Page 1 Turbo-V 81-M Models: 969-8901, 969-8902, 969-8903, 969-8904 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning...
Page 2 Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 3 Turbo-V 81-M Turbo-V 81-M Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 3/237...
Page 4 Turbo-V 81-M 4/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 5 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione Manutenzione 23 Smaltimento Gebrauchsanleitung 25 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 30 Installation 31 Gebrauch Wartung Entsorgung 36 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 5/237...
Page 6 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 51 Almacenamiento Preparación para la instalación 54 Instalación 55 Mantenimiento 59 Eliminación 60 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 62 Informações gerais 63 Armazenagem 65 6/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 7 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74 Algemene informatie Opslag Uitpakken 78 Installatie Gebruik Onderhoud 83 Afvalverwerking 84 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information 87 Opbevaring 89 Forberedelser før installation 90 Installation 91 Anvendelse 93 Vedligeholdelse 94 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 7/237...
Page 8 Användning 104 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 107 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 109 Lagring Klargjøre til installasjon 111 Installasjon 112 Bruk Vedlikehold 116 Eliminering 117 10 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja 8/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 9 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 130 Általános informáicó 131 Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 139 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje 143 Magazynowanie 144 Przygotowanie do instalacji 146 Instalacja Użytkowanie Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 9/237...
Page 10 Údržba Likvidace 14 Návod na Obsluhu 163 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia 15 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 176 10/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 11 Preparation for installation 192 Installation 193 Maintenance Disposal 17 Technical Information 199 Description of the Turbo-V 81-M 200 Technical Specification 204 Turbo-V 81-M Outline Inlet Screen Installation 209 Heater Band Installation 212 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 11/237...
Page 12 Water Cooling Kit Installation Vent Accessories Vibration Isolator Installation 221 Typical Layout Diagram 223 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 229 Vent valve model Selection table 230 12/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 13 Turbo-V 81-M User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 13/237...
Page 14 Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è AVVERTENZA! necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 14/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 15 L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (80000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Il Turbo-V 81-M è totalmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Page 16 I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 16/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 17 10 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 17/237...
Page 18 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione La Turbo-V 81-M viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni.
Page 19  “Technical Information”) umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante).  In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 19/237...
Page 20  La Turbo-V 81-M può essere installata in qualsiasi posizione. Fissare la Turbo-V 81-M in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 250 Nm attorno al proprio asse.
Page 21 Istruzioni per l’uso Installazione La Turbo-V 81-M non può essere fissata tramite la sua base. NOTA La Turbo-V 81-M appartiene alla seconda categoria di installazione (o ATTENZIONE! sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria.
Page 22 AVVERTENZA! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. 22/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 23 Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Le pompe della serie Turbo-V 81-M non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Page 24 24/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 25 Turbo-V 81-M User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 25/237...
Page 26 Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener WARNUNG! vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 26/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 27 Festkörperpartikeln geeignet. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine (max. 80000 1/min) erreicht, die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Modell Turbo-V 81-M enthält keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich deshalb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern. In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts...
Page 28 Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben HINWEIS werden. 28/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 29 Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 29/237...
Page 30 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Turbo-V 81-M wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Die Pumpe ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Page 31 Temperatur: von +5°C bis +35°C (siehe Diagramm im Anhang  "Technical Information") Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 95 % (nicht kondensierend).  Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 31/237...
Page 32 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996  Modell Turbo-V 81-M kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell Turbo-V 81-M ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 250 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Page 33 Installation Modell Turbo-V 81-M kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden. HINWEIS Der Turbo-V 81-M gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von den VORSICHT! Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Page 34 Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder WARNUNG! radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. 34/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 35 Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Die Pumpen der Serie Turbo-V 81-M erfordern keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C...
Page 36 Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. 36/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 37 Turbo-V 81-M User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation Utilisation Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 37/237...
Page 38 être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 38/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 39 Les pompes de la série Turbo-V 81-M sont des pompes turbomoléculaires pour des applications de vide poussé et ultrapoussé en mesure de pomper n’importe quel type de gaz ou de composé...
Page 40 Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage. Les notes contiennent des renseignements importants isolés du texte. NOTE 40/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 41 à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage pour toutes raisons, la pompe ATTENTION! doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 41/237...
Page 42 Mode d’emploi Preparation pour l’installation Preparation pour l’installation Le Turbo-V 81-M est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Page 43 0 – 95 % (non condensante).  En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 43/237...
