zaradi kakršnegakoli razloga doba skladiščenja daljša, je treba črpalko POZOR! vrniti v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent. Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 221/304...
Page 222: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Turbo-V 1K-G je dobavljen v posebni zaščitni embalaži; če je embalaža poškodovana zaradi transporta, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odstranjevanju embalaže pazite, da vam Turbo-V 1K-G ne pade iz rok in da ni izpostavljen tresljajem ali udarcem. Ne odlagajte embalaže v okolje.
Page 223: Montaža
V prisotnosti magnetnih polj mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". Turbo-V 1K-G mora biti priključena na primarno črpalko (glejte shemo v "Technical Information"). Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A) 223/304...
Page 224: Pritrjevanje Črpalke
ISO 200 F 25 Nm Razred jeklenih vijakov za “F” prirobnico mora biti > 8.8 Turbo-V 1K-G lahko namestite v poljuben položaj. Turbo-V 1K-G ne morete pritrditi z njegovo lastno spodnjo ploskvijo. OPOMBA 224/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 225 9698978M005 v drugo kategorijo za nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priključite na napetost, ki je v skladu z zgornjo kategorijo. Naprava Turbo-V 1K-G ima vhodne/izhodne in serijske priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben električni del ni dosegljiv.
Page 226: Uporaba
, Ar) za zaščito ležajev (glej prilogo “Technical Information”). SVARILO! Ko črpalko uporabljate pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. 226/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 227: Vklop In Uporaba Naprave Turbo-V 1K-G
»Soft Start« zagona je potreben ustrezen programski ukaz (glej odstavek »RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION« v prilogi » Technical Information«). Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči Turbo-V 1K-G, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Prižgana, brez utripanja: Črpalka se normalno vrti;...
Page 228: Izklop Naprave Turbo-V 1K-G
Visoka napetost, ki se ustvari v krmilniku, lahko povzroči hude poškodbe ali smrt. Preden začnete z vzdrževalnimi postopki v notranjosti, izvlecite napajalni kabel. Zaustavitev v sili Za takojšen izklop naprave Turbo-V 1K-G je treba izključiti napetostni kabel iz krmilnika. 228/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 229: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave Turbo-V 1K-G ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti pooblaščeno osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi in da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 230: Odlaganje Opadkov
Zato pozivamo uporabnike, da se v prodajnem centru ali pa pri prodajalcu seznanijo s postopki ločevanja in odstranitve odpadkov, potem, ko so se seznanili s pogoji in merili kupopordajne pogodbe. Za podrobnejše informacije si oglejte spletno stran: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 230/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 231: Instructions For Use
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 232 General Information 233 Storage Preparation for installation Installation Pump Fixing Use 240 Switching on and Use of Turbo-V 1K-G Turbo-V 1K-G Switching off 242 Emergency Stop Maintenance Disposal Original instructions 231/304...
Page 232: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 232/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 233: General Information
The Turbo-V 1K-G is turbo-molecular pump for high and ultra-high vacuum applications. It can pump any type of gas or gas compound.
Page 234 The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. The notes contain important information taken from the text. NOTE 234/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 235: Storage
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 235/304...
Page 236: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for installation Preparation for installation The Turbo-V 1K-G is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Page 237: Installation
In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The Turbo-V 1K-G must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A)
Page 238: Pump Fixing
Fix the Turbo-V 1K-G in a stable position mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter-flange, with a connection capable of withstanding a torque of 8900 Nm around its axis.
Page 239 Be sure that the insulation of the device connected to the Turbo-V 1K-G is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1.
Page 240: Use
"Technical Information"). WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. 240/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 241: Switching On And Use Of Turbo-V 1K-G
(9699454M002). To switch on the Turbo-V 1K-G it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump.
Page 242: Turbo-V 1K-G Switching Off
Instructions for Use Turbo-V 1K-G Switching off To switch off the Turbo-V 1K-G it is necessary to remove the mains. The integrated controller immediately stops the pump. WARNING! The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety.
Page 243: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The Turbo-V 1K-G does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Page 244: Disposal
Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 244/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 245: Technical Information
Technical Information Technical Information Pump Description 9698978M005 Controller description Technical Specification Turbo-V 1K-G Outline 253 Interconnections – controller model 9698978M005 P3 – Vent 256 P4 – External fan J1 – In-Out257 J2 – Serial 266 RS 232/RS 485 Communication Description 268...
Page 246 Turbo-V 1K-G Navigator Controller Installation Bottom mounting Fore-Vacuum Pump Connection 293 Electrical Connection Pump Used With Corrosive Gases 295 Pump used in presence of magnetic fields 297 Accessories and spare parts 298 246/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 247: Pump Description
400 W). Select AIR COOLING setting (Navigator Controller: WIN 106 = 0, Rack Controller: WIN 102 = 0) when pumping ARGON gas (in this case the max power is 260 W). Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 247/304...
