Agilent Technologies TV 551 Notice De Mode D'emploi
  1. Manuels
  2. Marques
  3. Agilent Technologies Manuels
  4. Pompes
  5. TV 551
  6. Notice de mode d'emploi

Agilent Technologies TV 551 Notice De Mode D'emploi

Masquer les pouces
Table des Matières

Publicité

Les langues disponibles
  • FR

Les langues disponibles

  • FRANÇAIS, page 39

Liens rapides

Télécharger ce manuel
Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d'emploi
Manual de istrucciones
Manual de istruções
Bedrijfshandleiding
Istrukstionsbog
Bruksanvisning
87-900-958-01(G)
04/2011
TV 551/701 SEM
Navigator
Pump models
969-8935, 969-8936, 969-8937, 969-8938
Controller models
969-8976, 969-8977
Instruksjon manual
Ohjekäsikirja
Felhasználói kézikönyv
Podrecznik instrukcji
Návod k použití
Návod na obsluhu
Priročnik za navodila
User Manual

Publicité

Table des Matières
loading

Manuels Connexes pour Agilent Technologies TV 551

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TV 551

  • Page 1 TV 551/701 SEM Navigator Pump models 969-8935, 969-8936, 969-8937, 969-8938 Controller models 969-8976, 969-8977 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila...

  • Page 2: Safety Notices

    Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 3 TV 551/701 SEM Navigator TV 551/701 SEM Navigator TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 3/276...
  • Page 4 TV 551/701 SEM Navigator 4/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 5: Table Des Matières

    Uso 22  Manutenzione 25  Smaltimento 26  Gebrauchsanleitung 27  Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28  Allgemeine Informationen 29  Lagerung 30  Vor der Installation 31  Installation 32  Befestigung der Pumpe 33  Gebrauch 34  Wartung 37  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 5/276...
  • Page 6 51  Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 52  Información general 53  Almacenamiento 54  Preparación para la instalación 55  Instalación 56  Fijación de la bomba 57  Uso 58  Mantenimiento 61  Eliminación 62  6/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 7 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 76  Algemene informatie 77  Opslag 78  Uitpakken 79  Installatie 80  Bevestiging van de pomp 81  Gebruik 82  Onderhoud 85  Afvalverwerking 86  Istruktionsbog 87  Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 88  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 7/276...
  • Page 8 Förvaring 102  Förberedelser för installationen 103  Installation 104  Fastsättning av pump 105  Användning 106  Underhåll 109  Bortskaffande 110  Instruksjon Manual 111  Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 112  Generell informasjon 113  Lagring 114  8/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 9 Valmistelut asennusta varten127  Asennus 128  Pumpun kiinnitys 129  Käyttö 130  Huolto 133  Hävittäminen 134  11 Felhasználói Kézikönyv 135  Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 136  Általános információk 137  Tárolás 138  Előkészítés telepítésre 139  Telepítés 140  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 9/276...
  • Page 10 157  Przetworstwo odpadow 158  13 Návod k Použití 159  Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 160  Všeobecné informace 161  Uskladnění 162  Příprava k instalaci 163  Instalace 164  Montáž vývěvy 165  Použití 166  10/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 11 15 Priročnik za Navodila 183  Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 184  Splošne informacije 185  Shranjevanje 186  Priprava za montažo 187  Montaža 188  Pritrjevanje črpalke 189  Uporaba 190  Vzdrževanje 193  Odlaganje opadkov 194  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 11/276...
  • Page 12 Installation 200  Pump Fixing 201  Use 202  Maintenance 205  Disposal 206  17 Technical Information 207  Description of the TV 551/701 Navigator 209  Pump Description 210  Controller Description 212  Technical Specification 213  TV 551/701 SEM Navigator Outline 216  Interconnections 221  P3 – Vent 222 ...
  • Page 13 Purge Valve Installation 257  Serial Cable Installation 258  TV 551/701 SEM Controller Installation 259  Pump Used with Corrosive Gases 265  Pump Used in Presence of Magnetic Fields 268  Accessories and Spare Parts 268  TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 13/276...
  • Page 14 Contents 14/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 15: Istruzioni Per L'uso

    Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni generali 17 Immagazzinamento Preparazione per l'installazione 19 Installazione Fissaggio della pompa 21 Accensione ed Uso del TV 551/701 SEM Navigator 23 Arresto del TV 551/701 SEM Navigator Arresto di Emergenza 25 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali...

  • Page 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    AVVERTENZA! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 16/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 17: Informazioni Generali

    Il TV 551/701 SEM Navigator è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è...

  • Page 18: Immagazzinamento

    Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione. 18/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 19: Preparazione Per L'installazione

    Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TV 551/701 SEM Navigator e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.

  • Page 20: Installazione

    Istruzioni per l’uso Installazione Figura 1 Installazione Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del ATTENZIONE! collegamento della turbopompa al sistema. Figura 2 20/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 21: Fissaggio Della Pompa

    In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Il TV 551/701 SEM Navigator deve essere collegato ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information") Fissaggio della pompa...

  • Page 22: Uso

    Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Il TV 551/701 SEM Navigator può essere installato in qualsiasi posizione. Il TV 551/701 SEM Navigator non può essere fissato tramite la sua base. NOTA Il TV 551/701 SEM Navigator appartiene alla seconda categoria di installazione ATTENZIONE! (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1.

  • Page 23: Accensione Ed Uso Del Tv 551/701 Sem Navigator

    Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. Accensione ed Uso del TV 551/701 SEM Navigator Per accendere il TV 551/701 SEM Navigator è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa.

  • Page 24: Arresto Del Tv 551/701 Sem Navigator

    (periodo di circa 200 ms): condizione di errore. Arresto del TV 551/701 SEM Navigator Per arrestare il TV 551/701 SEM Navigator è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale).

  • Page 25: Manutenzione

    Istruzioni per l’uso Manutenzione Arresto di Emergenza Per arrestare in condizioni di emergenza il TV 551/701 SEM Navigator occorre staccare il cavo di alimentazione dal controller. Manutenzione Il TV 551/701 SEM Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.

  • Page 26: Smaltimento

    Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita. 26/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 27: Gebrauchsanleitung

    Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 551/701 SEM Navigator Stoppen von Modell TV 551/701 SEM Navigator Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 27/276...

