Table des Matières
Publicité
Liens rapides
TPS-compact
969-8217
969-8219
969-8221
969-8223
969-8225
969-8227
969-8229
969-8231
87-901-010-01
APRIL 2008
Models:
969-8218
969-8220
969-8222
969-8224
969-8226
969-8228
969-8230
969-8232
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
Publicité
Table des Matières
Manuels Connexes pour Agilent Technologies TPS-compact
Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TPS-compact
- Page 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH TPS-compact NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES Models: (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING...
- Page 2 TPS-compact...
-
Page 5: Table Des Matières
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................40 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................44 NÁVOD K POUŽITIU............................47 NAVODILA ZA UPORABO..........................50 INSTRUCTIONS FOR USE..........................53 TECHNICAL INFORMATION ...........................56 DESCRIPTION OF THE TPS-COMPACT ...................56 Turbopump Description .....................56 Controller Description ......................56 Control Panel Description ....................56 Scroll Pump Description ....................57 TECHNICAL SPECIFICATION ....................57 TPS-COMPACT OUTLINE ......................58 INLET SCREEN INSTALLATION ....................60... -
Page 6: Indicazioni Di Sicurezza
ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata. -
Page 7: Informazioni Generali
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. contrario alle normative nazionali specifiche. Il TPS-compact è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto integrata dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il sistema è... -
Page 8: Arresto Del Tps-Compact
NOTA Arresto di Emergenza Il TPS-compact non può essere fissato tramite la sua base. Per arrestare in condizioni di emergenza il TPS-compact occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical spostare l'interruttore esterno in posizione OFF. -
Page 9: Sicherheitshinweise
GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. -
Page 10: Allgemeine Informationen
GEBRAUCHSANLEITUNG Modell TPS-compact ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem ALLGEMEINE INFORMATIONEN Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie... - Page 11 Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem spe- Die blauen LEDs “STATUS” an der Bodenplatte von Modell ziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer TPS-compact gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Be- anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im An- triebsbedingungen des System an: hang "Technical Information".
-
Page 12: Entsorgung
GEBRAUCHSANLEITUNG ENTSORGUNG Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU- Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss. -
Page 13: Normes De Sécurité
MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée. -
Page 14: Indications Générales
PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION supporter un couple de serrage de 50 Nm autour de son axe. Le TPS-compact est livré dans un emballage de protection spécial; La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit chambre à... -
Page 15: Utilisation
Ne pas utiliser le système de pompage en présence de gaz processus de collecte et mise au rebut. explosifs. Mise en marche et utilisation du TPS-compact Pour allumer le TPS-compact, il suffit de le brancher au réseau et de placer l'interrupteur extérieur sur ON. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement présence... -
Page 16: Indicaciones De Seguridad
INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada. -
Page 17: Información General
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se INFORMACIÓN GENERAL caiga el TPS-compact y de no someterlo a golpes o vibraciones. Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es... - Page 18 El LED azul “STATUS” situado en el panel trasero de la base cámara vacío mediante accesorios mecánicos del TPS-compact indica, con la frecuencia de su parpadeo, las específicos Varian. Para más detalles véase el anexo condiciones operativas del sistema: − “Technical Information”. encendido fijo: la bomba está en rotación normal;...
- Page 19 INSTRUCCIONES DE USO ELIMINACIÓN Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
-
Page 20: Indicações De Segurança
INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada. - Page 21 Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair o TPS-compact e para não submetê-lo a choques ou vibrações. 16/74 87-901-010-01...
- Page 22 Para parar o TPS-compact é suficiente colocar o interruptor exterior na posição OFF. O controller incorporado pára NOTA imediatamente o sistema de bombeamento. O TPS-compact não pode ser fixado por intermédio da sua própria base. Paragem de Emergência Para parar em condições de emergência o TPS-compact é...
-
Page 23: Veiligheidsinstructies
GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen. -
Page 24: Algemene Informatie
De volgende tabel beschrijft, voor elke of klemtype, contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee Zorg er bij het uitpakken voor dat de TPS-compact niet kan ze vastgezet moeten worden. vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. - Page 25 Afzetten van de TPS-compact verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de Om de TPS-compact uit te schakelen is het voldoende om de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen. externe schakelaar in de stand OFF te zetten. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk het pompsysteem.