Page 248 The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 25 NW flange (8698961R002 model) and a KF 40 NW flange (8698962R001 model). 248/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 249: 9698978M005 Controller Description
AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium frequency output which is required to power the pump. The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection. A Windows-based software is available (optional). Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 249/304...
Page 250: Technical Specification
Operating position Operating ambient temperature +5 °C to +35 °C Bakeout temperature 80° C at inlet flange max. (ISO flange) < 0.01 µm at inlet flange Vibration level (displacement) Lubricant permanent lubrication 250/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 251 RS232 cable with a 9-pin D type male connector and a 9-pin D type female connector, and Navigator software (optional) Installation category Pollution degree Storage temperature -20° C to +70° C Weight kg (lbs) ISO 160 flange 26.8 (59.1) Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 251/304...
Page 252 ISO 200 flange 26.7 (58.9) Navigator Controller 5.4 (12) When the Turbo-V 1K-G has been stored at a temperature less than 5°C, wait NOTE until the system has reached the above mentioned temperature. 252/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 253: Turbo-V 1K-G Outline
Technical Information Turbo-V 1K-G Outline Turbo-V 1K-G Outline The following figures show the Turbo-V 1K-G outlines (dimensions are in inches [mm]). Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 253/304...
Page 254 Technical Information Turbo-V 1K-G Outline Figure 3 Pumping speed diagram for 8698962R001 (ISO 200F flange) turbopump model, with a 36 m3/h foreline pump Figure 4 Graph of compression ratio vs foreline pressure 254/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 255: Interconnections - Controller Model 9698978M005
Technical Information Interconnections – controller model 9698978M005 Interconnections – controller model 9698978M005 The following figure shows the Turbo-V 1K-G interconnections with Navigator controller (9698978M005). For Rack Controller models see the specific controller manuals. Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 255/304...
Page 256: P3 - Vent
P3 – Vent This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. P4 – External fan This is a dedicated 24 Vdc connector to supply an optional external fan. 256/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 257 This connector carries all the input and output signals to remote control the Turbo-V 1K-G. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use. Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 257/304...
Page 258 INTERLOCK (-) SPEED SETTING (+) SPEED SETTING (-) SOFT START (+) SOFT START (-) +24 Vdc SPARE PROGRAMMABLE SET POINT SPARE FAULT OUTPUT PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (+) GROUND PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (-) 258/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 259 100 Hz +/-20%  amplitude: 24 V max  duty cycle range: from 25% to 75%  corresponding to a pump speed from 500 Hz to 761 Hz (see the  following diagram). Figure 9 Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 259/304...
Page 260 24 Vdc and becomes 0 Vdc when activated). Moreover, if the reference quantity is the frequency or the current drawn, it is possible to set the hysteresis (in % of the threshold value) to avoid bouncing. For example: reference quantity: frequency  260/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 261 The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings: reference quantity: frequency  threshold: 643 Hz  hysteresis: 2%  activation type: high level  delay time: 0 second  Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 261/304...
Page 262 Technical Information Interconnections – controller model 9698978M005 The Navigator Software (optional) allows the operator to set all the NOTE programmable feature. 262/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 263 MATING CONNECTOR How to connect the open-collector inputs of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of Turbo-V 1K-G to an external system. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc.
Page 264 Technical Information Interconnections – controller model 9698978M005 Figure 13 Case 1 Figure 14 Case 2 with relay utilization 264/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 265 LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 265/304...
Page 266: J2 - Serial
Technical Information Interconnections – controller model 9698978M005 J2 – Serial This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the Turbo-V 1K-G. 266/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 267 B – (RS485) RESERVED Note that the vent valve can also be controlled by means of the serial connection. A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional). Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 267/304...
Page 268: Rs 232/Rs 485 Communication Description
(MASTER) send a message + CRC to the controller (SLAVE); the controller answer with an answer + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> 268/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 269 <ETX> (End of transmission) = 0x03  <CRC> = XOR of all characters subsequent to <STX> and  including the <ETX> terminator. The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character. Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 269/304...
Page 270 (Logic, Numeric or Alphanumeric) is not in agreement with the Window specified. Out of Range The value expressed during a write command is not within the range value for the specified window. 270/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 271 RS 232/RS 485 Communication Description Table 6 Win Disabled 1 byte (0x35) The window specified is Read Only or is temporarily disabled (for example you can’t write the Soft Start when the Pump is running). Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 271/304...
