Table des Matières
Publicité
A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System
Használata
Ebben a szakaszban a legfontosabb működtetési eljárások találhatók.
A rendszer használata előtt végezze el az összes elektromos és
pneumatikus csatlakoztatást.
A vákuumkamra esetleges melegítése alatt a bemeneti karimán lévő
hőmérséklet nem haladhatja meg a 80 °C-t.
A kezelőnek meg kell győződnie arról, hogy megfelelő hűtést készített
elő (WIN 106): 1 vizes hűtéshez, 0 kényszerlevegős hűtésnél
(alapbeállítás), a sorozatvezérlést WIN 106-ra beállítva. A további
részletekhez lásd a "Technical Information" függeléket.
A kezelőnek meg kell győződnie arról, hogy a helyes működést
előkészítette a szivattyúzandó gáz függvényében (WIN 157): 1 N
és könnyeb gázokhoz, 0 Argonhoz (alapbeállítás), a sorozatvezérlést
WIN 157-re beállítva. A további részletekhez lásd a "Technical
Information" függeléket.
VESZÉLY!
Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva. Ne érintse meg a
turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben. Magas
hőmérséklet égést okozhat.
Turbo-V 750/850 TwisTorr User Manual / 87-901-020-01
A Turbo-V 750/850 TwisTorr Pumping System Használata
Felhasználói Kézikönyv
(A)
11
–hoz
2
207/406
Publicité
Chapitres
Table des Matières
