Page 1 TwisTorr 84 FS Pump models: X3502-64000, X3502-64001, X3502-64002, X3502-64003 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila...
Page 2: Safety Notices
Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 3 TwisTorr 84 FS Pump TwisTorr 84 FS Pump TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 3/336...
Page 4 TwisTorr 84 FS Pump 4/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 5: Table Des Matières
Uso della TwisTorr 84 FS 27 Manutenzione 29 Smaltimento Gebrauchsanleitung 31 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 37 Installation 39 Befestigung der Pumpe 43 Verwendung TwisTorr 84 FS 44 Wartung TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 5/336...
Page 6 Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Préparation pour l’installation Installation 57 Fixation de la pompe 60 Utilisation de la TwisTorr 84 FS 61 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 65 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 67 Almacenamiento Preparación para la instalación 71...
Page 7 Bedrijfshandleiding 97 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 98 Algemene informatie Opslag Uitpakken 103 Installatie 105 Bevestiging van de pomp Gebruik van de TwisTorr 84 FS Onderhoud 112 Afvalverwerking 113 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 7/336...
Page 8 Allmän information 133 Förvaring Förberedelser för installation 137 Installation 139 Fastsättning av pumpen 142 Användning av TwisTorr 84 FS Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 147 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 149 Lagring 8/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 9 Yleisiä tietoja Varastointi 168 Valmistelut asennusta varten169 Asennus Pumpun kiinnitys TwisTorr 84 FS käyttö Huolto Hävittäminen Felhasználói Kézikönyv 179 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 180 Általános informáicó 181 Tárolás Előkészítés telepítésre 185 Telepítés TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 9/336...
Page 10 Użytkowanie pompy TwisTorr 84 FS 208 Konserwacja Przetworstwo odpadow 211 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 214 Všeobecné informace Uskladnění 218 Příprava k instalaci 219 Instalace Upevnění vývěvy 224 Použití vývěvy TwisTorr 84 FS 10/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 11 Likvidácia Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 246 Splošne informacije 247 Shranjevanje Priprava za montažo 251 Montaža Pritrditev črpalke Uporaba črpalke TwisTorr 84 FS 257 Vzdrževanje 259 Odlaganje opadkov 260 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 11/336...
Page 12 Technical Specification 283 TwisTorr 84 FS Outline 286 Interconnections Soft Start Inlet screen installation 304 Air Cooling Kit Installation Water Cooling Kit Connection Vent Accessories Vibration Isolator Installation 315 Purge Valve Installation 316 12/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 13 Contents TwisTorr 84 FS On Board Controller Installation Connection of the High Vacuum Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump Pump Used with Corrosive Gases 326 Venting Procedure (without Contaminants and/or Corrosive Gases) – Manual Venting Pump Used in Presence of Magnetic Fields...
Page 14 Contents 14/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 15: Istruzioni Per L'uso
TwisTorr 84 FS User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Simboli di Sicurezza Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 21 Installazione Fissaggio della pompa 26 Uso della TwisTorr 84 FS Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali...
Page 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
AVVERTENZA! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 16/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 17: Informazioni Generali
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (81000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. La TwisTorr 84 FS è totalmente priva di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Page 18 I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 18/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 19: Simboli Di Sicurezza
L’apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l’operatore deve stare lontano durante il funzionamento dell'apparato. L'apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l'utente deve mettere a massa l'apparato. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 19/336...
Page 20: Immagazzinamento
12 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. 20/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 21: Preparazione Per L'installazione
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa TwisTorr 84 FS e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva per la tutela dell'ambiente 94/62/CE e successive modifiche.
Page 22 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione 22/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 23: Installazione
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del ATTENZIONE! collegamento della turbopompa al sistema. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 23/336...
Page 24 Istruzioni per l’uso Installazione 24/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 25 TwisTorr 84 FS on board 24V X3510-64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB La TwisTorr 84 FS è conforme alla categoria di installazione II prevista dalla ATTENZIONE! normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria.
Page 26: Fissaggio Della Pompa
La TwisTorr 84 FS può essere installata in qualsiasi posizione. Fissare la TwisTorr 84 FS in posizione stabile montando la flangia di ingresso della turbopompa alla controflangia di sistema, con una connessione capace di resistere ad una coppia di 250 Nm attorno al proprio asse.
Page 27: Uso Della Twistorr 84 Fs
è chiusa con la flangia di chiusura. Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 27/336...
Page 28 Azoto, Argon e gas più leggeri. Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti dell'Argon si prega di prendere contatti con l'Assistenza Tecnica della Agilent per informazioni. 28/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 29: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione La TwisTorr 84 FS non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Page 30: Smaltimento
Per maggiori informazioni riferirsi a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 30/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 31: Gebrauchsanleitung
TwisTorr 84 FS User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen 33 Sicherheits-Symbole 35 Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe 43 Befestigung der Pumpe 43 Verwendung TwisTorr 84 FS Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 31/336...
Page 32: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. WARNUNG! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 32/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 33: Allgemeine Informationen
Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. TwisTorr 84 FS ist eine Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen, die jede beliebige Art von Gasen oder gasförmigen Gemischen pumpen können. Sie sind nicht für das Pumpen von Flüssigkeiten oder Festkörperpartikeln geeignet.
Page 34 Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben HINWEIS werden. 34/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 35: Sicherheits-Symbole
Das Gerät ist mit diesem Symbol gekennzeichnet, wenn der Bediener sich während des Betriebs davon fernhalten soll. Das Gerät ist mit diesem Symbol gekennzeichnet, wenn der Bediener es an die Masse anschließen soll. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 35/336...
Page 36: Lagerung
Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. 36/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 37: Vor Der Installation
Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Die TwisTorr 84 FS kann durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden. Es HINWEIS sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
Page 38 Gebrauchsanleitung Vor der Installation 38/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 39: Installation
Wenn der Controller nicht so installiert werden kann, dass das Versorgungskabel leicht zugänglich ist, muss ein anderes System zur Unterbrechung der Haupt-Stromversorgung installiert werden. Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluss der VORSICHT! Turbopumpe an das System abnehmen. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 39/336...
Page 40 Gebrauchsanleitung Installation 40/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 41 Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Die pumpe TwisTorr 84 FS dürfen nur mit einem der passenden Agilent-Controller verwendet werden und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema im Anhang „Technical Information“).