-
Page 26: Afvalverwerking
GEBRUIKSAANWIJZINGEN AFVALVERWERKING Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. onderstaande symbool wordt aangebracht overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld. -
Page 27: Sikkerhedsanvisninger
BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes. -
Page 28: Generel Information
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine. Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. TPS-compact er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. TPS-compact har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved hjælp af en... - Page 29 Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Start og anvendelse af TPS-compact Tænding af TPS-compact sker ved blot at tilslutte strømmen og indstille den udvendige afbryder i position ON. Den indbyggede styreenhed registrerer øjeblikkeligt tilslutningen, og pumpen startes.
-
Page 30: Bruksanvisning
BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs. -
Page 31: Allmän Information
Se till att TPS-compact inte tappas eller utsätts för stötar vid Den följande tabellen beskriver olika typer av klamrar, uppackningen. nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment. - Page 32 OFF. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpsystemets funktion. OBSERVERA TPS-compact-systemet kan inte fastspännas med sin egen Nödstopp bas. Stäng av TPS-compact vid en nödsituation genom att dra ut elkabeln från eluttaget eller genom att placera den externa Installation tillbehörsutrustning beskrivs "Technical brytaren i läge OFF.
-
Page 33: Brukerveiledning
BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylære Pumper Turbomolekylærpumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på... -
Page 34: Generell Informasjon
Når TPS-compact pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. - Page 35 Pumpesystemet skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Starte og bruke TPS-compact For å slå på TPS-compact er det nok å kople til strømmen og dreie utvendige bryteren innebygde styreenheten detekterer strømforsyningen automatisk, og...
-
Page 36: Käyttöohjeet
KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 31/74 87-901-010-01... -
Page 37: Yleisiä Tietoja
Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. TPS-compact -järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. TPS-compact -järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden avulla on mahdollista ohjata tuuletusventtiiliä... - Page 38 TPS-compact:n käynnistys ja käyttö Käynnistä TPS-compact kytkemällä sähkö päälle ja asettamalla ulkokatkaisin ON-asentoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti sähkövirran ja käynnistää pumpun. Ensimmäisessä käynnistyksessä on hyvä käyttää "Soft Start" - tapaa. Käynnistä säätimestä.
- Page 39 ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
- Page 40 Diplˇ dagk£nh me Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste ISO 63 22 Nm el∂kwsh M10 idia∂terh prosocˇ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to TPS-compact Diplˇ dagk£nh me kai na mhn uposte∂ ctupˇmata ˇ donˇseij. ISO 100 K 22 Nm el∂kwsh M10...
- Page 41 βλέπε την προσθήκη "Technical Information". Varian. Gia perissèterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej". Stam£thma tou TPS-compact Για την κράτηση του TPS-compact αρκεί να θέσετε στη θέση OFF SHMEIWSH τον εξωτερικό διακόπτη. O enswmatwm◊noj elegktˇj stamat£ TPS-compact den mpore∂ na sterewqe∂ diam◊sou thj b£shj tou.
-
Page 42: Biztonsági Útmutató
HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –... - Page 43 A TPS-compact szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta” vákuumot igénylő alkalmazásokra. A TPS-compact fel van szerelve segédcsatlakozókkal a ventillátor szelepének vezérléséhez, amit távoli helyről kell vezérelni soros vonalon csatlakoztatott gazdagépen keresztül. A következő bekezdések a berendezést használó kezelő...
- Page 44 A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért A TPS-compact kikapcsolása lásd „Technical Information”. A TPS-compact kikapcsolásához elegendő a külső kapcsolót KI állásba kapcsolni. A beépített vezérlő azonnal leállítja a MEGJEGYZÉS szivattyúzó rendszert.
-
Page 45: Instrukcja Uzytkowania
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być... - Page 46 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną OGÓLNE INFORMACJE uwagę aby nie spowodować upadku systemu TPS-compact ani Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje każdą...
- Page 47 ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for INFORMACJA interlock”; System TPS-compact nie może być mocowany poprzez własną − miga szybko ( okres 200 ms.): stan błędu. podstawę.
-
Page 48: Przetworstwo Odpadow
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA PRZETWORSTWO ODPADOW Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE” Unii Europejskiej. Symbol (prawomocny tylko krajach Unii Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany miejscu przeznaczonym... -
Page 49: Příručka K Použití
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění... - Page 50 čerpací systém musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u chránit feromagnetickým stíněním. místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian. Vývěvu TPS-compact lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TPS-compact upevněte v nějaké stabilní poloze a vstupní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese PŘÍPRAVA K INSTALACI...
