Page 1 TPS-mini Models 9699180, 9699181, 9699182 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning User Manual...
Page 2: Safety Notices
Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 3 TPS-mini TPS-mini TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 3/318...
Page 4 TPS-mini 4/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 5: Table Des Matières
Informazioni generali Immagazzinamento 18 Preparazione per l'installazione 18 Installazione Uso 23 Manutenzione 26 Smaltimento Gebrauchsanleitung 29 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 35 Installation 36 Gebrauch Wartung Entsorgung 43 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 5/318...
Page 6 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 63 Almacenamiento Preparación para la instalación 67 Instalación 69 Uso 72 Mantenimiento 75 Eliminación 76 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 78 Informações gerais 79 Armazenagem 82 6/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 7 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 94 Algemene informatie Opslag Uitpakken 98 Installatie 99 Gebruik Onderhoud 106 Afvalverwerking 107 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information 111 Opbevaring 114 Forberedelse før installation 114 Installation 115 Anvendelse 118 Vedligeholdelse 121 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 7/318...
Page 8 Installation 130 Användning 133 Underhåll Bortskaffande 137 Instruksjon Manual 139 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Generell informasjon 141 Lagring Klargjøre til installasjon 145 Installasjon 146 Bruk Vedlikehold 152 Eliminering 153 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja 8/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 9 Általános információ 173 Tárolás Előkészítés telepítésre 177 Telepítés Használat 181 Karbantartás Megsemmisítés 185 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 188 Ogólne informacje 189 Magazynowanie 192 Przygotowanie do instalacji 192 Instalacja Użytkowanie TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 9/318...
Page 10 Příprava k instalaci 208 Instalace Použití Údržba Likvidace Návod na Obsluhu 219 Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 236 10/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 11 General Information 253 Storage Preparation for installation 256 Installation 257 Use 261 Maintenance Disposal Technical Information 267 Description of the TPS-mini 269 Turbopump Description 269 Technical Specification 273 TPS-mini Outline Inlet Screen Installation 278 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 11/318...
Page 12 High Vacuum Flange Connection 280 High Vacuum Flange Connection Configurations 282 Interconnections P1 – Vent J1 – IN-OUT 288 RS 232/RS 485 Communication Description 298 Window Protocol Window-Meanings 307 Replacement Parts and Accessories 312 12/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 13: Istruzioni Per L'uso
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni generali 15 Simboli usati 17 Immagazzinamento Preparazione per l'installazione 18 Installazione Accensione ed Uso del TPS-mini 24 Arresto del TPS-mini Arresto di Emergenza 25 Manutenzione Pulizia Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali...
Page 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
AVVERTENZA! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 14/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 15: Informazioni Generali
TPS-mini è totalmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Il TPS-mini ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato tramite linea seriale.
Page 16 I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 16/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 17: Simboli Usati
N2, Ar e gas leggeri. Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti di Ar, rivolgersi al supporto tecnico Agilent per informazioni. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 17/318...
Page 18: Immagazzinamento
Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. Preparazione per l'installazione Il TPS-mini viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TPS-mini e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni.
Page 19 Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. Figura 1 Il TPS-mini non può essere danneggiato rimanendo semplicemente esposto NOTA all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
Page 20: Installazione
TPS umidità relativa: fare riferimento ai manuali dei singoli ▪ componenti del TPS. In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. 20/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 21 Istruzioni per l’uso Installazione Il TPS-mini può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il TPS-mini in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 50 Nm attorno al proprio asse.
Page 22 Cavo di alimentazione: Il giusto cavo per la connessione elettrica deve avere 3 fili (Fase+Neutro+Terra). La sezione delcavo deve essere almeno 0.75 (AWG18). Assicurare uno spazio libero intorno al sistema di minimo 20 cm al fine di ATTENZIONE! permettere un’adeguata circolazione dell’aria. 22/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 23: Uso
L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone. AVVERTENZA! Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi e potrebbero verificarsi danni alle persone o alle cose. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 23/318...
Page 24: Accensione Ed Uso Del Tps-Mini
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. Accensione ed Uso del TPS-mini Per accendere il TPS-mini è sufficiente fornire la tensione di alimentazione e mettere in posizione ON l'interruttore esterno (luce rossa accesa). Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dell’alimentazione ed avvia la pompa.
Page 25: Arresto Del Tps-Mini
Istruzioni per l’uso Il LED blu “STATUS” posto sul pannello della base del TPS-mini indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: acceso fisso: la pompa è in rotazione normale; ▪ lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il sistema è in ▪...
Page 26: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TPS-mini non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Page 27: Smaltimento
Per maggiori informazioni riferirsi a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 27/318...
Page 28 Istruzioni per l’uso Smaltimento 28/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 29: Gebrauchsanleitung
TPS-mini User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Informationen 31 Verwendete Symbole Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-mini 40 Stoppen von Modell TPS-mini Not-Aus Wartung Reinigung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitunge 29/318...
Page 30: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. WARNUNG! Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 30/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 31: Allgemeine Informationen
Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Modell TPS-mini ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller und der Primärpumpe, besteht.
Page 32 Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben HINWEIS werden. 32/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 33: Verwendete Symbole
Pumpe ist entworfen worden, um Stickstoff, Argon und leichtere Gase zu pumpen. Sollte die Notwendigkeit bestehen, schwereres Gas als Argon pumpen zu müssen, wenden Sie sich bitte für Informationen an den Technischen Kundendienst der Agilent. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 33/318...
Page 34: Lagerung
Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. 34/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 35: Vor Der Installation
Modell TPS-mini wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TPS-mini ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85/399/EWG für...
Page 36: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Modell TPS-mini kann durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden. Es HINWEIS sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden. Installation Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß der VORSICHT! Turbopumpe an das System abnehmen.
Page 37 Anhang "Technical Information". Modell TPS-mini kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell TPS-mini ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 50 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Page 38 Neutralleiter und Schutzleiter). Der Kabelquerschnitt muss mindestens 0,75 betragen (AWG18). Vergewissern Sie sich, dass um das System herum ein freier Raum von VORSICHT! mindestens 20 cm bleibt, damit die Luft frei zirkulieren kann. 38/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 39: Gebrauch
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr. WARNUNG! Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager könnten beschädigt werden und Personen oder Gegenständen Schaden zugefügt werden. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 39/318...
Page 40: Einschaltung Und Gebrauch Von Modell Tps-Mini
Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. Einschaltung und Gebrauch von Modell TPS-mini Zur Einschaltung des TPS-mini ist der Netzstecker anzuschließen und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu stellen (rote Kontrollleuchte eingeschaltet). Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Anliegen der Spannung und startet die Pumpe.
Page 41: Stoppen Von Modell Tps-Mini