Page 42 Das Modell Twis Torr 84 FS entspricht der Installationskategorie II gemäß der VORSICHT! Norm EN 61010-1. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical Information". 42/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 43: Befestigung Der Pumpe
Turbopumpen mit ConFlat Eingangsflansch sind mit dem speziellen Agilent Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TwisTorr 84 FS kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden. HINWEIS TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 43/336...
Page 44: Verwendung Twistorr 84 Fs
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlussflansch verschlossen ist. Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr. 44/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 45 Die Pumpe wurde für den Durchsatz von leichten Gasen wie Stickstoff, Argon und leichteren Gasen konzipiert. Wenn Gase gepumpt werden sollen, die schwerer sind als Argon, wenden Sie sich bitte an den technischen Kundendienst von Agilent für weitere Informationen. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 45/336...
Page 46: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Die Pumpen TwisTorr 84 FS erfordern keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C...
Page 47: Entsorgung
Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Für weitere Informationen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 47/336...
Page 48 Gebrauchsanleitung Entsorgung 48/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 49: Mode D'emploi
Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Symboles de sécurité 53 Stockage Préparation pour l’installation Installation Fixation de la pompe Utilisation de la TwisTorr 84 FS 61 Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 49/336...
Page 50: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 50/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 51: Indications Générales
La TwisTorr 84 FS est une pompe turbomoléculaires pour des applications de vide poussé et ultrapoussé en mesure de pomper n’importe quel type de gaz ou de composé non corrosif. Elles ne sont pas adaptées au pompage de liquides ou de particules solides.
Page 52: Cette Notice Utilise Les Signes Conventionnels Suivants
Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage. Les notes contiennent des renseignements importants isolés du texte. NOTE 52/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 53: Symboles De Sécurité
Ce symbole apposé sur l’appareil signale à l’opérateur qu’il doit se tenir à distance de sécurité pendant le fonctionnement de l’appareil. Ce symbole apposé sur l’appareil signale à l’utilisateur qu’il doit mettre l’appareil à la terre. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 53/336...
Page 54: Stockage
à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage pour toutes raisons, la pompe ATTENTION! doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. 54/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 55: Préparation Pour L'installation
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la TwisTorr 84 FS et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à...
Page 56 Mode d’emploi Préparation pour l’installation 56/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 57: Installation
électrique générale différent doit être installé. Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de ATTENTION! brancher la turbopompe au système. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 57/336...
Page 58 Mode d’emploi Installation 58/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 59 TwisTorr 84 FS on board 24V X3510-64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB La TwisTorr 84 FS est conforme à la catégorie d’installation II prévue par la ATTENTION! norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie.
Page 60: Fixation De La Pompe
Le TwisTorr 84 FS peut être installée dans n'importe quelle position. Fixer le TwisTorr 84 FS dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 250 Nm autour de son axe.
Page 61: Utilisation De La Twistorr 84 Fs
à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote, hélium ou argon) pour protéger les paliers (voir l'annexe " Technical Information "). TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 61/336...
Page 62 La pompe a été conçue pour assurer un transfert élevé d'azote, d'argon et de gaz plus légers. En cas de nécessité de pomper des gaz plus lourds que l'argon, veuillez contacter l'assistance technique Agilent pour plus d'informations. 62/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 63: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien Le TwisTorr 84 FS ne demand aucun entretien. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Page 64: Mise Au Rebut
œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 64/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 65: Manual De Istrucciones
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 66 Información general Símbolos de Seguridad 69 Almacenamiento Preparación para la instalación 71 Instalación Fijación de la bomba Uso de la TwisTorr 84 FS Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 65/336...
Page 66: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 66/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 67: Información General
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (81000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. La TwisTorr 84 FS no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’...
Page 68 Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 68/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 69: Símbolos De Seguridad
Cuando el equipo está señalizado con este símbolo, significa que el operador debe manterse alejado durante el funcionamiento del equipo. Cuando el equipo está señalizado con este símbolo, significa que el usuario debe conectar el equipo a masa. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 69/336...
Page 70: Almacenamiento
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. 70/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 71: Preparación Para La Instalación
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga. La TwisTorr 84 FS y de no someterla a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva para la preservación del medio ambiente 94/62/CE y modificaciones...
Page 72 Manual de istrucciones Preparación para la instalación 72/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 73: Instalación
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la ¡ATENCIÓN! bomba al sistema. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 73/336...
Page 74 Manual de istrucciones Instalación 74/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 75 TwisTorr 84 FS on board 24V X3510-64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB La TwisTorr 84 FS es conforme a la categoría de instalación II prevista por la ¡ATENCIÓN! normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.
Page 76: Fijación De La Bomba
La TwisTorr 84 FS puede instalarse en cualquier posición. Fijar la TwisTorr 84 FS en posición estable, montando la brida de entrada de la turbobomba a la contrabrida del sistema, con una conexión que pueda resistir a un par de 250 Nm alrededor de su eje.
Page 77: Uso De La Twistorr 84 Fs
No tocar la turbo-bomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 77/336...
Page 78 Nitrógeno, Argón y gases más livianos. En caso de que fuere necesario bombear gases más pesados que el Argón, se ruega contactar con la Asistencia Técnica de Agilent para solicitar información. 78/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 79: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento La TwisTorr 84 FS no requiere ningún mantenimiento.Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Page 80: Eliminación
Para mayor información, remitirse a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 80/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 81: Manual De Istruções
TwisTorr 84 FS User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Símbolos de segurança 85 Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 92 Utilização do TwisTorr 84 FS Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais...
Page 82: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 82/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 83: Informações Gerais
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (81000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O TwisTorr 84 FS é totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Page 84 As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à aparelhagem. As notas contém informações importantes estrapoladas pelo texto. NOTA 84/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 85: Símbolos De Segurança
O aparelho é marcado com este símbolo quando o operador deve se manter distante durante o funcionamento do aparelho. O aparelho é marcado com este símbolo quando o usuário deve ligar o aparelho à terra. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 85/336...
Page 86: Armazenagem
é de 12 meses a contar da data da expedição. Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. 86/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 87: Preparação Para A Instalação
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair o TwisTorr 84 FS e para não submetêla a choques ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é...
Page 88 Manual de Istruções Preparação para a instalação 88/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 89: Instalação
Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no CUIDADO! momento de ligar a turbobomba ao sistema. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 89/336...