Page 44 Mode d’emploi Installation Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V 81-M doivent être utilisées uniquement avec un des contrôleurs prévus Agilent et doivent être reliées à une pompe primaire (voir le schéma sur "Technical Information"). Les contrôleurs disponibles sont les suivants: Rack controller 81-AG: 969-8988 ...
Page 45 Mode d’emploi Installation Le Turbo-V 81-M ne peut être fixé par sa base. NOTE Le Turbo-V 81-M appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou ATTENTION! surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie.
Page 46 AVERTISSEMENT! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. 46/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 47 Mode d’emploi Entretien Entretien Les pompes de la série Turbo-V 81-M ne demandent aucun entretien. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Page 48 Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le processus de collecte et mise au rebut. 48/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 49 Turbo-V 81-M User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50 Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 54 Instalación Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 49/237...
Page 50 ¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 50/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 51 El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (80000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El Turbo-V 81-M no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’...
Page 52 Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 52/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 53 En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 53/237...
Page 54 Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación El Turbo-V 81-M se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Page 55  “Technical Information”) humedad relativa: 0 – 95 % (no condensadora).  Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 55/237...
Page 56  El Turbo-V 81-M puede instalarse en cualquier posición. Fijar el Turbo-V 81-M en posición estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede resistir a un par de 250 Nm alrededor de su eje. Por ejemplo la brida ISO 63 puede ser fijada con mordazas en acero de alta resistencia (tipo modelo tipo Agilent IC 63250 DCMZ).
Page 57 Manual de istrucciones Instalación El Turbo-V 81-M pertenece a la segunda categoría de instalación (o ¡ATENCIÓN! sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.
Page 58 (Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical Information”). ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. 58/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 59 Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento Las bombas de la serie Turbo-V 81-M no requieren mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Page 60 éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. 60/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 61 Turbo-V 81-M User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 62 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 61/237...
Page 62 ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 62/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 63 O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (80000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O Turbo-V 81-M é totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Page 64 As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à aparelhagem. As notas contém informações importantes estrapoladas pelo texto. NOTA 64/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 65 é de 10 meses a contar da data da expedição. Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 65/237...
Page 66 Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O Turbo-V 81-M é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Page 67 “Technical Information”) humidade relativa: 0 – 95 % (não condensante).  Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 67/237...
Page 68 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996  O Turbo-V 81-M pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o Turbo-V 81-M em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 250 Nm ao redor do próprio eixo.
Page 69 Manual de Istruções Instalação O Turbo-V 81-M não pode ser fixado através da sua base. NOTA O Turbo-V 81-M pertence à segunda categoria de instalação (ou sobretensão) CUIDADO! prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria.
Page 70 "Technical Information”). ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. 70/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 71 Manual de Istruções Manutenção Manutenção As bombas da série Turbo-V 81-M não necessitam de qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Page 72 Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna verificação dos termos e condições do contrato de venda. 72/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 73 Turbo-V 81-M User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag Uitpakken Installatie Gebruik Onderhoud Afvalverwerking 84 Vertaling van de originele instructies 73/237...
Page 74 WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 74/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 75 De pompen van de serie Turbo-V 81-M zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen die elk soort gas en niet- corrosieve gasvormige verbindingen kunnen pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
Page 76 Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 76/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 77 Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 77/237...
Page 78 Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 81-M niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399.
Page 79 “Technical Information”) relatieve vochtigheid: 0 – 95 % (niet condenserend).  In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 79/237...
Page 80  De Turbo-V 81-M kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de Turbo-V 81-M in een stabiele positie en verbind de in¬laatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 250 Nm rondom de eigen as kan verdragen. De flens ISO 63 kan bijvoorbeeld worden bevestigd met stalen klemmetjes met grote weerstand (zoals model Agilent IC 63250 DCMZ).
Page 81 Bedrijfshandleiding Installatie De Turbo-V 81-M kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. OPMERKING De Turbo-V 81-M behoort tot de tweede installatiecategorie (of VOORZICHTIG! overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet.
Page 82 Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van giftige, brandbare of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. 82/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 83 Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De pompen van de serie Turbo-V 81-M zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Page 84 84/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 85 Turbo-V 81-M User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Anvendelse Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 85/237...
Page 86 For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det ADVARSEL! strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 86/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 87 Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (80000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. Turbo-V 81-M er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med anvendelse af...
Page 88 I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 88/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 89 De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra  forsendelsesdatoen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 89/237...
