Page 1 Turbo-V 3K-G Pumping System Models 969-8888 969-8889 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning User Manual 87-901-011-01 (C) 05/2012...
Page 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2011 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Page 3 Turbo-V 3K-G Turbo-V 3K-G Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 3/374...
Page 4 Turbo-V 3K-G 4/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 5: Table Des Matières
Contents Contents Istruzioni per l’uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione Uso 23 Manutenzione 28 Smaltimento Gebrauchsanleitung 31 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 36 Installation 38 Gebrauch Wartung Entsorgung 47...
Page 6 Contents Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications generales Stockage Preparation pour l‘installation Installation 56 Utilization 59 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 67 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 69 Almacenamiento Preparación para la instalación 72 Instalación 74 Uso 77 Mantenimiento 82...
Page 7 Contents Preparação para a instalação 90 Instalação 92 Utilização Manutenção Eliminação 101 Bedrijfshandleiding 103 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 104 Algemene informatie Opslag Uitpakken 108 Installatie Gebruik Onderhoud 118 Afvalverwerking 119 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information 123 Opbevaring 125 Forberedelse før installation 126 Installation 128 Anvendelse 131...
Page 8 Contents Bortskaffelse Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 140 Allmän Information 141 Förvaring Förberedelser för installationen 144 Installation 146 Användning 149 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 157 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 159 Lagring Klargjøre til installasjon 162 Installasjon 164 Bruk Vedlikehold 171 Eliminering 172 10 Ohjekäsikirja...
Page 9 Contents Varastointi 177 Valmistelut asennusta varten178 Asennus Käyttö Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 191 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 192 Általános információk Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 207 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 210 Ogólne informacje Magazynowanie 213 Przygotowanie do instalacji 214 Instalacja...
Page 10 Contents Konserwacja Przetworstwo odpadow 225 13 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 228 Všeobecné informace Uskladnění 231 Příprava k instalaci 232 Instalace Použití Údržba Likvidace 14 Návod na Obsluhu 245 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie...
Page 11 Contents Splošne informacije 265 Shranjevanje Priprava za montažo 268 Montaža Uporaba Vzdrževanje 278 Odlaganje opadkov 279 16 Instructions for Use 281 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 282 General Information 283 Storage Preparation for Installation 286 Installation 288 Use 291 Maintenance Disposal 17 Technical Information 299 Description of the Turbo-V 3K-G 302...
Page 12 Contents Stop Speed Reading 318 Active Stop 318 Serial Cable Installation 322 RS 232/RS 485 Communication Description 322 MoniTorr Profibus Option 345 Profibus Message Mapping 351 Inlet Screen Installation 360 Water Cooling Connection Vent Valve Installation 363 Pump Purging and Venting 363 High Vacuum Flange Connection 366 Fore-Vacuum Pump Connection 367 Pump Used in Presence of Magnetic Fields...
Page 13: Istruzioni Per L'uso
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Uso della Turbo-V 3K-G 24 Come avviare il sistema 24 Come arrestare la Turbo-V 3K-G 27 Arresto di Emergenza 27 Manutenzione Smaltimento...
Page 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Page 15: Informazioni Generali
Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Page 16 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Page 17: Immagazzinamento
Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle  pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: temperatura: da –20 °C a 70 °C ...
Page 18: Preparazione Per L'installazione
Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione La Turbo-V 3K-G viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 3K-G e a non sottoporla ad urti o vibrazioni.
Page 19 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Figura 1 Nell’imballo della Turbo-V 3K-G sono compresi: pompa con controller integrato inlet screen (montato) questo manuale su CD-ROM sacchetto accessori controconnettore a 15 vie “REMOTE I/O” IP-54 con integrate le connessioni necessarie a far partire la pompa controconnettore a 9 vie “SERIAL”...
Page 20: Installazione
Istruzioni per l’uso Installazione Installazione La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata tramite appositi AVVERTENZA! attrezzi di sollevamento e spostamento. All’uopo utilizzare gli appositi golfari avvitati nei fori filettati praticati sul corpo pompa. Non rimuovere la copertura imbullonata prima del collegamento della ATTENZIONE! turbopompa al sistema.
Page 21 Istruzioni per l’uso Installazione Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica  temperatura: da + 5 °C a +35 °C  umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante). ...
Page 22 Istruzioni per l’uso Installazione AVVERTENZA! Il mancato rispetto di queste istruzioni d’installazione, nel caso in cui si verifichi un guasto al rotore, può comportare il distacco della pompa dal sistema con danni alle cose o seri danni o morte delle persone. La Turbo-V 3K-G appartiene alla seconda categoria di installazione (o ATTENZIONE! sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1.
Page 23: Uso
Istruzioni per l’uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative. Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 80 °C.
Page 24: Uso Della Turbo-V 3K-G
Istruzioni per l’uso Non usare mai la pompa in presenza di gas o vapori corrosivi che possano ATTENZIONE! danneggiare i materiali interni alla pompa. AVVERTENZA! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
Page 25 Istruzioni per l’uso dare il segnale di START da remoto tramite l'interfaccia seriale RS 232/485 (vedere il paragrafo "RS 232/485 Communication Description" nell'appendice "Technical Information"). AVVERTENZA! Quando viene fornita l'alimentazione ed il controconnettore a 15 pin in dotazione è inserito, la Turbo-V 3K-G si avvia automaticamente. Il controller viene fornito già...
Page 26 Istruzioni per l’uso Figura 3 Il sistema è fornito di un LED verde pilotato da un segnale di stato. Il LED verde posto sul pannello frontale della Turbo-V 3K-G indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: acceso fisso: la pompa è...
Page 27 Istruzioni per l’uso Come arrestare la Turbo-V 3K-G Per arrestare la pompa si può usare uno dei seguenti metodi: togliendo il controconnettore di I/O in dotazione inviando un segnale di STOP da remoto tramite il connettore I/O (vedere il paragrafo "J1 – REMOTE I/O" nell'appendice "Technical Information") inviando un segnale di STOP da remoto tramite l'interfaccia seriale RS 232/485 (vedere il paragrafo "RS 232/485 Communication Description"...
Page 28: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il Turbo-V 3K-G non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Page 29: Smaltimento
Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Page 30 Istruzioni per l’uso Smaltimento 30/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 31: Gebrauchsanleitung
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen 33 Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Benutzung der Turbo-V 3K-G42 Ingangsetzung des Systems 42 Stillsetzung der Turbo-V 3K-G Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 31/374...
Page 32: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Page 33: Allgemeine Informationen
Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Page 34 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Page 35: Lagerung
Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung  der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –20 °C bis 70 °C ...
Page 36: Vor Der Installation
Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Modell Turbo-V 3K-G wird in einer speziellen Schutzverpa-ckung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell Turbo-V 3K-G ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß...
Page 37 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Abbildung 1 Verpackungsinhalt der Turbo-V 3K-G: Pumpe mit integriertem Controller Inlet-Screen (montiert) Betriebsanleitung auf CD-ROM Beutel mit Zubehör Gegenkonnektor mit 15 PINs “REMOTE I/O” IP-54 mit integrierten Anschlüssen für den Pumpenanlauf Gegenkonnektor mit 9 PINs “SERIAL” IP-54 für den seriellen Anschluss Gegenkonnektor mit 9 PINs IP-54 "Network"...
Page 38: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Installation Die Pumpe ist aufgrund ihres hohen Gewichtes mit geeigneten Hebe- und WARNUNG! Förderzeugen zu handhaben. Zu diesen Zwecken sind die Ösenschrauben zu benutzen, die in die Gewindebohrungen am Pumpenkorpus eingeschraubt sind. Die angeschraubte Abdeckung darf erst nach Anschluss der Turbopumpe an das VORSICHT! System entfernt werden.
Page 39 Gebrauchsanleitung Installation Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck ...
Page 40 Gebrauchsanleitung Installation WARNUNG! Die Turbo-V 3K-G kann nicht über ihren Sockel befestigt werden. Zur Befestigung des Systems kann nur der Flansch ISO 250F verwendet werden. WARNUNG! Die Nichtbeachtung dieser Anleitung, sollte sich ein Schaden am Rotor ergeben, kann zur Loslösung der Pumpe vom System führen mit Schäden an Dingen oder schweren Verletzungen oder zum Tod von Personen führen.
Page 41: Gebrauch
Gebrauchsanleitung Gebrauch Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 80 °C nicht überschreiten. Während des Pumpenbetriebs darf die Temperatur des Läufers niemals 120 °C überschreiten.
Page 42 Gebrauchsanleitung Gebrauch Die Pumpe niemals im Beisein von Gas oder korrosiven Dämpfen benutzen, weil VORSICHT! sie das Material im Innern der Pumpe beschädigen könnten. WARNUNG! Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen.
Page 43 Gebrauchsanleitung Gebrauch Das Signal START von der Fernsteuerung über den E/A- Konnektor geben (siehe Abschnitt "J1 – REMOTE I/O" im Anhang "Technical Information"). Das Signal START von der Fernsteuerung über die serielle Schnittstelle RS 232/485 geben (siehe Abschnitt "RS 232/485 Communication Description"...
Page 44 Gebrauchsanleitung Gebrauch Zur Beibehaltung des Schutzniveaus IP-54 ausschließlich die mit der Pumpe HINWEIS gelieferten Steckverbinder anwenden. Für das Stromversorgungskabel dürfen nur die PN 969-9957 oder 969-9958 verwendet werden. Das Kabel ist am Controller mit der hierfür vorgesehenen Schelle zu befestigen (siehe nachstehende Abbildung).
Page 45 Gebrauchsanleitung Gebrauch Stillsetzung der Turbo-V 3K-G Für die Stillsetzung der Pumpe gibt es die folgenden Möglichkeiten: Mitgelieferten E/A-Konnektor entfernen. Das Signal STOP von der Fernsteuerung über den E/A-Konnektor geben (siehe Abschnitt "J1 – REMOTE I/O" im Anhang "Technical Information"). Das Signal STOP von der Fernsteuerung über die serielle Schnittstelle RS 232/485 geben (siehe Abschnitt "RS 232/485 Communication Description"...
Page 46: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell Turbo-V 3K-G erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Page 47: Entsorgung
Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Page 48 Gebrauchsanleitung Entsorgung 48/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 49: Mode D'emploi
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications generales 51 Stockage Preparation pour l‘installation 54 Installation Utilization Utilisation de la pompe Turbo-V 3K-G60 60 Mise en marche du système 60 Arrêt du système 63 Arrêt d’urgence Entretien Mise au rebut...
