Page 1: Twistorr 305-Ic Manuale Di Istruzioni
TwisTorr 305-IC Pump models: X3513-64000, X3513-64001, X3513-64002, X3513-64003, X3513-64004, X3513-64005, X3513-64006, X3513-64007, X3513-64016, X3513-64017, X3513-64018, X3513-64019, X3513-64020, X3513-64021, X3513-64022, X3513-64023, X3513-64024, X3513-64025, X3513-64026, X3513-64027, X3513-64028, X3513-64029, X3513-64030, X3513-64031 Manuale di istruzioni Bedienungshandbuch Notice de mode d’emploi Manual de istrucciones 用户手册...
Page 2 FAR 2.101(a) or as proceed beyond a WARNING notice “Restricted computer software” as until the indicated conditions are defined in FAR 52.227-19 (June 1987) fully understood and met. or any equivalent agency regulation or TwisTorr 305-IC User Manual/ 87-901-058-01...
Page 3 TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 3/302...
Page 4 TwisTorr 305-IC Page intentionally left blank 4/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 5: Table Des Matières
Riparazione di TwisTorr 305-IC Collegamento della flangia per alto vuoto Installazione della flangia ISO-K Installazione della flangia ConFlat Collegamento della pompa del vuoto anteriore Avvio e funzionamento di TwisTorr 305-IC Arresto di TwisTorr 305-IC Arresto di emergenza Manutenzione Vita del rotore...
Page 6 Installation Vorbereitung zum Einbau Einrichten Montage von TwisTorr 305-IC Anschluss des Hochvakuumflansches Installation des ISO-K-Flansches Installation des ConFlat-Flansches Anschluss der Vorvakuumpumpe Inbetriebnahme und Betrieb vom TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC stoppen Notausschaltung Wartung Rotordauer 6/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 7 Raccordement de la bride à vide élevé Installation de la bride ISO-K Installation de la bride ConFlat Raccordement de la bride à vide préliminaire Démarrage et utilisation du TwisTorr 305-IC Arrêt du TwisTorr 305-IC Arrêt d’urgence Entretien Durée de vie du rotor Démarrage progressif...
Page 8 Conexión de la brida de alto vaciado Instalación de la brida ISO-K Instalación de la brida ConFlat Conexión de la bomba pre-vaciado Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305-IC Parada de la TwisTorr 305-IC Parada de emergencia Mantenimiento Vida del rotor...
Page 9 使用说明关于这本手册有效性定义和术语警告、警告和注释的定义警告符号安全正确使用使用不当防护设备涡轮分子泵安全指南运输及存储产品描述安装安装准备设置 TwisTor 305-IC 的安装高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 ConFlat 法兰的安装前真空泵的连接 TwisTorr 305-IC 的启动和运行停止 TwisTorr 305-IC 紧急停止维护 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 9/302...
Page 10 处置方式服务使用方法このマニュアルについて有効性定義と用語警告・注意・注の定義警告の記号安全性適切な使用不適切な使用保護用装備ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン移送＆保管製品説明取り付け取り付けの準備セットアップ TwisTorr 305-IC 実装高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け ConFlat フランジの取り付けフォア真空ポンプの接続 TwisTorr 305-IC の起動開始と操作 TwisTorr 305-IC を停止する 10/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 11 Preparation for Installation Set-up TwisTorr 305-IC Mounting Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange Installation of ConFlat Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump Startup and Operation of the TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 11/302...
Page 12 Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases Purge Valve Installation Pump Used in Presence of Magnetic Fields Vibration Isolator Installation Controller Operations Interconnections 1 - Vent 2 - External Fan 3 - IN/OUT and Power Supply Signal Description 12/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 13 How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller How to Connect the Controller Outputs RS485/RS232 communication description Windows Protocol Window Description NFC Function Screenshot APP Connection through USB plug Error messages Warning messages Accessories and Spare Parts TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 13/302...
Page 14 Contents Page intentionally left blank 14/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 15: Istruzioni Per L'uso
Riparazione di TwisTorr 305-IC Collegamento della flangia per alto vuoto Installazione della flangia ISO-K Installazione della flangia ConFlat Collegamento della pompa del vuoto anteriore Avvio e funzionamento di TwisTorr 305-IC Arresto di TwisTorr 305-IC Arresto di emergenza Manutenzione Vita del rotore...
Page 16 TwisTorr 305-IC Manuale di istruzioni 16/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 17: Informazioni Su Questo Manuale
Informazioni su questo manuale Informazioni su questo manuale Validità Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti di TwisTorr 305-IC, con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l’utente è...
Page 18: Definizioni E Terminologia
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su NOTA passaggi specifici. 18/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 19: Simboli Di Avvertenza
Simboli di Avvertenza Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi TwisTorr 305-IC. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono. Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso...
Page 20 Messa a terra protettiva Non toccare Connettore principale Near Field Communication (antenna dello smartphone) Certificazione CE Certificazione CSA Limitazione della Certificazione delle Sostante Pericolose Certificazione RoHS China Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche 20/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 21: Sicurezza
Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la sicurezza fisica dell'operatore o di terzi derivanti dal mancato rispetto delle norme di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.
Page 22: Uso Improprio
Istruzioni per l’uso Uso improprio Uso improprio Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall’uso improprio di TwisTorr 305-IC. L’uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità e garanzie. L’uso improprio è definito come: installazione della pompa con materiale di montaggio non specificato ▪...
Page 23: Attrezzatura Di Protezione
➔ Qualsiasi attrezzatura più pesante di 20 kg deve essere trasportata utilizzando un dispositivo di sollevamento adatto. ➔ Indossare scarpe antinfortunistiche con puntale in acciaio secondo la direttiva EN 347. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 23/302...
Page 24 ➔ Prima di riparare la pompa o prima di qualsiasi azione di montaggio/smontaggio della pompa del sistema, attendere per l’arresto completo della pompa. ➔ Non operare direttamente all’interno della pompa. ➔ Se necessario, indossare guanti protettivi secondo la EN 420. 24/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 25: Linee Guida Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
AVVERTENZA! Per evitare danni alle apparecchiature e per prevenire lesioni al personale operativo, è necessario seguire scrupolosamente le istruzioni di installazione fornite nel presente manuale! TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 25/302...
Page 26: Transporto & Immagazzinamento
60 giorni. Se per qualsiasi motivo viene superata la scadenza della conservazione, la ATTENZIONE! pompa deve essere restituita alla fabbrica. Per informazioni, contattare il rappresentante Agilent Vacuum locale e il servizio di assistenza. 26/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 27: Descrizione Del Prodotto
Questa attrezzaura è destinata all’uso professionale e deve essere utilizzata da professionisti. TwisTorr 305-IC è una pompa turbomolecolare per applicazioni con vuoto elevato e altissimo che è in grado di pompare qualsiasi tipo di gas o composto di gas non corrosivo e ossidante.
Page 28: Installazione
Installazione Installazione Preparazione per l’installazione TwisTorr 305-IC viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Evitare impatti improvvisi sul 305-IC che potrebbero essere causati dalla sua caduta.
Page 29 Istruzioni per l’uso Installazione Figura 1 Imballo del TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 29/302...
Page 30: Apertura
USB oltre che sulla connessione DB15. Rimuovere questi cappucci protettivi solo quando si collega la pompa al controller. Non rimuovere l’adesivo e il cappuccio protettivo fino a quando non si è pronti ATTENZIONE! per installare la turbopompa sul sistema. Figura 2 30/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 31 Durante il funzionamento è necessario rispettare le seguenti condizioni ambientali per evitare la condensa: pressione ambiente massima: 2 bar sopra la pressione atmosferica ▪ temperatura: da +5 °C a +35 °C ▪ umidità relativa: 0 – 90 % (senza condensa). ▪ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 31/302...
Page 32: Riparazione Di Twistorr 305-Ic
TwisTorr 305-IC può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare TwisTorr 305-IC in una posizione stabile, montando la flangia di ingresso della turbopompa sulla controflangia del sistema, con una connessione in grado di resistere a una coppia di 1000 Nm attorno al proprio asse.
Page 33: Collegamento Della Flangia Per Alto Vuoto
La combinazione di diversi tipi di flangia non è consentita. Agilent non si assume alcuna responsabilità per tutti I danni derivanti da un fissaggio improprio. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 33/302...
Page 34: Installazione Della Flangia Iso-K
(è possibile utilizzare facoltativamente uno schermo protettivo). Figura 3 Utilizzare il numero richiesto di morsetti artiglio: 4 per la flangia ISO 100 ▪ 4 per la flangia ISO 160 ▪ Stringere le fascette con una coppia di 22 Nm. 34/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 35: Installazione Della Flangia Conflat
In alcuni casi, i collegamenti possono essere effettuati solo con il bullone nella parte inferiore. Prestare attenzione quando si serrano dadi e bulloni per evitare di creare ATTENZIONE! ammaccature nella busta. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 35/302...
Page 36: Collegamento Della Pompa Del Vuoto Anteriore
Collegamento della pompa del vuoto anteriore La connessione forzata deve essere effettuata utilizzando la flangia KF 16 NW fornita su TwisTorr 305-IC. Il collegamento alla pompa principale può essere effettuato mediante una pompa o un tubo classificati come vuoto. Se viene utilizzato un tubo rigido, qualsiasi vibrazione generata dalla pompa meccanica deve essere attenuata attraverso l'uso del soffietto.
Page 37: Avvio E Funzionamento Di Twistorr 305-Ic
Avvio e funzionamento di TwisTorr 305-IC Avvio e funzionamento di TwisTorr 305-IC Per accendere TwisTorr 305-IC tramite I controller di bordo, fornire alla pompa la tensione di alimentazione corretta e agire sui segnali “START” e “INTERLOCK”. Una volta riconosciuti questi segnali, il controller avvia la pompa.
Page 38 Istruzioni per l’uso Avvio e funzionamento di TwisTorr 305-IC AVVERTENZA! Lo stato della pompa verrà visualizzato dai 3 LED sul controller. SIMBOLO STATO LED TON/TOFF SIGNFICATO Verde Spento 305-IC OFF, stato: STOP/WAITING On, lampeggiante INTERLOCK/FAIL On, lampeggiante 305-IC ON, velocità target non ancora raggiunta,...
Page 39 Istruzioni per l’uso Avvio e funzionamento di TwisTorr 305-IC (1) Nel caso in cui venga rilevato un malfunzionamento (LED rosso, ON luce NOTA fissa), la pompa non può girare dopo aver ricevuto il comando di avvio. L'utente può risolvere il motivo del malfunzionamento controllando i messaggi di errore tramite comunicazione seriale e facendo riferimento anche all'elenco delle azioni suggerite.
Page 40: Arresto Di Twistorr 305-Ic
Questa modalità deve essere utilizzata solo in caso di emergenza. L’uso di questa modalità di arresto potrebbe causare guasti e/o danni alla pompa. L’uso improprio di questa modalità di arresto potrebbe invalidare la garanzia. 40/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 41: Manutenzione
Come misura precauzionale, considerando l’utilizzo tipico della pompa e tenendo conto dei limiti di sicurezza, Agilent consiglia di restituire la pompa dopo 17 anni di utilizzo per la manutenzione. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 41/302...
Page 42: Soft Start
WIN100. WIN 100 non ha alcun effetto sul soft start automatico al primo avvio e dopo 60 giorni dall'ultimo momento in FULL SPEED. Vedi la sezione "Protocollo di Windows". Pulizia La superficie esterna del 305-IC può essere pulita solo con un detergente delicato. 42/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 43: Smaltimento
L'utente finale è quindi invitato a contattare il fornitore del dispositivo, che sia la Capogruppo o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e smaltimento dopo aver verificato i termini e le condizioni di vendita contrattuali. Per maggiori informazioni consultare: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 43/302...
Page 44: Servizio Post Vendita
È necessario completare il modulo di richiesta di restituzione per restituire la pompa ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale). 44/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 45: Gebrauchsanleitung
Produktbeschreibung Installation Vorbereitung zum Einbau Einrichten Montage von TwisTorr 305-IC Anschluss des Hochvakuumflansches Installation des ISO-K-Flansches Installation des ConFlat-Flansches Anschluss der Vorvakuumpumpe Inbetriebnahme und Betrieb vom TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC stoppen Notausschaltung Wartung Rotordauer Sanftanlauf Reinigung Entsorgung Service TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 46: Twistorr 305-Ic Bedienungshandbuch
TwisTorr 305-IC Bedienungshandbuch 46/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 47: Über Dieses Handbuch
Über dieses Handbuch Gültigkeit In diesem Handbuch werden die Anweisungen für die Benutzer des TwisTorr 305-IC aufgeführt, insbesondere in Bezug auf die Begriffe zu Sicherheit, Betrieb und Wartung auf der ersten Ebene, der auf die vom Benutzer zu verantwortenden Wartungsarbeiten beschränkt sind.
