Használat - Agilent Technologies TPS-compact 969-8217 Notice De Mode D'emploi

Használat
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze
el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer
használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete
nem haladhatja meg a 120 °C-ot.
VESZÉLY! Soha ne használja a szivattyúzó rendszert, amikor a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
VESZÉLY! Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési
folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.
VESZÉLY! Ne mozdítsa el, és vigyázzon, ne ütközzön semmi a turbószivattyúhoz
működés közben! A csapágyak megsérülhetnek, és anyagi kár vagy személyi
sérülés történhet.
Használjon portól, szemcséktől vagy nedvességtől mentes semleges gázt (pl.
FIGYELEM!
nitrogént) a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő nyomásnak 2
barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött).
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (C)
Felhasználói Kézikönyv
Használat
141/262
11