Page 50: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Page 51: Indications Generales
Mode d’emploi Indications generales Indications generales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Page 52 Mode d’emploi Indications generales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non ATTENTION! respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage.
Page 53: Stockage
Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent  impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température : de –20 °C à...
Page 54: Preparation Pour L'installation
Mode d’emploi Preparation pour l‘installation Preparation pour l‘installation Le Turbo-V 3K-G est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Page 55 Mode d’emploi Preparation pour l‘installation Figure 1 La pompe Turbo-V 3K-G comprend : Pompe avec contrôleur intégré Protection d’entrée (montée) CD-Rom contenant cette notice d’utilisation Sachet d’accessoires Connecteur à 15 voies “REMOTE I/O” IP-54 avec toutes les connexions nécessaires à la mise en marche de la pompe Connecteur à...
Page 56: Installation
Mode d’emploi Installation Installation AVERTISSEMENT! Étant donné son poids, la pompe doit être manipulée à l’aide des équipements de levage et de déplacement appropriés. Utiliser les anneaux de levage vissés dans les orifices filetés sur le corps de la pompe. Ne jamais retirer la protection boulonnée avant le branchement de la turbo ATTENTION! pompe au système.
Page 57 Mode d’emploi Installation Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: pression maxi: 2 bar au-delà...
Page 58 Mode d’emploi Installation AVERTISSEMENT! La Turbo pompe V 3K-G ne peut être fixée à l’aide de son socle. Le système peut être fixé uniquement à l’aide de sa bride ISO 250F. AVERTISSEMENT! Le non-respect des instructions de montage peut provoquer un décrochage de la pompe du système en cas de panne du rotor et entraîner des dommages aux biens et de graves préjudices, voire la mort, aux personnes.
Page 59: Utilization
Mode d’emploi Utilization Utilization Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles. Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 80 °C.
Page 60 Mode d’emploi Utilization Ne jamais utiliser la pompe en présence de gaz ou de vapeurs corrosives ATTENTION! pouvant endommager les composants internes de la pompe. AVERTISSEMENT! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
Page 61 Mode d’emploi Utilization Donner le signal de START à distance à travers l’interface sérielle RS 232/485 (Cf. paragraphe "RS 232/485 Communication Description [Description communication]" dans l’appendice "Technical Information"). AVERTISSEMENT! Lorsque le système est branché au réseau et que le connecteur à 15 broches est connecté, la pompe Turbo-V 3K-G se met automatiquement en marche.
Page 62 Mode d’emploi Utilization Pour maintenir le niveau de protection IP-54 utiliser exclusivement les NOTE connecteurs fournis avec la pompe. Pour l’alimentation, utiliser exclusivement un câble type PN: 969-9957 ou 969-9958, et le fixer au contrôleur à l’aide de la bride prévue (voir la figure ci-dessous). Utiliser ce câble et la fiche avec une prise de courant branchée à...
Page 63 Mode d’emploi Utilization Arrêt du système Pour arrêter la pompe, opérer dans l’un des modes suivants : Débrancher le connecteur E/S. Envoyer un signal de STOP à distance à travers le connecteur E/S (Cf. paragraphe "J1 – REMOTE I/O [E/S À DISTANCE]" dans l’appendice "Technical Information").
Page 64: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien Le Turbo-V 3K-G n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Page 65: Mise Au Rebut
Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (unique-ment valide pour les pays de la Communauté euro-péenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Page 66 Mode d’emploi Mise au rebut 66/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 67: Manual De Istrucciones
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 68 Información general Almacenamiento 71 Preparación para la instalación 72 Instalación Uso de Turbo-V 3K-G Cómo poner en funcionamiento el sistema Cómo detener la Turbo-V 3K-G Parada de Emergencia 81 Mantenimiento Eliminación...
Page 68: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Page 69: Información General
Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Page 70 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza los símbolos convencionales siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
Page 71: Almacenamiento
Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las  bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –20 °C y 70 °C;...
Page 72: Preparación Para La Instalación
Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El Turbo-V 3K-G se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el Turbo-V 3K-G y de no someterlo a golpes o vibraciones.
Page 73 Manual de istrucciones Preparación para la instalación Figura 1 El embalaje de la Turbo-V 3K-G contiene: bomba con controlador integrado inlet screen (montado) el presente manual en CD-ROM bolsa con accesorios ensamble de conector de 15 vías “REMOTE I/O” IP-54 que incluye las conexiones necesarias para reactivar la bomba ensamble de conector de 9 vías “SERIAL”...
Page 74: Instalación
Manual de istrucciones Instalación Instalación ¡ADVERTENCIA! Siempre a causa de su peso, la bomba debe ser manejada utilizando medios específicos de elevación y desplazamiento. Para ello deben utilizarse las correspondientes armellas enroscadas en los respectivos agujeros practicados en el cuerpo de la bomba misma. No retirar la cubierta empernada antes de haber conectado la bomba de turbina ¡ATENCIÓN! al sistema.
Page 75 Manual de istrucciones Instalación No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica ...
Page 76 Manual de istrucciones Instalación ¡ADVERTENCIA! La Turbo-V 3K-G no puede ser fijada por medio de su ba-se. El sistema puede fijarse únicamente mediante su brida ISO 250F El incumplimiento de estas instrucciones de instalación, en el caso de que se ¡ADVERTENCIA! verifique una avería del rotor, puede provocar la separación de la bomba de la instalación con daños a las cosas o daños graves o muerte de las per-sonas.
Page 77: Uso
Manual de istrucciones En este apartado se citan los procedimientos operativos principales. Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 80 °C. Durante el funcionamiento de la bomba la temperatura del rotor no deberá...
Page 78 Manual de istrucciones Nunca usar la bomba en presencia de gases o vapores corrosivos que puedan ¡ATENCIÓN! dañar los materiales del interior de la bomba. ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
Page 79 Manual de istrucciones dar la señal de START de remoto mediante el conector I/O (véase el apartado "J1 – REMOTE I/O" en el apéndice "Technical Information"); dar la señal de START de remoto mediante la interfaz serie RS 232/485 (véase el apartado "RS 232/485 Communication Description"...
Page 80 Manual de istrucciones Para mantener el nivel de protección IP-54 usar exclusivamente los conectores NOTA suministrados con la bomba. Para el cable de alimentación utilizar sólo los PN: 969-9957 o 969-9958 y fijar el cable al controlador por medio de la correspondiente abrazadera (véase la siguiente figura).
Page 81 Manual de istrucciones Cómo detener la Turbo-V 3K-G La detención de la bomba podrá efectuarse aplicando una de las siguientes modalidades: encendido fijo: la bomba está en rotación normal; parpadea lentamente (periodo de 400 ms aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock”...
Page 82: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TV 301 Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Page 83: Eliminación
Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Page 84 Manual de istrucciones Eliminación 84/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 85: Manual De Istruções
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 86 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Uso da Turbo-V 3K-G Como activar o sistema 96 Como parar a Turbo-V 3K-G 99 Paragem de Emergência Manutenção Eliminação...
Page 86: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.
Page 87: Informações Gerais
Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Page 88 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! observados, podem causar danos à...
Page 89: Armazenagem
Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das  bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de –20 °C a 70 °C ...
Page 90: Preparação Para A Instalação
Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O Turbo-V 3K-G é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair o controller e para não submetê-lo a choques ou vibrações.
Page 91 Manual de Istruções Preparação para a instalação Figura 1 A embalagem da Turbo-V 3K-G contém: bomba com controller integrado inlet screen (montado) este manual em CD-ROM sacos dos acessórios conector conjugado de 15 vias “REMOTE I/O” IP-54 com todas as ligações necessárias para activar a bomba.
Page 92: Instalação
Manual de Istruções Instalação Instalação ATENÇAO! Devido ao seu peso, a bomba deve ser manuseada com a ajuda de equipamentos de levantamento e deslocação específicos. Para tal, utilizar as respectivas cavilhas montadas nos furos roscados existentes no corpo da bomba. Não remover a cobertura aparafusada antes de ligar a turbobomba ao sistema.
Page 93 Manual de Istruções Instalação Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica ...
Page 94 Manual de Istruções Instalação ATENÇAO! A Turbo-V 3K-G não pode ser fixada por meio da sua base. O sistema pode ser segurado só por intermédio da sua flange ISO 250F. ATENÇAO! O desrespeito a estas instruções de instalação, no caso em que se verifique um defeito no rotor, pode implicar no desengate da bomba do sistema com danos às coisas ou sérios danos ou a morte das pessoas.
Page 95: Utilização
Manual de Istruções Utilização Utilização Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 80 °C.
Page 96 Manual de Istruções Utilização Jamais usar a bomba na presença de gases ou vapores corrosivos que possam CUIDADO! danificar os materiais no interior da bomba. ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos.
Page 97 Manual de Istruções Utilização ligar o conector conjugado I/O fornecido de série. dar o comando remoto de START utilizando o conector I/O (consultar o parágrafo “J1 - REMOTE I/O” no apêndice “Technical Information”). dar o comando remoto de START utilizando o interface série RS 232/485 (consultar o parágrafo “RS 232/485 Communication Description”...
Page 98 Manual de Istruções Utilização Para manter o nível de protecção IP-54 utilizar exclusi-vamente os conectores NOTA fornecidos com a bomba. Para o cabo de alimentação usar unicamente os PN: 969-9957 ou 969-9958, e fixar o cabo ao controller utilizando a braçadeira específica (ver a figura que se segue).
Page 99 Manual de Istruções Utilização Como parar a Turbo-V 3K-G Para parar a bomba é possível utilizar um dos seguintes métodos: retirando o conector conjugado de I/O fornecido de série. dando o comando remoto de STOP através do conector I/O (consultar o parágrafo “J1 - REMOTE I/O”...
Page 100: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O Turbo-V 3K-G não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Page 101: Eliminação
Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Page 102 Manual de Istruções Eliminação 102/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 103: Bedrijfshandleiding
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 104 Algemene informatie 105 Opslag 107 Uitpakken Installatie Gebruik Gebruik van de Turbo-V 3K-G Hoe wordt het systeem gestart 114 Hoe wordt de Turbo-V 3K-G gestopt 117 Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 119 Vertaling van de originele instructies 103/374...
