Használat - Agilent Technologies TPS-mini Notice De Mode D'emploi

Pompe turbomoléculaires
Masquer les pouces Voir aussi pour TPS-mini:
Table des Matières

Publicité

Les langues disponibles
  • FR

Les langues disponibles

  • FRANÇAIS, page 45
Használat
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.
Végezze el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a
rendszer használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete
nem haladhatja meg a 120 °C-ot ConFlat karima és a 80 °C-ot ISO
karima esetén.
VESZÉLY!
Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
VESZÉLY!
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési
folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.
VESZÉLY!
Ne mozdítsa el, és vigyázzon, ne ütközzön semmi a turbószivattyúhoz
működés közben! A csapágyak megsérülhetnek, és anyagi kár vagy személyi
sérülés történhet.
TPS-mini User Manual / 87-901-003-01 (E)
Felhasználói Kézikönyv
Használat
181/318
11

Publicité

Table des Matières
loading

Ce manuel est également adapté pour:

969918096991819699182

Table des Matières