Page 90 Manual de Istruções Instalação 90/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 91 TwisTorr 84 FS on board 24V X3510-64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB A TwisTorr 84 FS está em conformidade com a categoria de instalação II CUIDADO! prevista pela normativa EN 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria.
Page 92: Fixação Da Bomba
O TwisTorr 84 FS pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TwisTorr 84 FS em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba ao contraflange do sistema, com uma conexão capaz de...
Page 93: Utilização Do Twistorr 84 Fs
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 93/336...
Page 94 Se for necessário bombear gases mais pesados que o argónio, pede-se entrar em contacto com a Assistência Técnica da Agilent para informações. 94/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 95: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TwisTorr 84 FS não necessita de qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Page 96: Eliminação
Para maiores informações consultar: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 96/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 97: Bedrijfshandleiding
TwisTorr 84 FS User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Veiligheidssymbolen 101 Opslag 102 Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik van de TwisTorr 84 FS 110 Onderhoud Afvalverwerking 113 Vertaling van de originele instructies 97/336...
Page 98: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 98/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 99: Algemene Informatie
De pomp TwisTorr 84 FS is een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen die elk soort gas en gasvormige verbindingen kan pompen. Deze pomp is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
Page 100 Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 100/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 101: Veiligheidssymbolen
Het apparaat drag dit symbool wanneer de bediener op afstand moet blijven tijdens de werking van het apparaat. Het apparaat drag dit symbool wanneer de gebruiker het apparaat moet aarden. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 101/336...
Page 102: Opslag
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. 102/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 103: Uitpakken
Zorg er bij het uitpakken voor dat de TwisTorr 84 FS niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG- milieurichtlijn 94/62/CE en daaropvolgende wijzigingen.
Page 104 Bedrijfshandleiding Uitpakken 104/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 105: Installatie
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt VOORZICHTIG! aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 105/336...
Page 106 Bedrijfshandleiding Installatie 106/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 107 Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. De pompen TwisTorr 84 FS moeten uitsluitend met een van de speciale controllers van Agilent gebruikt worden en op een primaire pomp aangesloten worden (zie schema in de bijlage "Technical Information").
Page 108 Bedrijfshandleiding Installatie TwisTorr 84 FS is conform de installatiecategorie II voorzien door de norm EN VOORZICHTIG! 61010-1. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn.
Page 109: Bevestiging Van De Pomp
Agilent. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical Information". De TwisTorr 84 FS kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. OPMERKING TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 110: Gebruik Van De Twistorr 84 Fs
Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is. Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. 110/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 111 De pomp is ontworpen voor een hoge overdracht van Stikstof, Argon en lichtere gassen. Indien het nodig mocht zijn zwaardere gassen te pompen dan Argon, neem dan contact op met de Technische Dienst van Agilent voor meer informatie. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 111/336...
Page 112: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De pompen TwisTorr 84 FS zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Page 113: Afvalverwerking
Kijk voor meer informatie op: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 113/336...
Page 114 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 114/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 115: Istruktionsbog
TwisTorr 84 FS User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Sikkerheds Opbevaring 120 Forberedelser før installation Installation Fastgøring af pumpen 126 Anvendelse af TwisTorr 84 FS Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 115/336...
Page 116: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
ADVARSEL! For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 116/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 117: Generel Information
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (81000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. TwisTorr 84 FS er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med anvendelse af...
Page 118 I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 118/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 119: Sikkerheds
Apparatet er markeret med dette symbol, når brugeren skal holde sig på sikker afstand under drift af apparatet. Apparatet er markeret med dette symbol, når brugeren skal jordforbinde apparatet. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 119/336...
Page 120: Opbevaring
De turbomolekylære pumper må opbevares i 12 måneder fra ▪ forsendelsesdatoen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. 120/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 121: Forberedelser Før Installation
Sørg for, at TwisTorr 84 FS ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100 % og opfylder EU-direktiv 94/62/EF og efterfølgende ændringer om...
Page 122 Istruktionsbog Forberedelser før installation 122/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 123: Installation
Hvis styreenheden ikke kan installeres i systemet, så det er nemt at komme til netledningen, skal der installeres et andet system til frakobling netstrømmen. Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes FORSIGTIG! systemet. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 123/336...
Page 124 Istruktionsbog Installation 124/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 125 Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. Den turbomolekylær pumpe TwisTorr 84 FS må kun benyttes med en af de specielle Agilent controller og de skal tilsluttes med en primær pumpe (se skemaet i bilaget "Technical Information").
Page 126: Fastgøring Af Pumpen
TwisTorr 84 FS kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TwisTorr 84 FS i en stabil position ved at montere turbopumpens indløbsflange på systemets kontraflange med en tilslutning, der tåler et moment på...
Page 127: Anvendelse Af Twistorr 84 Fs
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen. Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i skade på personer. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 127/336...
Page 128 Pumpen er konstrueret til at have en høj overførsel af kvælstof, argon og lettere gasser. Såfremt der er behov for at pumpe gasser, som er tungere end argon, skal man kontakte den tekniske kundeservice hos Agilent for yderligere oplysninger. 128/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 129: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Pumpen TwisTorr 84 FS kræver ikke nogen form for vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 130: Bortskaffelse
For yderligere oplysninger, ret henvendelse til: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 130/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 131: Bruksanvisning
TwisTorr 84 FS User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 132 Allmän information Säkerhetssymboler 135 Förvaring Förberedelser för installation Installation Fastsättning av pumpen Användning av TwisTorr 84 FS 143 Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 131/336...
Page 132: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 132/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 133: Allmän Information
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 81000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga tillsatsämnen används i TwisTorr 84 FS, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Page 134 Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå. Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA 134/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 135: Säkerhetssymboler
Apparaten har markerats med den här symbolen när operatören ska hålla sig på avstånd när apparaten är i funktion. Apparaten har markerats med den här symbolen när användare ska jorda apparaten. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 135/336...
Page 136: Förvaring
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 12 månader från ▪ leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent -återförsäljaren för ytterligare information. 136/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 137: Förberedelser För Installation
Pumpen TwisTorr 84 FS levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TwisTorr 84 FS inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller direktiv 94/62/EG om miljöskydd och följande...