  • Page 28: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen

    Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. WARNUNG! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 28/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 29: Allgemeine Informationen

    Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Modell TV 551/701 SEM Navigator ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum- anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die Förderung...

  • Page 30: Lagerung

    Temperatur: von –20 °C bis 70 °C Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95 % (nicht kondensierend) Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start ingangzusetzen. 30/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 31: Vor Der Installation

    überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Vor der Installation Modell TV 551/701 SEM Navigator wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 551/701 SEM Navigator ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.

  • Page 32: Installation

    Gebrauchsanleitung Installation Modell TV 551/701 SEM Navigator kann durch die Umgebung an sich keine HINWEIS Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden. Installation Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß der VORSICHT! Turbopumpe an das System abnehmen.

  • Page 33: Befestigung Der Pumpe

    Schäden oder den Tod und/oder Schäden an benachbarten Geräten zur Folge haben könnten. TV 551/701 SEM Navigator in einer stabilen Position befestigen. Den Eintrittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems montieren. Diese Verbindung soll einem Drehmoment von 8.600 Nm um die eigene Achse standhalten.Der ISO-K-Flansch kann zum...

  • Page 34: Gebrauch

    (Überdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Der TV 551/701 SEM Navigator hat Verbinder für den Ein- und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden müssen, sodaß...

  • Page 35: Einschaltung Und Gebrauch Von Modell Tv 551/701 Sem Navigator

    Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 551/701 SEM Navigator Zur Einschaltung von Modell TV 551/701 SEM ist es mit der erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.

  • Page 36: Stoppen Von Modell Tv 551/701 Sem Navigator

    Software wieder freizugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information"). Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 551/701 SEM gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an: Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.

  • Page 37: Wartung

    Gebrauchsanleitung Wartung Not-Aus Zur Stillsetzung von Mod. TV 551/701 SEM Navigator in Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen. Wartung Modell TV 551/701 SEM Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor...

  • Page 38: Entsorgung

    Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. 38/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 39: Mode D'emploi

    Indications Generales 41 Stockage Preparation pour l'installation 43 Installation Fixation de la pompe 45 Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 551/701 SEM Navigator Arrêt du TV 551/701 SEM Navigator 48 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale...

  • Page 40: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires

    être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel ! 40/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 41: Indications Generales

    "propre".Les paragraphes suivants donnent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information" TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 41/276...

  • Page 42: Stockage

    A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start. Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 10 mois à compter de la date d'expédition. 42/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 43: Preparation Pour L'installation

    Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. Preparation pour l'installation Le TV 551/701 SEM Navigator est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local.

  • Page 44: Installation

    Mode d’emploi Installation Figure 1 Installation Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de ATTENTION! brancher la turbopompe au système. Figure 2 44/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 45: Fixation De La Pompe

    équipements environnants. Fixer le TV 551/701 SEM Navigator de façon stable en assurant la collerette d'entrée de la turbopompe à la contre-collerette du système au moyen d'une connexion en mesure de résister à un couple de 8600 Nm autour de son axe.

  • Page 46: Utilisation

    Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical Information". Le TV 551/701 SEM Navigator peut être installée dans n'importe quelle position. Le TV 551/701 SEM Navigator ne peut être fixé par sa base. NOTE Le TV 551/701 SEM Navigator appartient à la deuxième catégorie ATTENTION! d'installations (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1.

  • Page 47: Mise En Marche Et Utilisation Du Tv 551/701 Sem Navigator

    Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. Mise en marche et utilisation du TV 551/701 SEM Navigator Pour allumer le TV 551/701 SEM Navigator il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe.

  • Page 48: Arrêt Du Tv 551/701 Sem Navigator

    "Soft Start", il faut réactiver ce mode opératoire à l'aide du logiciel (Cf. paragraphe "RS232 COMMUNICATION DESCRIPTION" dans l'appendice "Technical Information"). La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV 551/701 SEM Navigator indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système: allumée fixe: la pompe est en rotation normale;...

  • Page 49: Entretien

    Mode d’emploi Entretien Arrêt d'urgence Pour arrêter le TV 551/701 SEM Navigator en conditions d'urgence, il faut débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur. Entretien Le TV 551/701 SEM Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé.

  • Page 50: Mise Au Rebut

    Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le processus de collecte et mise au rebut. 50/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 51: Manual De Istrucciones

    Información general Almacenamiento 54 Preparación para la instalación 55 Instalación Fijación de la bomba 57 Encendido y Uso del TV 551/701 SEM Navigator Parada del TV 551/701 SEM Navigator Parada de Emergencia 61 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales...

  • Page 52: Manual De Istrucciones Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    ¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 52/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 53: Información General

    El TV 551/701 SEM Navigator es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada por el controler correspondiente.

  • Page 54: Almacenamiento

    Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez; el período máximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente. 54/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 55: Preparación Para La Instalación

    Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TV 551/701 SEM Navigator y de no someterlo a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.

  • Page 56: Instalación

    Manual de istrucciones Instalación Figura 1 Instalación Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la bomba ¡ATENCIÓN! al sistema. Figura 2 56/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 57: Fijación De La Bomba

    Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El TV 551/701 SEM Navigator ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). Fijación de la bomba ¡ADVERTENCIA!

  • Page 58: Uso

    Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. El TV 551/701 SEM Navigator puede instalarse en cualquier posición. El TV 551/701 SEM Navigator no puede fijarse utilizando su base. NOTA El TV 551/701 SEM Navigator pertenece a la segunda categoría de ATTENTION! instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1.

  • Page 59: Encendido Y Uso Del Tv 551/701 Sem Navigator

    Encendido y Uso del TV 551/701 SEM Navigator Para encender el TV 551/701 SEM Navigator basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba.

  • Page 60: Parada Del Tv 551/701 Sem Navigator

    (véase el apartado “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION” en el anexo “Technical Information”). El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV 551/701 indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema: encendido fijo: la bomba está...

  • Page 61: Mantenimiento

    Manual de istrucciones Mantenimiento Parada de Emergencia Para detener en condiciones de emergencia el TV 551/701 SEM Navigator es necesario desconectar del controlador el cable de alimentación. Mantenimiento El TV 551/701 SEM Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado.

