Systembeschreibung; Allgemeine Funktion - Burkert 8626 Instructions De Service

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SYSTEMBESCHREIBUNG

2.1

Allgemeine Funktion

Der Mass Flow Controller (MFC) Typ 8626 ist ein Kompaktgerät, mit dem der
Massen durchfluß von Gasen geregelt wird. Er regelt einen vorgegebenen Sollwert
unabhängig von Störgrößen wie Druckschwankungen oder zeitlich veränderlichen
Strömungswiderständen aus (z.B. infolge Filterverschmutzung).
Der MFC Typ 8626 vereinigt in sich die Komponenten Sensor, Elektronik (mit den
Funktionen Signalverarbeitung, Regelung und Ventilansteuerung) sowie ein Propor-
tional-Magnetventil als Stellglied (Bild 1).
w
p
1
Q-Sensor
Bild 1 : Komponenten des MFC Typ 8626
Die Sollwertvorgabe (w) erfolgt elektrisch über ein Normsignal (s. 2.3). Der vom
Sensor erfaßte Istwert (x) wird im Regler mit dem Sollwert verglichen. Als Stellgröße
wird vom Regler ein pulsweitenmoduliertes Spannungssignal an das Stellglied
gegeben. DasTastverhältnis des Spannungssignals wird entsprechend der festge-
stellten Regelabweichung variiert .
Der Istwert wird darüber hinaus über eine analoge elektrische Schnittstelle nach
außen gegeben und steht dem Anwender für Kontrollzwecke oder weitere Auswer-
tungen (z.B. Verbrauchsermittlung durch Integration) zur Verfügung.
Durch das verwendete Meßprinzip (s. 2.5.1) arbeitet der MFC Typ 8626 weitgehend
unabhängig von den aktuellen Druck- und Temperaturverhältnissen in der jeweiligen
Anwendung und zeichnet sich durch eine hohe Dynamik sowie eine geringe
Verschmutzungsempfindlichkeit aus.
Der MFC Typ 8626 ist modular aufgebaut, so daß durch Verwendung verschiedener
Proportionalventile und Anschlußplatten für jede Applikation eine Variante aufgebaut
werden kann, die auf deren spezifische fluidische Anforderungen abgestimmt ist.
Betriebsanleitung-Nr. 801 147
y
x = w-x
d
Regler
x
x
Stellglied
5