- Page 51 Zapnutí a používání vývěvy TPS-compact Vývěvu TPS-compact stačí zapojit do sítě a pak zapnout venkovní vypínač. Vestavěný regulátor automaticky rozezná přítomnost síťového napětí a spustí vývěvu. Při prvním uvedení do provozu se doporučuje nastavit na regulátoru "měkký...
-
Page 52: Návod K Použitiu
NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť... - Page 53 špecifickými štandardmi danej krajiny. TPS-compact je integrovaný systém s turbovývevou pre určený pre aplikácie používajúce vysoké, alebo veľmi vysoké vákuum, spojený s príslušným kontrolným modulom a vývevou primárneho vákua. Systém dokáže vyčerpať ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov.
- Page 54 TPS-compact nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky. Núdzové zastavenie O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technical Ak chcete zariadenie TPS-compact okamžite vypnúť v stave Information”. núdze, musíte alebo vytiahnuť kábel napájania zo zástrčky zdroja napájania, alebo prepnúť vonkajší vypínač do polohy POUŽITIE...
-
Page 55: Varnostna Navodila
NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. ... - Page 56 črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev. Črpanje se izvaja preko hitre turbine, ki jo vodi visoko učinkovit 3-fazni električni motor. TPS-compact ne vsebuje onesnaževalnih agentov in je primeren za »čisto« vakuumiranje.
- Page 57 TPS-compact-a ni moč pritrditi s svojo osnovo. Zaustavitev v sili Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Technical Information«. Za takojšenj izklop TPS-compact-a v sili je potrebno odstraniti UPORABA dovod napetosti ali premakniti zunanje stikalo v položaj OFF. Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo.
-
Page 58: Instructions For Use
INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released. -
Page 59: General Information
Please contact the The TPS-compact can be installed in any position. Fix the TPS- local Varian Vacuum Sales and Service representative for compact in a stable position connecting the inlet flange of the informations. -
Page 60: Tps-Compact Switching Off
TPS-compact control panel. hardware. See the appendix "Technical Information" for a TPS-compact Switching off detailed description. To switch off the TPS-compact it is sufficient to move the NOTE external switch to OFF position. The integrated controller immediately stops the pumping system. -
Page 61: Technical Information
J6 SERIAL Serial input-output connector to control The turbine is made of high-strength, light alumin- the TPS-compact via an RS 232 or RS 485 connection ium alloy, and is machined from a single block of aluminium. The turbine blades have five different... -
Page 62: Scroll Pump Description
Turbopump fitted with a ConFlat flange. NOTE When the TPS-compact has been stored at a tempera- ture less than 5°C, wait until the TPS-compact has rea- ched the above mentioned temperature. 57/74 87-901-010-01... -
Page 63: Tps-Compact Outline
TECHNICAL INFORMATION TPS-COMPACT OUTLINE The following figure shows the TPS-compact outline. Dimensions are in mm. PRESSURE mBar Torr PRESSURE mBar Torr TPS-compact equipped with TV301 0,0001 0,001 0,01 Inlet Pressure (mbar) Graph of pumping speed vs inlet pressure 58/74 87-901-010-01... - Page 64 TECHNICAL INFORMATION TPS-compact equipped with TV81M 0,0001 0,001 0,01 Inlet Pressure (mbar) Graph of pumping speed vs inlet pressure TPS-compact TV301/TV81M - 14lt Pump Down 1,E+03 1,E+02 1,E+01 1,E+00 1,E-01 1,E-02 1,E-03 1,E-04 1,E-05 1,E-06 Time [sec] TV301 TV81M Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre)
-
Page 65: Inlet Screen Installation
TECHNICAL INFORMATION INLET SCREEN INSTALLATION The following figure shows the overall flange di- mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange (dimensions are in inches [mm]). The inlet screens mod. 969-9300, 969-9309, 969-9302 and 969-9303 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than ISO 63 / CFF 2.75 / CFF 4.5... -
Page 66: High Vacuum Flange Connection
TECHNICAL INFORMATION HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION For ConFlat flange connections we recommend using Varian hardware. To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering To facilitate assembly and dismantling, apply Fel- ring as shown in the figure. -
Page 67: Interconnections
TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS P3 – Vent Input power connector The following figure show the input power connec- tor. Bipolar switch Line Vent Connector IEC320 connector This is a dedicated 24 Vdc connector to control the Line Fuses optional vent valve (available on request). The vent valve can be driven by controller auto- matically or by serial line. -
Page 68: Gauge Connector
TECHNICAL INFORMATION Vent Valve Diagram in “Auto” mode Pressure gauge can be connected/disconnected from the TPS-compact during normal operation. Gauge Connector TPS-compact is equipped with new generation gauge reading card able to drive/read a Varian “EyeSys Mini-IMG” gauge or a Varian Full Range Gauge FRG-700. -
Page 69: J5 - In-Out
TECHNICAL INFORMATION This connector carries all the input and output sig- nals to remote control the TPS-compact. It is a 15-pins D type connector; the available sig- nals are detailed in the table, the following para- graphs describe the signal characteristics and use. - Page 70 TECHNICAL INFORMATION • amplitude: 24 V max Output: Temperature setting • duty cycle range: from 25% to 75% • corresponding to a pump speed from 1100Hz to 1350Hz (see the following diagram). 1400 1350 1300 1250 1200 Voltage (V) 1150 1100 1050 Output: Pressure setting...
- Page 71 How to connect the open collector input of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TPS-compact to an external system. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc.
-
Page 72: J6 - Serial
• 1 stop bit • baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 pro- grammable Connector examples: Typical output connection 1 J6 – Serial TPS-COMPACT RS 232 Connection Ω ½ W This is a 9 pin D-type serial input/output connector PC HOST to control via an RS 232 or RS 485 connection the TPS-compact. -
Page 73: Serial Communication Descriptions
TECHNICAL INFORMATION The communication port mating connector is sup- the controller answer with an ANSWER + CRC plied with the RS232 PCB (AMP/Cannon or to the host. equivalent 15-pin “D” type male connector). The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC>... - Page 74 TECHNICAL INFORMATION The controller can answer with the following response types; RESPONSE RESPONSE RESPONSE TYPE DESCRIPTION LENGTH VALUE Logic 1 byte After a read instruction of a logic window Numeric 6 bytes After a read instruction of a numeric window Alphanumeric 10 bytes After a read instruction of an alphanumeric window...
-
Page 75: Window Meanings
TECHNICAL INFORMATION Window Meanings Read/ Data Description Admitted Write Type Values Read/ Data Description Admitted Write Type Values Analog out- 0 = frequency put type: 1 = power Start/Stop Start = 1 output volt- (in remote/ Stop = 0 (default = 1) age signal mode the win- proportional... -
Page 76: Service Options
QE8XXXX blanked inlet flange) has risen to an unacceptably EPROM (where “XXXX” (QE) are variable) high level (>500mA) or when the message “TIP- SEAL SERV” appears on the TPS-compact front Boot CRC BL2XXXX (BL) (where “XXXX” side display. are variable) The warning message appears after 5000h of op- eration. -
Page 77: Cleaning
7. Reinstall (4) M5 bolts (B) and torque the (4) M5 bolts to 5.6 N-m (50 in-lb). 8. Unlock the upper part of TPS-compact by slid- ing the small lever you can find on the bottom side of TPS-compact. -
Page 78: Troubleshooting Chart
To test the pumping system: to meet speed and base pressure specifications. Run the TPS-compact for about 5 seconds. Verify that the front fan is running. If you hear loud noises from the Scroll pump this indi-... -
Page 79: Orderable Parts
TECHNICAL INFORMATION ORDERABLE PARTS TV 81-M TV 81-M TV 81-M TV 81-M TV 301 TV 301 TV 301 TV 301 TPS-compact KF40 CFF 2.75" ISO 63 CFF 4.5" ISO 100 CFF 6" ISO 160 CFF 8" 120 V 969-8217 969-8218... - Page 80 Request for Return 1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. 2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). 3.
- Page 81 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Page 82 Sales and Service Offices France and Benelux Japan Other Countries Varian s.a. Varian Vacuum Technologies Varian Inc. 7 Avenue des Tropiques Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Vacuum Technologies Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12 4-16-36 Shibaura Via F.lli Varian 54 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 Minato-ku, Tokyo 108 10040 Leini, (Torino)