Page 90 Turbo-V 81-M leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 81-M ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100 % og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
Page 91 Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. De turbomolekylære pumper i serien Turbo-V 81-M må kun benyttes med en af de specielle Agilent controller og de skal tilsluttes med en primær pumpe (se skemaet under "Technical Information").
Page 92 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996  Turbo-V 81-M kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør Turbo-V 81-M i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 250 Nm omkring akselen.
Page 93 ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”) ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 93/237...
Page 94 Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Pumperne i serien Turbo-V 81-M kræver ikke nogen form for vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 95 Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 95/237...
Page 96 Istruktionsbog Bortskaffelse 96/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 97 Turbo-V 81-M User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 98 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Användning Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 97/237...
Page 98 VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 98/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 99 Pumparna av serie Turbo-V 81-M är molekylära turbopumpar för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. Systemet kan pumpa alla typer av gaser och ej frätande gasblandningar, men kan dock inte användas för att pumpa vätskor...
Page 100 De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från  leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent -återförsäljaren för ytterligare information. 100/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 101 OBSERVER! pga. kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. Figur 1 Normal påverkan från omgivningen kan inte skada Turbo-V 81-M. Trots det är det OBSERVERA säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den.
Page 102 I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical Information“ för ytterligare upplysningar. De molekylära pumparna av typen Turbo-V 81-M bör endast användas med en av de speciella Agilent systemen och måste anslutas till en huvudpump (se schemat "Technical Information").
Page 103 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996  Turbo-V 81-M kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 250 Nm kring sin axel. Flänsen ISO 63 kan till exempel fixeras med höghållfasta stålbyglar (modell...
Page 104 (se bilagan “Technical information”). VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. 104/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 105 Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 81-M pumparna kräver inget som helst underhåll. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat...
Page 106 återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. 106/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 107 Turbo-V 81-M User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 109 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 107/237...
Page 108 I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må ADVARSEL! installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 108/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 109 Turbo-V 81-M er en turbomolekylær pumpe for høye- og ultrahøye vakuumanlegg som kan pumpe alle typer gasser eller gassblandinger. Den egner seg ikke for pumping av væsker eller faste partikler.
Page 110 Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra  sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger, må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent -forhandleren for informasjon. 110/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 111 Når Turbo-V 81-M pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte.
Page 112 +5 °C til +35 °C (se diagram i tillegget “Technical  Information”) relativ fuktighet: 0 – 95 % (uten kondens)  Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. 112/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 113 Instruksjon Manual Installasjon Turbo-V 81-M pumpen skal kun brukes sammen med en av de egnede Agilent-styreenhetene og den må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). Følgende styreenheter kan brukes: Rack controller 81-AG: 969-8988  Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989 ...
Page 114 Instruksjon Manual Installasjon Turbo-V 81-M hører til installasjonsklasse (eller overspenningsklasse) nummer 2 FORSIKTIG! i følge EN 61010-1 standarden. Kople derfor anordningen til en hovedledning som tilfredsstiller kravene for denne klassen. For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Technical Information". 114/237...
Page 115 (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Technical Information). ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 115/237...
Page 116 Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold Turbo-V 81-M pumpeseriene er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 117 Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 117/237...
Page 118 Instruksjon Manual Eliminering 118/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 119 Turbo-V 81-M User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 120 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö Huolto Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 119/237...
Page 120 Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 120/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 121 Sarjan Turbo-V 81-M pumput ovat turbomolekyylipumppuja korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai syövyttämättömiä kaasuyhdisteitä, mutta se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen.
Page 122  start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta  toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. 122/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 123 Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Kuva 1 Turbo-V 81-M ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen.
Page 124 Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen  lämpötila: +5 °C - +35 °C (ks. “Technical Information” -liitteen  kaaviota). suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä)  124/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 125 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995  Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996  Turbo-V 81-M voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää Turbo-V 81-M vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 250 Nm:n momentin akselinsa ympäri. Esimerkiksi laippa ISO 63 voidaan kiinnittää...
Page 126 (typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information” -liite). VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. 126/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 127 Ohjekäsikirja Huolto Huolto Sarjan Turbo-V 81-M pumput eivät vaadi mitään huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Page 128 EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. 128/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 129 Turbo-V 81-M User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Tárolás Előkészítés telepítésre 133 Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 139 Az eredeti utasítás fordítása 129/237...
Page 130 érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 130/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 131 általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A Turbo-V 81-M széria szivattyúi turbómolekuláris szivattyúk, melyeket magas és rendkívül magas vákuumalkalmazásokhoz terveztek, hogy bármely típusú, nem korrodáló...