Page 138 Bruksanvisning Förberedelser för installation 138/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 139: Installation
Om styrenheten inte kan installeras I systemet så att elkabeln lätt kan nås ska ett annat frånkopplingssystem installeras. Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till OBSERVER! systemet. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 139/336...
Page 140 Bruksanvisning Installation 140/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 141 I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical Information“ för ytterligare upplysningar. Pumpen TwisTorr 84 FS ska endast användas med en av de speciella Agilent systemen och måste anslutas till en huvudpump (se schemat i bilagan "Technical Information").
Page 142: Fastsättning Av Pumpen
TwisTorr 84 FS kan installeras i valfri position. Fäst TwisTorr 84 FS i ett stabilt läge genom att montera pumpens intagsfläns till systemetskontrafläns med en anslutning som måste tåla ett...
Page 143: Användning Av Twistorr 84 Fs
Använd alltid vattenkylning under uppvärmningsförloppen. VARNING! Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med låsflänsen. Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under uppvärmningen för att undvika brännskador. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 143/336...
Page 144 Pumpen skyddas för att få en hög överföring av kväve, argon och lättare gaser. Om tyngre gas är argon måste pumpas, kontakta Agilens tekniska support för information. 144/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 145: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll TwisTorr 84 FS kräver inget som helst underhåll. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat...
Page 146: Bortskaffning
återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. För ytterligare information, se: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 146/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 147: Instruksjon Manual
TwisTorr 84 FS User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 149 Sikkerhetssymboler Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk av TwisTorr 84 FS Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 147/336...
Page 148: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. ADVARSEL! For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 148/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 149: Generell Informasjon
TwisTorr 84 FS er en turbomolekylær pumpe for høye- og ultrahøye vakuumanlegg som kan pumpe alle typer gasser eller gassblandinger. Den egner seg ikke for pumping av væsker eller faste partikler.
Page 150 Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK 150/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 151: Sikkerhetssymboler
å beskytte seg mot fare for skader og for å beskytte apparatet mot eventuelle skader. Apparatet er merket med dette symbolet når operatøren må holde avstand mens apparatet er i drift. Apparatet er merket med dette symbolet når brukeren må jorde apparatet. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 151/336...
Page 152: Lagring
Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 12 måneder fra ▪ sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger, må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent -forhandleren for informasjon. 152/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 153: Klargjøre Til Installasjon
Når TwisTorr 84 FS pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Page 154 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon 154/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 155: Installasjon
å koble fra hovedstrømforsyningen. Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 155/336...
Page 156 Instruksjon Manual Installasjon 156/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 157 Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. Pumpen TwisTorr 84 FS skal kun brukes sammen med en av de egnede Agilent-styreenhetene og den må koples til en hovedpumpe (se skjema i tillegget "Technical Information").
Page 158: Festing Av Pumpen
ødelegges. Dette kan føre til materielle skader, alvorlige personskader eller død. TwisTorr 84 FS kan monteres i en valgfri stilling. Fest TwisTorr 84 FS i en stabil stilling ved å montere turbopumpens inngangsflens på...
Page 159: Bruk Av Twistorr 84 Fs
Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen. Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til brannskader. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 159/336...
Page 160 Pumpen er utformet for å overføre nitrogen, argon og lettere gasser. Ta kontakt med Agilents tekniske kundestøtte for mer informasjon hvis du må pumpe gasser som er tyngre enn argon. 160/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 161: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TwisTorr 84 FS er vedlikeholdsfri.Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 162: Eliminering
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. For mer informasjon: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 162/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 163: Ohjekäsikirja
TwisTorr 84 FS User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja Turvamerkit Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 174 TwisTorr 84 FS käyttö 175 Huolto Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 163/336...
Page 164: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 164/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 165: Yleisiä Tietoja
TwisTorr 84 FS on turbomolekyylipumppu korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten, joka kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai kaasuyhdisteitä, mutta ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen.
Page 166 Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö-tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 166/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 167 Laitteessa on tämä merkki kun käyttäjän on viitattava ohjekirjaan suojautuakseen vahingoilta ja suojatakseen laitetta mahdollisilta vahingoilta. Laitteessa on tämä merkki kun käyttäjän on pysyttävä siitä loitolla sen toiminnan aikana. Laitteesa on tämä merkki kun käyttäjän on maadoitettava laite. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 167/336...
Page 168: Varastointi
▪ start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 12 kuukautta ▪ toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. 168/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 169: Valmistelut Asennusta Varten169
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. TwisTorr 84 FS ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään.
Page 170 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Kuva 1 170/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 171: Asennus
Varmista, että valvontayksikön pistorasian taakse jätetään riittävästi tilaa johdon kytkemiseksi irti. Jos valvontayksikköä ei voi asentaan järjestelmään siten, että virtajohtoon päästään helposti, päävirransyöttöön on asennettava erilainen järjestelmä. Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään HUOMIO! järjestelmään. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 171/336...
Page 172 Ohjekäsikirja Asennus Kuva 2 Kuva 3 172/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 173 TwisTorr 84 FS on board 24V X3510-64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB TwisTorr 84 FS on normin EN 61010-1 osoittaman asennusluokan II mukainen. HUOMIO! Kytke laite tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset. Ks. “Technical Information” -liitettä lisävarusteiden asentamista varten.
Page 174: Pumpun Kiinnitys
Asennusohjeiden noudattamatta jättäminen, mikäli roottorissa syntyy vika, voi aiheuttaa pumpun irtoamisen järjestelmästä ja näin ollen vahinkoja, vakavia vammoja tai kuoleman. TwisTorr 84 FS voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää TwisTorr 84 FS vakaaseen asentoon asentamalla turbopumpun sisääntulolaippa järjestelmän vastalaippaan liitännällä, joka kestää 250 Nm:n momentin akselinsa ympäri.
Page 175: Twistorr 84 Fs Käyttö
Käytä vesijäähdytystä aina lämmitystoimenpiteiden aikana. VAROITUS! Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden loukkaantumisia. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 175/336...