Gebrauchsanleitung Gebrauch Die blauen LEDs “STATUS” an der Bodenplatte von Modell TPS-mini gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an: Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb. ▪ Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet sich ▪...
Page 42: Wartung
örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen. Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen. Reinigung Die Außenflächen des TPS-mini dürfen nur mit schonenden Reinigungsmitteln gesäubert werden. 42/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 43: Entsorgung
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Für weitere Informationen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 43/318...
Page 44 Gebrauchsanleitung Entsorgung 44/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 45: Mode D'emploi
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications Generales 47 Symboles utilisés 48 Stockage Préparation pour l'installation 50 Installation Utilisation Mise en marche et utilisation du TPS-mini Arrêt du TPS-mini 57 Arrêt d'urgence Entretien Nettoyage Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale...
Page 46: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel ! 46/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 47: Indications Generales
électrique triphasé à haut rendement. Le TPS-mini est totalement exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide "propre". Le TPS-mini est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant de commander la soupape de ventilation, de le piloter à distance à l'aide d'un ordinateur host connecté...
Page 48: Symboles Utilisés
Les symboles suivants sont utilisés dans les différentes illustrations: Danger “Voir instuctions Conducteur de d’installation/mode protection d’emploi” Surface chaude “Risque de ON – Marche (Mise brûlure en cas de contact” sous tension) Danger, risque OFF - Arrêt (Mise hors d’électrisation tension) 48/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 49 En cas de nécessité de pomper des gaz plus lourds que l'argon, veuillez prendre contact avec l'assistance technique de Agilent pour plus d'informations. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 49/318...
Page 50: Stockage
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le TPS-mini et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à...
Page 51: Installation
éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. Figure 1 Le TPS-mini ne peut s'endommager en restant simplement exposé à NOTE l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est conseillé...
Page 52 Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TPS-mini peut être installée dans n'importe quelle position. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 50 Nm autour de son axe.
Page 53 à vide à l'aide des éléments mécaniques Agilent prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical Information". Le TPS-mini ne peut être fixé par sa base. NOTE Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à "Technical Information".
Page 54 Mode d’emploi Installation Laissez un espace libre autour du système de 20 cm minimum pour permettre ATTENTION! une bonne circulation de l’air. 54/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 55: Utilisation
La température élevée peut être à l'origine de lésions graves. AVERTISSEMENT! Éviter tout choc ou déplacement de la turbopompe lorsqu'elle est en marche. Cela pourrait endommager les paliers et provoquer de graves dommages aux personnes et aux choses. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 55/318...
Page 56: Mise En Marche Et Utilisation Du Tps-Mini
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. Mise en marche et utilisation du TPS-mini Pour allumer le TPS-mini, il suffit de le brancher au réseau et de placer l'interrupteur extérieur sur ON (lumière rouge allumée). Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de l'alimentation et met la pompe en marche.
Page 57: Arrêt Du Tps-Mini
Mode d’emploi Utilisation La LED bleu "STATUS" placée sur le panneau de la base du TPS-mini indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système : allumée fixe: la pompe est en rotation normale ; ▪ clignote lentement (période d'environ 400 ms) : le système est en ▪...
Page 58: Entretien
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales concernant la gestion des déchets. Nettoyage Les surfaces extrernes du TPS-mini doivent être nettoyées avec un produit non agressif. 58/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 59: Mise Au Rebut
œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 59/318...
Page 60 Mode d’emploi Mise au rebut 60/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 61: Manual De Istrucciones
Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Símbolos usados 65 Almacenamiento 66 Preparación para la instalación 67 Instalación Encendido y Uso del TPS-mini Parada del TPS-mini Parada de Emergencia 74 Mantenimiento Limpieza Eliminación Traducción de las instrucciones originales...
Page 62: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 62/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 63: Información General
El TPS-mini es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada por el respectivo controlador y la bomba primaria.
Page 64 Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 64/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 65: Símbolos Usados
Nitrógeno, Argón y gases más livianos. En caso de que surja la necesidad de bombear gases más pesados que el Argón, se solicita contactar con la Asistencia Técnica de Agilent para obtener información. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 65/318...
Page 66: Almacenamiento
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. 66/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 67: Preparación Para La Instalación
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TPS-mini y de no someterlo a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.
Page 68 Manual de istrucciones Preparación para la instalación El TPS-mini no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a la NOTA atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta el momento de la instalación en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
Page 69: Instalación
▪ del TPS. Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas adecuadas. Para más detalles véase por favor el anexo “Technical Information”. El TPS-mini puede ser instalado en cualquier posición. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 69/318...
Page 70 Manual de istrucciones Instalación Fijar el TPS-mini en posición estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de resistir ha un par de 50 Nm en torno a su propio eje. La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas sencillas.
Page 71 3 hilos (Fase+Neutro+Tierra). La sección del cable debe ser de 0,75 (AWG18) como mínimo. Asegurar un espacio libre alrededor del sistema de al menos 20 cm para ¡ATENCIÓN! permitir una adecuada circulación de aire. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 71/318...
Page 72: Uso
La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas. ¡ADVERTENCIA! Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobomba cuando está en marcha. Los rodamientos se podrían dañar y se podrían verificar daños a las personas o a las cosas. 72/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 73: Encendido Y Uso Del Tps-Mini
No usar la bomba cuando haya gases explosivos. Encendido y Uso del TPS-mini Para encender el TPS-mini basta conectar la tensión de alimentación y disponer el interruptor externo en posición ON (luz roja encendida). El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de la alimentación y pone en marcha la bomba.
Page 74: Parada Del Tps-Mini
Manual de istrucciones El LED azul “STATUS” situado en el panel de la base del TPS-mini indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema: ▪ encendido fijo: la bomba está en rotación normal; parpadea lentamente (período de 400 ms aproximadamente): el ▪...
Page 75: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TPS-mini no necesita ningún mantenimiento. Toda intervención deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema, desconectarlo de la alimentación, disponer la bomba en presión atmosférica abriendo la válvula respectiva y esperar hasta que el rotor se pare completamente y que la temperatura superficial de la bomba se reduzca a menos de 50 ºC.
Page 76: Eliminación
éste es la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y eliminación del producto, después de haber efectuado una verificación de los términos y condiciones contractuales de venta. Para mayor información, remitirse a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 76/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 77: Manual De Istruções
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Símbolos utilizados Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Acendimento e Utilização do TPS-mini Paragem do TPS-mini 89 Paragem de Emergência Manutenção Limpeza Eliminação Tradução das instruções originais 77/318...
Page 78: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 78/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 79: Informações Gerais
é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo". Além disso, o TPS-mini tem conectores auxiliares através dos quais é possível alimentar uma válvula de vent, accioná-lo por um controlo remoto através de um computer host conectado por meio de linha serial.
Page 80 As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! efectuados correctamente, podem causar danos à aparelhagem. As notas contêm informações importantes destacadas do texto. NOTA 80/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 81: Símbolos Utilizados