Page 132 Egy turbomolekuláris szivattyú raktározási ideje 10 hónap a  szállítás dátumától számítva. Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a FIGYELEM! gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. 132/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 133 Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. Ábra 1 A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a Turbo-V 81-Mt. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 133/237...
Page 134 +5 °C-tól +35 °C-ig (lásd a nyomás-hőmérséklet  diagramot a „Technical Information” függelékben) relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló)  Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Technical Information”. 134/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 135 Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995  Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996  A Turbo-V 81-M bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a Turbo-V 81-Mt stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 250 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Page 136 Felhasználói Kézikönyv Telepítés A Turbo-V 81-M nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS A Turbo-V 81-M a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik az FIGYELEM! EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Technical Information”.
Page 137 (lásd “Technical Information” függelék). VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, tűzveszélyes vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében! Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 137/237...
Page 138 Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Turbo-V 81-M típusú szivattyúk nem igényelnek karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Page 139 A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 139/237...
Page 140 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 140/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 141 Podrecznik Instrukcji Megsemmisítés Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje Magazynowanie Przygotowanie do instalacji 146 Instalacja Użytkowanie Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 141/237...
Page 142 ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 142/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 143 Pompy z serii Turbo-V 81-M to pompy turbomolekularne przeznaczone są do wywoływania wysokiej i ultra wysokiej próżni, są wstanie pompować jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej nie korozyjnej.
Page 144 0 do 95 % ( bez opar)  klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp  turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić· w sposób Soft-Start czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10  miesięcy od daty wysyłki. 144/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 145 Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy odesłać UWAGA! pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 145/237...
Page 146 ć 1 Posta Turbo-V 81-M, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na działanie PRZYPIS atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
Page 147 0 – 95 % (bez opar).  W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information”. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 147/237...
Page 148 Podrecznik Instrukcji Instalacja Pomp turbomolekularnych z serii Turbo-V 81-M należy używać wyłącznie wraz ze specjalnym kontrolerem Agilent i muszą być one podłączone do pompy głównej (zobacz schemat w "Technical Information "). Kontrolery będące w dyspozycji są następujące: Rack controller 81-AG: 969-8988 ...
Page 149 Podrecznik Instrukcji Instalacja Turbo-V 81-M nie może być mocowany poprzez własną podstawę. PRZYPIS Turbo-V 81-M należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) UWAGA! przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z “Technical Information”.
Page 150 (Azot Argon) dla zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek “Technical Information”). ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. 150/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 151 Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Pompy z serii Turbo-V 81-M nie wymagają żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
Page 152 . Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. 152/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 153 Turbo-V 81-M User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 154 Všeobecné informace 155 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 153/237...
Page 154 V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 154/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 155 Nehodí se pro čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 80000 ot/min.) poháněná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem. Vývěva Turbo-V 81-M neobsahuje žádné kontaminující látky a proto se hodí pro aplikace vyžadující "čisté" vakuum. Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění...
Page 156 10 měsíců ode dne  doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. 156/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 157 Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. Postava 1 V normálním prostředí se vývěva Turbo-V 81-M nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
Page 158 Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Turbomolekulární čerpadlo řady Turbo-V 81-M lze používat jen ve spojení s některým ze speciálních controllerů Agilent a musí být připojeno k primárnímu čerpadlu (viz schéma v bodu Technical Information). 158/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 159 Agilent. Viz podrobný popis v příloze “Technical Information”. Vývěvu Turbo-V 81-M nelze připevnit pomocí její podstavy. POZNÁMKA Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva Turbo-V 81-M do druhé elektroinstalační POZOR! (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu.
Page 160 , Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu “Technical Information”). NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. 160/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 161 Návod k Použití Údržba Údržba Čerpadla řady Turbo-V 81-M nevyžadují žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 162 Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. 162/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 163 Návod na Obsluhu Likvidace Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 164 Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 163/237...
Page 164 V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení rotora, sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované, aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy! 164/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 165 úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. Čerpadlá série Turbo-V 81-M sú turbomolekulárnymi čerpadlami na vytvorenie vysokého a ultravysokého vákua, ktoré sú schopné odčerpať ľubovoľný nekorozívny druh plynu alebo plynnej zmesi. Nie sú...
Page 166 0 až 95 % (bez kondenzácie)  zákazník musí pri prvom spustení turbomolekulárnej vývevy vždy  použiť režim soft štartu skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo  dňa dodania 166/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 167 Návod na Obsluhu Uchovávanie Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 167/237...