Page 176 Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. Pumppu on suunniteltu typen, argonin tai kevyempien kaasujen pumppaamiseen. Mikäli argoniin nähden painavampia kaasuja joudutaan pumppaamaan, ottakaa yhteyttä Agilentin tekniseen huoltoon lisätietoja varten. 176/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 177: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto TwisTorr 84 FS pumput eivät vaadi mitään huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Page 178: Hävittäminen
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Lisätietoja varten viitatkaa osoitteeseen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 178/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 179: Felhasználói Kézikönyv
TwisTorr 84 FS User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Biztonsági jelzések 183 Tárolás 184 Előkészítés telepítésre 185 Telepítés A szivattyú rögzítése A TwisTorr 84 FS használata Karbantartás Megsemmisítés 194 Az eredeti utasítás fordítása 179/336...
Page 180: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 180/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 181: Általános Informáicó
A szivattyúzási műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral hajtott nagysebességű turbina (max. 81000 fordulat/perc) biztosítja. A TwisTorr 84 FS szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta” vákuumot igénylő alkalmazásokra. A következő bekezdések a berendezést használó kezelő biztonságának garantálásához szükséges összes információt tartalmazzák. Részletes információt talál a „Technical Information”...
Page 182 A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja. A megjegyzések fontos, a szövegből kivonatolt információkat tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 182/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 183: Biztonsági Jelzések
A berendezésen akkor jelenik meg ez a jelzés, ha a kezelőnek a berendezés működése alatt attól távol kell tartózkodnia. A berendezésen akkor jelenik meg ez a jelzés, ha a felhasználónak földelnie kell a berendezést. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 183/336...
Page 184: Tárolás
Egy turbomolekuláris szivattyú raktározási ideje 12 hónap a ▪ szállítás dátumától számítva. Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a FIGYELEM! gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. 184/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 185: Előkészítés Telepítésre
TwisTorr 84 FS A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett módon.
Page 186 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre 186/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 187: Telepítés
Ha a rendszerbe nem lehet telepíteni a controllert úgy, hogy a tápkábel könnyen elérhetó legyen, az elektromos főtáp lekapcsolásának egy más rendszerét kell telepíteni. Ne távolítsa el az öntapadó csíkot és a védőkupakot, csak a turbószivattyú FIGYELEM! rendszerre csatlakoztatása előtt. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 187/336...
Page 188 Felhasználói Kézikönyv Telepítés 188/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 189 X3509-64001 TwisTorr 84 FS on board 24V X3510-64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB A TwisTorr 84 FS megfelel az EN 61010-1 szabvány II. telepítési kategóriájának. FIGYELEM! Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Technical Information”.
Page 190: A Szivattyú Rögzítése
úgy, hogy a dolgokban kárt, súlyos sérülést vagy halált okozhat. A TwisTorr 84 FS bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TwisTorr 84 FSt stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 250 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Page 191: A Twistorr 84 Fs Használata
Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben! A magas hőmérséklet égési sérüléseket okozhat! TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 191/336...
Page 192 Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében! A szivattyút úgy tervezétk, hogy nitrogén, argon és más könnyebb gázok jó átvitelét biztosítsa. Amennyiben az argonnál nehezebb gázok szivattyúzására lenne szükség, kérjük forduljon az Agilent ügyfélszolgálatához tájékoztatás végett. 192/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 193: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TwisTorr 84 FS típusú szivattyúk nem igényelnek karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Page 194: Megsemmisítés
és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Részletes információk végett forduljon az alábbi címhez: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 194/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 195: Podrecznik Instrukcji
TwisTorr 84 FS User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje Symbole związane z bezpieczeństwem Magazynowanie Przygotowanie do instalacji 201 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie pompy TwisTorr 84 FS 208 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 195/336...
Page 196: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 196/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 197: Ogólne Informacje
Pompa TwisTorr 84 FS jest pompą turbomolekularną przeznaczoną są do wywoływania wysokiej i ultra wysokiej próżni, jest wstanie pompować jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej nie korozyjnej, natomiast nie ma ona zastosowania do pompowania płynów lub cząstek ciał...
Page 198 Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 198/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 199: Symbole Związane Z Bezpieczeństwem
Na urządzeniu zostaje umieszczony ten symbol, kiedy operator musi znajdować się w odpowiednim oddaleniu podczas pracy urządzenia. Na urządzeniu zostaje umieszczony ten symbol, kiedy użytkownik musi podłączyć urządzenie do uziemienia. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 199/336...
Page 200: Magazynowanie
12 ▪ miesięcy od daty wysyłki. Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy odesłać UWAGA! pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. 200/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 201: Przygotowanie Do Instalacji
Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Pompa TwisTorr 84 FS, nie może zostać uszkodzona poprzez wystawienie jej na PRZYPIS działanie atmosfery. Mimo to zaleca się, aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
Page 202 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji ć 202/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 203: Instalacja
Jeżeli sterownik nie może zostać zainstalowany w układzie w taki sposób, aby kabel zasilania był łatwodostępny, należy zainstalować inny system odłączania od głównej linii zasilania elektrycznego. Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający dopiero w momencie UWAGA! połączenia pompy do systemu. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 203/336...
Page 204 Podrecznik Instrukcji Instalacja ć ć 204/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 205 W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information”. Pompy turbomolekularnej TwisTorr 84 FS należy używać wyłącznie wraz ze specjalnym kontrolerem Agilent i należy ją podłączyć do pompy głównej (patrz schemat w załączniku "Technical Information").
Page 206 Podrecznik Instrukcji Instalacja Pompa TwisTorr 84 FS odpowiada wymaganiom II kategorii instalacji UWAGA! przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też należy podłączyć urządzenie do linii zasilania, która spełnia te wymogi. Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z “Technical Information”.
Page 207: Mocowanie Pompy
Agilent. W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Technical Information”. Pompa TwisTorr 84 FS nie może być mocowana z wykorzystaniem jej własnej PRZYPIS podstawy. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 208: Użytkowanie Pompy Twistorr 84 Fs
Absolutnie nie wolno uruchamiać pompy w przypadku, kiedy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia. Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować obrażenia cielesne osób. 208/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 209 Pompa jest zaprojektowana w taki sposób, aby możliwy był szybki przesył Azotu, Argonu i gazów lżejszych. Gdyby pojawiła się konieczność pompowania gazów cięższych niż Argon, należy skontaktować się z działem Obsługi Technicznej firmy Agilent w celu uzyskania koniecznych informacji. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 209/336...
Page 210: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Pompa TwisTorr 84 FS nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
Page 211: Przetworstwo Odpadow
Dlatego też zaleca się, aby użytkownik końcowy, po uprzedniem sprawdzeniu terminu i warunków zawartych w kontrakcie sprzedaży, skontaktował się z dostawcą lub sprzedawcą urządzenia w celu uruchomienia procesu składowania i likwidacji. W@ięcej informacji zamieszczono: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 211/336...
Page 212 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 212/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 213: Návod K Použití
TwisTorr 84 FS User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 214 Všeobecné informace 215 Bezpečnostní symboly 217 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Upevnění vývěvy Použití vývěvy TwisTorr 84 FS Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 213/336...
Page 214: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 214/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 215: Všeobecné Informace
čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 81000 ot/min.) poháněná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem. Vývěva TwisTorr 84 FS neobsahuje žádné kontaminující látky a proto se hodí pro aplikace vyžadující "čisté" vakuum. Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění...
Page 216 činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení. Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA 216/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 217: Bezpečnostní Symboly
Zařízení je označeno tímto symbolem, když se obsluha musí během činnosti zařízení zdržovat v dostatečné vzdálenosti. Zařízení je označeno tímto symbolem, když uživatel musí ukostřit zařízení. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 217/336...
Page 218: Uskladnění
12 měsíců ode dne ▪ doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. 218/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 219: Příprava K Instalaci
Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby vývěva TwisTorr 84 FS nespadla a chraňte ji před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi. Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice 94/62/ES ve...
Page 220 Návod k Použití Příprava k instalaci 220/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 221: Instalace
Když nelze provést instalaci řídící jednotky do systému tak, aby byl napájecí kabel snadno dostupný, je třeba nainstalovat jiný systém odpojení hlavního elektrického napájení. Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a POZOR! ochranné víko. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 221/336...
Page 222 Návod k Použití Instalace 222/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 223 V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Vývěvu TwisTorr 84 FS lze používat výhradně ve spojení s některým ze speciálních řídicích zařízení Agilent a musí být připojena k primárnímu čerpadlu (viz schéma v dodatku „Technical Information“).
Page 224: Upevnění Vývěvy
Vývěvu TwisTorr 84 FS lze instalovat do libovolné polohy. Upevněte vývěvu TwisTorr 84 FS ve stabilní poloze, a to tak, že vstupní přírubu namontujete k protipřírubě systému prostřednictvím spoje, který kolem své osy snese krouticí moment 250 Nm.
Page 225: Použití Vývěvy Twistorr 84 Fs
Při zahřívání používejte vždy chlazení vodou. NEBEZPEČÍ! Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba připojená k vakuové komoře nebo nemá-li utaženou zavírací přírubu. Během zahřívání se turbomolekulární vývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 225/336...
Page 226 Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Vývěva byla navržena pro vysoký přenos dusíku, argonu a dalších lehčích plynů. V případě, že by s ní bylo třeba čerpat těžší plyny, obraťte se ohledně dalších informací na servisní službu firmy Agilent. 226/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 227: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TwisTorr 84 FS nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 228: Likvidace
Podrobnejší informace můžete získat na internetové stránce: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 228/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 229: Návod Na Obsluhu
TwisTorr 84 FS User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 230 Všeobecné informácie Bezpečnostné symboly 233 Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy240 Použitie vývevy TwisTorr 84 FS 241 Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 229/336...
Page 230: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení rotora, sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované, aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy! 230/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 231: Všeobecné Informácie
úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. TwisTorr 84 FS je turbomolekulárna výveva pre vysokovákuové a ultra vysokovákuové aplikácie, ktorá je schopná čerpať akýkoľvek druh nekorozívneho plynu alebo plynné zlúčeniny, ale nehodí sa na čerpanie tekutín alebo pevných častíc.
Page 232 Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA 232/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 233: Bezpečnostné Symboly
úrazu a poškodenia zariadenia. Zariadenie je označené týmto symbolom, keď sa pracovník musí počas činnosti zariadenia zdržiavať v dostatočnej vzdialenosti. Zariadenie je označené týmto symbolom, keď užívateľ musí uzemniť zariadenie. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 233/336...
Page 234: Uchovávanie
12 mesiacov odo ▪ dňa dodania Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. 234/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 235: Príprava Na Inštaláciu
Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Pri vybaľovaní dávajte pozor, aby výveva TwisTorr 84 FS nespadla a chráňte ju pred náhodnými nárazmi, otrasmi alebo vibráciami. Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál je 100% recyklovateľný...
Page 236 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu 236/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 237: Inštalácia
Keď nie je možné nainštalovať riadiacu jednotku do systému tak, aby bol napájací kábel ľahko prístupný, je potrebné nainštalovať iný systém odpojenia hlavného elektrického napájania. Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný uzáver skôr, než pripojíte turbovývevu k POZOR! systému. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 237/336...
Page 238 Návod na Obsluhu Inštalácia 238/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 239 X3509-64001 TwisTorr 84 FS on board 24V X3510-64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB Výveva TwisTorr 84 FS je v zhode s kategóriou inštalácie II, určenou normou EN POZOR! 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje uvedenej kategórii.
Page 240: Upevnenie Vývevy240
Vývevu TwisTorr 84 FS je možné inštalovať v ľubovoľnej polohe. Upevnite vývevu TwisTorr 84 FS do stabilnej polohy, a to tak, že vstupnú prírubu namontujete k protiprírube systému prostredníctvom spoja, ktorý znesie krútiaci moment 250 Nm okolo svojej osi.
Page 241: Použitie Vývevy Twistorr 84 Fs
Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k vákuovej komore alebo ak nie je zablendovaná. V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť popáleniny TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 241/336...
Page 242 Výveva bola navrhnutá pre vysoký prenos Dusíka, Argónu a ďalších ľahších plynov. V prípade, keď by bolo potrebné čerpať jej prostredníctvom ťažšie plyny, obráťte sa ohľadom ďalších informácií na Servisnú službu firmy Agilent. 242/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 243: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Výveva TwisTorr 84 FS nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 244: Likvidácia
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Podrobnejšie informácie môžete získať na internetovej stránke: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 244/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 245: Priročnik Za Navodila
TwisTorr 84 FS User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Varnostni znaki Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrditev črpalke Uporaba črpalke TwisTorr 84 FS Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 245/336...
Page 246: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 246/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 247: Splošne Informacije
Črpalke iz serije TwisTorr 84 FS so turbomolekularne črpalke za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo. Sistem lahko črpa vse tipe plinov in plinskih zmesi, ni pa primeren za črpanje tekočin ali trdnih delcev.
Page 248 če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila. OPOMBA 248/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 249: Varnostni Znaki
Ta znak na napravi pomeni, da se upravljavec delujoči napravi ne sme približevati. Ta znak na napravi pomeni, da mora upravljavec napravo ozemljiti. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 249/336...
Page 250: Shranjevanje
Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 12 mesecev od ▪ datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti POZOR! v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. 250/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 251: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Črpalka TwisTorr 84 FS je dobavljena v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju embalaže pazite pazite, da vam črpalka TwisTorr 84 FS ne pade iz rok in ne izpostavljajte je udarcem ali tresljajem.
Page 252 Priročnik za Navodila Priprava za montažo 252/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 253: Montaža
Če krmilnika ni mogoče namestiti v siistem tako, da je napajalni kabel prosto dostopen, je treba predvideti drugačen sistem za odklop z glavnega električnega napajalnega omrežja. Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 253/336...
Page 254 Priročnik za Navodila Montaža 254/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 255 TwisTorr 84 FS on board 24V X3510-64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB Črpalka TwisTorr 84 FS je skladna z II. razredom namestitve, ki ga določa POZOR! standard EN 61010-1. Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.
Page 256: Pritrditev Črpalke
Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Agilent strojne opreme. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". Naprave TwisTorr 84 FS ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo ploskvijo. OPOMBA 256/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 257: Uporaba Črpalke Twistorr 84 Fs
C s prirobnicami ISO. Vedno morate uporabiti vodno hlajenje med segrevanjem! SVARILO! Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na vakuumsko ležišče. Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte. Visoka temperatura lahko povzroči opekline. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 257/336...
Page 258 Črpalka je zasnovana za prenos velike količine dušika, argona in lažjih plinov. Če bi želeli črpati pline, ki so težji od argona, se posvetujte s službo za tehnično pomoč Agilent. 258/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 259: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Črpalke TwisTorr 84 FS ne potrebujejo nikakršnega vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 260: Odlaganje Opadkov
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Za podrobnejše informacije si oglejte spletno stran: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 260/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 261: Instructions For Use
TwisTorr 84 FS User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Safety Symbols 265 Storage Preparation for installation 267 Installation Pump Fixing Use of TwisTorr 84 FS 273 Maintenance Disposal Original instructions 261/336...
Page 262: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel WARNING! the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 262/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 263: General Information
The TwisTorr 84 FS is a turbo-molecular pump for high and ultra- high vacuum applications, which is able to pump any type of non corrosive gas or gas compound.
Page 264 The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. The notes contain important information taken from the text. NOTE 264/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 265: Safety Symbols
The apparatus is marked with this symbol when the user should stay clear during operation of the apparatus. The apparatus is marked with this symbol when the user has to connect a protective earth connection to the apparatus. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 265/336...
Page 266: Storage
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. 266/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 267: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for installation Preparation for installation The TwisTorr 84 FS pump is supplied in a special protective pack- ing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to the TwisTorr 84 FS pump.
Page 268 Instructions for Use Preparation for installation 268/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 269: Installation
Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump CAUTION! to the system. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 269/336...
Page 270 Instructions for Use Installation 270/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 271 TwisTorr 84 FS on board 24V X3510-64000 Controller TwisTorr 84 FS PCB The TwisTorr 84 FS complies to installation category II as per directive EN 61010- CAUTION! 1. Connect the device to a mains line that satisfies the above category.
Page 272: Pump Fixing
The TwisTorr 84 FS can be installed in any position. Fix the TwisTorr 84 FS in a stable position, mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter-flange, with a connection capable of withstanding a torque of 250 Nm around its axis.
Page 273: Use Of Twistorr 84 Fs
(integrated purge/vent device) to allow a steady flow of inert gas (He, N2, Ar) for pump bearing protection (see the annex "Technical Information"). TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 273/336...
Page 274 The pump is designed to pump high throughput of N , Ar and lighter gas. Should you need to pump gases heavier than Ar, please contact Agilent technical support for information. 274/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 275: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The TwisTorr 84 FS does not require any maintenance. Any work must be carried out by authorized personnel. Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, WARNING! vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped rotating and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Page 276: Disposal
Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 276/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 277: Technical Information
Air Cooling Kit Installation 308 Water Cooling Kit Connection Vent Accessories 313 Vibration Isolator Installation Purge Valve Installation TwisTorr 84 FS On Board Controller Installation Bottom Mounting Side Mounting Connection of the High Vacuum Flange 320 Installation of ISO-K Flange Installation of ConFlat Flange (CFF 2 ¾) 322...
Page 278 Connection of the Fore-Vacuum Pump Pump Used with Corrosive Gases Venting Procedure (without Contaminants and/or Corrosive Gases) – Manual Venting 328 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 278/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 279: Description Of The Twistorr 84 Fs279
Technical Information Description of the TwisTorr 84 FS Description of the TwisTorr 84 FS The TwisTorr 84 FS pump is available in various models that differ in the high vacuum flange. The TwisTorr 84 FS pump models are: Model X3502-64000 with ISO 63 high vacuum flange;...
Page 280 Technical Information Description of the TwisTorr 84 FS 280/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 281: Pump Description
The static blades of the stator are made of stainless steel. These are supported and accurately positioned by spacer rings. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 281/336...
Page 282 The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 16 NW flange. 282/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 283: Technical Specification
Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump) ) The Foreline Tolerance is the pressure at which the turbopump still produce a compression of TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 283/336...
Page 284 70 W (according to controller model) with water or air cooling Installation category Pollution degree Storage temperature -40° C to +70° C Max operating altitude 3000 m † average value ± standard deviation. 284/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 285 Technical Information Technical Specification Weight kg (lbs): Pump ISO 63 2.05 kg Pump CFF 4.5’’ 3.50 Kg Pump KF 40 2.37 kg Pump CFF 2.75’’ 3.34 kg TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 285/336...
Page 286: Twistorr 84 Fs Outline
Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS Outline The following figures show the TwisTorr 84 FS (dimensions are in mm [inches]). 286/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 287 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 287/336...
Page 288 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline 288/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 289 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 289/336...
Page 290 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline 290/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 291 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 291/336...
Page 292 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline 292/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 293 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 293/336...
Page 294 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline 294/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 295 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 295/336...
Page 296 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline 296/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 297 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 297/336...
Page 298 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline 298/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 299 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 299/336...
Page 300 Technical Information TwisTorr 84 FS Outline 300/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 301: Interconnections
Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TwisTorr 84 FS interconnections. Earth (Ground) Connection It is required to connect the pump body to protective earth with a M5 screw (marked thread in the pump body) using a green/yellow wire of size AWG 16.
Page 302: Connection C - Electrical
25 °C) and pin E is connected to the pump ground. If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 °C, the sensor automatically cuts off the power supply. 302/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 303: Soft Start
Technical Information Soft Start Soft Start To start the pump after a protracted stop of the TwisTorr 84 FS, it’s recommended to enable the “Soft Start” function; this allows a better grease distribution in the bearings. The “Soft Start” mode is disabled by default.
Page 304: Inlet Screen Installation
Technical Information Inlet screen installation Inlet screen installation 304/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 305 Technical Information Inlet screen installation The inlet screen models are the following; • X3502-68001 (ISO 63) • X3502-68000 (CFF 4.5’’) • 9699309 (KF 40) • 9699328 (CFF 2.75’’) TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 305/336...
Page 306 Reduction in pumping speed (%) X3502- 68000 X3502- 68001 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. 306/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 307 The screen can be removed as shown in the following figure. The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump do not change as the inlet screen remains integrated into the center-ring. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 307/336...
Page 308: Air Cooling Kit Installation
The fan bracket is shaped so that it can be mounted on the pump bottom (fixing thread = M3, diameter = 80,75 mm). When the pump is powered by the rack C.U., the use of the fan extension cable 9699940 is recommended. 308/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 309 Technical Information Air Cooling Kit Installation To fix the fan to the TwisTorr 84 FS pump bottom, proceed as follows (see figure below): Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws; Fix the bracket to the pump body between the pump and the controller;...
Page 310: Water Cooling Kit Connection
A water cooling kit is available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The model part numbers are: X3502-68002 (Metal), ▪ X3502-68003 (Plastic). ▪ 310/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 311 Technical Information Water Cooling Kit Connection The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 311/336...
Page 312 2 and 4 bar. This allows a flow higher than 65 l/h. NOTE The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is suggested. 312/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 313: Vent Accessories
To install the vent valve, remove the M5 threaded plug (see figure below). Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 313/336...
Page 314 Technical Information Vent Accessories Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller. 314/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 315: Vibration Isolator Installation
9699376 for CFF 4.5” flange. They typically reduce the vibration transmitted from the TwisTorr 84 FS to the system by a factor of 20. Please refer to the relevant instruction manual. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 315/336...
Page 316: Purge Valve Installation
M12 screw from the purge port as shown in the following figure; and then screw the M12 gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm). 316/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 317: Twistorr 84 Fs On Board Controller Installation
Technical Information TwisTorr 84 FS On Board Controller Installation TwisTorr 84 FS On Board Controller Installation The on board controller can be mounted in two position: ▪ bottom mounting (as per the complete system); side mounting. ▪ To install the controller proceed as described in the following procedures.
Page 318: Side Mounting
Technical Information TwisTorr 84 FS On Board Controller Installation Side Mounting NOTE The L-shaped bracket (P/N X3500-68006) is available as an option. See the following figure. Screw the 4 fixing studs (provided with the accessories bag) in the holes on the L-shaped bracket;...
Page 319 Technical Information TwisTorr 84 FS On Board Controller Installation Tighten the screws properly; Turn the pump up again; 10 Plug the line cord and connect the pump cable to the pump; 11 Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump.
Page 320: Connection Of The High Vacuum Flange
Agilent Vacuum will not accept any liability for all damages resulting from not allowed fastening. Installation of ISO-K Flange For ISO-K flange connections, fix the two flanges with the clamps as shown in the following figure (a protective screen can optionally be used). 320/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 321 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Use the required number of claw clamps: 4 for ISO 63 flange ▪ Tighten the claw clamps with a torque of 22 Nm. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 321/336...
Page 322: Installation Of Conflat Flange (Cff 2 ¾)
For ConFlat flange connections, in case of a flange with np-treaded holes fix the two flanges with the screws using the mounting kit X3502-68007, as shown in the following figures (a protective screen can optionally be used). 322/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 323 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Use the required number of screws: 6 for CFF 2.75” ▪ 8 for CFF 4.5” ▪ TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 323/336...
Page 324 Note that, in some cases, the connections can be made only with the bolt in the lower side. Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope as this may cause the pump rotor to lock. 324/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 325: Connection Of The Fore-Vacuum Pump
Connection of the Fore-Vacuum Pump Connection of the Fore-Vacuum Pump A flange KF 16 NW is available to connect the TwisTorr 84 FS pump to the forevacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Page 326: Pump Used With Corrosive Gases
Turbo pump, with the chamber or the Turbo vent valve opened, to avoid system overpressure. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. 326/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 327 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 327/336...
Page 328: Venting Procedure (Without Contaminants And/Or Corrosive Gases) - Manual Venting
Venting Procedure (without Contaminants and/or Corrosive Gases) – Manual Venting Close the process gases flowing into the system before sending the STOP signal to the TwisTorr 84 FS pump. Close the gate valve connecting the Turbo pump to the chamber (if present).
Page 329: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
However if the effect is greater, then the application should be carefully reviewed by Agilent's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B) 329/336...
Page 330: Accessories And Spare Parts
Purge valve 10 SCCM ¼ Swagelok - ¼ Swagelok 9699232 Purge valve 20 SCCM ¼ Swagelok - ¼ Swagelok 9699236 CFF4.5 Mounting kit X3502-68007 Metric screws kit X3502-68008 American screws kit X3502-68009 Pump extension cable (3 m) 9699942 330/336 TwisTorr 84 FS User Manual / 87-901-043-01(B)
Page 336 Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Ce manuel est également adapté pour:

X3502-64000 X3502-64001 X3502-64002 X3502-64003

Agilent Technologies TwisTorr 84 FS Notice De Mode D'emploi

Liens rapides

Chapitres

Manuels Connexes pour Agilent Technologies TwisTorr 84 FS

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TwisTorr 84 FS