Page 48: Begriffsbestimmungen Und Terminologie
Die Vorsichtshinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf VORSICHT! aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen können. Hinweise sollen auf wichtige Informationen aufmerksam machen und nähere HINWEIS Informationen zu bestimmten Schritten enthalten. 48/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 49: Warnsymbole
Warnsymbole Das Folgende ist eine Liste von Symbolen, die in Verbindung mit den Warnungen auf dem TwisTorr 305-IC angezeigt werden. Die von ihnen beschriebene Gefahr wird ebenfalls angezeigt. Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin. Die Bedeutung der Symbole, die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst...
Page 50 Die folgenden Symbole werden zu Ihrer Information auf dem Instrument angezeigt. Netz einschalten Wenn rot, bedeutet dies eine Fehlfunktion Wenn gelb, bedeutet dies eine Warnung USB-Anschluss Schutzerdungsklemme Nicht berühren Verbindungsstück Nahfeldkommunikation (Antenne des Smartphones) CE-Zertifizierung CSA-Zertifizierung Beschränkung gefährlicher Stoffe RoHS-Chinazertifizierung Elektro- und Elektronikaltgeräte 50/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 51: Sicherheit
Sicherheitsbedingungen ineffizient machen und Unfälle bei den Bedienern der Maschine verursachen. Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung für Schäden an der Maschine oder für die physische Sicherheit des Bedieners oder Dritter ab, die sich aus der Nichtbeachtung der in den technischen Unterlagen angegebenen Sicherheitsregeln ergeben.
Page 52: Unsachgemäße Verwendung
Gebrauchsanleitung Unsachgemäße Verwendung Unsachgemäße Verwendung Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung ab, die sich aus der unsachgemäßen Benutzung vom TwisTorr 305-IC ergibt. Bei unsachgemäßer Verwendung verfallen alle Haftungs- und Gewährleistungsansprüche. Unsachgemäße Verwendung ist definiert als: Installation der Pumpe mit nicht spezifiziertem Befestigungsmaterial ▪...
Page 53: Schutzausrüstung
➔ Tragen Sie kleine und mittlere Vakuumpumpen mit zwei Händen. ➔ Alle Geräte, die schwerer als 20 kg sind, sollten mit einer geeigneten Hebevorrichtung transportiert werden. ➔ Sicherheitsschuhe mit Stahlkappe gemäß Richtlinie EN 347 tragen. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 53/302...
Page 54 ➔ Warten Sie vor der Wartung der Pumpe oder vor dem Ein- und Ausbau der Pumpe vom System bis zum vollständigen Stillstand der Pumpe. ➔ Nicht direkt im Hochvakuumflansch betreiben. ➔ Gegebenenfalls Schutzhandschuhe nach EN 420 tragen. 54/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 55: Sicherheitsrichtlinie Für Turbomolekularpumpen
Bei einer Funktionsstörung eines mechanischen Teils der Pumpe kann die Rotationsenergie an alle Stellen abgegeben werden, an denen die Pumpe befestigt ist. WARNUNG! Um Geräteschäden und Verletzungen des Bedienpersonals zu vermeiden, sind die in diesem Handbuch enthaltenen Installationsanweisungen unbedingt zu beachten! TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 55/302...
Page 56: Transport Und Lagerung
Wenn aus irgendeinem Grund die Haltbarkeitsdauer überschritten wird, muss die VORSICHT! Pumpe an das Werk zurückgeschickt werden. Bitte wenden Sie sich an den lokalen Agilent Vacuum Vertriebs- und Servicevertreter, um weitere Informationen zu erhalten. 56/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 57: Produktbeschreibung
Produktbeschreibung Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch und für den professionellen Gebrauch bestimmt. TwisTorr 305-IC ist eine Turbomolekularpumpe für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen, die alle Arten von nicht korrosiven und oxidierenden Gasen oder Gasverbindungen fördern kann. Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine (max.
Page 58: Installation
Installation Installation Vorbereitung zum Einbau TwisTorr 305-IC wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Wenden Sie sich an Ihr lokales Verkaufsbüro, wenn dies Anzeichen von Schäden zeigt, die während des Transports aufgetreten sein können. Vermeiden Sie plötzliche Stöße auf den 305-IC, die durch Herunterfallen verursacht werden können.
Page 59 Gebrauchsanleitung Installation Abbildung 1 TwisTorr 305-IC-Verpackung TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 59/302...
Page 60: Einrichten
Anschluss sowie am DB15-Anschluss geliefert. Entfernen Sie diese Schutzkappen nur, wenn Sie die Pumpe an den Controller anschließen. Entfernen Sie den Klebstoff und die Schutzkappe erst, wenn Sie bereit sind, die VORSICHT! Turbopumpe am System zu installieren. Abbildung 2 60/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 61 Während des Betriebs müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden, um Kondensation zu vermeiden: Maximaler Umgebungsdruck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck ▪ Temperatur: von +5 °C bis +35 °C ▪ Relative Feuchtigkeit: 0-90% (nicht kondensierend). ▪ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 61/302...
Page 62: Montage Von Twistorr 305-Ic
Pumpe bei einem Rotorausfall vom System löst, was zu Sachschäden oder schweren oder tödlichen Verletzungen führen kann. TwisTorr 305-IC kann in jeder Position installiert werden. Befestigen Sie den TwisTorr 305-IC in einer stabilen Position und montieren Sie den Einlassflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems, wobei die Verbindung ein Drehmoment von 1000 Nm um deren Achse aushalten kann.
Page 63: Anschluss Des Hochvakuumflansches
Agilent empfohlenen Flanschen abweichen, besteht die Möglichkeit, dass sich der 305-IC dreht oder abreißt, falls der Rotor plötzlich stoppt. Die Kombination verschiedener Flanschtypen ist nicht zulässig. Agilent übernimmt keine Haftung für alle Schäden, die durch unsachgemäße Befestigung entstehen. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 63/302...
Page 64: Installation Des Iso-K-Flansches
Abbildung 3 Verwenden Sie die erforderliche Anzahl von Klauenklemmen: 4 für ISO 100 Flansch ▪ 4 für ISO 160 Flansch ▪ Ziehen Sie die Klauenklemmen mit einem Drehmoment von 22 Nm an. 64/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 65: Installation Des Conflat-Flansches
In einigen Fällen können die Verbindungen nur mit dem Bolzen in der unteren Seite hergestellt werden. Gehen Sie beim Anziehen der Schrauben und Muttern vorsichtig vor, um Beulen VORSICHT! am Gehäuse zu vermeiden. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 65/302...
Page 66: Anschluss Der Vorvakuumpumpe
Anschluss der Vorvakuumpumpe Der Vorleitungsanschluss sollte mit dem KF 16 NW-Flansch erfolgen, der auf dem TwisTorr 305-IC bereitgestellt wird. Die Verbindung zur Vorpumpe kann über einen Vakuumschlauch oder ein Vakuumrohr hergestellt werden. Wenn ein starres Rohr verwendet wird, müssen Vibrationen, die von der mechanischen Pumpe erzeugt werden, mit einem Faltenbalg gedämpft werden.
Page 67: Inbetriebnahme Und Betrieb Vom Twistorr 305-Ic
Controllers geeignet und voll kompatibel mit dem DB15-Stecker, der an der Steuereinheit montiert ist. Nach ordnungsgemäßer Verdrahtung kann der TwisTorr 305-IC sowohl an die Versorgungsquelle als auch an die Zubehörteile (Lüfter, Entlüftungsventile) und auch an die serielle Schnittstelle angeschlossen werden.
Page 68 Gebrauchsanleitung Inbetriebnahme und Betrieb vom TwisTorr 305-IC WARNUNG! Der Status der Pumpe wird durch die 3 LEDs am Controller angezeigt. SYMBOL LED-STATUS TON/TOFF BEDEUTUNG Grün Ausschalten 305-IC OFF, Status: STOPP/WARTEN Ein, blinkend VERRIEGELUNG/FEHLER 305-IC ON, Zielgeschwindigkeit noch nicht Ein, invers blinkt...
Page 69 Gebrauchsanleitung Inbetriebnahme und Betrieb vom TwisTorr 305-IC (1) Wird eine Störung festgestellt (rote LED, leuchtet durchgehend), kann die HINWEIS Pumpe nach Erhalt des Startbefehls nicht anlaufen. Der Benutzer kann den Grund für die Störung feststellen, indem er die Fehlermeldungen über die serielle Kommunikation und die Liste der vorgeschlagenen Maßnahmen...
Page 70: Twistorr 305-Ic Stoppen
Diese Betriebsart ist nur im Notfall zu verwenden. Die Verwendung dieses WARNUNG! Stoppmodus kann zu Fehlern und/oder Schäden an der Pumpe führen. Die unsachgemäße Verwendung dieses Stoppmodus kann zum Erlöschen der Garantie führen. 70/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 71: Wartung
305-IC-Turbomolekularpumpenrotors beträgt 405000 Ramp-Up-Zyklen von Stopp zu voller Geschwindigkeit und zurück zu Stopp. Aus Sicherheitsgründen empfiehlt Agilent, die Pumpe unter Berücksichtigung der typischen Verwendung der Pumpe und unter Berücksichtigung der Sicherheitsgrenzen nach 17 Jahren zur Wartung zurückzugeben. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 71/302...
Page 72: Sanftanlauf
WIN 100 hat beim ersten Start und danach keine Auswirkung auf den automatischen Sanftanlauf und nach 60 Tagen ab dem letzten Moment in VOLLGESCHWINDIGKEIT. Siehe Abschnitt „Windows-Protokoll“. Reinigung Die Außenfläche des 305-IC darf nur mit einem milden Reinigungsmittel gereinigt werden. 72/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 73: Entsorgung
Abfallsammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. Die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Weitere Informationen finden Sie unter: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 73/302...
Page 74: Service
Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt and die Email-Adresse vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des Rücksendeformulars ist erforderlich, um die Pumpe zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben). 74/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 75: Mode D'emploi
TwisTorr 305-IC Notice de mode d’emploi Mode d’emploi À propos de ce manuel Validité Définitions et terminologie Définition des termes « Attention », « Avertissement » et « Note » Symboles d’avertissement Sécurité Utilisation appropriée Utilisation inappropriée Équipement de protection Directive de sécurité...
Page 76 TwisTorr 305-IC Notice de mode d’emploi 76/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 77: À Propos De Ce Manuel
1. Le présent contient des informations utiles pour que tout le personnel NOTE utilisant le TwisTorr 305-IC puisse l’exploiter en toute sécurité et garantir une efficacité parfaite, pendant toute sa durée de vie. 2. Conserver le présent manuel, ainsi que toutes les publications connexes, dans un endroit accessible et connu de tous les opérateurs/du personnel...
Page 78: Définitions Et Terminologie
Des messages de mise en garde s’affichent avant les procédures qui, si elles ne ATTENTION ! sont pas respectées, pourraient endommager l’équipement. Les notes visent à attirer l’attention sur des renseignements importants et à NOTE fournir plus de détails sur des étapes précises. 78/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 79: Symboles D'avertissement
Symboles d’avertissement Symboles d’avertissement Voici une liste de symboles qui apparaissent en conjonction avec les avertissements sur le TwisTorr 305-IC. Le danger qu’ils décrivent est également illustré. Le symbole triangulaire indique un avertissement. Les significations des symboles qui peuvent apparaître à côté des avertissements dans la documentation ou sur l’appareil lui-même sont les suivantes :...
Page 80 Borne de mise à la terre de protection Ne pas toucher Connecteur principal Communication en champ proche (antenne de smartphone) Certification CE Certification CSA Restriction de la certification des substances dangereuses Certification RoHS Chine Déchets d’équipements électriques et électroniques 80/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 81: Sécurité
à ceux qui utilisent la machine. Agilent Technologies décline toute responsabilité pour les dommages causés à la machine ou pour la sécurité physique de l’opérateur ou des tiers résultant du non-respect des règles de sécurité...
Page 82: Utilisation Inappropriée
Mode d’emploi Utilisation appropriée Utilisation inappropriée Agilent Technologies décline toute responsabilité en raison de l’utilisation inappropriée du TwisTorr 305-IC. Une utilisation inappropriée entraînera l’annulation de toutes les créances et garanties. Une utilisation inappropriée est définie comme suit : installation de la pompe avec un matériau de montage non spécifié ;...
Page 83: Équipement De Protection
➔ Tout équipement de plus de 20 kg doit être transporté à l’aide d’un dispositif de levage approprié. ➔ Porter des chaussures de sécurité avec embout en acier conformément à la directive EN 347. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 83/302...