Page 168 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie Turbo-V 81-M sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Page 169 +5 °C do +35 °C (pozri závislosť tlaku od teploty v  dodatku “Technical Information”) relatívna vlhkosť: 0 – 95 % (bez kondenzácie)  V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 169/237...
Page 170 Návod na Obsluhu Inštalácia Turbomolekulárne čerpadlá série Turbo-V 81-M sa môžu používať len s niektorým z príslušných kontrolných zariadení Agilent a musia byť zapojené na primárne čerpadlo (viď schému v materiále “Technical Information”). K dispozícii sú nasledujúce kontrolné zariadenia: Rack controller 81-AG: 969-8988 ...
Page 171 Návod na Obsluhu Inštalácia Zariadenie Turbo-V 81-M sa nemôže upevniť pomocou vlastnej základne. POZNÁMKA Zariadenie Turbo-V 81-M patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie podľa POZOR! smernice EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje uvedenej kategórii. O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technical Information”.
Page 172 , Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok “Technical Information”). NEBEZPEČÍ! Ak vývevu používate na odčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. 172/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 173 Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zar Čerpadlá série Turbo-V 81-M nevyžadujú žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 174 Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. 174/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 175 Turbo-V 81-M User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 175/237...
Page 176 V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 176/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 177 Črpalke iz serije Turbo-V 81-M so turbomolekularne črpalke za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo. Sistem lahko črpa vse tipe plinov ali nekorozivnih plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev.
Page 178 Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od  datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti POZOR! v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. 178/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 179 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Turbo-V 81-M je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
Page 180 “Technical Information”) Relativna vlažnost: 0 – 95 % (brez kondenza)  V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". 180/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 181 Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Agilent strojne opreme. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". Naprave Turbo-V 81-M ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo ploskvijo. OPOMBA Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 182 Priročnik za Navodila Montaža Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 81-M v skupino za drugo nameščanje (ali POZOR! prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo. Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Technical Information«. 182/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 183 (Dušik ali Helij) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Technical Information”). Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim SVARILO! navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 183/237...
Page 184 Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Črpalke iz serije Turbo-V 81-M ne potrebujejo nikakršnega vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 185 Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 185/237...
Page 186 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 186/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 187 Turbo-V 81-M User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Storage Preparation for installation 192 Installation Maintenance Disposal Original Instructions 187/237...
Page 188 WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 188/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 189 The Turbo-V 81-M is a turbo-molecular pump for high and ultra-high vacuum applications which can pump any type of non-corrosive gas or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid particles.
Page 190 Instructions for Use General Information The notes contain important information taken from the text. NOTE 190/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 191 If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 191/237...
Page 192 Instructions for Use Preparation for installation Preparation for installation The Turbo-V 81-M is supplied in a special protective pack-ing. If this shows signs of damage which may have oc-curred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Page 193 In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The Turbo-V 81-M pumps must be used in conjunction with one of the suitable Agilent controller and they must be connected to a primary pump (see "Technical Information").
Page 194 Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996  The Turbo-V 81-M can be installed in any position. Fix the Turbo-V 81-M in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 250 Nm around its axis.
Page 195 (see the appendix "Technical Information"). When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive WARNING! gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 195/237...
Page 196 Instructions for Use Maintenance Maintenance The Turbo-V 81-M series pumps does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...
Page 197 The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 197/237...
Page 198 Instructions for Use Disposal 198/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 199 Turbo-V 81-M User Manual Technical Information Description of the Turbo-V 81-M Pump Description Technical Specification Turbo-V 81-M Outline Inlet Screen Installation Heater Band Installation Air cooling kit installation Water Cooling Kit Installation Vent Accessories Vibration Isolator Installation Typical Layout Diagram...
Page 200 Technical Information Description of the Turbo-V 81-M Description of the Turbo-V 81-M The Turbo-V 81-M pump is available in four versions. The difference among the four versions lies purely in the high vacuum connection. The four versions are: Model 969-8901 with ISO 63 high vacuum flange;...
Page 201 Technical Information Description of the Turbo-V 81-M Figure 4 Model 969-8902 Figure 5 Model 969-8903 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 201/237...
Page 202 The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 16 NW flange. 202/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 203 Technical Information Description of the Turbo-V 81-M PUMP FOREPUMP CONNECTOR CONTROLLER CONNECTOR Figure 7 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 203/237...