Page 104: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Page 105: Algemene Informatie
Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Page 106 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Page 107: Opslag
Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan  de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van –20 °C tot 70 °C ...
Page 108: Uitpakken
Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De Turbo-V 3K-G wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 3K-G niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Page 109 Bedrijfshandleiding Uitpakken Figuur 1 In de verpakking van de Turbo-V 3K-G zijn aanwezig: pomp met geïntegreerde controller inlet screen (gemonteerd) deze handleiding op CD-ROM zak met accessoires 15-pin contraconnector IP-54 voor “REMOTE I/O” connector met alle geïntegreerde aansluitingen die benodigd zijn om de pomp op te starten 9-pin contraconnector IP-54 voor “SERIAL”...
Page 110: Installatie
Bedrijfshandleiding Installatie Installatie WAARSCHUWING! De pomp moet in verband met zijn gewicht met speciale hef- en transportwerktuigen worden gehanteerd. Gebruik hiervoor de speciale oogbouten die zijn vastgeschroefd in de gaten in het pomplichaam. Verwijder niet de opgeboute afdekking voordat de turbopomp met het systeem VOORZICHTIG! wordt verbonden.
Page 111 Bedrijfshandleiding Installatie De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met ex¬plosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn max.
Page 112 Bedrijfshandleiding Installatie WAARSCHUWING! De Turbo-V 3K-G kan niet bevestigd worden via zijn basis. Het systeem mag uitsluitend bevestigd worden via zijn ISO 250F flens. WAARSCHUWING! Indien deze installatie-instructies niet worden opgevolgd kan bij optreden van een defect aan de rotor de pomp van het systeem losraken met als gevolg schade aan voorwerpen of ernstig letsel of levensgevaar voor personen.
Page 113: Gebruik
Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 80 °C bedragen. Tijdens de werking van de pomp, mag de temperatuur van de rotor nooit 120 °C overschrijden.
Page 114 Bedrijfshandleiding Gebruik Gebruik de pomp nooit bij corrosieve gassen of dampen die het materiaal aan de VOORZICHTIG! binnenkant van de pomp kunnen beschadigen. WAARSCHUWING! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld.
Page 115 Bedrijfshandleiding Gebruik sluit de bijgeleverde I/O contraconnector aan geeft het START signaal op afstand via de I/O connector (zie paragraaf "J1 – REMOTE I/O" in de bijlage "Technical Information") geef het START signaal op afstand via de seriële interface RS 232/485 (zie paragraaf "RS 232/485 Communication Description"...
Page 116 Bedrijfshandleiding Gebruik Ter handhaving van het veiligheidsniveau IP-54 gebruik uitsluitend connectors OPMERKING die met de pomp zijn meegeleverd. Gebruik voor de voedingskabel uitsluitend de PN 969-9957 of 969-9958, en bevestig de kabel aan de controller met behulp van de hiervoor bestemde opsluitbeugel (zie volgende figuur). Gebruik deze kabel en stekker samen met een goed geaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om aan de CE eisen te voldoen.
Page 117 Bedrijfshandleiding Gebruik Hoe wordt de Turbo-V 3K-G gestopt Om de pomp te stoppen, kan één van de volgende methoden worden gebruikt: verwijdering van de bijgeleverde I/O contraconnector verzending van een STOP signaal op afstand via de I/O connector (zie paragraaf "J1 –...
Page 118: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De Turbo-V 3K-G is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Page 119: Afvalverwerking
Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Page 120 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 120/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 121: Istruktionsbog
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Brug af Turbo-V 3K-G Start af systemet 132 Afbrydelse af Turbo-V 3K-G 135 Nødstop Vedligeholdelse 136 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 121/374...
Page 122: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Page 123: Generel Information
Istruktionsbog Generel Information Generel Information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Page 124 Istruktionsbog Generel Information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Page 125: Opbevaring
Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i  forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra –20 °C til +70 °C, ...
Page 126: Forberedelse Før Installation
Istruktionsbog Forberedelse før installation Forberedelse før installation Turbo-V 3K-G leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 3K-G ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.
Page 127 Istruktionsbog Forberedelse før installation Figur 1 Emballagen med Turbo-V 3K-G indeholder: Pumpe med indbygget styreenhed Indgangsflange (monteret) Cd-rom med denne manual Pose med tilbehør 15-benet “REMOTE I/O” kontakt (IP-54) med indbyggede tilslutninger, der er nødvendige i forbindelse med start af pumpen 9-benet “SERIAL”...
Page 128: Installation
Istruktionsbog Installation Installation På grund af dens vægt skal pumpen håndteres ved hjælp af passende løfte- ADVARSEL! og transportudstyr. Benyt øjeboltene, der er fastspændt i gevindhullerne på pumpehuset. Fjern først den fastboltede afskærmning, når turbopumpen er blevet sluttet til FORSIGTIG! systemet.
Page 129 Istruktionsbog Installation Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk ...
Page 130 Istruktionsbog Installation ADVARSEL! Turbo-V 3K-G pumpen kan ikke fastgøres ved hjælp af dens sokkel. Pumpen kan kun monteres ved hjælp af dens ISO 250F flange. ADVARSEL! Den manglende overholdelse af installationsanvisningerne, hvis der opstår en fejl på rotoren, kan forårsage frakobling af pumpen fra systemet, og medføre beskadigelser til udstyr og alvorlige kvæstelser eller dødsfald.
Page 131: Anvendelse
Istruktionsbog Anvendelse Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens temperatur ikke overstige 80 °C. Rotorens temperatur må aldrig overskride 120 °C i forbindelse med brug af pumpen.
Page 132 Istruktionsbog Anvendelse ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Pumpen er projekteret til at sikre en høj pumpekapacitet for kvælstof, argon og lettere gasarter. Kontakt Agilents tekniske servicecenter vedrørende yderligere oplysninger, hvis det er nødvendigt at pumpe gasarter, som er tungere end argon.
Page 133 Istruktionsbog Anvendelse ADVARSEL! Turbo-V 3K-G starter automatisk efter tilslutning af strøm og indsættelse af den medleverede 15-benede kontakt. Ved levering er styreenheden allerede sluttet mekanisk og elektrisk til pumpen. FORSIGITG! Det er kun personale fra Agilent Vacuum Technologies, som må fjerne styreenheden fra pumpehuset.
Page 134 Istruktionsbog Anvendelse Figur 3 Systemet er udstyret med en grøn LED, som overvåges af et signal for tilstand. Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TURBO-V 3K-G’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: konstant tændt: pumpen er i normal rotation ...
Page 135 Istruktionsbog Anvendelse Afbrydelse af Turbo-V 3K-G Benyt en af følgende metoder for at afbryde pumpen: Fjern den medleverede I/O kontakt. Overfør et fjernstyret stopsignal ved hjælp af I/O kontakten (se afsnittet "J1 - REMOTE I/O" i bilaget "Technical Information"). Overfør et fjernstyret stopsignal ved hjælp af den serielle grænseflade RS232/485 (se afsnit "RS232/485 Communication Description"...
Page 136: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Turbo-V 3K-G behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 137: Bortskaffelse
Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Page 138 Istruktionsbog Bortskaffelse 138/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 139: Bruksanvisning
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 140 Allmän Information Förvaring Förberedelser för installationen 144 Installation Användning Användning av Turbo-V 3K-G Hur du startar systemet Hur du stoppar Turbo-V 3K-G Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 139/374...
Page 140: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Page 141: Allmän Information
Bruksanvisning Allmän Information Allmän Information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Page 142 Bruksanvisning Allmän Information I bruksanvisningen används följande standard-rubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! maskinskada skall uppstå.
Page 143: Förvaring
Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande  omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.  Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). ...
Page 144: Förberedelser För Installationen
Bruksanvisning Förberedelser för installationen Förberedelser för installationen Turbo-V 3K-G levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att Turbo-V 3K-G inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har satts fast på...
Page 145 Bruksanvisning Förberedelser för installationen Figur 1 Turbo-V 3K-G förpackning innehåller: Pump med inbyggd styrenhet Intagsfläns (monterad) Denna bruksanvisning på CD-ROM Påse med tillbehör 15-polig kontakt "REMOTE I/O" IP-54 med inbyggda anslutningar som behövs för att kunna starta pumpen 9- polig kontakt "SERIAL" IP-54 som används för den seriella anslutningen 9-polig kontakt IP-54 "Network"...
Page 146: Installation
Bruksanvisning Installation Installation På grund av vikten måste pumpen flyttas med hjälp av lämpliga lyft- och VARNING! flytthjälpmedel. Använd lyftöglorna som är fastskruvade i de gängade hålen på pumphuset. Ta inte bort skruvlocket förrän turbopumpen ansluts till systemet. OBSERVER! Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har satts fast på OBSERVER! systemet.
Page 147 Bruksanvisning Installation Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) ...
Page 148 Bruksanvisning Installation VARNING! Om dessa installtionsinstruktioner inte iakttas, om det uppstår skada på rotorn, kan det medföra att pumpen lossnar från systemet med följande materialskador eller allvarliga eller livshotande skador för personer. Turbo-V 3K-G tillhör den andra installationsklassen (eller överspänningsklassen) OBSERVER! enligt standard EN 61010-1.
Page 149: Användning
Bruksanvisning Användning Användning Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens bruksanvisning. Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 80 °C. När pumpen är i funktion får temperaturen på rotorn aldrig överstiga 120 °C. Användaren måste vara noga med att välja rätt funktionssätt beroende på...
Page 150 Bruksanvisning Användning VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Pumpen är konstruerad för att pumpa stora mängder kväve, argon och lättare gaser. Om du skulle behöva pumpa gaser som är tyngre än argon, kontakta Agilents tekniska service för information.
Page 151 Bruksanvisning Användning VARNING! När strömmen är påslagen och den 15-poliga kontakten (medföljer vid leveransen) är isatt startar Turbo-V 3K-G automatiskt. Styrenheten levereras mekaniskt och elektriskt ansluten till pumpen. OBSERVER! Frånkoppling av styrenheten från pumpen får endast göras av auktoriserad personal från Agilent Vacuum Technologies. När du använder Turbo-V 3K-G för första gången startas systemet automatiskt OBSERVERA av styrenheten med en speciell procedur som skyddar lagren mot eventuella...