Page 84 ➔ Ne pas exploiter directement à l’intérieur de la bride à vide élevé. ➔ Si cela est nécessaire, porter des gants de protection conformément à la norme EN 420. 84/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 85: Directive De Sécurité Pour Les Pompes Turbomoléculaires
être libérée sur la pompe à laquelle elle est fixée. Pour éviter d’endommager l’équipement et de blesser le personnel AVERTISSEMENT !! exploitant, les instructions d’installation fournies dans le présent manuel doivent être rigoureusement respectées ! TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 85/302...
Page 86: Transport Et Entreposage
60 jours de la pompe. Si, pour une raison quelconque, la durée de conservation est dépassée, la pompe ATTENTION ! doit être retournée à l’usine. Contacter le représentant local Agilent Vacuum Sales and Service pour plus d’informations. 86/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 87: Description Du Produit
Cet équipement est destiné à un usage professionnel et doit être utilisé par des professionnels. Le TwisTorr 305-IC est une pompe turbomoléculaire pour les applications à vide élevé et ultra-élevé capable de pomper tout type de composé gazeux ou gazeux non corrosif et oxydant.
Page 88: Installation
Installation Installation Préparation pour l’installation Le TwisTorr 305-IC est fourni dans un emballage de protection spécial. Si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. Éviter les impacts soudains sur le 305-IC qui seraient causés par la chute.
Page 89 Mode d’emploi Installation Emballage du TwisTorr 305-IC Figure 1 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 89/302...
Page 90: Configuration
USB ainsi que sur le raccord DB15. Retirer ces capuchons de protection uniquement lors du raccordement de la pompe au contrôleur. Ne pas retirer l’adhésif et le capuchon de protection avant d’être prêt à installer ATTENTION ! la turbopompe sur le système. Figure 2 90/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 91 : pression ambiante maximale : 2 bars au-dessus de la pression ▪ atmosphérique température : de +5 °C à +35 °C ▪ humidité relative : 0 à 90 % (sans condensation). ▪ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 91/302...
Page 92: Montage Du Twistorr 305-Ic
Le TwisTorr 305-IC peut être installé dans n’importe quelle position. Fixer le TwisTorr 305-IC dans une position stable, en montant la bride d’entrée de la turbopompe sur la contre-bride du système, avec un raccord capable de résister à...
Page 93: Raccordement De La Bride À Vide Élevé
Agilent, le 305-IC risque de se tordre ou de se déchirer en cas d’arrêt soudain du rotor. La combinaison de différents types de brides n’est pas autorisée. Agilent n’acceptera aucune responsabilité pour tous les dommages résultant d’une mauvaise fixation. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 93/302...
Page 94: Installation De La Bride Iso-K
Utiliser le nombre requis de brides de serrage : 4 pour la bride ISO 100 ▪ 4 pour la bride ISO 160 ▪ Serrer les brides de serrage à un couple de 22 Nm. 94/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 95: Installation De La Bride Conflat
Dans certains cas, les raccordements peuvent être faits seulement avec le boulon dans le côté inférieur. Faire preuve de prudence lors du serrage des écrous et des boulons pour éviter ATTENTION ! de créer des bosselures dans l’enveloppe. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 95/302...
Page 96: Raccordement De La Bride À Vide Préliminaire
Le raccordement avant doit être effectué à l’aide de la bride KF 16 NW fournie sur le TwisTorr 305-IC. Le raccordement à la pompe de première ligne peut être fait par un tuyau ou conduit de vide. Si un tuyau rigide est utilisé, toute vibration générée par la pompe mécanique doit être amortie par l’utilisation de soufflets.
Page 97: Démarrage Et Utilisation Du Twistorr 305-Ic
à la section « Comment connecter les entrées du collecteur ouvert du contrôleur » du présent mode d’emploi. (4) Le TwisTorr 305-IC est fourni avec un connecteur d’accouplement DB15, non précâblé. Ce connecteur d’accouplement DB15 est adapté pour résister au niveau de courant nécessaire pour alimenter le contrôleur et il est...
Page 98 Mode d’emploi Démarrage et utilisation du TwisTorr 305-IC AVERTISSEMENT ! L’état de la pompe sera affiché par les 3 LED du contrôleur. SYMBOLE STATUT LED TMARCHE/TARRÊT SIGNIFICATION Vert Éteint Hors tension 305-IC ÉTEINT, statut : ARRÊT/EN ATTENTE Allumé, clignotant D’ENCLENCHEMENT/ÉCHEC 305-IC ALLUMÉ, vitesse cible pas encore...
Page 99 Mode d’emploi Démarrage et utilisation du TwisTorr 305-IC (1) Si un dysfonctionnement (LED rouge, voyant allumé en continu) est détecté, NOTE la pompe ne peut pas tourner à la réception de la commande de démarrage. L’utilisateur peut corriger la cause du dysfonctionnement en vérifiant les messages d’erreur via une communication en série et en se référant...
Page 100: Arrêt Du Twistorr 305-Ic
Mode d’emploi Démarrage et utilisation du TwisTorr 305-IC Arrêt du TwisTorr 305-IC Pour arrêter le 305-IC, non en cas d’urgence, il est nécessaire de faire ceux-ci : a) si le 305-IC est configuré en REMOTE MODE et que INTERLOCK est réglé...
Page 101: Entretien
à l’arrêt. Par mesure de précaution, compte tenu de l’utilisation typique de la pompe et des limites de sécurité, Agilent recommande de la remettre en service après 17 ans d’utilisation pour l’entretien. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 101/302...
Page 102: Démarrage Progressif
60 jours suivant le dernier moment en PLEINE VITESSE. Voir la section « Protocole Windows ». Nettoyage La surface extérieure du 305-IC ne peut être nettoyée qu’avec un détergent doux. 102/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 103: Mise Au Rebut
œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour en savoir plus, consulter : http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 103/302...
Page 104: Service
à : vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de demande de retour pour retourner votre pompe à Agilent pour l’entretien (fourni à la fin du présent manuel) 104/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 105 Conexión de la brida de alto vaciado Instalación de la brida ISO-K Instalación de la brida ConFlat Conexión de la bomba pre-vaciado Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305-IC Parada de la TwisTorr 305-IC Parada de emergencia Mantenimiento Vida del rotor...
Page 106: Twistorr 305-Ic Manual De Istrucciones
TwisTorr 305-IC Manual de istrucciones 106/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 107: Acerca Del Manual
Validez El presente manual contiene las instrucciones para los usuarios de la TwisTorr 305-IC con particular referencia a las nociones relativas a la seguridad, funcionamiento y mantenimiento de primer nivel, limitadas a las operaciones de mantenimiento de las que es responsable el usuario.
Page 108: Definiciones Y Terminología
Los mensajes de precaución se muestran antes de los procedimientos que, si ¡PRECAUCIÓN! no se observasen, podrían causar daños graves al equipo. Las notas tienen el fin de atraer la atención a la información importante y NOTA proporcionar más detalles acerca de pasos específicos. 108/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 109: Símbolos De Advertencia
Símbolos de advertencia La siguiente lista contiene símbolos que aparecen en conjunción con las advertencias de la TwisTorr 305-IC. El peligro que describen también se muestra. Un símbolo triangular indica una advertencia. Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la documentación o el instrumento mismo son los siguientes: Declaración Europea...
Page 110 Terminal protectora de tierra No tocar Conector principal Near Field Communication (antena de smartphone) Certificación CE Certificación CSA Certificación de Restricción de Sustancias Peligrosas Certificación China RoHS Equipo de Desecho Eléctrico y Electrónico 110/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 111: Seguridad
Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad por daños a la máquina o la seguridad física del operario o terceras partes derivados del incumplimiento de las reglas de seguridad indicadas en la documentación técnica.
Page 112: Uso Incorrecto
Instrucciones de Uso Uso correcto Uso incorrecto Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad derivada del uso incorrecto de la TwisTorr 305-IC. El uso incorrecto anulará todas las reclamaciones por responsabilidad y garantías. El uso incorrecto se define como: instalación de la bomba con el material de montaje incorrecto ▪...
Page 113: Equipo De Protección
➔ Cualquier equipo de peso mayor a 20 kg deberá ser transportado utilizando un dispositivo de elevación. ➔ Lleve calzado de seguridad con punta de acero según la directiva EN 347. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 113/302...
Page 114 ➔ No opere directamente dentro de la brida de alto vaciado. ➔ Si es necesario lleve guantes de protección según EN 420. 114/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 115: Pautas De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
En caso de avería de una parte mecánica de la bomba, la energía de rotación podría pasarse a lo que esté fijada la bomba. ¡ADVERTENCIA! Para evitar daños al equipo y evitar lesiones al personal operativo se deben seguir estrictamente las instrucciones indicadas en el presente manual. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 115/302...
Page 116: Transporte Y Almacenamiento
Si, por cualquier motivo, la vida útil es excedida, la bomba deberá ser devuelta a ¡PRECAUCIÓN! la fábrica. Por favor, contacte con el representante local de Ventas y Servicios de Vacío de Agilent para más información. 116/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 117: Descripción Del Producto
Este equipo está destinado a uso profesional y deberá ser utilizado por profesionales. La TwisTorr 305-IC es una bomba turbomolecular para aplicaciones de vacío ultra alto que puede bombear cualquier tipo de gas o compuesto de gas no corrosivo y oxidante.
Page 118: Instalación
Instalación Instalación Preparación para instalación La TwisTorr 305-IC se proporciona con un embalaje protector especial. Si esta muestra signos de daños que puedan haber ocurrido durante el transporte, contacte con su oficina de ventas local. Evite impactos repentinos a la 305-IC que podrían ser causados al dejarla caer.
Page 119 Instrucciones de Uso Instalación Figura 1 Embalaje de la TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 119/302...
Page 120: Puesta En Marcha
USB y en la conexión DB15. Extraiga estas tapas protectoras solo cuando conecte la bomba al controlador. No extraiga la tapa adhesiva y protectora hasta que esté preparado para ¡PRECAUCIÓN! instalar la turbobomba en el sistema. Figura 2 120/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 121 2 bar por encima de presión atmosférica ▪ temperatura: de +5 °C a +35 °C ▪ humedad relativa: 0 – 90 % (no condensante). ▪ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 121/302...
Page 122: Montaje De La Twistorr 305-Ic
La TwisTorr 305-IC puede ser instalada en cualquier posición. Fije la TwisTorr 305-IC en una posición estable, montando la brida de entrada de la turbobomba en el sistema de la contrabrida, con una conexión capaz de soportar una torsión...
Page 123: Conexión De La Brida De Alto Vaciado
Agilent, es posible que la 305-IC se tuerza o se rompa si el rotor se detiene de repente. La combinación de diferentes tipos de bridas no está permitida. Agilent no aceptará ninguna responsabilidad por daños resultantes de una sujeción incorrecta. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 123/302...
Page 124: Instalación De La Brida Iso-K
Figura 3 Utilice el número de pinzas de garra requerido: 4 para brida ISO 100 ▪ 4 para brida ISO 160 ▪ Apriete las pinzas de garra con una torsión de 22 Nm. 124/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 125: Instalación De La Brida Conflat
En algunos casos, las conexiones solo pueden hacerse con el tornillo en la cara inferior. Tenga cuidado cuando apriete las tuercas y tornillos para evitar abollar la ¡PRECAUCIÓN! envoltura. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 125/302...
Page 126: Conexión De La Bomba Pre-Vaciado
La TwisTorr 305-IC está caracterizada por su tasa de compresión alta y por sus NOTA vapores de aceite. Cuando utilice una bomba mecánica sellada con aceite, es aconsejable instalar un colector adecuado entre la turbobomba y la bomba de prevacío para evitar que se salga el aceite o el particulado de las bombas secas.
Page 127: Puesta En Marcha Y Funcionamiento De Twistorr 305-Ic
DB15 que está montado en la unidad de control. Puede ser utilizado, después de cablearse adecuadamente, tanto para conectar la TwisTorr 305-IC a la fuente de alimentación y a las partes de los accesorios (ventilador, válvulas de descarga) y el puerto serial comm.
Page 128 Instrucciones de Uso Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305-IC ¡ADVERTENCIA! El estado de la bomba será mostrado por las 3 LEDs en el controlador. SÍMBOLO ESTADO LED TON/TOFF SIGNIFICADO Verde Apagado Apagado Encendido, 305-IC OFF, estado: STOP/WAITING parpadeando...
Page 129 Instrucciones de Uso Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305-IC (1) En caso de detectarse avería (LED roja, azul continuo ON), la bomba no puede NOTA girar cuando recibe el comando de inicio. El usuario puede resolver problemas por motivo de la avería al comprobar los mensajes de error mediante la comunicación...
Page 130: Parada De La Twistorr 305-Ic
Este modo debe ser utilizada solo en caso de emergencia. El uso de este modo de parada podría llevar a fallos y/o daños en la bomba. El uso indebido de este modo de parada podría anular la garantía. 130/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 131: Mantenimiento
Como medida de precaución, considerando el uso típico de la bomba y teniendo en cuenta los límites de seguridad, Agilent recomienda devolver la bomba después de 17 años de uso para mantenimiento. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 131/302...
Page 132: Arranque Suave
60 días desde el último momento en FULL SPEED. “ ” Consulte la sección Windows Protocol Limpieza La superficie exterior de la 305-IC puede ser limpiada con detergente suave solamente. 132/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 133: Eliminación
El usuario final deberá contactar con el proveedor del dispositivo, ya sea la Empresa matriz o un minorista, para iniciar el proceso de recolección y eliminación después de comprobar los términos contractuales y las condiciones de venta. Para más información consulte: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 133/302...
Page 134: Servicio
Es obligatorio completar la Solicitud de Devolución para devolver su bomba a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual). 134/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 135: 使用说明
警告、警告和注释的定义警告符号安全正确使用使用不当防护设备涡轮分子泵安全指南运输及存储产品描述安装安装准备设置 TwisTor 305-IC 的安装高真空法兰的连接 ISO-K 法兰的安装 ConFlat法兰的安装前真空泵的连接 TwisTorr 305-IC 的启动和运行停止 TwisTorr 305-IC 紧急停止维护转子寿命慢启动清洗处置方式服务 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 135/302...
Page 136: Twistorr 305-Ic 用户手册
TwisTorr 305-IC 用户手册 136/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 137: 关于这本手册
使用说明关于这本手册关于这本手册有效性本手册列出了TwisTorr 305-IC的用户使用说明，尤其是有关安全、操作和一级维护的概念，仅限于用户负责的维护操作。一些特定章节包含与更高级别的维护（经过专门培训的维护操作人员才能操作）有关的特定规定，用户不得执行此类维护操作。有关正确的安装和启动/停止，请参阅"安装"章节。有关更详细的技术使用，请参阅"操作"章节。本手册包含实用的信息，以确保所有使用 TwisTorr 305-IC 的人员都注意能安全地操作它，并确保其使用寿命达到最高效率。 2. 将本手册以及所有相关出版物保存在所有操作员/维修人员都知道的无障碍位置。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 137/302...
Page 138: 定义和术语
使用说明定义和术语定义和术语警告、警告和注释的定义本手册的一些重要参考资料会以对比色突出显示和框出。警告消息让操作员特别注意特定的程序或操作，如果执行不当，可能导警告！! 致严重的人身伤害。小心消息会在操作过程之前显示，如果未注意到，可能会损坏设备。小心！注意旨在提醒人们注意重要信息，并提供有关具体步骤的更多详细信注意息。 138/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 139: 警告符号
使用说明警告符号警告符号以下是在TwisTorr 305-IC上与警告一起显示的符号列表。还显示了这些符号所指的危险。三角形符号表示警告。在文档或仪器警告旁边可能出现的符号含义如下：欧洲符合性声明请勿触摸直流电源关闭一般危险生产现场电源开启保护接地端子 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 139/302...
Page 140 使用说明警告符号以下符号可用作附在仪器上的警告标签。当您看到此符号时，请参阅相关操作或维修手册，了解该警告标签所指的正确操作过程。以下符号会出现在仪器上以供您参考。电源开启如果为红色，则表示故障如果为黄色，则表示警告 USB 端口保护接地端子请勿触摸主连接器近场通信（智能手机天线） CE 认证 CSA 认证有害物质认证限制 RoHS 中国认证废弃电气和电子设备 140/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 141: 正确使用
使用说明安全安全本节包含机械指令 2006/42/EC 所规定的信息，这些信息对于遵守和遵守安全法规以及机器的具体使用至关重要。如不遵守本手册中包含的这些说明和其他说明，可能会导致设计阶段设想的安全条件效率低下，并导致操作机器的人员发生事故。对由于未遵守技术文档中指示的安全规则而造成的机器损坏或操作人员或第三方的人身安全意外，安捷伦科技公司 (Agilent Technologies)不承担全部责任。正确使用本手册包含重要的警告和安全说明，以确保设备安全工作。本手册中描述的产品仅针对说明中指定的应用领域。本手册还提供了有关产品应用和操作基本要求的指示，以及为保证正常运行可采取的安全措施。对本手册中未描述的应用或未遵守基本要求和安全措施的应用，安捷伦科技公司 (Agilent Technologies)不提供任何保证或承担任何责任。本产品只能由能够在不造成损坏或伤害的条件下采取必要安全措施的合格人员使用。与产品一起使用的任何附件和设备必须由安捷伦科技公司 (Agilent Technologies) 提供或批准。任何调整或维护操作必须由了解风险的专业技术人员执行。产品的维修只能由安捷伦授权的人员执行。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 141/302...
Page 142: 使用不当
使用未指定的安装材料安装泵 ▪ 在没有适当吹扫流量的情况下泵送腐蚀性和氧化性气体（参见"泵与腐蚀性和氧 ▪ 化性气体一起使用"的章节）泵送爆炸气体 ▪ 泵送冷凝蒸汽 ▪ 泵送液体 ▪ 泵送粉尘 ▪ 气体产量过高的情况下作业 ▪ 前真空压力过高的情况下作业 ▪ 使用与实际使用的气体不同的选定气体方式进行操作 ▪ 绝缘热输入水平过高的情况下作业 ▪ 磁场过高的情况下作业 ▪ 使用过高的通风速率进行通风 ▪ 使用真空泵来产生压力 ▪ 在电离辐射区域运行设备 ▪ 在潜在爆炸区作业 ▪ 在冲击应力、振动或周期性力会影响设备的系统中使用设备。 ▪ 142/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 143: 防护设备
使用说明防护设备防护设备进行或执行泵送系统维护的操作员必须始终使用适合操作类型的防护设备。此外，它必须符合使用机器所在国家的现行立法安全要求。通常，操作员在操作 305-IC 时和安装过程中必须穿防事故鞋。警告！在维护或安装过程中有害物质对健康的危害根据工艺特点，真空泵、部件或工作流体可能被有毒、反应性或放射性物质污染。 ➔ 在维护和修理期间或重新安装时，请佩戴合适的防护设备。警告！掉落物体造成人身伤害的风险手动运输真空泵时，存在负载滑倒和坠落的危险。 ➔ 双手携带中小型真空泵。 ➔ 任何重量超过 20 公斤的设备都应使用合适的起重装置进行搬运。 ➔ 根据指令 EN 347，请穿带钢脚趾盖的安全鞋。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 143/302...
Page 144 使用说明防护设备锋利边缘有划伤的风险小心！涡轮泵的转子和定子盘具有非常锋利的边缘。 ➔ 在维修泵之前，或在泵从系统中执行任何安装/拆卸操作之前，等待泵完全停止。 ➔ 请勿直接在高真空法兰内操作。 ➔ 如有必要，请按照 EN 420 佩戴防护手套。 144/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 145: 涡轮分子泵安全指南
使用说明涡轮分子泵安全指南涡轮分子泵安全指南以下操作手册中描述的涡轮分子泵包含大量动能，因为旋转速度高，加上转子拥有特定质量。在泵的机械部件发生故障的情况下，旋转能量可能会释放到泵所固定的任何位置。警告！为避免损坏设备并防止操作人员受伤，应严格遵守本手册中提供的安装说明！ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 145/302...
Page 146: 运输及存储
使用说明运输及存储运输及存储为了保证安捷伦涡轮分子泵的最高性能和可靠性，必须遵循以下准则以避免出现冷凝的情况：运输、移动和存储泵时，不应超出以下环境条件： ▪ 温度范围： -40 °C 至 70 °C ▪ 相对湿度范围：0至90%（非冷凝状态）。 ▪ 涡轮分子泵的保质期从发货日期起为12个月。 ▪ 涡轮分子泵在首次由客户接收和操作时必须进行慢启动。 ▪ 涡轮分子泵必须在泵处于非活动状态的 60天月后进行慢启动。 ▪ 如果由于任何原因超过保质期，必须将泵退回工厂。请联系当地的安捷小心！伦真空销售和服务代表以了解相关信息。 146/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 147: 产品描述
使用说明产品描述产品描述本设备用于专业用途，供专业人员使用。 TwisTorr 305-IC 是一款涡轮分子泵，适用于高真空和超高真空应用，能够泵送任何类型的非腐蚀性和氧化性气体或气体化合物。泵送作用通过由高性能电机驱动的高速涡轮（最大 60600 rpm）获得。它不含污染剂，因此适用于需要"清洁"真空的应用。详细信息可参考"技术信息"章节。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 147/302...
Page 148: 安装准备
使用说明安装安装安装准备 TwisTorr 305-IC 具有特殊的保护包装。如果表现出在运输过程中可能发生损坏的迹象，请联系您当地的销售办事处。避免因放下 305-IC 而对 305-IC 造成突然撞击。请注意保存好包装盒，以便在存放时间过长或运输时重复使用。请勿以未经授权的方式处理包装材料。该材料是100%可回收的，符合 EEC指令94/62号和随后颁布的修正案。为了防止出现漏气问题，不要徒手处理将暴露在真空中的部件。始终使小心！用手套或其他合适的防护装置。正常暴露于环境中不会损坏 TwisTorr 305-IC。不过，还是建议将其密封在注意塑料袋中，直到安装到系统中为止，从而防止灰尘对其造成任何形式的污染。 148/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 149 使用说明安装 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 149/302...
Page 150 使用说明设置设置 305-IC 是一种对静电放电敏感的电子设备，因此，它被装在一个保护袋小心！中，该保护袋的 USB 连接和 DB15 连接均带有保护盖。仅在将泵连接到控制器时才卸下这些保护盖。在准备好将涡轮泵安装到系统中之前，请勿拆下粘合剂和保护盖。小心！ 150/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 151 使用说明设置仅将本设备安装在室内，请勿在暴露于大气物质（雨、冰、雪）、灰尘、腐蚀性气体或爆炸性环境或高火灾风险的环境中使用泵。在操作过程中，必须遵守以下环境条件，以避免冷凝：最大环境压力：比大气压力高 2 bar ▪ 温度：从 +5 °C 到 +35 °C ▪ 相对湿度： 0 ~ 90 % （非冷凝状态）。 ▪ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 151/302...
Page 152: Twistor 305-Ic 的安装
TwisTor 305-IC 的安装 TwisTor 305-IC 的安装警告！如果不遵守这些安装说明可能会导致泵在转子发生故障时与系统分离，从而导致财产损失或严重伤害或死亡。 TwisTorr 305-IC 可安装在任何位置。将TwisTorr 305-IC 固定在稳定位置，将涡轮泵的进气法兰安装到系统对接法兰上，其连接能够承受其轴周围 1000 Nm 的扭矩。带有ConFlat 和 ISO K 入口法兰的涡轮泵必须通过适当的安捷伦硬件固定在真空室上。有关详细信息，请参阅" ConFlat 和 ISO K的安装"章节。 TwisTorr 305-IC 不能通过其底座进行固定小心！ 152/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 153: 高真空法兰的连接
使用说明高真空法兰的连接高真空法兰的连接如果转子突然停止，则必须通过紧固高真空法兰的硬件来吸收产生的扭矩。螺栓或硬件必须符合以下规格。警告！必须以承受“使用说明”章节中指定的扭矩的方式连接泵。特别要注意夹具设计、夹具和螺栓的材料以及螺栓固定扭矩。仅使用高电阻级夹具（或螺栓） = 8.8。警告！如果泵固定在真空室上，其法兰与安捷伦推荐的法兰不同，则转子突然停止时， 305-IC 将会有扭曲或撕裂的可能性。不允许将不同法兰类型组合使用。安捷伦对因紧固不当造成的所有损害不承担任何责任。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 153/302...
Page 154: Iso-K 法兰的安装
使用说明 ISO-K 法兰的安装 ISO-K 法兰的安装对于ISO-K法兰连接，请使用下图所示的IC63250DCMZ型夹具或等效夹具固定两个法兰（可选使用保护屏）。使用所需数量的夹钳： 4 表示 ISO 100 法兰 ▪ 4 表示 ISO 160 法兰 ▪ 以 22 Nm 的扭矩拧紧夹钳。 154/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 155: Conflat 法兰的安装
使用说明 ConFlat 法兰的安装 ConFlat 法兰的安装对于ConFlat法兰连接，请如下图所示用螺钉固定两个法兰（可以选择使用保护屏）。使用所需数量的螺钉： 16 表示 CFF 6" ▪ 20 表示 CFF 8" ▪ 连接装置并依次拧紧每个螺钉。重复顺序拧紧，直到法兰面相重合。以 20 Nm 的扭矩拧紧螺钉。对于 ConFlat 法兰，我们建议仅使用高强度钢螺栓。为了便于组装和拆卸，可以选择将Felpro C-100高温润滑剂涂在法兰突出的螺母上以及螺母与法兰之间的螺纹上。在某些情况下，只能使用下侧的螺栓进行连接。拧紧螺母和螺栓时应小心谨慎，避免在部件中造成凹痕。小心！ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 155/302...