  • Page 62: Eliminación

    éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. 62/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 63: Manual De Istruções

    Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 69 Utilização Acendimento e Utilização do TV 551/701 SEM Navigator Paragem do TV 551/701 SEM Navigator 72 Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 63/276...

  • Page 64: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares

    ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 64/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 65: Informações Gerais

    às normas nacionais específicas. O TV 551/701 SEM Navigator é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller.

  • Page 66: Armazenagem

    Soft-Start o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição. 66/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 67: Preparação Para A Instalação

    CUIDADO! componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. O TV 551/701 SEM Navigator não pode ser danificado permanecendo NOTA simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó.

  • Page 68: Instalação

    Manual de Istruções Instalação Figura 1 Instalação Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no CUIDADO! momento de ligar a turbobomba ao sistema. Figura 2 68/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 69: Fixação Da Bomba

    Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TV 551/701 SEM Navigator deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). Fixação da bomba ATENÇAO!

  • Page 70: Utilização

    O TV 551/701 não pode ser fixado através da sua base. NOTA O TV 551/701 SEM Navigator pertence à segunda categoria de instalação (ou CUIDADO! sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. O TV 551/701 SEM Navigator tem dois conectores para as entradas/saídas e para a comunicação...

  • Page 71: Acendimento E Utilização Do Tv 551/701 Sem Navigator

    Acendimento e Utilização do TV 551/701 SEM Navigator Para ligar o TV 551/701 é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba.

  • Page 72: Paragem Do Tv 551/701 Sem Navigator

    (período de aprox. 200 ms): condição de erro. Paragem do TV 551/701 SEM Navigator Para parar o TV 551/701 SEM Navigator é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado...

  • Page 73: Manutenção

    Manual de Istruções Manutenção Paragem de Emergência Para parar o TV 551/701 SEM Navigator em condições de emergência é necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação. Manutenção O TV 551/701 SEM Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.

  • Page 74: Eliminação

    Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna verificação dos termos e condições do contrato de venda. 74/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 75: Bedrijfshandleiding

    Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 76 Algemene informatie 77 Opslag 78 Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp 81 Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 551/701 SEM Navigator Afzetten van de TV 551/701 SEM Navigator Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 86 Vertaling van de originele instructies...

  • Page 76: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen

    WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 76/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 77: Algemene Informatie

    De TV 551/701 SEM Navigator is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. De TV 551/701 SEM Navigator is bovendien van hulpconnectors voorzien waarmee een extra ventilator kan worden gevoed, de luchtuitlaatkleppen kunnen worden aangestuurd, en waarmee het systeem d.m.v.

  • Page 78: Opslag

    Soft- Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum. 78/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 79: Uitpakken

    Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 551/701 SEM Navigator niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter.

  • Page 80: Installatie

    Bedrijfshandleiding Installatie Figuur 1 Installatie Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten VOORZICHTIG! mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. Figuur 2 80/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 81: Bevestiging Van De Pomp

    Bevestig de TV 551/701 SEM Navigator in een stabiele positie door de inlaatflens van de turbopomp op de contraflens van het systeem te monteren, met een verbinding die in staat is om een koppel van 8600 Nm rondom de eigen as te weerstaan.

  • Page 82: Gebruik

    Controleer of de inrichting verbonden met de TV 551/701 SEM Navigator goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.
  • Page 83 Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 83/276...

  • Page 84: Inschakeling En Gebruik Van De Tv 551/701 Sem Navigator

    (zie paragraaf “RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION” in de bijlage “Technical Information”). De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de TV 551/701 geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan: brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;...

  • Page 85: Onderhoud

    EG-normen. De in de controller ontwikkelde hoge voltage kan ernstige letsels of de dood veroorzaken. Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden aan het systeem uit te voeren. Noodstop Om de TV 551/701 SEM Navigator in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. Onderhoud De TV 551/701 SEM Navigator is onderhoudsvrij.

  • Page 86: Afvalverwerking

    86/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 87: Istruktionsbog

    Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Fastgørelse af pumpe 93 Anvendelse Start og anvendelse af TV 551/701 SEM Navigator 95 Stop af TV 551/701 SEM Navigator 96 Nødstop Vedligeholdelse 97 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 87/276...

  • Page 88: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper

    ADVARSEL! For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 88/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 89: Generel Information

    Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (42000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. TV 551/701 SEM Navigator er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. TV 551/701 SEM Navigator har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at forsyne ventilator, styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved hjælp af en værtscomputer gennem seriel forbindelse (RS...

  • Page 90: Opbevaring

    Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for første gang. De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra forsendelsesdatoen. 90/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 91: Forberedelse Før Installation

    Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TV 551/701 SEM Navigator ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100 % og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.

  • Page 92: Installation

    Istruktionsbog Installation Figur 1 Installation Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes FORSIGTIG! systemet. Figur 2 92/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 93: Fastgørelse Af Pumpe

    Montér TV 551/701 SEM Navigator i en stabil position ved at montere turbopumpens indgangsflange på systemets kontraflange. Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på 8.600 Nm omkring dens egen akse.

  • Page 94: Anvendelse

    35 Nm ISO 200 K 35 Nm I bilaget “Technical Information” findes yderligere detaljer. TV 551/701 SEM Navigator kan installeres i en hvilken som helst position. SEM Navigator TV 551/701 kan ikke fastgøres i fundamentet. BEMÆRK TV 551/701 SEM Navigator hører til den anden installationsklasse (eller FORSIGTIG! overspændingsklasse) jf.

  • Page 95: Start Og Anvendelse Af Tv 551/701 Sem Navigator

    Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Start og anvendelse af TV 551/701 SEM Navigator For at starte TV 551/701 er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen.

  • Page 96: Stop Af Tv 551/701 Sem Navigator

    (se afsnit “RS 232 “COMMUNICATION DESCRIPTION” i bilaget “Technical Information”). Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TV 551/701’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: konstant tændt: pumpen er i normal rotation langsomme blink: (periode på...

  • Page 97: Vedligeholdelse

    Istruktionsbog Vedligeholdelse Nødstop Afbrydelse af TV 551/701 SEM Navigator i nødsituationer sker ved at koble ledningen fra styreenheden. Vedligeholdelse TV 551/701 SEM Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen.

