Anvendelse - Agilent Technologies TPS-compact 969-8217 Notice De Mode D'emploi

Anvendelse

Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse
af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger
udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må
indløbsflangens temperatur ikke overstige 120 °C.
ADVARSEL! Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet
vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen.
ADVARSEL! Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i skade på
personer.
ADVARSEL!
Undgå stød eller pludselige bevægelser af turbopumpen, mens den er
aktiveret. Der er risiko for beskadigelse af lejerne og det kan medføre skader
på personer eller ting.
Til pumpens luftafløb anvendes inaktiv luftart, der er fri for støv, partikler eller
FORSIGTIG!
fugtighed (eksempelvis kvælstof). Indgangstrykket gennem den særlige åbning
skal være under 2 bar (over det atmosfæriske tryk).
TPS-compact User Manual / 87-901-010-01 (C)
7
Istruktionsbog

Anvendelse

93/262