Nitrogénio, Argon e gases mais ligeiros. Caso seja necessário bombear gases mais pesados que o Argon, pede-se entrar em contacto com a Assistência Técnica da Agilent para mais informações. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 81/318...
Page 82: Armazenagem
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair o TPS-mini e para não submetê-lo a choques ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é...
Page 83 à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. Figura 1 TPS-mini não pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto à NOTA atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
Page 84: Instalação
TPS humidade relativa: consultar os manuais dos componentes individuais do TPS. Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". 84/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 85 Agilent. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O TPS-mini não pode ser fixado por intermédio da sua própria base. NOTA Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar "Technical Information".
Page 86 (Fase+Neutro+Terra). A secção do cabo deve ser de pelo menos 0.75 (AWG18). Garantir um espaço livre em torno do sistema de no mínimo 20 cm, a fim de CUIDADO! permitir a circulação de ar adequada. 86/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 87: Utilização
A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas. ATENÇAO! Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos e poderia verificar-se lesões às pessoas ou às coisas. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 87/318...
Page 88: Acendimento E Utilização Do Tps-Mini
Acendimento e Utilização do TPS-mini Para ligar o TPS-mini é suficiente conectá-lo à rede de alimentação e colocar o interruptor exterior na posição de ON (luz vermelha acesa). O controller incorporado detecta automaticamente a corrente de alimentação e acciona a bomba.
Page 89: Paragem Do Tps-Mini
Para informações mais detalhadas sobre o painel de comando do TPS-mini , consultar o apêndice "Technical Information". Paragem do TPS-mini Para parar o TPS-mini é suficiente colocar o interruptor exterior na posição OFF (luz vermelha apagada). O controller incorporado pára imediatamente a bomba.
Page 90: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TPS-mini não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da rede de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até...
Page 91: Eliminação
Para maiores informações consultar: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 91/318...
Page 92 Manual de Istruções Eliminação 92/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 93: Bedrijfshandleiding
TPS-mini User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 94 Algemene informatie 95 Gebruikte symbolen Opslag 98 Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TPS-mini 104 Afzetten van de TPS-mini Noodstop Onderhoud Reiniging Afvalverwerking 107 Vertaling van de originele instructies 93/318...
Page 94: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 94/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 95: Algemene Informatie
De TPS-mini is een geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen en een primaire pomp bestaat.
Page 96 Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 96/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 97: Gebruikte Symbolen
De pomp is voor het verpompen van stikstof, argon en lichtere gassen ontworpen. Indien de noodzaak bestaat om zwaardere gassen dan argon te pompen, wordt u verzocht om voor informatie contact op te nemen met de Technische Service van Agilent. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 97/318...
Page 98: Opslag
Zorg er bij het uitpakken voor dat de TPS-mini niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399.
Page 99: Installatie
Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming. Figuur 1 De TPS-mini kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer OPMERKING blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen.
Page 100 De TPS-mini moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical Information"). De TPS-mini kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de TPS-mini in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 50 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
Page 101 Agilent. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical Information". De TPS-mini kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. OPMERKING Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn.
Page 102 Bedrijfshandleiding Installatie Zorg voor een vrije ruimte van minstens 20 cm rond het systeem, met het oog op VOORZICHTIG! een correcte luchtcirculatie. 102/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 103: Gebruik
De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken. WAARSCHUWING! Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer de turbopomp in werking is. De lagers kunnen beschadigen en er kunnen letsels aan personen of schade aan voorwerpen worden veroorzaakt. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 103/318...
Page 104: Inschakeling En Gebruik Van De Tps-Mini
Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. Inschakeling en gebruik van de TPS-mini Om de TPS-mini in te schakelen is het voldoende om voedingsspanning te verschaffen en de externe schakelaar in de stand ON te zetten (rood lichtje brandt). De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van stroom en start de pomp.
Page 105: Afzetten Van De Tps-Mini
TPS-mini de bijlage "Technical Information". Afzetten van de TPS-mini Om de TPS-mini uit te schakelen is het voldoende om de externe schakelaar in de stand OFF te zetten (rode lichtje uit). De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp.
Page 106: Onderhoud
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. Reiniging De buitenoppervlakken van de TPS-mini mogen uitsluitend worden schoongemaakt met neutrale reinigingsmiddelen. 106/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 107: Afvalverwerking
Kijk voor meer informatie op: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 107/318...
Page 108 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 108/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 109: Istruktionsbog
TPS-mini User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Anvendte symboler 113 Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Start og anvendelse af TPS-mini 119 Stop af TPS-mini Nødstop Vedligeholdelse Rengøring Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 109/318...
Page 110: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
ADVARSEL! For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 110/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 111: Generel Information
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. TPS-mini er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum.
Page 112 I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 112/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 113: Anvendte Symboler
Anvend ikke pumpen ved tilstedeværelse af eksplosive gasser. Pumpen er projekteret til at pumpe nitrogen, argon og lettere gasser. Såfremt der er behov for at pumpe gas, som er tungere end argon, bedes man kontakte Agilents tekniske kundeservice for yderligere oplysninger. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 113/318...
Page 114: Opbevaring
TPS-mini leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TPS-mini ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100 % og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
Page 115: Installation
Anvend altid handsker eller anden lignende beskyttelse. Figur 1 Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TPS-mini . Det anbefales dog, at BEMÆRK opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i pumpen.
Page 116 Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. TPS-mini kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TPS-mini i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 50 Nm omkring akselen.
Page 117 11 Nm Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på vakuumkammeret ved hjælp af Agilent monteringsudstyret. I bilaget “Technical Information” findes yderligere detaljer. TPS-mini kan ikke fastgøres i fundamentet. BEMÆRK Der henvises til bilaget “Technical Information” for oplysninger vedrørende installation af ekstraudstyret.
Page 118: Anvendelse
Den høje temperatur kan resultere i skade på personer. ADVARSEL! Undgå stød eller pludselige bevægelser af turbopumpen, mens den er aktiveret. Der er risiko for beskadigelse af lejerne og det kan medføre skader på personer eller ting. 118/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 119: Start Og Anvendelse Af Tps-Mini
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Start og anvendelse af TPS-mini Tænding af TPS-mini sker ved blot at tilslutte strømmen og indstille den udvendige afbryder i position ON (rød kontrollampe tændt). Den indbyggede styreenhed registrerer øjeblikkeligt tilslutningen, og pumpen startes.
Page 120: Stop Af Tps-Mini
Istruktionsbog Anvendelse Den blu "STATUS" LED, der er anbragt på panelet på TPS-mini ’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: ▪ konstant tændt: pumpen er i normal rotation langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i stilling ▪...
Page 121: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TPS-mini behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 122: Bortskaffelse
Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten. For yderligere oplysninger, ret henvendelse til: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 122/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 123: Bruksanvisning
TPS-mini User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 124 Allmän information Symboler som används 127 Förvaring Förberedelser för installationen 129 Installation Användning Start och användning av TPS-mini Att stänga av TPS-mini 135 Nödstopp Underhåll Rengöring Bortskaffande Översättning av originalinstruktionerna 123/318...
Page 124: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 124/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 125: Allmän Information
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin som drivs av en elektrisk trefas högeffektmotor. Inga tillsatsämnen används i TPS-mini , som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. TPS-mini har dessutom hjälpkontakter som gör det möjligt att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av...
Page 126 I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada ska uppstå. Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA 126/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 127: Symboler Som Används
Använd inte pumpen med explosiva gaser. Pumpen har formgetts för att pumpa kväve, argon och lättare gaser. Om gaser som är tyngre än argon måste pumpas, kontakta Agilents kundtjänst för information. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 127/318...
Page 128: Förvaring
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 12 månader från ▪ leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent-återförsäljaren för ytterligare information. 128/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 129: Förberedelser För Installationen
TPS-mini levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TPS-mini inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100 % och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.
Page 130: Installation
Bruksanvisning Installation Normal påverkan från atmosfären kan inte skada TPS-mini . Trots det är det OBSERVERA säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. Installation Ta bort tejpen och dra ut skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till...
Page 131 (se schemat i "Technical information"). TPS-mini kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 50 Nm kring sin axel.
Page 132 Strömkabel: Rätt kabel för elanslutning måste ha tre ledare (fas + nolla + jord). Kabelsnittet måste vara minst 0,75 (AWG 18). Se till att det finns ett fritt utrymme runt systemet på minst 20 cm för att tillåta OBSERVER! en lämplig luftcirkulation. 132/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 133: Användning
Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under uppvärmningen för att undvika brännskador. VARNING! Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen under drift. Lagren skulle kunna förstöras och skador på personer eller på föremål kan inträffa. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 133/318...
Page 134: Start Och Användning Av Tps-Mini
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Start och användning av TPS-mini Starta TPS-mini genom att slå till strömmen och placera den externa brytaren i läge ON (den röda kontrollampan tänds). Den inbyggda styrenheten känner automatiskt av strömtillförseln och sätter igång pumpen.
Page 135: Att Stänga Av Tps-Mini
Se bilagan ”Technical Information” för en detaljerad beskrivning av kontrollpanelen för TPS-mini . Att stänga av TPS-mini Stäng av TPS-mini genom att placera den externa brytaren i läge OFF (den röda kontrollampan slocknar). Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion.
Page 136: Underhåll
Return”, som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med systemet. Skrotning av systemet ska ske enligt gällande lagstiftning. Rengöring De yttre ytorna på TPS-mini får endast rengöras med milda rengöringsmedel. 136/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 137: Bortskaffande
Slutanvändaren ska därför kontakta leverantören, företaget eller en återförsäljare, för att inleda insamlingen och bortskaffandet, efter en lämplig kontroll av avtalsmässiga försäljningsvillkor och bestämmelser. För ytterligare information, se: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 137/318...
Page 138 Bruksanvisning Bortskaffande 138/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 139: Instruksjon Manual
TPS-mini User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 140 Generell informasjon 141 Symboler i bruk Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 149 Starte og bruke TPS-mini Stoppe TPS-mini Nødstopp Vedlikehold Rengjøring Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 139/318...
Page 140: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylær Pumper
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. ADVARSEL! For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye! 140/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 141: Generell Informasjon
TPS-mini systemet består av en turbo-molekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, en styreenhet og en hovedpumpe. Systemet kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. Det er ikke beregnet for å...
Page 142 Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK 142/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 143: Symboler I Bruk
Bruk ikke pumpene med eksplosive gasser. Pumpen er prosjektert for å pumpe nitrogen, argon og lettere gasser. I tilfelle det skulle være nødvendig å pumpe tyngre gasser enn argon ber vi om at det tas kontakt med Agilents Tekniske Assistanse for opplysninger. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 143/318...
Page 144: Lagring
Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 12 måneder fra ▪ sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent-forhandleren for informasjon. 144/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 145: Klargjøre Til Installasjon
Når TPS-mini pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100 % resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
Page 146: Installasjon
Instruksjon Manual Installasjon Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TPS-mini . Likevel MERK anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. Installasjon Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet.
Page 147 “Technical Information” for detaljer. TPS-mini må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). TPS-mini kan monteres i en valgfri stilling. Fest TPS-mini i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 50 Nm rundt aksen.
Page 148 Strømledning: Ledningen som brukes for elektrisk kobling, skal ha tre ledere (fase, nøytral og jording). Kabelens tverrsnitt skal være minst 0,75 (AWG18). Sørg for at det er minst 20 cm åpent rom rundt systemet slik at luften kan FORSIKTIG! sirkulere. 148/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 149: Bruk
ADVARSEL! Unngå støt eller brå bevegelser av turbopumpen når den er i bruk. Lagrene kan kunne skades og det kan kunne oppstå skade på personer eller gjenstander. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 149/318...
Page 150: Starte Og Bruke Tps-Mini
Starte og bruke TPS-mini For å slå på TPS-mini er det nok å kople til strømmen og dreie den utvendige bryteren til ON (rødt lys tennes). Den innebygde styreenheten detekterer strømforsyningen automatisk, og sørger for å...
Page 151: Stoppe Tps-Mini
▪ Se vedlegget "Technical Information" for en detaljert beskrivelse av TPS-mini s kontrollpanel. Stoppe TPS-mini For å stoppe TPS-mini er det nok å dreie den utvendige bryteren til OFF (rødt lys slukkes). Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart. Nødstopp For å stoppe TPS-mini i en nødsituasjon er det nødvendig å trekke strømkabelen ut av stikkontakten, eller dreie den utvendige bryteren...
Page 152: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TPS-mini er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 153: Eliminering
å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. For mer informasjon: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 153/318...
Page 154 Instruksjon Manual Eliminering 154/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 155: Ohjekäsikirja
TPS-mini User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 156 Yleisiä tietoja Käytetyt symbolit 159 Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 165 TPS-mini :n käynnistys ja käyttö 166 TPS-mini: n pysäyttäminen 167 Hätäpysäytys 167 Huolto 168 Puhdistus Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 155/318...
Page 156: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 156/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 157: Yleisiä Tietoja
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. TPS-mini -järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. TPS-mini -järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden avulla on mahdollista ohjata tuuletusventtiiliä...
Page 158 Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vahingoittumiseen. Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa. HUOM 158/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 159: Käytetyt Symbolit
Älä käytä pumppua jos paikalla on räjähtäviä kaasuja. Pumppu on suunniteltu typen, argonin tai kevyempien kaasujen pumppaamiseen. Mikäli argoniin nähden painavampia kaasuja joudutaan pumppaamaan, ottakaa yhteyttä Agilentin tekniseen huoltoon lisätietoja varten. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 159/318...
Page 160: Varastointi
Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft- ▪ start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 12 kuukautta ▪ toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. 160/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 161: Valmistelut Asennusta Varten
TPS-mini toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TPS-mini :n putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EY-direktiiviä 85/399 ympäristön suojelusta.
Page 162: Asennus
Ohjekäsikirja Asennus TPS-mini ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen. Asennus Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään HUOMIO! järjestelmään. Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai...
Page 163 Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TPS-mini voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnitä TPS-mini tukevaan asentoon kytkemällä turbopumpun kiinteä sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 50 Nm:n momentin oman akselinsa ympäri.
Page 164 Järjestelmä on asennettava siten, että virta saadaan kytkettyä helposti pois päältä. VAROITUS! Virtajohto: oikeassa sähköjohdossa tulee olla 3 johdinta (vaihe+neutraali+maa). Johdon halkaisijan tulee olla vähintään 0,75 (AWG18). Varmista, että järjestelmän ympärille jää vähintään 20 cm riittävän ilmankierron HUOMIO! takaamiseksi. 164/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 165: Käyttö
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden loukkaantumisia. VAROITUS! Välttäkää turbopumppuun kohdistuvia iskuja tai sen äkkinäistä liikuttamista sen ollessa käynnissä. Laakerit voisivat vahingoittua, joka saattaisi johtaa henkilö- tai omaisuusvahinkoihin. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 165/318...
Page 166: Tps-Mini :N Käynnistys Ja Käyttö
Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. TPS-mini :n käynnistys ja käyttö Käynnistä TPS-mini kytkemällä sähkö päälle ja asettamalla ulkokatkaisin ON-asentoon (punainen valo syttyy). Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti sähkövirran ja käynnistää pumpun. Ensimmäisessä käynnistyksessä on hyvä käyttää "Soft Start" -tapaa.
Page 167: Tps-Mini: N Pysäyttäminen
Ohjekäsikirja Käyttö TPS-mini perustan paneeliin sijoitettu sininen ”STATUS” led ilmoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti; ▪ vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-, ▪ jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”- tilassa; ▪ vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.
Page 168: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto TPS-mini ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.
Page 169: Hävittäminen
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Lisätietoja varten viitatkaa osoitteeseen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 169/318...
Page 170 Ohjekäsikirja Hävittäminen 170/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 171: Felhasználói Kézikönyv
TPS-mini User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános információ 173 Felhasznált jelképek Tárolás Előkészítés telepítésre 177 Telepítés Használat A TPS-mini bekapcsolása és használata 182 A TPS-mini kikapcsolása Vészleállítás 183 Karbantartás Tisztítás Megsemmisítés 185 Az eredeti utasítás fordítása 171/318...
Page 172: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
– esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 172/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 173: Általános Információ
általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A TPS-mini egy integrált rendszer turbómolekuláris szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni.
Page 174 A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják. A megjegyzések a szövegből vett fontos információt tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 174/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 175: Felhasznált Jelképek
Ne használjuk a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A szivattyút nitrogén, argon és könnyebb gázok szivattyúzására tervezték. Amennyiben az argonnál nehezebb gáz szivattyúzására lenne szükség, forduljon a Agilent műszaki ügyfélszolgálatához felvilágosítás végett. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 175/318...
Page 176: Tárolás
Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 12 hónap a ▪ szállítás dátumától. Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a FIGYELEM! gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. 176/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 177: Előkészítés Telepítésre
Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TPS-mini -ot különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Page 178: Telepítés
Felhasználói Kézikönyv Telepítés A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TPS-mini -ot. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját. Telepítés Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez FIGYELEM! való...
Page 179 Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Technical Information”. A TPS-mini -ot bármely helyzetben lehet telepíteni. Rögzítse a TPS- mini -ot stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 50 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Page 180 Telepítés VESZÉLY! Tápkábel: Az elektromos tápkábel 3 eres legyen (Fázis+Semleges+Föld). A kábel átmérője legalább 0.75 legyen (AWG18). Biztosítson a rendszer körül egy legalább 20 cm-es szabad területet, hogy a FIGYELEM! levegő megfelelően áramolhasson. 180/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 181: Használat
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat. VESZÉLY! Ne mozdítsa el, és vigyázzon, ne ütközzön semmi a turbószivattyúhoz működés közben! A csapágyak megsérülhetnek, és anyagi kár vagy személyi sérülés történhet. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 181/318...
Page 182: A Tps-Mini Bekapcsolása És Használata
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A TPS-mini bekapcsolása és használata A TPS-mini bekapcsolásához elegendő rákapcsolni a tápfeszültséget, majd a külső kapcsolót BE állásba kapcsolni (piros lámpa ég). Az integrált vezérlő automatikusan felismeri a tápfeszültség jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
Page 183: A Tps-Mini Kikapcsolása
(kb. 200 ms periódus): hibafeltétel. A TPS-mini vezérlőpanel részletes leírásáért lásd „Technical Information” függelék. A TPS-mini kikapcsolása A TPS-mini kikapcsolásához elegendő a külső kapcsolót KI állásba kapcsolni (piros fény kialszik). A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. Vészleállítás A TPS-mini vészhelyzetben való...
Page 184: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TPS-mini nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Page 185: Megsemmisítés
és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Részletes információk végett forduljon az alábbi címhez: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 185/318...
Page 186 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés 186/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 187: Podrecznik Instrukcji
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 189 Zastosdowane symbole 191 Magazynowanie 192 Przygotowanie do instalacji 192 Instalacja Użytkowanie Włączenie i obsługa systemu TPS-mini Zatrzymanie TPS-mini 199 Zatrzymanie Alarmowe 199 Konserwacja Czyszczenie Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 187/318...
Page 188: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
ZAGROŻENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi! 188/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 189: Ogólne Informacje
TPS-mini jest zintegrowanym systemem składającym się z pompy turbomolekularnej dla zastosowania wysokich i ultra wysokich próżni , odpowiedniego sterownika i z głównej pompy. System jest w stanie pompować...
Page 190 Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w UWAGA! przypadku ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 190/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 191: Zastosdowane Symbole
Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. Pompa jest zaprojektowana do pompowania azotu, argonu i gazów lżejszych. W przypadku konieczności pompowania gazów cięższych od argonu, należy skontaktować się z działem Obsługi Technicznej firmy Agilent w celu uzyskania odpowiednich informacji. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 191/318...
Page 192: Magazynowanie
Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę aby nie spowodować upadku systemu TPS-mini ani nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje się całkowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektywą...
Page 193: Instalacja
Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Posta 1 System TPS-mini , nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na PRZYPIS działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
Page 194 W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information”. TPS-mini może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji. Zamocować TPS-mini w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na obciążenie 50 Nm wokół własnej osi. Turbopompa z kołnierzem wejściowym ISO musi być...
Page 195 Agilent. W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Technical Information” System TPS-mini nie może być mocowany poprzez własną podstawę. PRZYPIS Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z „Technical Information”.
Page 196 Podrecznik Instrukcji Instalacja Wokół systemu zapewnić co najmniej 20 cm wolnego miejsca w celu UWAGA! umożliwienia odpowiedniego przepływu powietrza. 196/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 197: Użytkowanie
Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować uszkodzenia ciała na osobach. ZAGROŻENIE! Podczas funkcjonowania turbopompy należy unikać uderzeń i jej przemieszczania. Łożyska mogą ulec uszkodzeniu i może dojść do uszkodzenia Osób lub rzeczy. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 197/318...
Page 198: Włączenie I Obsługa Systemu Tps-Mini
Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. Włączenie i obsługa systemu TPS-mini Aby włączyć TPS-mini wystarczy dostarczyć napięcie zasilania i ustawić wyłącznik zewnętrzny w pozycji On (czerwona lampka zaświeci się). Wbudowany sterownik tzw. kontroler automatycznie rozpozna obecność...
Page 199: Zatrzymanie Tps-Mini
OFF (czerwona lampka wyłączona). Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę. Zatrzymanie Alarmowe Aby zatrzymać w stanie alarmowym system TPS-mini , należy wyłączyć kabel zasilania z gniazda sieciowego, lub ustawić zewnętrzny wyłącznik na pozycję OFF. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 200: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja System TPS-mini nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROŻENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie wynosiła poniżej 50 °C.
Page 201: Przetworstwo Odpadow
Zaleca się użytkownikowi, po uprzednim sprawdzeniu terminu i warunków zawartych w umowie sprzedaży, nawiązać kontakt z dostawcą lub sprzedawcą, w celu uruchomienia procesu zbiórki i przerobu. W@ięcej informacji zamieszczono: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 201/318...
Page 202 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 202/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 203: Návod K Použití
Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 204 Všeobecné Informace 205 Použité symboly Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 213 Zapnutí a používání vývěvy TPS-mini 214 Vypnutí vývěvy TPS-mini Nouzové zastavení 215 Údržba 216 Čištění Likvidace Překlad originálního návodu 203/318...
Page 204: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence zranění obsluhy! 204/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 205: Všeobecné Informace
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. TPS-mini je integrovaný systém pro aplikace vyžadující vysoké a velmi vysoké vakuum vybavený hlavní turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem. Zařízení může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs.
Page 206 činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení. Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA 206/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 207: Použité Symboly
Vývěva byla navržena pro čerpání dusíku, argonu a lehkých plynů. V případě, že by bylo třeba čerpat plyny těžší než argon, je třeba požádat o informace Servisní službu firmy Agilent. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 207/318...
Page 208: Uskladnění
Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi. Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento materiál lze 100 % recyklovat a splňuje požadavky směrnice EEC 85/399. 208/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 209: Instalace
Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. Postava 1 V normálním prostředí se vývěva TPS-mini nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
Page 210 V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Vývěvu TPS-mini lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TPS-mini upevněte v nějaké stabilní poloze a vstupní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní moment 50 Nm kolem své...
Page 211 Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu firmy Agilent. Viz podrobný popis v příloze "Technical Information". Vývěvu TPS-mini nelze připevnit pomocí její podstavy. POZNÁMKA Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technical Information".
Page 212 Návod k Použití Instalace Zajistěte kolem systému volný prostor nejméně do vzdálenosti 20 cm, aby byla POZOR! umožněna vhodná cirkulace vzduchu. 212/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 213: Použití
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny. NEBEZPEČÍ! Předcházejte nárazům či posunům turbomolekulární vývěvy během jejího chodu. Mohlo by dojít k poškození ložisek a také ke zranění osob či škodám na věcech. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 213/318...
Page 214: Zapnutí A Používání Vývěvy Tps-Mini
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Zapnutí a používání vývěvy TPS-mini Vývěvu TPS-mini stačí zapojit do sítě a pak zapnout venkovní vypínač (rozsvítí se červená kontrolka). Vestavěný regulátor automaticky rozezná přítomnost síťového napětí a spustí vývěvu.
Page 215: Vypnutí Vývěvy Tps-Mini
Vývěvu TPS-mini stačí vypnout externím vypínačem, který přepnete do vypnuté polohy (červená kontrolka zhasne). Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. Nouzové zastavení Pro okamžité zastavení vývěvy TPS-mini v nouzové situaci je třeba vytáhnout napájecí kabel ze síťové zásuvky, nebo vypnout síťový vypínač. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 216: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TPS-mini nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 217: Likvidace
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného výrobku. Podrobnejší informace můžete získat na internetové stránce: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 217/318...
Page 218 Návod k Použití Likvidace 218/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 219: Návod Na Obsluhu
TPS-mini User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 221 Použité symboly Uchovávanie Príprava na inštaláciu 224 Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TPS-mini 230 Vypnutie TPS-mini 231 Núdzové zastavenie Údržba 232 Čistenie Likvidácia Preklad originálneho návodu 219/318...
Page 220: Bezpečnostný Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍE! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy! 220/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 221: Všeobecné Informácie
úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. TPS-mini je integrovaný systém s turbovývevou pre určený pre aplikácie používajúce vysoké, alebo veľmi vysoké vákuum, spojený s príslušným kontrolným modulom a vývevou primárneho vákua.
Page 222 Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA 222/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 223: Použité Symboly
Výveva bola navrhnutá pre čerpanie dusíka, argónu a ľahkých plynov. V prípade, ak bude chcieť čerpať plyny ťažšie ako argón, bude potrebné požiadať o informácie Servisnú službu firmy Agilent. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 223/318...
Page 224: Uchovávanie
Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Príprava na inštaláciu Zariadenie TPS-mini je dodané v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na zastúpenie spoločnosti Agilent.
Page 225 POZOR! budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu. Postava 1 Bežné vystavenie okolitým podmienkam nemôže TPS-mini poškodiť. Napriek POZNÁMKA tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie prachom. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 226: Inštalácia
TPS ▪ rozsah relatívnej vlhkosti: vychádzajte z návodov k jednotlivým ▪ komponentom TPS. V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. 226/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 227 Návod na Obsluhu Inštalácia Zariadenie TPS-mini môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Upevnite TPS-mini do stabilnej polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 50 Nm okolo svojej osi. Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO musí byť pripojená...
Page 228 Napájací kábel: Kábel vhodný na pripojenie elektrického napájania musí mať 3 vodiče (fázový + nulový + zemniaci). Minimálny prierez vodičov musí byť 0,75 mm² (AWG18). Zabezpečte okolo systému voľný priestor minimálne do vzdialenosti 20 cm, aby POZOR! bola umožnená vhodná cirkulácia vzduchu. 228/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 229: Použitie
Vysoké teploty môžu spôsobiť popáleniny NEBEZPEČÍE! Nepremiestňujte turbovývevu, ak je v činnosti, a chráňte ju pred nárazmi, aby nedošlo k poškodeniu ložísk, čo my mohlo viesť k úrazom alebo k majetkovým škodám. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 229/318...
Page 230: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tps-Mini
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Zapnutie a použitie zariadenia TPS-mini Pre zapnutie TPS-mini u stačí pripojenie k sieti a prepnutie vonkajšieho vypínača do polohy ON (svieti červená kontrolka). Zabudovaný kontrolný modul automaticky rozpozná pripojenie k sieti a zapne vývevu.
Page 231: Vypnutie Tps-Mini
Návod na Obsluhu Použitie Modrá LED “STATUS”, umiestnená na paneli zariadenia TPS-mini , signalizuje frekvenciou blikania operatívne podmienky, v ktorých sa nachádza systém: žiadne blikanie: výveva normálne rotuje; ▪ pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom ▪...
Page 232: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TPS-mini nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 233: Likvidácia
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Podrobnejšie informácie môžete získať na internetovej stránke: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 233/318...
Page 234 Návod na Obsluhu Likvidácia 234/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 235: Priročnik Za Navodila
