Komponenten; Sensor - Burkert 8626 Instructions De Service

2.5

Komponenten

2.5.1 Sensor

Der Durchflußsensor des MFC Typ 8626 arbeitet nach dem Prinzip des Heißfilm-
anemometers. Das Meßsignal hängt vom Produkt aus Dichte und Strömungsge-
schwindigkeit ab und liefert direkt den Massendurchfluß. Zusätzliche Größen wie
die Dichte müssen nicht erfaßt und verrechnet werden.
In einer Brückenschaltung wird die Temperaturdifferenz zwischen dem
Heizwiderstand (R
Temperaturfühler (R
wendige Brückenstrom (I) ist ein Maß für die Geschwindigkeit des strömenden
Gases.
Dieser Konstant-Temperatur-Betriebsmodus schützt den Sensor vor thermischer
Überlastung.
.
m
m
Bild 3 : Funktionsschema des thermischen Durchflußsensors
Vorgeschaltete Elemente zur Strömungskonditionierung sorgen für reproduzierbare
Strömungsformen. Nach einmal erfolgter Kalibrierung kann somit aus dem Sensor-
signal auf den Gesamtdurchfluß im Strömungskanal rückgeschlossen werden.
Im MFC Typ 8626 erfolgt die Messung im Hauptstrom , so daß eine sehr gute Dyna-
mik gewährleistet ist.
Durch die Anordnung des Pt-Heizwiderstandes auf einem längs zur Strömung
liegenden Glaschip ist der Sensor nur in geringem Maße verschmutzungsanfällig.
10
) und einem vor diesem im Medienstrom angeordneten
S
) auf einem konstanten Wert gehalten (Bild 3). Der dazu not-
T
I
I
R
T
R
K
R
2
S
S
R
S
PID
PID
R
1
I I
Typ 8626