Page 156: 前真空泵的连接
使用说明前真空泵的连接前真空泵的连接应使用 TwisTorr 305-IC 上提供的 KF 16 NW 法兰进行前级连接。与前级泵的连接可以通过真空额定软管或管道进行。如果使用刚性管道，则必须使用波纹管来抑制机械泵产生的任何振动。 TwisTorr 305-IC 的特点是它对油蒸气的高压缩比。使用机械油封泵时，建注意议在涡轮泵和前真空泵之间安装合适的疏水阀，以防止干泵的机油或颗粒回流。 156/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 157: Twistorr 305-Ic 的启动和运行
如要通过板载控制器启动TwisTorr 305-IC，请向泵提供适当的电源电压，并按照"启动(START)"和"互锁(INTERLOCK)"信号进行操作。识别这些信号后，控制器将启动泵。 (1) 为了查找电源电压输入引脚的位置（在输入/输出和电源连接器上），注意以及输入电压允许值，请参阅本说明手册中的"技术规格"章节和" 输入/输出和电源"章节。 (2) 为了查找启动/停止和互锁输入引脚的位置（在输入/输出和电源连接器上），以及相关的电气额定值，请参阅本说明手册的"输入/出站和电源"部分。 (3) 要查找有关如何连接启动/停止和互锁信号的详细信息，请参阅本说明手册中的"如何连接控制器的集电极开路输入"章节。 (4) TwisTorr 305-IC 配有 DB15 配对连接器，而不是预接线。该 DB15 配对连接器适合承受控制器供电所需的电流水平，并且与安装在控制单元上的 DB15 连接器完全兼容。在正确布线后，它既可用于将 TwisTorr 305-IC 连接到电源，也可以连接到附件部件（冷却风扇、排气阀）以及串行通信。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 157/302...
Page 158 LED 灯 TON/TOFF LED 状态含义象征电源关闭绿色关 305-IC 关闭，状态：停止/等待互锁/故障开，闪烁 305-IC 打开，目标速度尚未达到，状态：正在启动开，反向闪烁（RAMP）/自动调谐 305-IC 打开，达到目标速度，状态：正常操作。开，实心光 305-IC 打开，减速，状态：制动开，闪烁关无警告黄色警告开，实心光红色关无故障故障开，实心光 158/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 159 NORMAL 等）的状态显示（在串行通讯上，并通过绿色的 LED 灯指示）。 (2) 如果检测到警告（黄色 LED 灯，实心光），泵可以在收到启动命令时正确旋转。用户可以通过串行通信检查错误消息并参考建议的操作列表来排除警告原因。检测到警告条件后，设备继续工作，没有中断，以适合当前工作状态（RAMP，NORMAL 等）的状态显示（在串行通讯上，并通过绿色的 LED 灯指示）。这是因为警告与泵功能的任何停用条件均无关。解决警告的原因后，黄色 LED 指示灯将立即关闭，在大多数情况下，用户不需要在 305 IC 上进行任何进一步的操作，仅在极少数情况下，需要正确重置警告信号，用户必须关闭设备电源.。警告！泵的初始启动将处于"慢启动"模式;有关此模式的详细信息，请参阅第 162 页的专用章节。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 159/302...
Page 160: 停止 Twistorr 305-Ic
使用说明停止 TwisTorr 305-IC 停止 TwisTorr 305-IC 如在非紧急的情况下停止 305-IC，必须： a）如果 305-IC 配置了远程模式，并且"互锁（INTERLOCK）"设置为连续模式，则打开"启动（START）"或"互锁（INTERLOCK）"信号; b）如果 305-IC配置了远程模式，并且"互锁（INTERLOCK）"设置为"脉冲模式"，则打开"启动（START）"信号; c）如果 305-IC 配置了串行模式，则向 305-IC 发送"停止（STOP）"命令。紧急停止通过卸下电源可以实现紧急停止。警告！此模式仅在紧急情况下使用。使用此停止模式可能导致泵出现故障和/ 或损坏。不正确使用此停止模式可能会使保修失效。 160/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 161: 转子寿命
使用说明维护维护除非黄色 LED 指示灯打开，否则无需进行维护。如要检查错误，您可以通过串行连接读取代码。如果泵放置时间较长，建议对 DB15 连接进行目视检查，以确保其没有被氧化。任何其他维护必须由授权人员进行。在对系统进行任何操作之前，将其从电源断开，用排气阀向泵排气，警告！在转子完全停止后，等待泵的表面温度降低到 50°C 以下。如果泵发生故障，您可以使用安捷伦维修服务或 "安捷伦高级替换服务"，它会为您提供一个再制造系统，以取代故障的系统。发送订单后，用于替换的305-IC将被寄出。然后，您可以将出现故障的305-IC放入箱子以退回。在将泵退回给制造商进行维修或使用高级替换服务之前，必须填写并发送注意本说明手册上随附的"退货请求"表格。在装运前，必须在系统包装中插入相同的副本。如果需要废除系统，请确保在遵守当地法规的情况下进行适当处置。转子寿命在理论的基础上估计，305-IC涡轮分子泵转子的抗疲劳性为从停止到全速再回到停止的405000次循环。考虑到泵的通常使用情况以及安全限制，作为预防措施，安捷伦建议在使用 17 年后退回泵以进行维护。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 161/302...
Page 162: 慢启动
使用说明慢启动慢启动警告！为确保轴承的正确润滑，泵具有被称为“慢启动”的默认设置。如果泵已长时间未被使用或在其初始启动状态，控制器将自动以慢启动模式启动。这种操作模式使产品需要较长时间内来达到速度。用户无法停用此自动操作模式。用户可以决定始终以"慢启动模式"来启动产品，按照下面指定的相应串行命令来进行操作。在长时间不活动之后，“软启动”模式可以正确分配轴承中存在的润滑脂。在以下情况下，将自动激活"慢启动"模式：初次启动; 在达到“全速”状态的最后一刻起的60天后。此模式可以使用串行命令 WIN100 进行手动激活。警告！ WIN 100 对于初次启动和在达到“全速”状态的最后一刻起的 60 天后的自动慢启动没有影响。请参阅"Windows 协议"章节。清洗 305-IC 的外表面只能用温和的洗涤剂清洗。 162/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 163: 处置方式
使用说明处置方式处置方式标签中的"WEEE"徽标的含义以下符号根据 EC WEEE（废弃电气和电子设备）指令进行应用。该符号（仅在欧洲共同体国家有效）表示其适用的产品不得与普通家庭或工业废物一起处理，而必须送往差别化废物收集系统。因此，请最终用户在检查合同销售条款和条件后，联系设备的供应商（无论是母公司还是零售商）启动收集和处置流程。有关详细信息，请参阅： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 163/302...
Page 164 使用说明服务服务如果客户需要高级替换或维修服务，请联系当地经销商或直接发送邮件至 vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 需要填写退货申请表才能将泵退回到安捷伦维修部门（在本手册末尾会提供）。 164/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 165: 使用方法
有効性定義と用語警告・注意・注の定義警告の記号安全性適切な使用不適切な使用保護用装備ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン移送＆保管製品説明取り付け取り付けの準備セットアップ TwisTorr 305-IC 実装高真空フランジの接続 ISO-K フランジの取り付け ConFlatフランジの取り付けフォア真空ポンプの接続 TwisTorr 305-ICの起動開始と操作 TwisTorr 305-ICを停止する緊急停止メンテナンスローターの寿命ソフトスタートクリーニング廃棄サービス TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 165/302...
Page 166: Twistorr 305-Ic ユーザーマニュアル
TwisTorr 305-IC ユーザーマニュアル 166/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 167: このマニュアルについて
使用方法このマニュアルについてこのマニュアルについて有効性このマニュアルは、特に安全、操作、またユーザーが負うべきメンテナンスの操作に限定される第一レベルのメンテナンスについての理解に関係するTwisTorr 305-IC の使用者への説明を記載しています。指定のセクションに説明されていますが、高いレベルのメンテナンス（メンテナンス操作に特定の訓練を受けた者）に関係する特定の規定のメンテナンス操作は、使用者が実行してはいけません。正しい取り付けと起動/停止については、「取り付け」の章をご確認ください。更に詳細な技術的な使用には、「操作」の章をご確認ください。 1. このマニュアルは、有益な情報を含んでいるため、全ての TwisTorr 注 305-IC の使用者は、製品寿命にわたり安全に操作することができ、また完全な能率性を保証します。 2. 全ての操作者/メンテナンス担当者が承知している入手しやすい場所に、全ての関係する書類と共にこのマニュアルを保管してください。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 167/302...
Page 168: 定義と用語
使用方法定義と用語定義と用語警告・注意・注の定義このマニュアルのいくつかの重要な参照部は、対比色でハイライトされ枠で囲ってあります。「警告」のメッセージは、もし正しく操作されない場合に、重大な人警告!! 身障害につながる可能性がある特定の操作や実行への操作者の注意の必要性を示しています。「注意」のメッセージは、もし監視されていない場合に装置に損害が注意! 生じる可能性を示しています。「注」は、重要な情報への注意喚起と特定の工程に関してのより詳細注な情報を提供しています。 168/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 169: 警告の記号
使用方法警告の記号警告の記号下記は、TwisTorr 305-IC上の警告と併せて表示される記号のリストです。危険性の説明も記載されています。三角の記号は警告を示しています。説明書内または装置上の警告記号と供に示されうる記号の意味は下記の通りです： CE 適合宣言書直流触らないでください電源オフ包括的な危険製造所電源オン保護接地端子 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 169/302...
Page 170 使用方法警告の記号下記の記号は、装置に貼り付けられた警告ラベル上に使用されることがあります。もしこの記号を目視した場合、その警告ラベルに関する正しい工程のために、関連する操作またはサービスマニュアルを参照してください。参考情報として、下記の記号は装置上に示されます。主要電源オンもし赤い場合、機能不良を意味しますもし黄色い場合、警告を意味します USB ポート保護接地端子触らないでください主要コネクター近距離無線通信(スマートフォンのアンテナ) CE 認証 CSA 認証 EU RoHS 指令認証中国 RoHS 指令認証廃電気・電子製品に関する EU WEEE 指令 170/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 171: 安全性
安全性このセクションは、一般的、かつ機械の特定の使用に関する安全規定の遵守と監督に必須である機械指令（Machinery Directive 2006 / 42/ EC）の情報を含みます。これらの指示とこのマニュアル内のその他の指示に従わなかった場合、設計時に予測された安全状態が非効率に損なわれ、機械を操作する者へ事故が生じる可能性があります。アジレント・テクノロジー株式会社は、技術的な参照書に示された安全規定の不順守により派生した、機械または操作者もしくは第三者の身体的安全への損害・損傷の責任を全て拒否します。適切な使用このマニュアルは、装置一式が安全に機能するために遵守されるべき重要な警告と安全の手引きを含みます。このマニュアルに説明されている製品は、説明書に特記されている分野への活用に限定した目的のものです。マニュアルはまた、製品の活用と操作に必須の要件に関する指示と標準の操作を保証するために適用される安全対策を提供します。アジレント・テクノロジー株式会社は、このマニュアル内説明されているもの以外の適用、または必須の要件や安全対策に注意が払われていない場合にいかなる保証も提供せず、またはいかなる責任も負いません。製品は、損傷や怪我を生じさせない状況下において必要な安全対策を講じることができる有資格者のみ使用することができます。製品と供に使用されたいかなる付属品や機器も、アジレント・テクノロジー株式会社により共有もしくは承認されたものでなければなりません。いかなる調整またはメンテナンスの操作は、リスクについて承知している専門家の技術者により実行されなければいけません。製品の修理は、専らアジレント・テクノロジー株式会社により行われなければなりません。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 171/302...
Page 172: 不適切な使用
適切な浄化の流れなしに腐食性ガスや酸化ポンプすること（「腐食性ガスや ▪ 酸化ガスとともに使用されるポンプ」を参照ください）爆発性のガスをポンプすること ▪ 凝縮した蒸気をポンプすること ▪ 液体をポンプすること ▪ 粉末をポンプすること ▪ 不適切な高ガス量での操作 ▪ 不適切な高圧補助真空での操作 ▪ 実際に使用されるガスのものとは異なる選択されたガスのモダリティでの操 ▪ 作不適切な高レベルの断熱材料での操作 ▪ 不適切な高い磁界での操作 ▪ 不敵な高い通気率での通気 ▪ 圧力を生じさせるための真空ポンプの使用 ▪ 電離放射線の範囲内での機器の操作 ▪ 潜在的に爆発性がある範囲での操作 ▪ 衝撃のある圧力や振動または定期的な力が機器に影響するシステム内での機 ▪ 器の使用 172/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 173: 保護用装備
護装置は、実行される操作タイプに常に適切なものでなければなりません。更に、それは機械が使用される該当国の法律に準拠する安全上の必要条件に従うものでなければなりません。一般的に。一般的に、操作者は 305-ICを操作している時や取り付けの時に事故防止の靴を着用しなくてはなりません。メンテナンスまたは取り付け時に、有害物質による健康警告! への危険過程の異常な点により、真空ポンプ、構成部分、または操作液は、有害物質、反応性物質、もしくは放射性物質に汚染される場合があります。 ➔ メンテナンスや修理、もしくは再度取り付け時には適切で十分な保護装備を着用してください。装置の落下による損傷のリスク警告! 真空ポンプを手で運搬する場合、荷重が滑り落ちる危険があります。 ➔ 両手で小型・中型の真空ポンプを運んでください。 ➔ 20 kg 以上のいかなる装置も、適切なリフトの機器を使用して運搬されなければなりません。 ➔ 指令 EN 347 に従ったつま先キャップがスチール製の安全靴を着用してください。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 173/302...
Page 174 使用方法保護用装備鋭い縁による損傷のリスク注意! ターボポンプのローターと固定子ディスクは、縁が非常に鋭くなっています。 ➔ ポンプを修理する前、またはシステムからポンプのいかなる取り付け/取り外しをする前に、ポンプの完全な静止をお待ちください。 ➔ 高真空フランジ内で直接操作しないでください。 ➔ 必要に応じて、指令 EN 420 に従った保護手袋を着用してください。 174/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 175: ターボ分子ポンプ用安全ガイドライン
使用方法ターボ分子ポンプ用安全ガイドラインターボ分子ポンプ用安全ガイドライン下記の操作マニュアルに説明されるターボ分子ポンプは、それらローターのt特定の質量との組み合わせで高回転速度により大量の運動エネルギーを含有します。ポンプの機械的な部分の機能不良の場合、回転エネルギーはポンプが固定されているどの部分へも放出されています。装置の損傷と操作者の怪我を避けるために、このマニュアルに記載さ警告! れた取り付けの指示に厳密に従ってください！ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 175/302...
Page 176: 移送＆保管
移送＆保管移送＆保管アジレントのターボ分子ポンプの最大レベルの性能と責任を保証するため、凝縮を避けるために下記のガイドラインに従わなければなりません：ポンプを輸送、移動、保存する時は、下記の環境仕様を超過して ▪ はいけません：温度範囲： -40 °C から 70 °Cまで ▪ 相対湿度範囲： 0 から 90 %まで（結露なし） ▪ ターボ分子ポンプの保存可能期間は出荷日から12ヶ月です。 ▪ お客様がポンプを受け取ってから最初に操作する際には、ターボ ▪ 分子ポンプは常にゆっくりと開始されなければなりません。ポンプを60日間月以上使用していない場合、ターボ分子ポンプは ▪ 常にゆっくりと開始されなければなりません。もしいかなる理由により保存可能期間を超過した場合、ポンプは工場注意! へ返送されなければなりません。アジレントの現地の販売者やサービス担当者へ情報をお問い合わせください。 176/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 177: 製品説明
使用方法製品説明製品説明この装置は専門家の使用向けで専門家により使用されることを対象としています。 TwisTorr 305-IC は、腐食性でないガスや酸化性でないガス、またはガス混合物のどんなタイプでもポンプ可能な、高真空・超高ターボ真空装置です。ポンプの動作は、高性能電子モータにより駆動し高速タービン（最大 60600 rpm）により得られます。汚染物質がなく、ゆえに「清潔な」真空を必要とする活用に最適です。より詳細な情報は、「技術的情報」のセクションに記載されています。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 177/302...
Page 178: 取り付け
使用方法取り付け取り付け取り付けの準備 TwisTorr 305-ICは、特別に保護された梱包により供給されます。もしこれに輸送中に発生した可能性のある損傷の跡がある場合、現地の販売営業所へお問い合わせください。落下等による305-IC への突然の衝撃は避けてください。長期間の保存または輸送の場合のために、梱包ボックスを保持するようにご注意ください。許可されていない方法で梱包材料を破棄しないでください。材料は 100% リサイクルが可能で、EEC指令94/62とそれに準ずる改正を遵守しています。ガス放出の問題を避けるために、真空に露出される構成部を素手で取注意! り扱わないでください。常に手袋やその他適切な保護製品をご使用ください。通常環境への露出は、TwisTorr 305-IC を損傷しません。しかしながら、注ちり・ホコリによるいかなる種類の汚染を防ぐので、システムに取り付けられるまでビニールの袋に密閉して保管することが推奨されます。 178/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 179 使用方法取り付け図１ TwisTorr 305-IC の梱包 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 179/302...
Page 180: セットアップ
使用方法セットアップセットアップ 305-IC は、静電放電に敏感な電子機器であり、この点において USB 接続注意! と、また DB15 接続上でキャップ付きの保護バッグに入って提供されています。ポンプをコントローラーに接続する時にのみ、これらの保護キャップを取り外します。システムへターボポンプを取り付ける準備ができるまで、粘着材と保注意! 護キャップを取り外さないでください。図２ 180/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 181 使用方法セットアップこの機器は屋内でのみ取り付けてください。また、ポンプを大気物質（雨、氷、雪）、ちり・ホコリ、侵略的ガスなどに露出する環境、または爆発の可能性がある環境、または燃えやすい環境下では使用しないでください。操作中、凝縮をさけるために下記の環境状況は遵守されなければいけません：最大環境気圧：大気圧上 2 バール ▪ 温度：+5 °C から +35 °C まで ▪ 相対湿度： 0 – 90 % （結露なし） ▪ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 181/302...
Page 182: Twistorr 305-Ic 実装
TwisTorr 305-IC 実装 TwisTorr 305-IC 実装これらの取り付け説明が遵守されなかった場合、ローターの故障の際警告! にシステムからのポンプの分離を引き起こし、それにより土地建物が損害を受けるか、重大な損傷や死亡事故につながる可能性があります。 TwisTorr 305-IC はどんな位置でも取り付けることができます。TwisTorr 305-IC を暗転した位置に固定し、軸回りに1000 Nmトルクの耐荷重の接続でターボポンプの吸気フランジをシステムの対フランジへはめます。 ConFlat と ISO K 吸気フランジのターボポンプは、適切なアジレントのハードウェアを用いて真空チェンバーへ固定されなければなりません。更なる詳細は、「ConFlatとISO Kの取り付け」セクションをご覧ください。 TwisTorr 305-IC はその土台では固定できません。注意! 182/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 183: 高真空フランジの接続
使用方法高真空フランジの接続高真空フランジの接続もしローターが突然停止した場合、結果として生じるトルクは高真空フランジを留めているハードウェアにより吸収されなければいけません。ボルトまたはハードウェアは下記の仕様に適合していなければいけません。必ず「使用の説明」セクションに指定されているトルクに耐える方法警告! でポンプを接続しなくてはいけません。特に、クランプのデザイン、材料、ボルト、ボルトの固定トルクに注意してください。高い耐荷重性クラスのクランプ（またはボルト）を使用してください ≥ 8.8。もしポンプが、アジレントが推奨するものとは異なるフランジで真空警告! チェンバー上に締め付けられた場合、ローターが突然停止した際に 305-IC がねじ曲がるまたは引き裂かれる可能性があります。異なるフランジタイプの組み合わせは禁止されています。アジレントは不適切な締め付けにより生じた全ての損害・損傷にいかなる責任も負いません。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 183/302...
Page 184: Iso-K フランジの取り付け
使用方法 ISO-K フランジの取り付け ISO-K フランジの取り付け ISO-K フランジの接続には、下記の図に示される通り、クランプのモデルIC63250DCMZ または同等のもので2つのフランジを固定します（オプションとして保護スクリーンを使用できます）。図３必要な個数のクロウクランプを使用してください： ISO 100 フランジ – 4個 ▪ ISO 160 フランジ – 4個 ▪ クロウクランプは、22 Nm のトルクできつく締めてください。 184/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 185: Conflat フランジの取り付け
ConFlat フランジの接続には、下記の図に示される通り、2つのフランジをネジで固定します（オプションとして保護スクリーンを使用できます）。図４必要な個数のネジを使用してください： CFF 6” – 16個 ▪ CFF 8” – 20個 ▪ • ユニットをくっつけ、交互に各ネジを締めます。フランジの面が合うまで引き続き締め付けを繰り返します。20 Nm のトルクでネジを締めます。 ConFlatフランジには、当社は高強度のスチールボルトのみを使用することを推奨します。組み立てと解体を円滑にするため、オプションとしてFelpro C-100 高温潤滑剤をフランジから突き出ているネジ山と、ナットとフランジの間へ注入できます。場合によっては、下側ではボルトでのみ接続できます。ナットとボルトを締めるときは、エンベロープにへこみができないよ注意! うに注意してください。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 185/302...
Page 186: フォア真空ポンプの接続
使用方法フォア真空ポンプの接続フォア真空ポンプの接続フォアラインの接続は、TwisTorr 305-IC 上に提供されるKF 16 NW フランジを使用して行ってください。フォアラインポンプの接続は、真空定格ホースまたはパイプで行うこともできます。もし硬いパイプが使用された場合、機械ポンプにより発生したいかなる振動も、下記の使用により減衰されなければなりません。 TwisTorr 305-IC は、その高圧縮比とオイル蒸気が特徴的です。機械油注密封式ポンプを使用する時、オイルまたは微粒子が乾燥したポンプより逆流するのを避けるために、ターボポンプと補助真空ポンプの間に適切なトラップを取り付けることを推奨します。 186/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 187: Twistorr 305-Ic の起動開始と操作
(1) 供給ボルテージの出力ピン（イン/アウトと電源供給コネクター上）注の場所、また出力ボルテージの許容値を見つけるには、「技術仕様」とこの説明マニュアルの「イン/アウトとパワー供給」のセクションを参照してください。 (2) 「開始/停止」と「連動」出力ピン（イン/アウトと電源供給コネクター上）の場所、また関連する電気定格を見つけるには、この説明マニュアルの「イン/アウトとパワー供給」のセクションを参照してください。 (3) 「開始/停止」と「連動」信号の接続の仕方の詳細を見つけるには、この説明マニュアルの「コントローラーのオープンコレクタ出力を接続する方法」のセクションを参照してください。 (4) TwisTorr 305-IC は、組み合わせコネクタの DB15 が付属しており、プレ配線はされていません。この DB15 組み合わせコネクタは、コントローラーに供給するのに必要な電流レベルに耐えるのに最適で、またコントロールユニットに備え付けられた DB15 コネクタに完全に互換性があります。TwisTorr 305-IC と供給ソースへの接続や付属部品（冷却ファン、通気弁）への接続両方、またシリアル通信への接続など、適切な配線の後に仕様できます。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 187/302...
Page 188 TON/TOFF 記号意味オフ電源オフ緑 305-IC オフ、状態：停止/連動待機/故障オン、点滅 305-IC オン、目的速度にまだ到達していません、オン、逆点滅状態：開始中（ランプ）/自動チューニング 305-IC オン、目的速度に到達しました、状態：オン、固定の点灯正常 OP. 305-IC オン、速度減退、状態：制動オン、一定点滅黄色オフ警告なし警告オン、固定の点灯オフ機能不良なし赤機能不良オン、固定の点灯 188/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 189 しく操作すると、電流作用状況に適切（ランプ、正常など）な状態（シリアル通信上と緑 LED の表示）を表示します。 (4) 警告（黄色い LED、固定の点灯）が検出された場合、開始コマンドを受けるとポンプは正しく回転します。使用者はシリアル通信を経由したエラーメッセージを確認し、また推奨されるアクションリストを参照することにより、警告の事由を解決することができます。警告の状態が検出されると、ユニットは中断なしに動作を継続し、電流作用状況に適切（ランプ、正常など）な状態（シリアル通信上と緑 LED の表示）を表示します。これは、警告はポンプの機能にいかなるブロッキング状態にも関係していないからです。警告の事由が解決された後は、黄色の LED ライトがすぐに消え、だいたいの場合には、使用者は 305 IC に何もそれ以上のアクションを行う必要はありません。ごくまれな場合に、警告信号を適切にリセットするために、使用者はユニットの電源をオフにしなければなりません。ポンプの最初の起動開始は、「ソフトスタート」モードです；このモ警告! ードのより詳細な情報は、特化したセクションの 192 ページを参照してください。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 189/302...
Page 190: Twistorr 305-Ic を停止する
使用方法 TwisTorr 305-IC を停止する TwisTorr 305-IC を停止する緊急時ではない時に305-ICを停止するには、下記が必要です： a) もし305-ICが「リモートモード」に設定されている場合、また「連動」が「継続モード」に設定されている場合には、「開始」または「連動」信号を開いてください； b) もし305-ICが「リモートモード」に設定されている場合、また「連動」が「インパルスモード」に設定されている場合には、「開始」信号を開いてください； c) もし305-ICが「シリアルモード」に設定されている場合、305-ICへ「停止」コマンドを送信してください。緊急停止電源供給を切ることにより緊急停止します。これは緊急時にのみ使用されるべきモードです。この停止モードの使警告! 用は、ポンプに障害及び/または損害が生じる可能性があります。この停止モードの不適切な使用は、保証が無効となりえます。 190/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 191: メンテナンス
メンテナンスメンテナンスメンテナンスは、黄色いLEDがオン出ない限り必要ではありません。エラーを確認するために、シリアル接続を通したコードを読むことができます。もしポンプが長い時間不稼働であった場合、酸化がないことを確認するため、DB15接続の目視確認が推奨されます。システム上でいかなる動作を実行する前に、電源供給を切り、通気警告! 弁でポンプを通気し、ローターが完全に停止して待ちポンプの表面温度が 50° C 以下になるまで待ってください。ポンプが故障した場合、アジレントの修理サービスまたは、故障したシステムを取り替えてお客様へ再製造のシステムを提供する「アジレント最新交換サービス」を利用することができます。交換の305-IC は、ご注文がなされた時に郵送されます。そして、交換の305-ICが届いた箱に故障した305-ICを入れて返送してください。製造者へ修理または最新交換サービスのためにポンプを返送する前に、注この説明マニュアルに添付されている「返品の申請」フォームを記入し、現地の販売事務所へ送信する必要があります。システムの梱包に、郵送する前に同フォームのコピーを入れてください。もしシステムを廃棄する必要がある場合、適切な破棄のために現地の条例に従うようご確認ください。ローターの寿命理論的評価による305-IC ターボ分子ポンプローターの疲労抵抗は、停止状態から最大速度、さらに停止までの、ランプの405000サイクルです。予防措置として、典型的なポンプの使用と安全制限を考慮に入れると、アジレントは17年間の使用後にメンテナンスのためポンプを返品することを推奨します。 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 191/302...
Page 192: ソフトスタート
軸受部の適切な注油を確保するため、ポンプは「ソフトスタート」警告! と呼ばれるデフォルト設定になっています。もしポンプが長期間不稼働だった場合、または最初の起動開始の場合、コントローラーは自動的にソフトスタートで開始します。この操作のモードにより、製品は長時間に渡って速度を上げます。この自動操作モードは、使用者により設定解除できません。使用者は、下記に示される適切なシリアルコマンドで作動することで、常に「ソフトスタートモード」で製品を開始する決定ができます。「ソフトスタート」モードは、長期間の不稼働後に、軸受部内の油の正確な再分配を可能にします。「ソフトスタート」モードは、下記の場合に自動的にアクティベートされます：最初の起動時；「最大速度」状態になった最後の瞬間に達してから60 日後。このモードは、シリアルコマンドの WIN100 を使用して手動でアクテ警告! ィベートできます。 WIN 100 は、最初の起動開始時と「最大速度」の最後の瞬間から 60 日後の自動ソフトスタートには無効です。「ウィンドウズプロトコル」のセクションをご覧ください。クリーニング 305-ICの外側表面は中性洗剤でのみ、お手入れをすることができます。 192/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 193 使用方法廃棄廃棄ラベル上に表示された「WEEE」ロゴの意味下記の記号はEC WEEE指令（電気電子廃棄物指令）に従い適用されたものです。この記号（欧州諸共同体でのみ有効）は、製品は通常の家庭ゴミまたは産業廃棄物と一緒に廃棄されてはいけないこと、また分化された廃棄物収集システムへ送られなければいけないことを示します。従って、エンドユーザーは、販売の契約条件を確認した後に、収集と廃棄工程を始めるために、親会社かもしくは小売業者であろうと、機器の供給者へ問い合わせることが推奨されます。さらなる情報は下記をご確認ください： http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 193/302...
Page 194: サービス
使用方法サービスサービスお客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は、現地代理店もしくは下記まで直接ご連絡ください： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 返品フォームの申請の完了には、サービス提供のためにお客様のポンプをアジレント・テクノロジー株式会社へ返送する必要があります。（このマニュアルの最後に提供されています）。 194/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 195: Instructions For Use
TwisTorr 305-IC Mounting Connection of the High Vacuum Flange Installation of ISO-K Flange Installation of ConFlat Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump Startup and Operation of the TwisTorr 305-IC Stopping the TwisTorr 305-IC Emergency stop Maintenance Rotor life Soft Start...
Page 196: Twistorr 305-Ic User Manual
TwisTorr 305-IC User Manual 196/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 197: About This Manual
About this manual About this manual Validity This manual lists the instructions for the users of the TwisTorr 305-IC, with particular reference to the notions relating to safety, operation and first level maintenance, limited to maintenance operations for which the user is responsible.
Page 198: Definitions And Terminology
Caution messages are displayed before procedures which, if not observed, could CAUTION! cause damage to the equipment. Notes are intended to call attention to important information and provide more NOTE detail regarding specific steps. 198/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 199: Warning Symbols
Warning Symbols The following is a list of symbols that appear in conjunction with warnings on the TwisTorr 305-IC. The hazard they describe is also shown. A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may appear alongside warnings in the documentation or on the instrument itself are...
Page 200 If yellow, it means warning USB port Protective Ground Terminal Do Not Touch Main connector Near Field Communication (smartphone's antenna) CE certification CSA certification Restriction of Hazardous Substances certification RoHS China certification Waste Electrical and Electronic Equipment 200/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 201: Safety
Agilent Technologies declines all responsibility for damage to the machine or for the physical safety of the operator or third parties deriving from the non- observance of the safety rules indicated in the technical documentation.
Page 202: Improper Use
Instructions for Use Improper Use Improper Use Agilent Technologies declines all responsibility, deriving from the improper use of the TwisTorr 305-IC. Improper use will cause all claims for liability and warranties to be forfeited. Improper use is defined as: installation of the pump with unspecified mounting material ▪...
Page 203: Protective Equipment
➔ Carry small and mid-size vacuum pumps two-handed. ➔ Any equipment heavier than 20 kg should be trasnported using a suitable lifting device. ➔ Wear safety shoes with steel toe cap according to directive EN 347. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 203/302...
Page 204 ➔ Do not operate directly inside the high vacuum flange. ➔ If necessary wear protective gloves according to EN 420. 204/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 205: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 205/302...
Page 206: Transport & Storage
60 days of inactivity of the pump. If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for information. 206/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 207: Product Description
This equipment is intended for professional use and to be used by professionals. The TwisTorr 305-IC is a turbomolecular pump for high and ultrahigh vacuum applications which is able to pump any type of non corrosive and oxidizing gas or gas compound.
Page 208: Installation
Installation Installation Preparation for Installation The TwisTorr 305-IC is supplied in a special protective packaging. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. Avoid sudden impacts to the 305-IC that would be caused by dropping it. Be aware to maintain the packaging box in order to reuse it in case of storage for a long period of time or in case of shipping.
Page 209 Instructions for Use Installation Figure 1 TwisTorr 305-IC packaging TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 209/302...
Page 210: Set-Up
DB15 connection. Remove these protective caps only when connecting the pump to the controller. Do not remove the adhesive and protective cap until you are ready to install the CAUTION! turbopump to the system. Figure 2 210/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 211 During operation, the following environmental conditions must be complied with in order to avoid condensation: maximum ambient pressure: 2 bar above atmospheric pressure ▪ temperature: from +5 °C to +35 °C ▪ relative humidity: 0 – 90 % (non-condensing). ▪ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 211/302...
Page 212: Twistorr 305-Ic Mounting
The TwisTorr 305-IC can be installed in any position. Fix the TwisTorr 305-IC in a stable position, mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter-flange, with a connection capable of withstanding a torque of 1000 Nm around its axis.
Page 213: Connection Of The High Vacuum Flange
Agilent, there is the chance of the 305-IC twisting or tearing-off in case the rotor suddenly stops. The combination of different flange types is not allowed. Agilent will not accept any liability for all damages resulting from improper fastening. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 213/302...
Page 214: Installation Of Iso-K Flange
(a protective screen can optionally be used). Figure 3 Use the required number of claw clamps: 4 for ISO 100 flange ▪ 4 for ISO 160 flange ▪ Tighten the claw clamps with a torque of 22 Nm. 214/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 215: Installation Of Conflat Flange
In some cases, the connections can be made only with the bolt in the lower side. Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 215/302...
Page 216: Connection Of The Fore-Vacuum Pump
The foreline connection should be made using the KF 16 NW flange provided on the TwisTorr 305-IC. The connection to the foreline pump can be made by a vacuum rated hose or pipe. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be damped through the use of bellows.
Page 217: Startup And Operation Of The Twistorr 305-Ic
It can be used, after properly wiring, both to connect the TwisTorr 305-IC to the supply source as well as to the accessory parts (cooling fan, vent valves) and also to the serial comm.
Page 218 Instructions for Use Startup and Operation of the TwisTorr 305-IC WARNING! The status of the pump will be displayed by the 3 LEDs on the controller. SYMBOL LED STATUS TON/TOFF MEANING Green Power Off 305-IC OFF, status: STOP/WAITING On, flashing...
Page 219 Instructions for Use Startup and Operation of the TwisTorr 305-IC (3) In case a Malfunction (Red LED, ON Solid light) is detected, the pump cannot spin NOTE upon receiving the start command. The user can troubleshoot the reason for the malfunction by checking the error messages via serial communication and also referring to the list of suggested actions.
Page 220: Stopping The Twistorr 305-Ic
This mode is to be used only in an emergency. The use of this stop mode could lead to faults and/or damages at the pump. Improper use of this stop mode could void the warranty. 220/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 221: Maintenance
As a precautionary measure, considering the typical usage of the pump and taking into account safety limits, Agilent recommends to return the pump after 17 years of use for maintenance. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 221/302...
Page 222: Soft Start
The WIN 100 has no effect on the automatic soft start at the first starting and after 60 days from the last moment in FULL SPEED. See “Windows Protocol” section. Cleaning The exterior surface of the 305-IC may be cleaned with mild detergent only. 222/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 223: Disposal
Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 223/302...
Page 224: Service
Should a customer need an advanced exchange or repair service, please contact local distributor or directly mail to vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Completion of the Request for Return form is required to return your pump to Agilent for service (provided at the end of this manual). 224/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 225: Technical Information
TwisTorr 305-IC User Manual Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC Technical Specification TwisTorr 305-IC Outline Pump Operations Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation (only for air cooled pumps) Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 Water Cooling Kit Connection (only for water...
Page 226 TwisTorr 305-IC User Manual Connection through USB plug Error messages Warning messages Accessories and Spare Parts 226/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 227: Description Of The Twistorr 305-Ic
Description of the TwisTorr 305-IC Description of the TwisTorr 305-IC The TwisTorr 305-IC consists of a high frequency induction motor driving a turbine fitted with 8 bladed stages and 3 TwisTorr drag stages. The turbine rotates in an counterclockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
Page 228 Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC The TwisTorr 305-IC is available in various models that differ in the high vacuum flange. The TwisTorr 305-IC models are: X3513-64000 TWISTORR 305-IC ISO100K 485AGI AIR COOLING X3513-64001 TWISTORR 305-IC CFF6 485AGI AIR COOLING...
Page 229 Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC The following figures shows the 24 models. The optional air cooling fan is shown in the drawings. TwisTorr 305-IC Figure 5 TwisTorr 305-IC Figure 6 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 229/302...
Page 230 Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 7 TwisTorr 305-IC Figure 8 230/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 231 Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 9 TwisTorr 305-IC Figure 10 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 231/302...
Page 232 Technical Information Description of the TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 11 TwisTorr 305-IC Figure 12 232/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 233: Technical Specification
60600 rpm (1010 Hz driving frequency) Start-up time  3 minutes (it can be longer in case of soft start active) Recommended forepump Mechanical pump: DS102, DS302 Dry Pump IDP-3 (no gas flow), IDP-7, IDP10 Operating position TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 233/302...
Page 234 In case the user does not have a 24Vdc power output already available, the power supply MFR: MeanWell; MPN: NDR-240- 24 is suitable for the application. Protection fuse Max operating altitude 3000 m 234/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 235 (7.5A) the voltage lost is 1.5V. USB communication as per USB 1.0 When the TwisTorr 305-IC has been stored at a temperature less NOTE than 5°C, wait until the system has reached the above mentioned temperature before switch the TwisTorr 305-IC on.
Page 236: Twistorr 305-Ic Outline
Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC Outline The following figures show the TwisTorr 305-IC (dimensions are in mm [inches]). TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 14 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw 236/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 237 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 15 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 237/302...
Page 238 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 16 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw 238/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 239 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 17 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 239/302...
Page 240 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 18 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw 240/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 241 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 19 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw Water cooling TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 241/302...
Page 242 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 20 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw Water cooling 242/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 243 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline TwisTorr 305-IC TwisTorr 305-IC Figure 21 On board CNTR; Foreline flange KF16 VENT screw Water cooling TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 243/302...
Page 244 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline Figure 22 244/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 245 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline Figure 23 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 245/302...
Page 246 Technical Information TwisTorr 305-IC Outline Figure 24 246/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 247: Pump Operations
Inlet screens help prevent damage to the blades by preventing foreign objects from entering the pump. The following part numbers belong to the corresponding flange: 9699302 (CFF 6’’) ▪ 9699304 (CFF 8’’) ▪ X3500-68000 (ISO 100) ▪ X3500-68001 (ISO 160) ▪ TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 247/302...
Page 248 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. Figure 27 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. 248/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 249 Technical Information Pump Operations Figure 28 The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump do not change as the inlet screen remains integrated into the center-ring. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 249/302...
Page 250: Air Cooling Kit Installation (Only For Air Cooled Pumps)
Figure 29 The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump. To fix the fan to the TwisTorr 305-IC case execute the following procedure (see the following figure): Mount the 305-IC Fan/Vent Adapter kit P/N X3514-68001 (the adapter is provided with two extension cables, suitable for mounting of the cooling fan and the vent kit).
Page 251: Assembling Procedure Air Cooling Kit X3500-68010
Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 To mount the air cooling Kit on the Twistorr 305-IC pump, proceed as follows: Fix the fan (1) to the bracket (2) using the furnished screws (3). Figure 30...
Page 252 Technical Information Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 Now fix the air cooling bracket/fan assembly to the pump body. Figure 31 On board CNTR Foreline flange KF16 VENT screw 252/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 253 (see figure on the next page) of the pump and then connect the air cooling kit connector to the adapter connector (6), by the way of the extension cable which is provided to together with the adapter P/N X3514-68001. Figure 32 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 253/302...
Page 254 Technical Information Assembling procedure Air Cooling Kit X3500-68010 Figure 33 The picture shows the pump with the optional cooling fan. 254/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 255: Water Cooling Kit Connection (Only For Water Cooling Pumps)
Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 9699337 (metallic model), and 9699347 (plastic model). Figure 34 Model 9699337 Figure 35 Model 9699347 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 255/302...
Page 256 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended torque of 5 Nm. The metallic model is assembled as shown in the following figure. Figure 37 256/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 257 50 l/h (0.22 GPM). The max water inlet pressure must be lower than 5 bar. The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductivity NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is recommended. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 257/302...
Page 258: Vent Accessories
Vent Accessories The vent valve and vent device enable an automatic vent operation. TwisTorr 305-IC compatible Vent Valve mod. 9699834 – 9699834M006 Figure 38 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min.
Page 259 To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). Figure 39 Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. Figure 40 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 259/302...
Page 260 Adapter kit P/N X3514-68001, when the assembly is completeted. Figure 41 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller. 260/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 261: Pump Used With Corrosive And Oxidizing Gases
Turbo pump, with the chamber or the Turbo vent valve open, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept open, the backing pump should be left operating. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 261/302...
Page 262 Technical Information Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases Figure 42 Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump 10 Vent valve 262/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 263: Purge Valve Installation
Figure 43 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. Figure 44 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 263/302...
Page 264: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
▪ model 9699334 for CFF 6” flange; ▪ model 9699335 for CFF 8” flange. ▪ They typically reduce the vibration transmitted from the TwisTorr 305-IC to the system by a factor of 20. 264/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 265: Controller Operations
Technical Information Controller Operations Controller Operations Interconnections The following figure shows the TwisTorr 305-IC on board interconnections. Figure 45 In the picture it is shown the adapter P/N X3514-68001 connected to the pump. Vent valve connector. Cooling fan connector. Connector DB15 for power supply and serial communication and remote inputs and outputs control.
Page 266: Vent
This connector carries all the input and output signals to remote control the TwisTorr 305-IC. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use. 266/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 267 For RS485 communication: RS485 COM PORT Standard RS485, 8 bit no parity bit, n.1 start bit, n.1..2 stop bit RS485 COM PORT Supply Voltage Input Note: All potentials refer to pin 15 (GND). TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 267/302...
Page 268: Signal Description
PWM duty cycle >75% will ensure a rotational frequency equal to the one that has been set via the serial command; the default factory setting for the rotational target frequency is 1010Hz. 268/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 269 When the reference size is Power, the relation is: ANALOG OUTPUT Vout =10V --> Output power = 200W When the reference size is Temperature, the relation is ANALOG OUTPUT Vout =10V --> Pump Body Temperature = 125°C TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 269/302...
Page 270 24 Vdc and becomes 0 Vdc when activated). Moreover, if the reference quantity is the frequency or the current drawn, it is possible to set the hysteresis (in % of the threshold value) to avoid bouncing. 270/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 271 909 Hz ▪ hysteresis: 2 % ▪ activation type: high level ▪ delay time: 0 second ▪ The TwisTorr 305-IC Software (optional) allows the operator to set all NOTE the programmable feature. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 271/302...
Page 272: How To Connect The Open Collector Inputs Of The Controller
Figure 52 WARNING! If the power supply for the digital input is supplied by an external power supply then pin 15 on the controller should be connected to ground. 272/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 273: How To Connect The Controller Outputs
Technical Information How to Connect the Controller Outputs How to Connect the Controller Outputs The following figure shows a typical logic output connection for pin 8, 9, 10 or 11. Figure 53 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 273/302...
Page 274: Rs485/Rs232 Communication Description
Depending on the model of the pump, either the RS485 or the RS232 interface is available. The list of part numbers with RS485 is the following: X3513-64000 TWISTORR 305-IC ISO100K 485AGI AIR COOLING X3513-64001 TWISTORR 305-IC CFF6 485AGI AIR COOLING...
Page 275 ▪ 1 stop bit ▪ baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable ▪ For the following P/Ns X3513-64016 TWISTORR 305-IC ISO100K 485P AIR COOLING ▪ X3513-64017 TWISTORR 305-IC CFF6 485P AIR COOLING ▪ X3513-64018 TWISTORR 305-IC ISO160K 485P AIR COOLING ▪ X3513-64019 TWISTORR 305-IC CFF8 485P AIR COOLING ▪...
Page 276: Windows Protocol
<DATA> = an alphanumeric ASCII string with the data to be written into the ▪ window. In case of a reading command this field is not present. The field length varies according to the data type as shown in the following table: 276/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 277 MESSAGE. Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference is the value assigned to the ADDRESS <ADDR>. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 277/302...
Page 278 Window The specified window is Read Only or temporarily Win Disabled 1 byte (0x35) disabled (for example you can’t write the Soft Start when the Pump is running) 278/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 279 Technical Information Windows Protocol Examples: Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 279/302...
Page 280 Technical Information Windows Protocol Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 280/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 281: Window Description
Set vent valve Set the vent valve operation Always Always Set the vent valve operation 0 = Automatic 1 = On command Always Always Vent valve opening delay Vent valve opening delay (expressed in 0.2sec) TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 281/302...
Page 282 0 = No connection to pump Always controller temperature It reads the MOSFET bridge temperature Always controller temperature It reads the controller PCB temperature Always Actual Setpoint Status Reports the actual state of setpoint output 282/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 283 It indicates the power supplied filter value with T=1hour Always Average Frequency It indicates the driving frequency filter value with T=1hour Always Worst temp cycle number Always Worst temp cycle time Always Worst temp cycle temperature Always Worst temp cycle current TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 283/302...
Page 284 Below is the table with the Admitted Values: WIN # 0 VALUE 1 VALUE UNIT WIN # 0 VALUE 1 VALUE UNIT Stop Start Reset Impulse Continuous Serial Remote Disable Enable 99999 Hz/W/s 999999 High Level Low Level 65535 0,2s 284/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 285 0 VALUE 1 VALUE UNIT °C 65535 0,2s 1/10V °C °C °C °C °C °C 1/100V hours hours hours 11 chars 11 chars 4 chars 10 chars 10 chars 10 chars 10 chars TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 285/302...
Page 286 E: Thermal pad over temperature F: Vdc over voltage G: Fault DRV8305 H: Too high load I: Rotor locked L: RFU/Not used (RFU=Reserved for Future Use) M: Body HW over temperature N: Run Up Time 286/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 287: Nfc Function
NFC icon on the controller. WARNING! Before downloading the dedicated App, check the compatibility with the operating system of the device used. TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 287/302...
Page 288 NFC icon on the controller and take the smartphone at a distance less than 2 cm (1 in). Figure 56 This function can also be used when the pump is off. NOTE 288/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 289: Screenshot App
Technical Information Screenshot APP Screenshot APP TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 289/302...
Page 290: Connection Through Usb Plug
The USB port is recognized by PC as "Virtual COM". All windows and related features of the Windows protocol are available on the "Virtual COM" port. WARNING! Do not use the USB port for writing simultaneously with the main serial (DB15). 290/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 291: Error Messages
Flash value limits. Check for the pump rotor can spin freely. Restart the pump Fault DRV8305 Mosfet bridge driver failure Contact Agilent to get ON, Solid ON, Inv appropriate directions Flash TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 291/302...
Page 292 The value depends on the Gas Load application selection, as shown below: Wait for the pump temperature (Ar) --> 50°C to return below the related ) --> 55°C threshold. (He) --> 60°C Restart the pump. 292/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 293: Warning Messages
(they have to match with the output specifications) and check it for the absence of short circuits/lack of insulation If NO, contact Agilent to get the appropriate directions TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 293/302...
Page 294 (check also for the connection cables -load/unit- integrity). If NO LOAD is applied to the outputs, these warnings are meaningless, please disregard them. 294/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 295: Accessories And Spare Parts
The communication S/W between the controller and the pump (A-Plus) is NOTE available on the Agilent website: https://www.agilent.com/en/products/vacuum-technologies/vacuum-leak- detection-software/a-plus-software The connection is provided through USB (use a standard USB A male - USB B male). TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01 295/302...
Page 296 Technical Information Accessories and Spare Parts Page intentionally left blank 296/302 TwisTorr 305-IC User Manual / 87-901-058-01...
Page 297 Vacuum Products Division Dear Customer, Thank you for purchasing an Agilent vacuum product. At Agilent Vacuum Products Division we make every effort to ensure that you will be satisfied with the product and/or service you have purchased. As part of our Continuous Improvement effort, we ask that you report to us any problem you may have had with the purchase or operation of our products.
Page 298 CUSTOMER REQUEST FOR CORRECTIVE / PREVENTIVE / IMPROVEMENT ACTION AGILENT VACUUM PRODUCTS DIVISION TORINO – QUALITY ASSURANCE FAX N°: XXXX‐011‐9979350 ADDRESS: AGILENT TECHNOLOGIES ITALIA S.p.A. – Vacuum Products Division – Via F.lli Varian, 54 – 10040 Leinì (TO) – Italy E‐MAIL: vpd‐qualityassurance_pdl‐ext@agilent.com NAME...
Page 299 Please follow these instructions whenever one of our products needs to be returned. Complete the attached Request for Return form and send it to Agilent Technologies (see below), taking particular care to include the completed Health and Safety declaration Section. No work can be started on your unit until we receive a completed copy of this form.
Page 300 Terms and conditions TERMS AND CONDITIONS Please read the terms and conditions below as they apply to all returns and are in addition to the Agilent Technologies Vacuum Product Division – Products and Services Terms of Sale. Unless otherwise pre-negotiated, customer is responsible for the freight charges for the returning product.
Page 301 Vacuum Products Division Request for Return Form Customer information Company : Contact Name: Address: Tel: Fax: Email: Equipment Product description Agilent PartNo Agilent Serial No Original Purchasing Reference Failure description Type of process (for which the equipment was used) Type of return Non Billable Billable New PO # (hard copy must be submitted with this form): ______________________________________...
Page 302 Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

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