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 236 Splošne informacije Uporabljeni simboli Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba TPS-mini -a Izklop TPS-mini -a 247 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Čiščenje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 235/318...
Page 236: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 236/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 237: Splošne Informacije
TPS-mini je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultravisoko vakuumsko uporabo, ki je povezana s pripadajočim upravljalcem in primarno črpalko. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi.
Page 238 Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe POZOR! opreme. Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila. OPOMBA 238/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 239: Uporabljeni Simboli
Črpalke nikoli ne uporabljajte ob prisotnosti eksplozivnih plinov. Črpalka je zasnovana za črpanje dušika, argona in lažjih plinov. Če bi bilo potrebno črpati pline, ki so težji od argona, se posvetujte s službo za tehnično pomoč Agilent. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 239/318...
Page 240: Shranjevanje
Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. Priprava za montažo TPS-mini je dobavljen v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.
Page 241 Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito. Slika 1 Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati TPS-mini -a Kljub temu OPOMBA je priporočljivo, da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s prahom.
Page 242: Montaža
TPS ▪ območje relativne vlažnosti: oglejte si priročnike posameznih ▪ komponent TPS. V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". 242/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 243 Priročnik za Navodila Montaža TPS-mini lahko namestite v poljuben položaj. TPS-mini namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko prenese navor 50 Nm okoli svoje osi. Turbo črpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Agilent strojne opreme.
Page 244 Napajalni kabel: pravi kabel za električni priklop mora biti trižilni (napetostni vod + nevtralni vod + ozemljitev). Presek kabla mora biti najmanj 0,75 (AWG18). Poskrbite, da bo okrog sistma najmanj 20 cm prostora, tako da omogočite POZOR! ustrezno kroženje zraka. 244/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 245: Uporaba
Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte. Visoka temperatura lahko povzroči opekline. SVARILO! Preprečiti udarce ali premike turbočrpalke, ko le-ta deluje. Ležaji se namreč lahko poškodujejo, kar lahko povzroči škodo človeku in predmetom. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 245/318...
Page 246: Vklop In Uporaba Tps-Mini -A
Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. Vklop in uporaba TPS-mini -a Za vklop TPS-mini -a je dovolj, da priključite napetost in premaknete zunanje stikalo v položaj ON (rdeča lučka sveti). Vgrajen upravljalec samodejno prepozna prisotnost napetosti in zažene črpalko.
Page 247: Izklop Tps-Mini -A
Priročnik za Navodila Uporaba Plava lučka "STATUS", ki se nahaja na osnovni plošči TPS-mini kaže, preko frekvence lastnega utripa, operativne pogoje sistema: Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti; ▪ Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju ▪...
Page 248: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje TPS-mini ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 249: Odlaganje Opadkov
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Za podrobnejše informacije si oglejte spletno stran: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 249/318...
Page 250 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 250/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 251: Instructions For Use
TPS-mini User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 252 General Information Symbols used 255 Storage Preparation for installation 256 Installation Switching on and Use of TPS-mini TPS-mini Switching off 263 Emergency Stop Maintenance Cleaning Disposal Original Instructions 251/318...
Page 252: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 252/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 253: General Information
The TPS-mini is an integrated system with a turbo-molecular pump for high and ultra-high vacuum applications associated with its relevant controller and its primary pump. The system can pump any type of gas or gas compound.
Page 254 The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment Notes contain important information taken from the text. NOTE 254/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 255: Symbols Used
The pump is designed to pump high throughput of N2, Ar and lighter gas. Should you need to pump gases heavier than Ar, please contact Agilent technical support for informations. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 255/318...
Page 256: Storage
Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Preparation for installation The TPS-mini is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office.
Page 257: Installation
Always use gloves or other appropriate protection. Figure 1 Normal exposure to the environment cannot damage the TPS-mini . NOTE Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust.
Page 258 See the appendix "Technical Information" for detailed information. The TPS-mini can be installed in any position. Fix the TPS-mini in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 50 Nm around its axis.
Page 259 The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Agilent hardware. See the appendix "Technical Information" for a detailed description. The TPS-mini cannot be fixed by means of its base. NOTE For installation of optional accessories, see "Technical Information".
Page 260 Instructions for Use Installation Assure a free space all around the system at minimum of 20 cm to allow proper CAUTION! air circulation. 260/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 261: Use
The high temperatures may cause burns. WARNING! Avoid impacts or harsh movements of the pump when in operation. The bearings may become damaged and damages to the persons or the things could be taken place. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 261/318...
Page 262: Switching On And Use Of Tps-Mini
Do not use the pump in presence of explosive gases. Switching on and Use of TPS-mini To switch on the TPS-mini it is sufficient to supply the mains and then move the external switch to ON position (red light on). The integrated controller automatically recognizes the mains presence and start up the pump.
Page 263: Tps-Mini Switching Off
See the appendix "Technical Information" for a detailed description of the TPS-mini control panel. TPS-mini Switching off To switch off the TPS-mini it is sufficient to move the external switch to OFF position (red light off). The integrated controller immediately stops the pump.
Page 264: Maintenance
If a system is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards. Cleaning The exterior surfaces of the TPS-Mini may be cleaned with mild detergents only. 264/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 265: Disposal
The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to; http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 265/318...
Page 266 Instructions for Use Disposal 266/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 267: Technical Information
TPS-mini User Manual Technical Information Description of the TPS-mini 269 Turbopump Description269 Controller Description 271 Diaphragm Forepump Description Control Panel Description 271 Technical Specification 273 TPS-mini Outline 275 Inlet Screen Installation High Vacuum Flange Connection High Vacuum Flange Connection Configurations...
Page 268 How to Connect the Outputs of the Controller 296 J2 - Serial RS 232/RS 485 Communication Description 298 Communication Format 298 Serial Communication Descriptions 300 Window Protocol 300 Description Communication Format 300 Communication Protocol Examples Window-Meanings Replacement Parts and Accessories 312 268/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 269: Description Of The Tps-Mini
Technical Information Description of the TPS-mini Description of the TPS-mini The TPS-mini pumping system consists of a pump with an integrated controller and a forepump and is available in three models which differ only in the high vacuum flange. The four models are: Model 9699180 with KF 40 high vacuum flange;...
Page 270 A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating. The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 m. TURBOPUMP FOREPUMP CONTROL PANEL AND INTEGRATED CONTROLLER Figure 3 270/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 271: Controller Description
It is recommended to open manually the vent valve after every start command for about 30 seconds. Control Panel Description The following picture shows the TPS-mini control panel; the associated table lists the available commands. For a detailed description see the following paragraphs.
Page 272 It is the power supply switch. (not shown in the The integrated red light shows the power supply status: it picture) lights when the power supply is applied to the TPS-mini 272/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 273: Technical Specification
EN 55011 (Class A Group 1) EN 61326-1 EN 61010-1 EN 1012-2 EN 12100 Indoor Use Only Max Altitude 2000m Installation category Pollution degree Power cable With European, USA or UK plug 2 meters long TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 273/318...
