13
Návod k Použití
Instalace
Tab. 1
PŘÍRUBA
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu firmy
Agilent. Viz podrobný popis v příloze "Technical Information".
Vývěvu TPS-compact nelze připevnit pomocí její podstavy.
POZNÁMKA
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technical
Information".
164/262
PŘÍCHYTNÉ ZAŘÍZENÍ
Spony M10
Spony M10
Spony M10
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01
POČET
UTAHOVACÍ MOMENT
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
(C)