11
Felhasználói Kézikönyv
Telepítés
Tab. 1
KARIMA
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Agilent
hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért lásd
„Technical Information".
ATPS-compact nem rögzíthető az alapján keresztül.
MEGJEGYZÉS
Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Technical
Information".
140/262
RÖGZÍTŐ ESZKÖZ
M10 kapcsok
M10 kapcsok
M10 kapcsok
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01
N.
RÖGZÍTŐ NYOMATÉK
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
(C)