Page 274 According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange. When the TPS-mini has been stored at a temperature less than 5 °C, wait until the NOTE TPS-mini has reached the above mentioned temperature.
Page 275: Tps-Mini Outline
Technical Information TPS-mini Outline TPS-mini Outline The following figure shows the TPS-mini outline. Figure 5 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 275/318...
Page 276 Technical Information TPS-mini Outline Figure 6 Graph of pumping speed vs inlet pressure (N2) 276/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 277 Technical Information TPS-mini Outline Figure 7 Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre) TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 277/318...
Page 278: Inlet Screen Installation
0.7 mm diameter. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. Figure 9 278/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 279 The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange (on the left side) and pump with 4.5” CFF flange (on the right side). Figure 11 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 279/318...
Page 280: High Vacuum Flange Connection
To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Figure 12 Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure. 280/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 281 Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope as this may cause the pump rotor to lock. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 281/318...
Page 282: High Vacuum Flange Connection Configurations
Technical Information High Vacuum Flange Connection Configurations High Vacuum Flange Connection Configurations Figure 14 282/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 283: Interconnections
Figure 16 Vent Connector This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve (available on request). The vent valve can be driven by controller automatically or by serial line. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 283/318...
Page 284: J5 - Gauge Connector
Figure 17 Vent Valve Diagram in “Auto” mode J5 – Gauge Connector TPS-mini is equipped with new generation gauge reading card able to drive/read a Agilent Full Range Gauge FRG-700. The FRG-700 Full Range Gauge is a combined technologies gauge (Inverted Magnetron plus Pirani Gauge).
Page 285: Pressure Display Module
Technical Information P1 – Vent Pressure gauge can be connected/disconnected from the TPS-mini during normal operation. Figure 18 Gauge Connector The FRG700 gauge is intended for high vacuum use, so with pressure above 50 NOTE mTorr the signal is misinterpreted and a “false” pressure is displayed. Use a transition gauge to understand if the reading is really under 50 mTorr or not.
Page 286: Procedure To Connect The Serial And I/O Ports To An External Cable
Take care to have a good contact between the metallic case and the external NOTE shield of the wire. Moreover, this operation has to be done at least on the controller side. 286/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 287 Technical Information P1 – Vent In this way, you will be sure to reduce the influence of the external noise and to accomplish the EMC requests. In picture d is showed the cable assembled. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 287/318...
Page 288: J1 - In-Out
INTERLOCK (-) SPEED SETTING (+) SPEED SETTING (-) SOFT START (+) SOFT START (-) +24 Vdc = 30 mA NORMAL OUTPUT (relay) = 125V = 200 mA PROGRAMMABLE SET POINT NORMAL OUTPUT FAULT OUTPUT 288/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 289: Signal Description
100 Hz +/-20 % ▪ ▪ amplitude: 24 V max ▪ duty cycle range: from 25 % to 75 % corresponding to a pump speed from 1100 Hz to 1167 Hz (see the ▪ following diagram). TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 289/318...
Page 290 (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power or Temperature or Pressure) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagram). Figure 23 290/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 291 Technical Information J1 – IN-OUT Voltage (V) Figure 24 Voltage (V) Figure 25 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 291/318...
Page 292 (in % of the threshold value) to avoid bouncing. For example: reference quantity: frequency ▪ threshold: 867 Hz ▪ hysteresis: 2 % ▪ ▪ activation type: "high level" 292/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 293 867 Hz ▪ hysteresis: 2 % ▪ activation type: high level ▪ ▪ delay time: 0 second The Navigator Software (optional) allows the operator to set all the NOTE programmable feature. TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 293/318...
Page 294: How To Connect The Open Collector Input Of The Controller
How to Connect the Open Collector Input of the Controller Here below there are the typical connections of the open collector input of TPS-mini to an external system. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc.
Page 295 Technical Information J1 – IN-OUT Figure 29 Case 2 with relay utilisation TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 295/318...
Page 296: How To Connect The Outputs Of The Controller
LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9. 296/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 297: J2 - Serial
Figure 31 Typical output connection 1 J2 - Serial Figure 32 This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TPS-mini . TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 297/318...
Page 298: Rs 232/Rs 485 Communication Description
RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the software. Communication Format 8 data bit ▪ no parity ▪ ▪ 1 stop bit baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable ▪ 298/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 299 Technical Information RS 232/RS 485 Communication Description Figure 33 RS 232 Connection Figure 34 RS 485 Connection TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 299/318...
Page 300: Window Protocol
These two protocols can be used as well with 232 or 485 media. Please use “Window” protocol for new development. NOTE Window Protocol Description Communication Format 8 data bit ▪ no parity ▪ 1 stop bit ▪ ▪ baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable 300/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 301: Communication Protocol
<DATA> = an alphanumeric ASCII string with the data to be ▪ written into the window. In case of a reading command this field is not present. The field length is variable according to the data type as per the following table TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 301/318...
Page 302 MESSAGE. Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR>. 302/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 303 The specified window is Read Only or temporarily disabled (for example) you Win Disabled 1 byte (0x35) can’t write the Soft Start when the Pump is running) TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 303/318...
Page 304: Examples
Technical Information Window Protocol Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 304/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 305 Technical Information Window Protocol Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 305/318...
Page 306 DATA (STATUS) Command: READ SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW DATA 306/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 307: Window-Meanings
"high 1 = low level active level active" or "low level (default = 0) active" Set point hysteresis 0 to 100 (in % of value) (default = 2) TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 307/318...
Page 308 Automatic = 0 (see note 1.) On command = 1 (see note 2.) Vent valve opening delay 0 to 65535 (expressed in 0.2 sec) (corresponding to 0 to 13107 sec) (default = 15) 308/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 309 Pump current in mA dc Pump voltage in Vdc Pump power in W (pump current x pump voltage Driving frequency in Hz Pump temperature in °C 0 to 110 (60 °C = Threshold Pump Overtemperature) TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 309/318...
Page 310 QE8XXXX (where “XXXX” are variable) Boot CRC (BL) BL2XXXX (where “XXXX” are variable) CRC Param. (PA) PA8XXXX (where “XXXX” are variable) CRC Parameter structure "XXXX" Program Listing Code "XXXXXXXXXX" Parameter Listing Code "XXXXXXXXXX" 310/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 311 3. These commands remove the pump motor supply for a short time. If they are used continuously, they can cause the pump stopping. TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. Figure 35 Window N. 206 Bit Description TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E) 311/318...
Page 312: Replacement Parts And Accessories
FRG-700 3 m cable 9699960 FRG-700 5 m cable 9699961 Inlet screen DN40 9699309 Inlet screen DN63 9699300 For a complete overview of Agilent's extensive product lines, please refer to the Agilent catalog. 312/318 TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Page 318 Request for Return Form United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Ce manuel est également adapté pour:

9699180 9699181 9699182

Agilent Technologies TPS-mini Notice De Mode D'emploi

Table des Matières

Deutsch

Français

Español

Português

Dutch

Dansk

Svenska

Norsk

Suomi

Magyar

Polski

Čeština

Slovenčina

Slovenščina

English

Instructions for Use

Technical Information

Les langues disponibles

Liens rapides

Chapitres

Manuels Connexes pour Agilent Technologies TPS-mini

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TPS-mini