Page 152 Bruksanvisning Användning Figur 3 Systemet är utrustat med en grön LED för statussignal. Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av TURBO-V 3K-G anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar: fast sken: pumpen roterar normalt;  långsamt blinkande (ungefär var 400 ms) : systemet är i lage för ...
Page 153 Bruksanvisning Användning Hur du stoppar Turbo-V 3K-G Systemet kan stoppas på något av följande sätt: Ta bort den medlevererade I/O-kontakten Skicka en fjärrstyrd stoppsignal via I/O-kontakten (se avsnitt “J1 - REMOTE I/O” i bilagan “Technical Information”) Skicka en fjärrstyrd stoppsignal via det seriella gränssnittet RS232/485 (se avsnitt “RS232/485 Communication Description”...
Page 154: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 3K-G är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC.
Page 155: Bortskaffning
Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Page 156 Bruksanvisning Bortskaffning 156/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 157: Instruksjon Manual
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 159 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 167 Bruk av Turbo-V 3K-G 168 Hvordan starte opp systemet Hvordan stoppe Turbo-V 3K-G Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 157/374...
Page 158: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Page 159: Generell Informasjon
Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Page 160 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll : ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! fore til at utstyret skades.
Page 161: Lagring
Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende  miljøforhold overstiges: Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.  Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering).
Page 162: Klargjøre Til Installasjon
Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon Turbo-V 3K-G leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når Turbo-V 3K-G pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Page 163 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Figur 1 I esken med Turbo-V 3K-G finnes følgende: Pumpe med innebygd styreenhet Inngangsflens (montert) Denne veiledningen på CD-ROM Pose med tilbehør 15-veis “REMOTE I/O” IP-54 kontakt med de koplingene som er nødvendige for å starte opp pumpen 9-veis “SERIAL”...
Page 164: Installasjon
Instruksjon Manual Installasjon Installasjon På grunn av pumpens vekt må den flyttes med egnede løfte- og ADVARSEL ! flytteredskaper. Bruk øyeboltene som er strammet til i de gjengete hullene på pumpehuset. Ikke ta av det fastskrudde dekslet før turbopumpen koples til systemet. FORSIKTIG! Fjern beskyttelsen på...
Page 165 Instruksjon Manual Installasjon Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) ...
Page 166 Instruksjon Manual Installasjon ADVARSEL! Manglende respekt for disse installeringsinstruksene kan føre til feil på rotor og dermed til at pumpa løsner fra systemet. Dette kan føre til alvorlig skade på ting eller personer. Turbo-V 3K-G hører til installasjonsklasse (eller overspenningsklasse) nummer 2 i FORSIKTIG! følge EN 61010-1 standarden.
Page 167: Bruk
Instruksjon Manual Bruk Bruk Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk. Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 80 °C. Mens pumpen er i funksjon må rotorens temperatur aldri overstige 120 °C.
Page 168 Instruksjon Manual Bruk Bruk aldri pumpen med etsende gasser eller damp som kan skade materiale inne FORSIKTIG! i pumpen. ADVARSEL ! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
Page 169 Instruksjon Manual Bruk ADVARSEL ! Turbo-V 3K-G starter automatisk når strømmen er tilkoplet og 15-veis kontakten som følger med er satt inn. Ved levering er styreenheten koplet mekanisk og elektrisk til pumpen. FORSIKTIG! Demontering av styreenheten fra pumpehuset må kun utføres av autorisert personale fra Agilent Vacuum Technologies.
Page 170 Instruksjon Manual Bruk Figur 3 Systemet leveres med en grønn LED styrt av et statussignal. Den grønne lysdioden LD1 på TURBO-V 3K-G basepanel angir systemets funksjon ved hjelp av blink: den lyser fast: pumpen roterer normalt  den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i stilling for ...
Page 171: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe Turbo-V 3K-G i en nødsituasjon. Det må i alle tilfeller tas med i beregningen at dette inngrepet, foruten å koble ut pumpens mating fullstendig, kobler også ut alle andre funksjoner for kontrolleren, som for eksempel styring av Purge og kontrollert Vent samt evnen til å...
Page 172: Eliminering
Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Page 173: Ohjekäsikirja
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 174 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 183 Turbo-V 3K-G -pumpun käyttö Järjestelmän käynnistys Turbo-V 3K-G -pumpun pysäytys 187 Hätäpysäytys 187 Huolto 188 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 173/374...
Page 174: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 174/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 175: Yleisiä Tietoja
Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Page 176 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: VAROITUS! Vaara-merkinnät saavat käyttäjän huomion kiinnittymään erityisiin toimintotapoihin, joiden seuraamatta jättäminen voi aiheuttaa vakavia henkilövaurioita. Huomio-merkinnät varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vaurioitumiseen. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 176/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 177: Varastointi
Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia  ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -20 °C – 70 °C.  suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä). ...
Page 178 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten Turbo-V 3K-G toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Turbo-V 3K-G putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...
Page 179 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Kuva 1 Turbo-V 3K-G -pumpun pakkauksessa on: pumppu sisäänrakennetulla valvojalla sisääntulon laippa (asennettu) tämä ohjekirja CD-ROM:lla varustepussi 15-tieliitin “REMOTE I/O” IP-54 jossa on pumpun käynnistykseen tarvittavat sisäänrakennetut liitännät 9-tieliitin “SERIAL” IP-54 jota käytetään sarjaliitäntään 9-tieliitin IP-54 "Network" MoniTorr sähkökaapelin kannatin (asennettu).
Page 180: Asennus
Ohjekäsikirja Asennus Asennus Pumppua tulee sen painosta johtuen käsitellä asianmukaisilla nosto- ja VAROITUS! siirtolaitteille. Käytä erityisiä silmukkapultteja, jotka on ruuvattu pumpun runkoon tehtyihin kierteitettyihin reikiin. Älä poista pulteilla kiinnitettyä kantta ennen turbopumpun kytkemistä HUOMIO! järjestelmään. Poista liittimien suoja ainoastaan sen jälkeen, kun turbopumppu on kiinnitetty HUOMIO! järjestelmään.
Page 181 Ohjekäsikirja Asennus Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen ...
Page 182 Ohjekäsikirja Asennus VAROITUS! Turbo-V 3K-G -pumppua ei voida kiinnittää perustasta. Järjestelmä voidaan kiinnittää ainoastaan ISO 250F laippaa käyttämällä. VAROITUS! Näiden asennusohjeiden noudattamatta jättäminen saattaa mahdollisen roottorivian sattuessa johtaa pumpun irtoamiseen järjestelmästä, mistä voi esinevahinkojen lisäksi seurata vakavia henkilövahinkoja ja jopa kuolemanvaara.
Page 183: Käyttö
Ohjekäsikirja Käyttö Käyttö Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet. Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 80 °C:tta. Pumpun toiminnan aikana roottorin lämpötila ei saa koskaan olla yli 120 °C. Käyttäjän tulee varmistaa oikea toimintatapa pumpattavan kaasun mukaan: 1 typelle ja kevyille kaasuille, 0 argonille (oletustapa) sarjaohjauksessa 157.
Page 184 Ohjekäsikirja Käyttö VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. Pumppu on suunniteltu kuljettamaan suuria määriä typpeä, argonia ja kevyitä kaasuja. Jos joudut pumppaamaan argonia painavampia kaasuja, pyydä lisätietoja Agilentin teknisestä...
Page 185 Ohjekäsikirja Käyttö VAROITUS ! Kytkettäessä sähkö päälle 15-nastaisen liittimen ollessa liitettynä Turbo-V 3K-G käynnistyy automaattisesti. Valvoja toimitetaan pumppuun mekaanisesti ja sähköisesti kytkettynä. Valvojan HUOMIO! saa irrottaa pumpun rungosta ainoastaan Agilent Vacuum Technologies - yrityksen valtuuttama henkilö. Kun Turbo-V 3K-G käynnistetään ensimmäisen kerran, valvoja käynnistää HUOM järjestelmän automaattisesti erikoistoimenpiteellä, joka suojaa laakereita vaurioilta (SOFT START).
Page 186 Ohjekäsikirja Käyttö Kuva 3 Järjestelmä on varustettu vihreällä LED-valolla, jota ohjataan tilasignaalilla. Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TURBO-V 3K-G:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;  vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-, ...
Page 187 Ohjekäsikirja Käyttö Turbo-V 3K-G -pumpun pysäytys Pysäytä pumppu yhdellä seuraavista tavoista: Poista ohessa toimitettu I/O-liitin. Anna STOP-etäsignaali I/O-liittimellä (ks. "Technical Information"-liitteen kappale "J1 - REMOTE I/O"). Anna STOP-etäsignaali RS232/485 -sarjaliitännän kautta (ks. "Technical Information"-liitteen kappale "RS232/485 Communication Description"). Hätäpysäytys Turbo-V 3K-G on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla sähkökaapeli ohjausyksiköstä.
Page 188: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto Turbo-V 3K-G ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.
Page 189: Hävittäminen
Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Page 190 Ohjekäsikirja Hävittäminen 190/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 191: Felhasználói Kézikönyv
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános információk 193 Tárolás Előkészítés telepítésre 196 Telepítés Használat A Turbo-V 3K-G használata 202 A rendszer elindítása A rendszer leállítása Vészleállítás 205 Karbantartás Megsemmisítés 207 Az eredeti utasítás fordítása 191/374...
Page 192: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A jelen gépkönyvben leírt turbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...
Page 193: Általános Információk
Felhasználói Kézikönyv Általános információk Általános információk A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Page 194 Felhasználói Kézikönyv Általános információk Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: VESZÉLY! A veszélyt üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják.
Page 195: Tárolás
Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent turbó-molekuláris szivattyúk maximális működési és megbízhatósági szintjének biztosításához be kell tartaniaz alábbi előírásokat: A szivattyúk szállítása, áthelyezése és tárolása során az alábbi  környezeti feltételeken belül kell maradni: hőmérséklet: -20 °C és +70 °C között ...
Page 196: Előkészítés Telepítésre
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A Turbo-V 3K-G különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. Csak azután vegye le a csatlakozók védőburkolatát, ha a turbószivattyú...
Page 197 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Ábra 1 A Turbo-V 3K-G csomag a következőket tartalmazza: szivattyú beépített vezérlővel bemeneti szűrő (felszerelve) a kézikönyv CD-ROM-on tartozékok zacskó IP-54 15 tűs csatlakozó "REMOTE I/O" számára a szivattyú indításához szükséges összes vezetékkel. IP-54 9 tűs csatlakozó soros csatlakozáshoz használandó "SERIAL" csatlakozóhoz IP-54 9 tűs csatlakozó...