Page 204 Bakeout temperature 120° C at inlet flange max. (CF flange) 80° C at inlet flange max. (ISO flange) Noise level ≤ 45 dB (A) at 1 meter 204/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 205 Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump) When the Turbo-V 81-M has been stored at a tem-perature less than 5°C, wait NOTE until the system has reached the above mentioned temperature.
Page 206 Technical Information Turbo-V 81-M Outline Turbo-V 81-M Outline The following figure shows the Turbo-V 81-M outlines (dimensions are in inches [mm]). Figure 8 Turbo-V 81-M outline 206/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 207 Technical Information Turbo-V 81-M Outline Figure 9 Graph of pumping speed vs inlet pressure with a 8 m mechanical pump Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 207/237...
Page 208 Technical Information Turbo-V 81-M Outline Figure 10 Graph of compression ratio vs foreline pressure 208/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 209 0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 209/237...
Page 210 Technical Information Inlet Screen Installation Figure 13 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 14 210/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 211 Inlet Screen Installation The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange (dimensions are in inches [mm]). Figure 15 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 211/237...
Page 212 80 °C. The heater band must be mounted such that there is perfect thermal contact with the pump wall to obtain fast and efficient heating. Figure 17 212/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 213 If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should CAUTION! be installed to pre-vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump. The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120 °C. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 213/237...
Page 214  The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump and in different positions. To fix the fan to the Turbo-V 81-M case execute the following procedure (see the following figure): Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws;...
Page 215 Technical Information Air cooling kit installation Figure 19 Figure 20 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 215/237...
Page 216 Technical Information Air cooling kit installation Figure 21 216/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 217 The two model part numbers are: 969-9823 (metallic model), and 969-9824 (plastic model). Figure 22 The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure Figure 23 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 217/237...
Page 218 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. The water kit is assembled as shown in the figure. Figure 24 218/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 219 2 and 4 bar. The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is suggested. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 219/237...
Page 220 To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). Figure 26 Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. 220/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 221 969-9375 for ISO 63 flange;  model 969-9376 for CFF 4.5” flange.  They typically reduce the vibration transmitted from the Turbo-V 81- M to the system by a factor of 20. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 221/237...
Page 222 Technical Information Vibration Isolator Installation Please refer to the relevant instruction manual. 222/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 223 Oil mist eliminator Fore-vacuum pump with internal one-way valve 10 Fore-vacuum pump control relay 11 Connection for water cooling 12 Roughing line with valve (optional) 13 Turbopump 14 Fan 15 Flexible connection Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 223/237...
Page 224 Fore-vacuum pump connecting flange Oil mist eliminator Fore-vacuum pump with internal one-way valve 10 Fore-vacuum pump control relay 11 Connection for water cooling 12 Roughing line with valve (optional) 13 Turbopump 14 Flexible connection 224/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 225 Technical Information Typical Layout Diagram Connection A - High Vacuum Flange To connect the Turbo-V 81-M pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Figure 30 Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure.
Page 226 Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope as this may cause the pump rotor to lock. Connection Configurations Figure 32 226/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 227 Typical Layout Diagram Connection B - Fore-Vacuum Pump A flange KF 16 NW is available to connect the Turbo-V 81-M pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Page 228 However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Agilent's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. 228/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 229 PCB 24 V 969-9538 Turbo-V 81-AG Navigator Controller 24 Vdc 969-8995 Turbo-V 81-AG Navigator Controller 100-240 Vac 969-8996 For a complete overview of Agilent's extensive product lines, please refer to the Agilent catalog. Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 229/237...
Page 230 N.O. 969-9844 (cable 0.7 m) (any version) Turbo-V 81-AG Rack Controller N.O. 969-9844 (cable 0.7 m) (any version) Controller TV70 Navigator (P/N 969-8970, 969-8971) 969-9834 Turbo-V 70 Rack controller (P/N 969-9405, 969-9505) 969-9843 230/237 Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F)
Page 231 Technical Information Vent valve model Selection table Turbo-V 81-M User Manual / 87-900-983-01 (F) 231/237...
Page 237 Request for Return Form Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Product Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime corporate Park,...

Ce manuel est également adapté pour:

969-8901 969-8902 969-8903 969-8904

Agilent Technologies Turbo-V 81-M Mode D'emploi

Liens rapides

Manuels Connexes pour Agilent Technologies Turbo-V 81-M

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies Turbo-V 81-M

Ce manuel est également adapté pour: