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Gebrauchsanleitung
Installation
Tab. 1
FLANSCH
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
Turbopumpen mit ConFlat Eingangsflansch sind mit dem speziellen
Agilent Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschließen.
Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical
Information".
Modell TPS-compact kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden.
HINWEIS
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
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KLEMMSCHELLE
Doppelschelle mit Gewinde M10
Doppelschelle mit Gewinde M10
Doppelschelle mit Gewinde M10
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01
ANZ.
ANZUGSMOMENT
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
(C)