  • Page 98: Bortskaffelse

    Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. 98/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 99: Bruksanvisning

    Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar100 Allmänt Förvaring Förberedelser för installationen 103 Installation Fastsättning av pump 105 Användning Start och användning av TV 551/701 SEM Navigator Att stänga av TV 551/701 SEM Navigator 108 Nödstopp Underhåll Bortskaffande Översättning av originalinstruktionerna 99/276...

  • Page 100: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar

    VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 100/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 101: Allmänt

    TV 551/701 SEM Navigator, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. TV 551/701 SEM Navigator har dessutom en hjälpkontakt som gör det möjlig att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-dator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS 485).

  • Page 102: Förvaring

    Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången. De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet. 102/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 103: Förberedelser För Installationen

    Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 551/701 SEM Navigator inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.

  • Page 104: Installation

    Bruksanvisning Installation Figur 1 Installation Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till OBSERVER! systemet. Figur 2 104/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 105: Fastsättning Av Pump

    Fäst TV 551/701 SEM Navigator i ett stabilt läge genom att ansluta turbopumpens intagsfläns till systemets fläns som måste tåla ett vridmoment på 8600 Nm kring sin axel.

  • Page 106: Användning

    35 Nm ISO 200 K 35 Nm I bilaget “Technical Information” findes yderligere detaljer. TV 551/701 SEM Navigator kan installeres i en hvilken som helst position. TV 551/701 SEM Navigator-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas. OBSERVERA TV 551/701 SEM Navigator tillhör den andra installationsklassen (eller OBSERVER! överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1.

  • Page 107: Start Och Användning Av Tv 551/701 Sem Navigator

    Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Start och användning av TV 551/701 SEM Navigator För att starta TV 551/701 behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen.

  • Page 108: Att Stänga Av Tv 551/701 Sem Navigator

    Stop eller "Waiting for interlock"; hastigt blinkande (ungefär 200 ms) : feltillstånd. Att stänga av TV 551/701 SEM Navigator Om du vill stänga av TV 551/701 SEM Navigator behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion.

  • Page 109: Underhåll

    Bruksanvisning Underhåll Underhåll TV 551/701 SEM Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.

  • Page 110: Bortskaffande

    Slutanvändaren ska därför kontakta leverantören, företaget eller en återförsäljare, för att inleda insamlingen och bortskaffandet, efter en lämplig kontroll av avtalsmässiga försäljningsvillkor och bestämmelser. 110/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 111: Instruksjon Manual

    Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 112 Generell informasjon 113 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk 118 Starte og bruke TV 551/701 SEM Navigator Stoppe TV 551/701 SEM Navigator 120 Nødstopp Vedlikehold Avhending Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 111/276...

  • Page 112: Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylær Pumper

    I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. ADVARSEL! For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye! 112/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 113: Generell Informasjon

    å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 42000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. TV 551/701 SEM Navigator har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum.

  • Page 114: Lagring

    Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering). Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene når de mottas og startes opp første gang. Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato. 114/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 115: Klargjøre Til Installasjon

    Når TV 551/701 SEM Navigator pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.

  • Page 116: Installasjon

    Instruksjon Manual Installasjon Figur 1 Installasjon Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet. Figur 2 116/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 117: Festing Av Pumpen

    0 - 95 % (uten kondens) Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. TV 551/701 SEM Navigator må koples til en hovedpumpe (se skjema i “Technical Information”). Festing av pumpen ADVARSEL! Dersom rotoren ødelegges, kan tilkoplingen mellom pumpen og systemet...

  • Page 118: Bruk

    Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til TV 551/701 SEM Navigator har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.

  • Page 119: Starte Og Bruke Tv 551/701 Sem Navigator

    Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Starte og bruke TV 551/701 SEM Navigator TV 551/701 SEM Navigator startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen.

  • Page 120: Stoppe Tv 551/701 Sem Navigator

    Før man utfører vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten, er det nødvendig å kople fra strømkabelen. Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 551/701 SEM Navigator i en nødsituasjon. 120/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual /...

  • Page 121: Vedlikehold

    Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 551/701 SEM Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.

  • Page 122: Avhending

    Derfor skal slutbrukeren kontakte anleggets leverantør for å starte opp prosedyren for innsamling og avhending, etter en kontroll av villkor og bestemmelser i salgskontrakten. 122/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 123: Ohjekäsikirja

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 124 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 129 Käyttö 130 TV 551/701 SEM Navigatorin käynnistys ja käyttö TV 551/701 SEM Navigatorin pysäyttäminen 132 Hätäpysäytys 132 Huolto 133 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 123/276...

  • Page 124: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet

    Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 124/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 125: Yleisiä Tietoja

    TV 551/701 SEM Navigator on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu valvojalla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen.

  • Page 126: Varastointi

    -20 °C - 70 °C. suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä). Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft- start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä. 126/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 127: Valmistelut Asennusta Varten127

    Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. TV 551/701 SEM Navigator ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa HUOM (auki). On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään.

  • Page 128: Asennus

    Kuva 2 Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. 128/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 129: Pumpun Kiinnitys

    0 - 95 % (ei tiivistävä) Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TV 551/701 SEM Navigator tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). Pumpun kiinnitys VAROITUS! Jos roottori vaurioituu, pumpun ja järjestelmän väliseen liitäntään saattaa kohdistua huomattavaa vääntömomenttia.

  • Page 130: Käyttö

    Navigator laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että TV 551/701 SEM Navigator laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.

  • Page 131: Tv 551/701 Sem Navigatorin Käynnistys Ja Käyttö

    “Soft Start” -menetelmällä, tulee yllämainittu tapa aktivoida uudelleen ohjelmiston kautta (ks. kappale “RS 232 VIESTINNÄN KUVAUS” “Technical Information” -liitteessä). Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 551/701 SEM Navigator: n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;...

  • Page 132: Tv 551/701 Sem Navigatorin Pysäyttäminen

    Ohjekäsikirja Käyttö TV 551/701 SEM Navigatorin pysäyttäminen TV 551/701 SEM Navigatorin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun välittömästi. VAROITUS! Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien taulukkoa).

  • Page 133: Huolto

    Ohjekäsikirja Huolto Huolto TV 551/701 SEM Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50ºC:en.

  • Page 134: Hävittäminen

    Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. 134/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 135: Felhasználói Kézikönyv

    Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 136 Általános információk 137 Tárolás Előkészítés telepítésre 139 Telepítés A szivattyú rögzítése 141 Használat A TV 551/701 SEM Navigator bekapcsolása és használata A TV 551/701 SEM Navigator kikapcsolása Vészleállítás 144 Karbantartás Megsemmisítés 146 Az eredeti utasítás fordítása...

  • Page 136: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz

    – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 136/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 137: Általános Információk

    általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A TV 551/701 SEM Navigator egy integrált rendszer turbo- molekuláris szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú...

  • Page 138: Tárolás

    0 – 95 % (nem kondenzáló) A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani, amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti. Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap a szállítás dátumától. 138/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 139: Előkészítés Telepítésre

    FIGYELEM! kitett komponensek kezelésére. Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TV 551/701 SEM MEGJEGYZÉS Navigatort. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját.

  • Page 140: Telepítés

    Felhasználói Kézikönyv Telepítés Ábra 1 Telepítés Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez FIGYELEM! való csatlakoztatása előtt. Ábra 2 140/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 141: A Szivattyú Rögzítése

    és/vagy környezet károsodást okozhat. Rögzítse a TV 551/701 SEM Navigatort stabil helyen, a turbószivattyú bemeneti karimáját a rendszer ellenkarimájára szerelve, 8600 Nm tengely körüli nyomatéknak ellenállni képes csatlakozással. Például az ISO-K karima rögzíthető...

  • Page 142: Használat

    ISO 200 K 35 Nm Részletes leírásért lásd „Technical Information”. A TV 551/701 SEM Navigator bármely helyzetben telepíthető. A TV 551/701 SEM Navigator nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS A TV 551/701 SEM Navigator a második telepítési (vagy túlfeszültség) FIGYELEM! kategóriához tartozik az EN 61010-1 direktíva szerint.

  • Page 143: A Tv 551/701 Sem Navigator Bekapcsolása És Használata

    A TV 551/701 SEM Navigator bekapcsolása és használata A TV 551/701 SEM Navigator bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút. Az első...

  • Page 144: A Tv 551/701 Sem Navigator Kikapcsolása

    Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 551/701 SEM Navigatoron elhelyezett zöld LED a villogásának gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit. nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog; lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár” állapotban van;...

  • Page 145: Karbantartás

    Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TV 551/701 SEM Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...

  • Page 146: Megsemmisítés

    A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. 146/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 147: Podrecznik Instrukcji

    Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 149 Magazynowanie 150 Przygotowanie do instalacji 151 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie systemu TV 551/701 SEM Navigator Zatrzymanie systemu TV 551/701 SEM Navigator 156 Zatrzymanie Alarmowe 157 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 147/276...

  • Page 148: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych

    ZAGROŻENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi! 148/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 149: Ogólne Informacje

    System TV 551/701 SEM Navigator jest zintegrowanym systemem składającym się z pompy turbomolekularnej dla zastosowań wysokich i ultra wysokich próżni jak i przez odpowiedni system sterowania tzw.

  • Page 150: Magazynowanie

    0 do 95 % ( bez opar) klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób Soft- Start czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki. 150/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 151: Przygotowanie Do Instalacji

    Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku systemu TV 551/701 SEM Navigator ani nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje się całkowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektywą UE 855/399 dotyczącej ochrony środowiska.

  • Page 152: Instalacja

    Podrecznik Instrukcji Instalacja Postać 1 Instalacja Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w momencie UWAGA! połączenia pompy do systemu. Postać 2 152/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 153: Mocowanie Pompy

    W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek „Technical Information” TV 551/701 SEM Navigator musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w dodatku „Technical Information”) Mocowanie pompy ZAGROŻENIE!

  • Page 154: Użytkowanie

    UWAGA! nadnapięcia) przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. TV 551/701 SEM Navigator posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i dla komunikacji szeregowej które muszą być podłączone do obwodów zewnętrznych w sposób aby żadna część...

  • Page 155: Włączenie I Użytkowanie Systemu Tv 551/701 Sem Navigator

    Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. Włączenie i Użytkowanie systemu TV 551/701 SEM Navigator Aby włączyć TV 551/701 SM Navigator wystarczy dostarczyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie obecność sygnałów interlock-u i uruchomienia i uruchamia pompę. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 156: Zatrzymanie Systemu Tv 551/701 Sem Navigator

    (patrz paragraf “RS 232/485 OPIS KOMUNIKACJI” w dodatku „Technical Information”).Zielona dioda led znajdująca się na panelu podstawy TV 551/701 SEM Navigator wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan operacyjny systemu: zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie normalnych obrotów;...

  • Page 157: Konserwacja

    Zatrzymanie Alarmowe Aby zatrzymać w stanie awaryjno-alarmowym TV 551/701 SEM Navigator należy odłączyć kabel zasilania ze sterownika. Konserwacja System TV 551/701 SEM Navigator nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROŻENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć...

  • Page 158: Przetworstwo Odpadow

    Zaleca się użytkownikowi, po uprzednim sprawdzeniu terminu i warunków zawartych w umowie sprzedaży, nawiązać kontakt z dostawcą lub sprzedawcą, w celu uruchomienia procesu zbiórki i przerobu. 158/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 159: Návod K Použití

    Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 160 Všeobecné informace 161 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Montáž vývěvy Použití 166 Zapnutí a používání vývěvy TV 551/701 SEM Navigator Vypnutí vývěvy TV 551/701 SEM Navigator Nouzové zastavení 169 Údržba 169 Likvidace Překlad originálního návodu 159/276...

  • Page 160: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy

    V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence zranění obsluhy! 160/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 161: Všeobecné Informace

    činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěva TV 551/701 SEM Navigator je integrovaný systém s turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zařízení...

  • Page 162: Uskladnění

    Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C Rozpětí vlhkosti: 0 až 95 % (bez srážení) turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a poprvé vždycky spouštět pozvolně skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode dne doručení. 162/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 163: Příprava K Instalaci

    POZOR! manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. V normálním prostředí se vývěva TV 551/701 SEM Navigator nemůže poškodit. POZNÁMKA Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.

  • Page 164: Instalace

    Návod k Použití Instalace Postava 1 Instalace Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a POZOR! ochranné víko. Postava 2 164/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 165: Montáž Vývěvy

    V tomto případě by z vývěvy nebo systému mohly vyletět kovové úlomky, které by mohly způsobit vážný úraz nebo smrt a také poškodit okolní zařízení. Vývěvu TV 551/701 SEM Navigator umístěte do stabilní polohy a přívodní přírubu turbomolekulární vývěvy připevněte k protipřírubě systému pomocí přípojky, která odolá točivému momentu 8600 Nm kolem své...

  • Page 166: Použití

    551/701 SEM Navigator lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 551/701 SEM Navigator nelze připevnit pomocí její podstavy. POZNÁMKA Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 551/701 SEM Navigator do druhé POZOR! elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která...
  • Page 167 (např. N2, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu "Technical Information"). NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 167/276...

  • Page 168: Zapnutí A Používání Vývěvy Tv 551/701 Sem Navigator

    Použití Zapnutí a používání vývěvy TV 551/701 SEM Navigator Pro uvedení vývěvy TV 551/701 SEM Navigator do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu. První spuštění vývěvy je v režimu “pozvolného rozběhu”.

  • Page 169: Údržba

    Návod k Použití Údržba Nouzové zastavení Pro okamžité zastavení vývěvy TV 551/701 SEM Navigator v nouzové situaci je třeba odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky. Údržba Vývěva TV 551/701 SEM Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby.

  • Page 170: Likvidace

    Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. 170/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 171: Návod Na Obsluhu

    Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 173 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 175 Inštalácia Upevnenie vývevy 177 Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 551/701 SEM Navigator Vypnutie zariadenia TV 551/701 SEM Navigator Núdzové zastavenie Údržba 181 Likvidácia Preklad originálneho návodu...

  • Page 172: Bezpečnostný Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy

    V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍE! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy! 172/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 173: Všeobecné Informácie

    (RS232 alebo RS485). Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku "Technical Information". TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 173/276...

  • Page 174: Uchovávanie

    -20 °C až 70 °C rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie) zákazník musí pri prvom spustení turbo vývevy vždy použiť režim soft štartu skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo dňa dodania. 174/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 175: Príprava Na Inštaláciu

    Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Príprava na inštaláciu Zariadenie TV 551/701 SEM Navigator sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent.

  • Page 176: Inštalácia

    Návod na Obsluhu Inštalácia Postava 1 Inštalácia Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu POZOR! k systému. Postava 2 176/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 177: Upevnenie Vývevy

    časti a spôsobiť vážne zranenie alebo smrť a/alebo poškodiť ďalšie zariadenia. Upevnite zariadenie TV 551/701 SEM Navigator do stabilnej polohy tak, že pripevníte vstupnú prírubu turbovývevy k prírube systému. Pripojenie musí byť schopné vydržať točivý moment 8600 Nm okolo vlastnej osi.

  • Page 178: Použitie

    Navigator má konektory pre vstup/výstup a konektory sériovej komunikácie, ktoré je potrebné pripojiť k vonkajšiemu okruhu tak, aby nebola dostupná žiadna elektrická súčasť. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k TV 551/701 SEM Navigatoru má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1.
  • Page 179 , Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok “Technical Information”). NEBEZPEČÍE! Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 179/276...

  • Page 180: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tv 551/701 Sem Navigator

    Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 551/701 SEM Navigator Ak chcete zapnúť zariadenie TV 551/701 SEM Navigator, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu. Prvé spustenie vývevy prebehne v režime „Soft Start (Jemný...

  • Page 181: Údržba

    škody alebo smrť. Prv než začnete prevádzať údržbárske práce v tejto jednotke, odpojte napájaciu šnúru. Núdzové zastavenie Ak chcete zariadenie TV 551/701 SEM Navigator okamžite vypnúť v stave núdze, musíte vytiahnuť kábel napájania zo zásuvky zdroja napájania. Údržba Zariadenie TV 551/701 SEM Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu.

  • Page 182: Likvidácia

    Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. 182/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 183: Priročnik Za Navodila

    Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 184 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrjevanje črpalke Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 551/701 SEM Navigator 191 Izklop naprave TV 551/701 SEM Navigator Zaustavitev v sili 192 Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 183/276...

  • Page 184: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke

    V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 184/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 185: Splošne Informacije

    TV 551/701 SEM Navigator je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev.

  • Page 186: Shranjevanje

    -20 °C do 70 °C območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko. Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od datum pošiljanja. 186/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 187: Priprava Za Montažo

    Agilent Vacuum. Priprava za montažo TV 551/701 SEM Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.

  • Page 188: Montaža

    Priročnik za Navodila Montaža Slika 1 Montaža Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Slika 2 188/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 189: Pritrjevanje Črpalke

    Namestite TV 551/701 SEM Navigator na stabilno pozicijo tako, da zmontirate dovodno prirobnico turbo črpalke na prirobnico na sistemu tako, da povezava lahko zdrži navor večji od 8600 Nm okoli osi.

  • Page 190: Uporaba

    Naprave TV 551/701 SEM Navigator ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo OPOMBA ploskvijo. Po direktivi EN 61010-1 spada TV 551/701 SEM Navigator v skupino za drugo POZOR! nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.

  • Page 191: Vklop In Uporaba Naprave Tv 551/701 Sem Navigator

    Vklop in uporaba naprave TV 551/701 SEM Navigator Za vključitev TV 551/701 SEM Navigator morate priključiti napetost. Vgrajeni kontroler samodejno prepozna zaporo in prisotnost signalov za vklop ter zažene črpalko. Prvi zagon črpalke je v načinu »mehkega zaganjanja« (»Soft Start«). Ko se začetni cikel zaključi, se način »Soft Start«...

  • Page 192: Izklop Naprave Tv 551/701 Sem Navigator

    Priročnik za Navodila Uporaba Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 551/701 SEM Navigator, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti; Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for interloc«;...

  • Page 193: Vzdrževanje

    Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 551/701 SEM Navigator ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.

  • Page 194: Odlaganje Opadkov

    Zato je potrebno, da se uporabnik že pri sklenitvi kupoprodajne pogodbe seznani pri prodajalcu o postopkih posebnega odlaganja oziroma ločevanja. 194/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 195: Instructions For Use

    Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 196 General Information Storage Preparation for Installation 199 Installation Pump Fixing Switching on and Use of TV 551/701 SEM Navigator TV 551/701 SEM Navigator Switching off 204 Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 195/276...

  • Page 196: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel WARNING! the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 196/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 197: General Information

    The TV 551/701 SEM Navigator is an integrated system with a turbo- molecular pump for high and ultra-high vacuum applications with its relevant controller.

  • Page 198: Storage

    10 months from the shipping date. 198/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 199: Preparation For Installation

    Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Preparation for Installation The TV 551/701 SEM Navigator is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office.

  • Page 200: Installation

    Instructions for Use Installation Figure 1 Installation Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the CAUTION! turbopump to the system. Figure 2 200/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 201: Pump Fixing

    Fix the TV 551/701 SEM Navigator in a stable position, mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter-flange, with a connection capable of withstanding a torque of 8600 Nm around its axis.

  • Page 202: Use

    See the appendix "Technical Information" for a detailed description. The TV 551/701 SEM Navigator can be installed in any position. The TV 551/701 SEM Navigator cannot be fixed by means of its base. NOTE The TV 551/701 SEM Navigator belongs to the second installation (or CAUTION! overvoltage) category as per directive EN 61010-1.
  • Page 203 WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 203/276...

  • Page 204: Switching On And Use Of Tv 551/701 Sem Navigator

    Switching on and Use of TV 551/701 SEM Navigator To switch on the TV 551/701 SEM Navigator it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump. The first pump start up is in “Soft Start”...

  • Page 205: Maintenance

    Instructions for Use Maintenance Emergency Stop To immediately stop the TV 551/701 SEM Navigator in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug. Maintenance The TV 551/701 SEM Navigator does not require any maintenance.

  • Page 206: Disposal

    The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. 206/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 207: Technical Information

    TV 551/701 SEM Navigator User Manual Technical Information Description of the TV 551/701 Navigator 209 Pump Description 210 Controller Description 212 Technical Specification 213 TV 551/701 SEM Navigator Outline 216 Interconnections 221 P3 – Vent P4 – External Fan 222...
  • Page 208 Technical Information Air Cooling Kit Installation 246 TV 551/701 SEM with Navigator Controller TV 551/701 SEM Pump with Standard Rack Controller Water Cooling Kit Installation Vent Accessories 252 TV 551/701 SEM Navigator Controller Compatible 252 Vent Valve mod. 969-9834 Standard Rack Controller Compatible 254 Vent Valve mod.

  • Page 209: Description Of The Tv 551/701 Navigator

    The TV 551/701 SEM Navigator pumping system consists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system is available in two models for TV 551 and two models for TV 701. The models of each group differ in the high vacuum flange.

  • Page 210: Pump Description

    3rd stage with a blade angle of 28°, 4th and 5th stages with a blade angle of 24°, 6th stage with a blade angle of 20°, 7th and 8th stages with a blade angle of 16°. 210/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 211 The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 25 NW flange. Figure 4 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 211/276...

  • Page 212: Controller Description

    The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection or via remote I/O signals. A Windows-based software is available (optional). 212/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 213: Technical Specification

    Agilent DS 302 Diaphragm Agilent SH 100 Operating position Operating ambient +5 °C to +35 °C temperature Cooling Forced air or water cooling (use water with requirements electrical conductivity ≤ 500 μS/cm) TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 213/276...
  • Page 214 IEC 1000-4-2 (ex 801-2) IEC 1000-4-3 (ex 801-3) IEC 1000-4-4 (ex 801-4) EN 61010-1 (IEC 1010-1) EN 1012-2 Installation category Pollution degree Power cable With European or NEMA plug 3 meters long (optional) 214/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 215 Weight kg (lbs): pump 19.4 (43) controller 5.4 (12) When the TV 551/701 SEM Navigator has been stored at a temperature less than NOTE 5 °C, wait until the system has reached the above mentioned temperature. Figure 5 Vibration graph...

  • Page 216: Tv 551/701 Sem Navigator Outline

    Technical Information TV 551/701 SEM Navigator Outline TV 551/701 SEM Navigator Outline The following figures show the TV 551/701 SEM Navigator outlines (dimensions are in inches [mm]). Figure 6 TV 551 SEM Navigator outline 216/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual /...
  • Page 217 Technical Information TV 551/701 SEM Navigator Outline Figure 7 TV 701 SEM Navigator outline TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 217/276...
  • Page 218 Technical Information TV 551/701 SEM Navigator Outline TV 551 SEM TV 701 SEM Figure 8 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (with inlet screen) 218/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 219 Technical Information TV 551/701 SEM Navigator Outline Figure 9 Graph of compression ratio vs foreline pressure TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 219/276...
  • Page 220 Technical Information TV 551/701 SEM Navigator Outline TV 551 SEM TV 701 SEM Figure 10 Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 220/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 221: Interconnections

    Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 551/701 SEM interconnections. Figure 11 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 221/276...

  • Page 222: P3 - Vent

    This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. P4 – External Fan Figure 13 This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan. 222/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 223: J1 - In-Out

    PIN N. SIGNAL NAME INPUT/OUTPUT START/STOP (+) START/STOP (-) INTERLOCK (+) INTERLOCK (-) SPEED SETTING (+) SPEED SETTING (-) SOFT START (+) SOFT START (-) +24 Vdc SPARE PROGRAMMABLE SET POINT TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 223/276...

  • Page 224: Signal Description

    100 Hz +/-20 % amplitude: 0 - 24 V max duty cycle range: from 25 % to 75 corresponding to a pump speed from 272 Hz (25 %) to 714 Hz (75 %) linearly. 224/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 225 PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagrams). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 225/276...
  • Page 226 J1 - In-Out Figure 16 The screen can be mounted on each pump model. Figure 17 FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. 226/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 227 505 Hz (that is 500 Hz + 1 % of 500 Hz), then the output goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency becomes lower than 495 Hz (that is 500 Hz – 1 % of 500 Hz). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 227/276...
  • Page 228 When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input (see the following figure). Figure 19 228/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 229: How To Connect The Output Open Collector Of The Controller

    24 Vdc. Please note that on the connector a 24 Vdc, 60 mA voltage, a GROUND signal and the open collector pin are available. Figure 20 Case 1 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 229/276...
  • Page 230 Technical Information J1 - In-Out Figure 21 Case 2 with relay utilization 230/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 231 Technical Information J1 - In-Out Figure 22 Case 2 with transistor utilization TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 231/276...

