Utilização - Agilent Technologies TPS-compact 969-8217 Notice De Mode D'emploi

Utilização
Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos
operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações
eléctricas e pneumáticas. Durante o aquecimento da câmara a vácuo,
a temperatura no flange de entrada não deve ser superior a 120 °C.
ATENÇAO! Nunca activar o sistema de bombeamento se o flange de entrada não estiver
ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange de fecho.
ATENÇAO! Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as
operações de aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às
pessoas.
ATENÇAO!
Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a
funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos e poderia verificar-se lesões
às pessoas ou às coisas.
Para a "saída de ar" da bomba, utilizar gás inerte sem poeiras, partículas ou
CUIDADO!
humidade (p. ex.: Azoto). A pressão de entrada através da porta específica deve
ser inferior a 2 bars (além da pressão atmosférica).
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (C)
Manual de Istruções
Utilização
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