Page 198: Telepítés
Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Súlya miatt a szivattyút alkalmas mozgató és kezelőeszközökkel kell kezelni. VESZÉLY ! Használja az alkalmas kezelőkészletből való, a szivattyú törzsében lévő lyukakba csavart szemcsavarokat. Ne távolítsa el a csavarozott kupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez való FIGYELEM! csatlakoztatása előtt.
Page 199 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett ...
Page 200 Felhasználói Kézikönyv Telepítés VESZÉLY! Ezen installációs utasítások figyelmen kívül hagyása, a rotor meghibásodása esetén, a rendszerből a szivattyú leválását eredményezheti, ami dologi kárt vagy komoly személyi sérülést vagy halált okozhat. A Turbo-V 3K-G a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik az FIGYELEM! EN 61010-1 direktíva szerint.
Page 201: Használat
Felhasználói Kézikönyv Használat Használat Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer használata előtt. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 80 °C-ot. A felhasználónak ügyelnie kell, hogy a szivattyúzott gáz szerint beállítsa a helyes gázmódot.
Page 202 Felhasználói Kézikönyv Használat VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A szivattyút N , Ar és könnyebb gázok nagyteljesítményű szivattyúzásához tervezték. Ha az Ar-nél nehezebb gázokat kell szivattyúznia, kérem, információért forduljon a Agilent műszaki támogatáshoz.
Page 203 Felhasználói Kézikönyv Használat VESZÉLY ! Amikor a tápfeszültség rá van kapcsolva, és gyári 15 tűs csatlakozó csatlakoztatva van, a Turbo-V 3K-G automatikusan elindul. A vezérlőt már mechanikusan és elektromosan a szivattyúhoz csatlakoztatva FIGYELEM! szállítják. A vezérlőnek a szivattyúról való leválasztását csak jogosult Agilent vákuumtechnológiai személyzet végezheti.
Page 204 Felhasználói Kézikönyv Használat Ábra 3 A rendszer el van látve egy zölt állapotled jellel. A Turbo-V 3K-G-n elhelyezett zöld LED a villogásának gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit. nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog;  lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer emelkedőben, ...
Page 205 Felhasználói Kézikönyv Használat A rendszer leállítása A szivattyú leállításához a következő módszerek egyikét használhatja: a mellékelt B/K csatlakozó kihúzása távoli stop jel adása a B/K csatlakozón keresztül (lásd „Technical Information” függelék „J1 REMOTE I/O” bekezdése) távoli stop jel adása az RS 232/485 soros interfészen keresztül (lásd „Technical Information”...
Page 206: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Turbo-V 3K-G nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő elektromos szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá...
Page 207: Megsemmisítés
Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Page 208 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 208/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 209: Podrecznik Instrukcji
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 211 Magazynowanie 213 Przygotowanie do instalacji 214 Instalacja Użytkowanie Użytkowanie Turbo-V 3K-G 220 Jak uruchomić system 220 Jak zatrzymać Turbo-V 3K-G 223 Zatrzymanie Alarmowe 223 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej...
Page 210: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Page 211: Ogólne Informacje
Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje Ogólne informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych.
Page 212 Podrecznik Instrukcji Ogólne informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozenie przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść...
Page 213: Magazynowanie
Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego i niezawodności pomp turbomolekularnych Agilent , muszą być przestrzegane następujące zalecenia: podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie  mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe: temperatura: od –20 °C do 70 °C ...
Page 214: Przygotowanie Do Instalacji
Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji System Turbo-V 3K-G jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować...
Page 215 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji ć 1 Posta W opakowaniu zespołu Turbo-V 3K-G znajdują się: pompa z wbudowanym sterownikiem kontroler inlet screen (zamontowany) instrukcja na CD-ROM woreczek z akcesoriami konektor 15 drogowy “REMOTE I/O” IP-54 z zintegrowanymi połączeniami potrzebnymi do uruchomienia pompy konektor 9-drogowy “SERIAL”...
Page 216: Instalacja
Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja Pompa z powodu własnego ciężaru, musi być przemieszczana poprzez ZAGROZENIE ! odpowiedni sprzęt do tego celu. Do tego celu należy zastosować odpowiednie zawiesia wkręcone w gwintowane otwory znajdujące się na korpusie pompy. Nie zdejmować zamocowanej śrubami pokrywy przed podłączeniem turbopompy UWAGA! do systemu.
Page 217 Podrecznik Instrukcji Instalacja Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru. Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać następujące warunki otoczenia: maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym ...
Page 218 Podrecznik Instrukcji Instalacja ZAGROZENIE! Turbo-V 3K-G nie może być zamocowany poprzez własną podstawę. System może być zamocowany tylko poprzez własny kołnierz ISO 250F. ZAGROZENIE! Nieprzestrzeganie podanych instrukcji dotyczących instalacji, w przypadku wystąpienia usterki wirnika, może spowodować odłączenie pompy od układu, co z kolei może być...
Page 219: Użytkowanie
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Użytkowanie W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury operacyjne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na kołnierzu nie może przekroczyć 80 °C. Podczas działania pompy, temperatura wirnika nie może nigdy przekroczyć 120 °C. Operator musi upewnić...
Page 220 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie A szivattyút soha ne használjuk olyan korrodáló gáz vagy gőz jelenlétében UWAGA! használni, amely károsíthatja a szivattyú belsejében lévő anyagokat. ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów.
Page 221 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie podłączyć konektor I/O na wyposażeniu podać sygnał START zdalnie poprzez konektor I/O (patrz paragraf "J1 – ZDALNE I/O" w dodatku "Technical Information") podać sygnał START zdalnie poprzez interfejs szeregowy RS 232/485 (patrz paragraf "RS 232/485 Opis Komunikacji" w dodatku "Technical Information").
Page 222 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie By utrzymać istniejący poziom zabezpieczenia IP-54 należy używać wyłącznie PRZYPIS konektorów dostarczonych razem z pompą. Dla kabla zasilania należy stosować tylko PN. 969-9957 lub 969-9958, i zamocować kabel do kontrolera odpowiednim wspornikiem (patrz niniejszy rysunek). By uniknąć zwarć i zastosować się do wymogów norm CE z tego kabla i tej wtyczki należy korzystać, gdy instalacja gniazdka została prawidłowo podłączona do uziemienia.
Page 223 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Jak zatrzymać Turbo-V 3K-G Aby zatrzymać pompę można zastosować jeden z niniejszych sposobów: wyjmując konektor I/O na wyposażeniu przesyłając sygnał STOPU zdalnie poprzez konektor I/O (patrz paragraf "J1 – REMOTE I/O" w dodatku "Technical Information") przesyłając sygnał STOPU zdalnie poprzez interfejs szeregowy RS 232/485 (patrz paragraf "RS 232/485 Opis Komunikacji"...
Page 224: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Zespół Turbo-V 3K-G nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed przystapieniem do jakiejkolwiek interwencji w systemie nalezy odlaczyc go od zrodla zasilania., otworzyc odpowiedni zawor pompy odczekac az wirnik sie zatrzyma calkowicie i temperatura powierzchni obudowy pompy obnizy sie ponizej 50 °C.
Page 225: Przetworstwo Odpadow
Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej .
Page 226 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 226/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 227: Návod K Použití
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 228 Všeobecné informace 229 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 237 Používání zařízení Turbo-V 3K-G 238 Jak se zařízení uvádí do provozu 238 Jak se zařízení zastavuje Nouzové...
Page 228: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Page 229: Všeobecné Informace
Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Page 230 Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol: NEBEZPEČÍ! Nebezpečí hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Pozor hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení.
Page 231: Uskladnění
Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli  překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C ...
Page 232: Příprava K Instalaci
Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Zařízení Turbo-V 3K-G se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Page 233 Návod k Použití Příprava k instalaci Postava 1 Balení Turbo-V 3K-G obsahuje: čerpadlo s vestavěným regulátorem vstupní síto (namontováno) tento návod k použití na CD-ROM brašna s příslušenstvím 15-pólový konektor pro připojení ke konektor IP-54 "REMOTE I/O" (dálkové vstupy a výstupy) s veškerým propojením nezbytným pro spuštění čerpadla 9-kolíkový...
Page 234: Instalace
Návod k Použití Instalace Instalace Kvůli své hmotnosti je třeba při manipulaci s vývěvou používat odpovídající NEBEZPEČÍ ! nástroje a nářadí. Používejte příslušné šrouby s okem našroubované do otvorů v tělese vývěvy. Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte šroubovací POZOR! víko.
Page 235 Návod k Použití Instalace Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím: maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem ...
Page 236 Návod k Použití Instalace NEBEZPEČÍ! Nedodržení těchto pokynů pro instalaci může v případě poškození rotoru způsobit odpojení čerpadla od systému s následnými škodami na majetku nebo ublížením na zdraví osob, či dokonce jejich usmrcením. Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva Turbo-V 3K-G do druhé elektroinstalační POZOR! (nebo přepěťové) třídy.
Page 237: Použití
Návod k Použití Použití Použití Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů. Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí překročit 80 °C. Za chodu vývěvy nesmí teplota rotoru nikdy přesáhnout 120 °C. Uživatel musí...
Page 238 Návod k Použití Použití NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Vývěva je určena pro vysoce výkonné odčerpávání N , Ar a lehčího plynu. Pokud byste potřebovali odčerpávat plyny těžší...
Page 239 Návod k Použití Použití NEBEZPEČÍ ! Jakmile bude připojeno napájení a zasunut souhlasný 15-kolíkový konektor dodaný výrobcem, vývěva Turbo-V 3K-G se rozběhne automaticky. Regulátor je již mechanicky a elektricky vybaven pro připojení k této vývěvě. POZOR! Odpojení regulátoru od vývěvy musí provádět jenom oprávnění pracovníci firmy Agilent Vacuum Technologies.
Page 240 Návod k Použití Použití Postava 3 Zařízení se dodává se zelenou kontrolkou, která signalizuje provozní stav. Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy Turbo- V 3K-G indikuje provozní stavy systému blikáním: bez blikání: vývěva se otáčí normálně;  pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna rozbíhá ...
Page 241 Návod k Použití Použití Jak se zařízení zastavuje Vývěvu můžete zastavit některým z následujících způsobů: odpojte dodaný odpovídající I/O konektor přiveďte do konektoru I/O zastavovací signál ze vzdáleného místa (viz odstavec "J1-REMOTE I/O" v příloze "Technical Information"). přiveďte zastavovací signál ze vzdáleného místa prostřednictvím sériového rozhraní...
Page 242: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Zařízení Turbo-V 3K-G nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 243: Likvidace
Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Page 244 Návod k Použití Likvidace 244/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 245: Návod Na Obsluhu
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 247 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 250 Inštalácia Použitie Použitie zariadenia Turbo-V 3K-G 256 Ako zariadenie spustiť 256 Ako zariadenie zastaviť 259 Núdzové zastavenie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 245/374...
Page 246: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...
Page 247: Všeobecné Informácie
Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Page 248 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍE ! Nebezpečíe majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia.
Page 249: Uchovávanie
Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujú¬ce pokyny: neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas prevozu,  prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C  rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95% (bez kondenzácie) ...
Page 250: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Turbo-V 3K-G je dodaný v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Page 251 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Postava 1 Súprava Turbo-V 3K-G zahrňuje: výveva s integrovaným kontrolným modulom vstupná mriežka tento návod na použitie na CD kabela s príslušenstvom: 15 kolíkový konektor IP-54 ako protikus pre konektor diaľkového ovládania "REMOTE I/O", obsahujúci všetky spojenia potrebné pre spustenie vývevy. 9 kolíkový...
Page 252: Inštalácia
Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Kvôli jej váhe, s vývevou manipulujte s pomocou vhodných pomôcok a NEBEZPEČÍE ! nástrojov. Použite závesné očká zaskrutkované do otvorov v telese vývevy. Neodstraňujte priskrutkovaný ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu k POZOR! systému. Kryty z konektorov odstráňte až po pripevnení turbovývevy k sústave. POZOR! Postava 2 252/374...
Page 253 Návod na Obsluhu Inštalácia Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia: maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku ...
Page 254 Návod na Obsluhu Inštalácia NEBEZPEČÍE! Turbo-V 3K-G nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky. Systém možno upevniť len pomocou vlastnej ISO príruby 250F. NEBEZPEČÍE! Nedodržanie týchto pokynov pre inštaláciu môže v prípade poškodenia rotora spôsobiť odpojenie čerpadla od systému, s následnými škodami na majetku alebo ublížením na zdraví...
Page 255: Použitie
Návod na Obsluhu Použitie Použitie Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory nesmie prekročiť 80 °C. Počas prevádzky vývevy teplota rotora nesmie prekročiť 120 °C. Používateľ...
Page 256 Návod na Obsluhu Použitie NEBEZPEČÍE! Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Výveva je navrhnuté pre veľké prietoky dusíka, argónu a ľahkých plynov. Ak potrebujete čerpať...
Page 257 Návod na Obsluhu Použitie NEBEZPEČÍE ! Ak funguje napájanie a je pripojený príslušný východzí 15 kolíkový konektor, zariadenie Turbo-V 3K-G sa spustí automaticky. Kontrolný modul sa dodáva mechanicky aj elektricky pripojený k výveve. POZOR! Odpojenie kontrolného modulu od vývevy treba zveriť autorizovaným servisným technikom firmy Agilent Vacuum Technologies.
Page 258 Návod na Obsluhu Použitie Postava 3 Systém je vybavený zelenou stavovou LED-diódou. Zelená LED dióda LD1 na základnom čelnom paneli Turbo-V 3K-G base ukazuje frekvenciou blikania spôsob činnosti systému: žiadne blikanie: výveva normálne rotuje;  pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom z ...
Page 259 Návod na Obsluhu Použitie Ako zariadenie zastaviť Vývevu môžete zastaviť jedným z nasledujúcich spôsobov: odpojením dodaného I/O konektora opačného pohlavia poslaním vzdialeného signálu stop cez I/O konektor (pozri odstavec "J1- VZDIALENÝ I/O" dodatku k " Technical Information") poslaním vzdialeného signálu stop cez rozhranie RS 232/485 (pozri odstavec "Popis komunikácie cez RS232/RS 485"...
Page 260: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie Turbo-V 3K-G nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 261: Likvidácia
Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Page 262 Návod na Obsluhu Likvidácia 262/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 263: Priročnik Za Navodila
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 264 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Uporaba Turbo-V 3K-G 274 Zagon sistema 274 Zaustavljanje sistema 277 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 263/374...
Page 264: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Page 265: Splošne Informacije
Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Page 266 Priročnik za Navodila Splošne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu: SVARILO! Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila.
Page 267: Shranjevanje
Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete  preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -20 °C do 70 °C  območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza) ...
Page 268: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Naprava Turbo-V 3K-G je dobavljena v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Odstranite zaščito spajal samo potem, ko je turbočrpalka že priključena na sistem.
Page 269 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Slika 1 Turbo-V 3K-G paket vsebuje: črpalko z vgrajenim upravljalcem zaslon (vgrajen) navodila za uporabo na CD-ROMu vrečka s pripomočki 15 pinski priključek IP-54 za »REMOTE I/O« priključek z vsemi medpovezavami, potrebnimi za zagon črpalke. 9 pinski priključek IP-54 za »SERIAL«...
Page 270: Montaža
Priročnik za Navodila Montaža Montaža Zaradi teže je treba za rokovanje s črpalko uporabiti primerne naprave za SVARILO ! premikanje. Uporabite vijake, ki se nahajajo v luknjah na telesu črpalke. Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem.
Page 271 Priročnik za Navodila Montaža Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje: Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere ...
Page 272 Priročnik za Navodila Montaža SVARILO! Če teh namestitvenih navodil ne upoštevate, ob okvari rotorja, črpalka lahko odstopi od sistema s posledičnim poškodovanjem stvari oziroma hudimi poškodbami oseb ali celo smrtjo. Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 3K-G v skupino za drugo nameščanje (ali POZOR! prekovoltažo).
Page 273: Uporaba
Priročnik za Navodila Uporaba Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 80 °C. Med delovanjem črpalke rotor ne sme preseči temperature 120 °C. Uporabnik mora nastaviti pravilen način plina v skladu s plinom, ki se črpa: 1 za N in lažje pline, 0 za Argon (privzeto) v serijskim...
Page 274 Priročnik za Navodila Uporaba SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. Črpalka je narejena za hitro črpanje N , Ar in lažjih plinov. Če želite črpati pline, ki so težji od Ar, prosimo, da kontaktirate Agilent tehnično podporo za več...
Page 275 Priročnik za Navodila Uporaba SVARILO ! Ko je dovedena napetost in je vstavljen tovarniško privzeti 15 pin se Turbo-V 3K-G samodejno zažene. Upravljalec je mehansko in elektronsko povezan na črpalko. Odstranjevanje POZOR! upravljalca iz črpalke mora izvesti samo pooblaščeno osebje Agilent Vacuum Technologies.
Page 276 Priročnik za Navodila Uporaba Slika 3 Sistem ima zeleni statusni signal Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči Turbo-V 3K-G, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;  Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju ...
Page 277 Priročnik za Navodila Uporaba Zaustavljanje sistema Za zaustavljanje sistema lahko uporabite eno od naslednjih metod: priključite priložen I/O priključek oddajte oddaljeni signal za zagon preko I/O priključka (glej odstavek "J1-REMOTE I/O" v prilogi "Technical Information") Oddajte oddaljeni signal za zagon preko RS 232/485 serijskega vmesnika (glej odstavek "RS232/RS 485 Opis komunikacij"...
Page 278: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Turbo-V 3K-G ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 279: Odlaganje Opadkov
Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Page 280 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 280/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 281: Instructions For Use
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 282 General Information Storage Preparation for Installation 286 Installation Use of Turbo-V 3K-G How to Start the System up 292 How to Stop the System Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions...
Page 282: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Page 283: General Information
Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Page 284 Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment.
Page 285: Storage
Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following  environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -20 °C to 70 °C ...
Page 286: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The Turbo-V 3K-G is supplied in a special protective pack-ing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Page 287 Instructions for Use Preparation for Installation Figure 1 The Turbo-V 3K-G package includes: pump with integrated controller inlet screen (mounted) this instruction manual on CD-ROM accessories bag: 15 pin mating connector IP-54 for "REMOTE I/O" connector with all the interconnections necessary to start the pump. 9 pin mating connector IP-54 for "SERIAL"...
Page 288: Installation
Instructions for Use Installation Installation Cause its weight, the pump must be handled by means of suitable moving and WARNING! handling tools. Use the suitable handling kit eyebolts screwed into the holes of the pump body. Do not remove the bolted cap before connecting the tur-bopump to the system. CAUTION! Remove connector protections only after fixing the turbopump to the system.
Page 289 Instructions for Use Installation Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure ...
Page 290 Instructions for Use Installation WARNING! Failure to comply with these installation instructions could result in the pump detaching from the system in the event of a rotor failure, which could cause property damage or serious injury or death. The Turbo-V 3K-G belongs to the second installation (or overvoltage) category as CAUTION! per directive EN 61010-1.
Page 291: Use
Instructions for Use This paragraph details the fundamental operating procedures. Make all electrical an pneumatic connections before the use of the system. While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet flange must not exceed 80 °C. While operating the pump the rotor temperature must never exceed 120 °C.
Page 292 Instructions for Use WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. The pump is designed to pump high throughput of N , Ar and lighter gas.
Page 293 Instructions for Use WARNING! When power is supplied and factory default 15 pin mating connector is inserted, the Turbo-V 3K-G will start automatically. The controller is furnished already mechanically and electrically connected to CAUTION! the pump. Detaching of the controller from the pump must be carried out by authorized Agilent Vacuum Technologies personnel only.
Page 294 Instructions for Use Figure 3 The system is provided with a green status led signal. The green LED located on the Turbo-V 3K-G base front panel indicates with its flashing frequency the system operating conditions: with no flashing: the pump is normally rotating; ...
Page 295 Instructions for Use How to Stop the System To stop the pump you can use one of the following methods: unplugging the provided mating I/O connector giving a remote stop signal through the I/O connector (see para. "J1-REMOTE I/O" of annex "Technical Information") giving a remote stop signal via the serial RS 232/485 interface (see para.
Page 296: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The Turbo-V 3K-G does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Page 297: Disposal
Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Page 298 Instructions for Use Disposal 298/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 299: Technical Information
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Technical Information Description of the Turbo-V 3K-G Pump Description Controller Description Technical Specification Turbo-V 3K-G Outline Interconnections J1 – Remote I/O Signal description Controlled Vent Procedure Stop Speed Reading 322 Active Stop Electrical Connections Examples: 322 J2 –...
Page 300 Technical Information Disposal MoniTorr Powering on the MoniTorr Operation Maintenance 333 MoniTorr Installation on the Network and on the Main PC 333 MoniTorr Connectivity Kit Installation Procedure 334 Interconnections Network Connector (RS 485) Transmission Channel Characteristics 338 Installing the File Download Software 338 Operating Procedure Download Software Functionality...
Page 301 Technical Information Disposal Pump Purging and Venting Purge and Vent Installation Reason to Purge the Turbo-V 3K-G Pump during Operation 363 How to Purge the Turbo-V 3K-G Pump 364 How to Vent the Turbo-V 3K-G Pump High Vacuum Flange Connection Fore-Vacuum Pump Connection Pump Used in Presence of Magnetic Fields 367 Orderable Parts 368...
Page 302: Description Of The Turbo-V 3K-G
Technical Information Description of the Turbo-V 3K-G Description of the Turbo-V 3K-G The Turbo-V 3K-G pumping system consists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system has an ISO 250 F high vacuum flange and an on board controller supplied at 208-240 Vac. The system is also available , only on request, with an on board controller supplied at 120 Vac.
Page 303 Technical Information Description of the Turbo-V 3K-G FOR PANEL DETAILS SEE THE ABOVE PICTURES Figure 6 Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with bladed stages. The tur-bine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
Page 304 Technical Information Description of the Turbo-V 3K-G A first thermistor sensor is mounted near the upper bearing in order to read the bearing tempera-ture and to prevent the pump from overheating. A second thermistor sensor is mounted near the water-cooling channel in order to evaluate the cooling efficiency.
Page 305 Technical Information Description of the Turbo-V 3K-G Nitrogen Argon with Purge Open Power Limit Applied [W] Fail "Pump Overtemp" Argon with Purge Closed T body [°C] (Win 216) Figure 7 The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm.
Page 306 Technical Information Description of the Turbo-V 3K-G Figure 8 Controller Description The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is driven by a single chip micro-computer. The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection (a Windows-based software is available as an option), or by the remote I/O connector.
Page 307: Technical Specification
Technical Information Technical Specification Technical Specification Tab. 2 Technical Specification Pumping speed (without inlet screen) 2200 l/s 2050 l/s 1900 l/s Compression ratio > 10 > 10 6 x 10 Base pressure with recommended forepump mbar Torr (According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a CFF flange and using the recommended pre-vacuum...
Page 308 Technical Information Technical Specification Power supply: Input voltage: 208 - 240 Vac Input freq.: 50 - 60 Hz Max input power: 950 VA Stand-by power: 30 to 35 W Max operating power: 515 W for Nitrogen and lighter gases 430 W for Argon with purge on 390 W for Argon with purge off Protection fuse 2 x 12,5 A...
Page 309 Technical Information Technical Specification 2500 2000 1500 1000 1,0E-08 1,0E-07 1,0E-06 1,0E-05 1,0E-04 1,0E-03 1,0E-02 1,0E-01 Inlet Pressure [mbar] Figure 9 Typical Pumping Speed curves 1,E+09 1,E+08 1,E+07 1,E+06 1,E+05 1,E+04 1,E+03 1,E+02 1,E+01 1,E+00 1,00E-03 1,00E-02 1,00E-01 1,00E+00 1,00E+01 Foreline Pressure [mbar] Nitrogen Helium...
Page 310: Turbo-V 3K-G Outline
Technical Information Turbo-V 3K-G Outline Turbo-V 3K-G Outline The following figure shows the Turbo-V 3K-G outlines (dimensions are in mm [inches]). BOTTOM VIEW FORELINE KF 40 PURGE/VENT VALVES PORT WATER COOLING FOR RUBBER VENT HOLE ON TUBE Ø 9.0 ENVELOPE CENTER-RING (ISO 250F) FLANGE ISO 250F...
Page 311: Interconnections
Technical Information Interconnections Interconnections The following paragraphs describe the Turbo-V 3K-G interconnections. J1 – Remote I/O At power-on the controller goes into “Remote I/O” mode, even if it was in “Serial” mode before power-down. Figure 12 This connector carries all the input and output signals to remote control the Turbo-V 3K-G.
Page 312 Technical Information Interconnections PIN N. SIGNAL NAME INPUT/OUTPUT ISOLATION +24 Vdc Transformer PURGE (+) Optocoupled SET POINT Relay VENT (+) Optocoupled FAULT N.O. Relay ANALOG OUTPUT Optocoupled GROUND Transformer Signal description START/STOP: input signal to start or stop the pump. With the supplied cover connector the START/STOP (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin: in this condition the pump automatically starts as soon as the...
Page 313 Technical Information Interconnections Figure 13 High Speed is the nominal rotational frequency of the pump (530 Hz). Low NOTE Speed (510 Hz) corre-sponds to the rotational frequency for a stand by status. Users can set rotational frequency between these two values. If any signal isn’t applied (no connection) the driving frequency is set to “Maximum excitation frequency”...
Page 314 Technical Information Interconnections The duty cycle percentage is referred to the low level portion of the PWM NOTE period. SOFT START: input signal to activate the soft start function. This function must be activated (pin-7 shorted with pin-9) if the pump remains unused for 1 month or more, and deactivated for the next run-up.
Page 315 Technical Information Interconnections Figure 15 FAULT: this relay output signal is closed when any system fault condition is detected. To detect the type of failure the serial protocol is needed (see the para. "RS232-485 Comunication Description"). SET POINT: this relay output signal is enabled when the reference quantity chosen (frequency, current or time) is higher than the set threshold.
Page 316 Technical Information Interconnections Figure 16 The set point output stays open until the frequency becomes higher than 505 Hz (that is 500 Hz + 1% of 500 Hz), then the output goes closed and stays colsed until the frequency becomes lower than 495 Hz (that is 500 Hz –...
Page 317 Technical Information Interconnections In remote mode you can open the purge valve (N.C.) connecting pin10 of J1 to pin 9, or supply-ing 24 Vdc between pin 10 and pin 15. The same thing occurs for the vent valve with pin 12. Note that the vent and purge valve can also be controlled by means of the serial connection (see the following diagram for details).
Page 318: Controlled Vent Procedure
Technical Information Controlled Vent Procedure Controlled Vent Procedure The default setting for vent operating mode is “Controlled Vent Procedure” (Win 125 = 0). When activated the procedure guarantees that the pump is slowed down properly modulating in au-tomated way the vent valve. If WIN 125= 1 the vent valve is opened via serial or Remote I/O, but the “Controlled Vent Procedure”...
Page 319 Technical Information Active Stop Electrical Connections Examples: Start-Stop or Interlock  Figure 18 Figure 19 Instead of switch is possible to use transistor. Soft Start, Speed Setting, Purge, Vent  Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 319/374...
Page 320 Technical Information Active Stop Figure 20 Figure 21 320/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 321 Technical Information Active Stop J2 – Serial Figure 22 This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the Turbo-V 3K-G. Tab. 4 PIN N. SIGNAL NAME RESERVED TX (RS232) RX (RS232) SPARE A + (RS485)
Page 322: Serial Cable Installation
Technical Information Serial Cable Installation Serial Cable Installation In order to maintain the IP-54 protection level, please use a certified IP-54 connector or the one provided by Agilent. RS 232/RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector P2.
Page 323 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated NOTE data is the correspond-ing ASCII character. <STX> (Start of transmission) = 0x02  <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232) ...
Page 324 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE. Some error settings are foreseen: NOTE Tab.
Page 325 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Type Length Value Description Data Type 1 byte (0x33) The data type specified in the command Error (Logic, Numeric or Alphanumeric) is not accorded with the specified Win-dow Out of Range 1 byte 0x34) The value expressed during a write command is out of the range value of the...
Page 326 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 326/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 327 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Command: READ PUMP STATUS Source: PC Destination: Controller (with address = 3) ADDR WINDOW Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL CONFIGURATION Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR...
Page 328 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Window Meanings Tab. 8 Read/ Write Data Description Admitted Type Values Start/Stop (in remote mode the Start = 1 window is a read only) Stop = 0 Low speed activation 0 = OFF 1 = ON (default = 0) Remote...
Page 329 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/ Write Data Description Admitted Type Values Baud rate 600 = 0 1200 = 1 2400 = 2 4800 = 3 9600 = 4 (default = 4) Pump life/ cycle time/ cycle To reset write ‘1’ number reset Analog output type: output voltage 0 = frequency...
Page 330 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/ Write Data Description Admitted Type Values Set purge valve open/close 0 = close 1 = open (default = 0) Set valves command source 0 = Serial 1 = Remote (default = 0) Vent Valve Opening Time 0 to 65535 bit (expressed in 0.2 sec)
Page 331 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Read/ Write Data Description Admitted Type Values Error code Bit description: see the following figure Controller temperature n. 1 °C Pump body temperature °C Controller temperature n. 2 °C Flow meter reading sccm Cycle time in minutes (zeroed by 0 to 999999 the reset command)
Page 332: Monitorr
Technical Information MoniTorr MoniTorr An integrated MoniTorr card is suitable for the Turbo-V 3K-G. This feature allows the pump’s vibration spectra acquisition and download. The necessary hardware is totally integrated into the controller and consists of one PCB card and one accelerometer fixed on the controller’s side.
Page 333 Technical Information MoniTorr Operation At predefined intervals, the MoniTorr will also acquire the data related to the vibration spectrums, power and temperature in addition to other data detected by the Turbo controller. All the data must be transferred to a PC (by means of the “File Download” program) where are stored and where can be analyzed by Agilent’s specialised personnel.
Page 334 Technical Information MoniTorr Figure 25 Network connection The protocol converter is not strictly needed for MoniTorr operation. It is also NOTE possible to use the standard RS232 to RS485 converter and the standard optical to RS232 converter. In order to install and operate the MoniTorr card of the Turbo-V 3K-G it’s necessary to get the Monitor Connectivity Kit (P/N 969-9260).
Page 335 Technical Information MoniTorr Launch the VT Serial Address Configurator program Set the Serial Communication as following: Baudrate 9600 COM Port = Your PC COM Port Number (generally COM1) Numeric: a different address for each pump (0..1..2…..31) Click on “Set the new address” button Figure 27 Close the VT Serial Address Configurator program Repeat all operations from the point 2 choosing a new address for each pump...
Page 336 Technical Information MoniTorr 10 Check if Baud Rate of protocol converter is fixed at 115K2 (switch between 9 position and F position) Figure 29 11 Connect the power supply to protocol converter 12 Launch the file download software 13 Select menu File/Download Mode and check the following fields: Trigger 1 ...
Page 337 Technical Information MoniTorr Interconnections The following figure shows the MoniTorr’s interconnections. Network Connector (RS 485) Figure 30 Network connector (RS-485) In order to have the IP-54 environment protection use the appropriate connector provided. To wire the MoniTorr network please connect all the A+ terminal toghether and the same for B- and Gnd terminals.
Page 338 Technical Information MoniTorr Transmission Channel Characteristics Type: RS-485 2-wire (gnd optional) half duplex levels: RS 485 baud rate: 115200/57600/38400/19200/9600/4800/2400/1200 300/110 programmable character length: 8 bits parity: none stop bit: 1 bit protocol: master (PC) / slave (MoniTorr). Installing the File Download Software The MoniTorr connectivity kit comes with the software needed to transfer via RS-485 all the data stored.
Page 339 Technical Information MoniTorr Figure 32 Read the licence agreement installation. Select I accept the terms in the licence agreement Click on the figure to continue with the installation. At this point the following screen is displayed on the personal computer monitor.
Page 340 Technical Information MoniTorr Click on Next to continue with the installation. At this point the following screen is displayed on the personal computer monitor. Figure 34 Select Install to go on with the installation. Thefollowing screen is displayed on the personal computer monitor. Figure 35 Select Finish to conclude the installation.
Page 341 Technical Information MoniTorr If during installation the program finds some system files that are out of date, NOTE you will be prompted to restart the computer. In this case proceed to restart the computer and repeat the installation procedure. Operating Procedure Proceed as follows to correctly use the controller: Power on the system.
Page 342 Technical Information MoniTorr Figure 36 Select the Setup option and the program displays the following: Figure 37 Select the COM port of the computer being used and then check whether or not all the other parameters are the same as those shown in the example.
Page 343 Technical Information MoniTorr The following three parameters are displayed with their respective default values: Acquisition time: 60 (seconds)  Save time: 125 (minutes)  Alarm time: 120 (seconds)  To change these parameters, enter the desired value and then save. Provided below is a descrip-tion of the parameters that can be modified: Acquisition time: Defines the time frame between one MoniTorr...
Page 344 Technical Information MoniTorr Figure 38 *Only for information: all files are automatically stored in the directory C:\Agilent\ 344/374 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01...
Page 345: Profibus Option
Technical Information Profibus Option Profibus Option General The ProfiBus option allow to communicate with the controller as Profibus DP slave device. The option works as a bidirectional bridge between the ProfiBus network and the Agilent turbo controller internal link. The interface provides input data (measures) and output data (commands) to the controller, and in addiction provides standard and user related diagnostics, in order to allow the user to manage the exceptions.
Page 346 Technical Information Profibus Option Installation This option is factory installed. The profibus connector pin-out is reported in the following figure. Please in order to obtain best performance use profibus certified cables. To maintain the IP-54 protection level, use the appropriate connector provided CAUTION! with the pump.
Page 347 Technical Information Profibus Option Indicators Two LEDs are present on the interface: one green and one red: the red led indicates that the interface is correctly powered;  the green led shows the interface status according the following  table: Tab.
Page 348 Technical Information Profibus Option Software Operation and State Machine From the software point of view, the interface can be seen as two devices (one for ProfiBus and the other for the internal link) linked together. Each device has its own state machine to manage the device operation.
Page 349 Technical Information Profibus Option Figure 42 Tab. 11 Internal Link State Machine Status Meaning POWER_ON Interface set-up SRC_ADDR Search for the controller serial address IDENTIFY Identify controller model and protocol DATA_EX Regular data exchange The two machines continuously share I/O data with the relative bus, and interact each other only in following conditions: ProfiBus Data Exchange is suspended (static diagnosis activated) ...
Page 350 Technical Information Profibus Option Message Mapping The communication is based on the continuous data exchange capability of the ProfiBus standard, where the master sends continuously the entire slave configuration and reads back the entire slave status. For this purpose one Input (from slave to master) and one Output (from master to slave) buffers are provided.
Page 351: Profibus Message Mapping
Technical Information Profibus Message Mapping Profibus Message Mapping Tab. 12 Parameter buffer (17 bytes) Offset Size Unit Res Range Description Byte Byte Serial °C 15-35 Water Cooling Max Temperature (not used – insert 20) °C Water Cooling Hysteresis (not used – insert 2) 1-99 Setpoint Hysteresis.
Page 352 Technical Information Profibus Message Mapping Offset Size Unit Res Range Description Byte Byte Serial Bit Filed B0 - Vent & Purge Auto/Man 0 = Auto (the controller drives purge and vent valves) 1 = Manual (see Par. Buff. byte-15-B1) B1 - Vent & Purge Remote/Profibus 0 = Serial or Profibus (see Out.
Page 353 Technical Information Profibus Message Mapping Tab. 13 Output buffer (5 bytes) Offset Size Unit Range Description Byte Byte Serial B7 – Start/Stop 0 = Stop 1 = Start B6 – Low Speed 0 = off (set the “target speed”(In Buff byte-8) at” high speed”...
Page 354 Technical Information Profibus Message Mapping Offset Size Unit Range Description Byte Byte Serial 500 - High Speed Value Set the high rotational speed, default = 530 500 - Low Speed Value Set the low rotational speed, default = 500 Tab. 14 Input buffer (15 words) Offset Size...
Page 355 Technical Information Profibus Message Mapping °C 0-100 Controller Power Section Temperature Read the controller power section temperature. If > 75 °C the controller goes in fail “controller over- temperature” °C 0-100 Controller CPU Section Temperature Read the controller CPU section temperature. If >...
Page 356 Technical Information Profibus Message Mapping B0 – Start/Stop Status 0 = Stop 1 = Start B1 – Low Speed Status (Read the “Low Speed” function status (Out Buff byte-0 B6)) 0 = off (the “target speed” (In Buff byte-8) is” high speed” (Out.
Page 357 Technical Information Profibus Message Mapping Diagnostic Management In addition to the ProfiBus six byte standard diagnostic, the interface provides both user diagnostic and static diagnostics functions The standard diagnostic management is fully compliant with the ProfiBus specification. During the start-up phase after power on, the first byte in the user diagnostic area, can assume values different from zero.
Page 358 Technical Information Profibus Message Mapping The ProfiBus external diagnosis services are used to report following unexpected situations: Controller fail: if the controller goes in fail mode, an external  diagnostic service is required and one byte in the diagnostic buffer signals the type of failure. User parameter mismatch: if the user sets one or more ...
Page 359 Technical Information Profibus Message Mapping Off set Meaning Interface Status Controller not responds Controller not identified Input data not fully coherent yet Not used Not used 4 - 7 Start/Stop diag status 7 - 4 Low Speed diag status 3 - 0 Soft Start diag status 7 - 4 Active Stop diag status...
Page 360: Inlet Screen Installation
Technical Information Inlet Screen Installation Inlet Screen Installation The inlet screen prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 5.2 mm diameter. The inlet screen does reduce the pumping speed by about 10 %. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure.
Page 361 Technical Information Inlet Screen Installation The center ring can be installed as shown in the following figure. Figure 45 If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should CAUTION! be installed to prevent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump.
Page 362: Water Cooling Connection
Technical Information Water Cooling Connection Water Cooling Connection The pumping system is supplied with a metallic model water cooling kit. Figure 46 Two 9 – 10 mm internal diameter rubber or plastic tubes from the water supply must be fitted to the two dedicated nozzles. These tubes must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid NOTE that the tube(s) gets loose or disconnected during operation.
Page 363: Vent Valve Installation
Technical Information Vent Valve Installation Vent Valve Installation It is possible to use the vent port on the envelope to connect an external vent valve: unscrew the threaded plug and screw the vent valve into the pump. Pump Purging and Venting Models 969-8888 and 969-8889 are equipped with an integrated purging and venting valve device.
Page 364 Technical Information Pump Purging and Venting How to Purge the Turbo-V 3K-G Pump To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge line to the pump. The purging device automatically provides about 20 sccm when fed with 1 bar (14 psi) absolute (atmospheric pressure).
Page 365 Technical Information Pump Purging and Venting Evidently, the default settings can be bypassed and the “Controlled Venting Procedure” can be eliminated, as explained in a previous section of this manual. Additionally, the vent port on the envelope can be used to connect an external vent valve: unscrew the threaded plug and screw the vent valve into the pump to vent pump and system.
Page 366: High Vacuum Flange Connection
Technical Information High Vacuum Flange Connection High Vacuum Flange Connection To connect the Turbo-V 3K-G pump to the ISO F inlet flange position the integrated inlet screen - centering ring as shown in the figure. Figure 48 Then fix the two flanges with the bolts as shown in the following figures (12 x M10 steel bolts for ISO F flange).
Page 367: Fore-Vacuum Pump Connection
Technical Information Fore-Vacuum Pump Connection Fore-Vacuum Pump Connection A flange KF 40 NW is available to connect the Turbo-V 3K-G pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Page 368: Orderable Parts
Technical Information Orderable Parts Orderable Parts Tab. 16 Orderable parts Description Part number Turbo-V 3K-G ISO 250 F system with MoniTorr with integrated 969-8888 purge/vent valves Turbo-V 3K-G T ISO 250 F with ProfiBus and MoniTorr with 969-8889 integrated purge/vent valves Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958 Mains cable European Plug, 3m long...
Page 374 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Ce manuel est également adapté pour:

Turbo-v 3k-g 969-8889

Agilent Technologies Turbo-V 3K-G 969-8888 Notice De Mode D'emploi

Liens rapides

Manuels Connexes pour Agilent Technologies Turbo-V 3K-G 969-8888

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies Turbo-V 3K-G 969-8888