  • Page 232: J2 - Serial

    Technical Information J2 – Serial J2 – Serial Figure 23 This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 551/701 SEM. Tab. 4 PIN N. SIGNAL NAME SPARE...

  • Page 233: Rs 232/Rs 485 Communication Description

    (MASTER) send a message + CRC to the controller (SLAVE); the controller answer with an answer + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> where: TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 233/276...
  • Page 234 <CRC> = XOR of all characters subsequent to <STX> and including the <ETX> terminator. The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character. The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. 234/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 235 The specified window is Read Only or temporarily disabled (for example Win Disabled 1 byte (0x35) you can’t write the Soft Start when the Pump is running) TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 235/276...

  • Page 236: Examples

    RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 236/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 237 RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 237/276...
  • Page 238 Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR WINDOW DATA 238/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 239: Window-Meanings

    "low level active" Set point hysteresis (in 0 to 100 (default = 2) % of threshold) Water cooling 0 = NO 1 = YES Active Stop 0 = NO TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 239/276...
  • Page 240 Automatic = 0 (see note 1.) operation On command = 1 (see note 2.) Vent valve opening delay 0 to 65535 (expressed in 0.2 sec) (corresponding to 0 to 13107 sec) 240/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 241 Pump life in hours 999999 (zeroed by the reset command) Reserved to Agilent service CRC EPROM (QE) QE5XXXX (where “XXXX” are variable) CRC Param. (PA) PA5XXXX (where “XXXX” are variable) TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 241/276...
  • Page 242 2. On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n. 122. TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Figure 24 Window N. 206 Bit Description 242/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 243: Inlet Screen Installation

    The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 243/276...
  • Page 244 The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 28 The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange. 244/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 245 Technical Information Inlet Screen Installation Figure 29 Figure 30 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 245/276...

  • Page 246: Air Cooling Kit Installation

    127 x 127 x 38 mm (5 x 5 x 1.5 in.) power: 4.7 W The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump. 246/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 247 Technical Information Air Cooling Kit Installation To fix the fan to the TV 551/701 SEM case execute the following procedure (see the following figure): Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws; Fix the bracket to the pump body between the pump and the controller;...

  • Page 248: Tv 551/701 Sem Pump With Standard Rack Controller

    Air Cooling Kit Installation TV 551/701 SEM Pump with Standard Rack Controller When the TV 551/701 SEM pumps are used with the standard rack controller, it is necessary to utilize the air cooling kit model 969-9314. Figure 33 Fan specification:...
  • Page 249 To fix the fan to the pump, position it ensuring that the holes in the plate line up with those in the pump base. Insert the respective washers and screws and tighten with a screwdriver. Connect the fan to the controller. Figure 34 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 249/276...

  • Page 250: Water Cooling Kit Installation

    The water cooling kit mod. 969-9347 or 969-9337 must be installed when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. Figure 35 Model 969-9337 Figure 36 Model 969-9347 250/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 251 The water electrical conductance must be ≤ 500 μs/cm. When the NOTE conductance is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl- Glycole is suggested. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 251/276...

  • Page 252: Vent Accessories

    This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the Navigator software (optional). To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). 252/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 253 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”). TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 253/276...

  • Page 254: Standard Rack Controller Compatible

    To install the vent valve execute the same steps as the vent valve model 969-9834 (see the above paragraph). Vent Device mod. 969-9831 Figure 42 254/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 255 Screw the flange mod. 969-9108 on the pump, taking care of the o- ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. Figure 44 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 255/276...

  • Page 256: Vibration Isolators

    969-9373 for ISO 160 F flange; model 969-9374 for ISO 200 F flange. They typically reduce the vibration transmitted from the TV 551/701 SEM Navigator to the system by a factor D>20. For more information, please refer to the relevant instruction manual.

  • Page 257: Purge Valve Installation

    To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, Figure 46 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 257/276...

  • Page 258: Serial Cable Installation

    Figure 47 Figure 48 Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TV 551/701 SEM Navigator or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure.

  • Page 259: Tv 551/701 Sem Controller Installation

    Turn the pump again; Plug the line card and connect the pump cable to the pump; Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 259/276...
  • Page 260 Technical Information TV 551/701 SEM Controller Installation Figure 50 260/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 261: Side Mounting

    Turn the pump again; Plug the line card and connect the pump cable to the pump; Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 261/276...

  • Page 262: Connection A - High Vacuum Flange

    TV 551/701 SEM Controller Installation Figure 51 Connection A - HIGH VACUUM FLANGE For ISO-K flange connections, fix the two flanges with the clamps as shown in the figure. Figure 52 262/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 263: Connection Configurations

    Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope as this may cause the pump rotor to lock. Connection Configurations Figure 53 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 263/276...

  • Page 264: Connection B - Fore-Vacuum Pump

    When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming. 264/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)

  • Page 265: Pump Used With Corrosive Gases

    To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump. TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 265/276...
  • Page 266 Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. 266/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 267 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Figure 55 Purge layout Tab. 8 Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 267/276...

  • Page 268: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    Inlet screen DN 200 969-9316 Water cooling kit (plastic model) 969-9347 Water cooling kit (metallic model) 969-9337 Air cooling kit for standard rack controller 969-9314 Air cooling kit for Navigator controller 969-9339 268/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 269 Forepump DS 302, with 1 ph., universal motor 949-9325 Forepump SH 100 SH010001UNIV Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 300 single phase, PTS03001UNIV universal motor Triscroll Dry Vacuum Pump PTS 300 3 phase, universal PTS03003UNIV motor TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G) 269/276...
  • Page 270 Technical Information Accessories and Spare Parts 270/276 TV 551/701 SEM Navigator User Manual / 87-900-958-01(G)
  • Page 276 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Ce manuel est également adapté pour:

701 sem969-8935969-8936969-8937969-8938969-8976 ... Afficher tout

Table des Matières