Page 272 Command: STOP Source: PC Destination: Controller STX ADDR WINDOW ETX CRC Source: Controller Destination: PC STX ADDR ACK ETX CRC Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller STX ADDR WINDOW ETX CRC 272/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 273 RS 232/RS 485 Communication Description Source: Controller Destination: PC STX ADDR ACK ETX CRC Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller STX ADDR WINDOW ETX CRC Source: Controller Destination: PC STX ADDR ACK ETX CRC Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 273/304...
Page 274: Window Meanings
Set point hysteresis 0 to 100 (in % of threshold) (default = 2) Intercooling 0 = NO 1 = YES Active Stop 0 = NO (write only in stop) 1 = YES 274/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 275 (see note 2.) Vent valve opening 0 to 65535 delay (corresponding to 0 (expressed in 0.2 sec) to 13107 sec) Reserved to Agilent service Pump current in mA dc Pump voltage in Vdc Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 275/304...
Page 276 0 to 999999 (zeroed by the reset command) 320 to Reserved to Agilent service CRC EPROM (QE) QE5XXXX (where “XXXX” are variable) CRC Param. (PA) PA5XXXX (where “XXXX” are variable) Reserved to Agilent service 276/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 277 On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n. 122. TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Figure 18 Window N. 206 Bit Description Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 277/304...
Page 278: Inlet Screen Installation
0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. 278/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 279 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange. Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 279/304...
Page 280 Technical Information Inlet Screen Installation ISO 160F DIMENSIONS: mm [inches] ISO 200F DIMENSIONS: mm [inches] 280/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 281: Water Cooling Kit Installation
Water Cooling Kit Installation Two types of water cooling kits are available to be mounted. The Turbo-V 1K-G must be always water cooled. The two models part numbers are: 9699825 and 9699826. The items of the kit 9699826 kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure.
Page 282 These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid NOTE that the tube(s) gets loose or disconnected during operation. 282/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 283 3 and 5 bar. This allows a flow of about 200 l/h. The water electrical conductance must be ≤500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole is suggested. Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 283/304...
Page 284: Vent Accessories
This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the Navigator software (optional). To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). 284/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 285 Technical Information Vent Accessories Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 285/304...
Page 286: Standard Rack Controller Compatible Vent Valve Model 9699843
This vent valve has a fixed delay time of about 5 sec. This value can be used only with rack controller. To install the vent valve execute the same steps as the vent valve model 9699834 (see the above paragraph). 286/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 287: Vent Device Model 9699831
The vent device has adjustable delay time (up to 36 min.). This value can be used only with rack controller. To install the vent device unscrew and remove the threaded plug (see figure below). Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 287/304...
Page 288 Vent Accessories Screw the flange mod. 9699108 on the pump, taking care of the o-ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. 288/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 289: Purge Valve Installation
To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 289/304...
Page 290 Technical Information Purge Valve Installation 290/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 291: Serial Cable Installation (For 9698978M005 Navigator Controller Only)
Serial Cable Installation (for 9698978M005 Navigator controller only) Serial Cable Installation (for 9698978M005 Navigator controller only) The supplied serial cable must be installed when the Turbo-V 1K-G or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer.
Page 292: Turbo-V 1K-G Navigator Controller Installation
M5; Turn the pump again; Plug the line card and connect the pump cable to the pump; Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. 292/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 293: Fore-Vacuum Pump Connection
The Turbo-V 1K-G pump is characterized by its high compression ratio also for NOTE oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming.
Page 294: Electrical Connection
A and F reserved for Agilent. If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60° C, the sensor automatically cuts out the power supply. 294/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 295: Pump Used With Corrosive Gases
Turn off the Turbopump. Open the Turbo-V vent port slowly until to reach atmospheric pressure in the system. Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 295/304...
Page 296 If the vent valve can’t be kept opened, the backing pump should be left operating. Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve 296/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 297: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Agilent’s specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. Turbo-V 1K-G User Manual/ 87-901-025-01 (A) 297/304...
Page 298: Accessories And Spare Parts
Dry pump TriScroll 600, with 3 ph, worldwide motor PTS06001INV Dry pump TriScroll 600 inverter, with 1 ph, worldwide motor 9698978M005 Turbo Controller Navigator, 120V-220V for TV-1K-G 9699454M004 Turbo Controller Rack, 120V-220V for TV-1K-G 298/304 Turbo-V 1K-G User Manual / 87-901-025-01 (A)
Page 304 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Ce manuel est également adapté pour:

8698961r002 8698962r001 9698978m005 9699454m002

Agilent Technologies Turbo-V 1K-G Notice De Mode D'emploi

Liens rapides

Chapitres

Manuels Connexes pour Agilent Technologies Turbo-V 1K-G

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies Turbo-V 1K-G