GENERAL NOTES Symbols The following symbols are used in these operating instructions: marks a work step that you must carry out. ATTENTION! marks notes on whose non-observance your health or the functioning of the device will be endangered. NOTE marks important additional information, tips and recommendations.
Scope of delivery Immediately after receipt of the delivery, make sure the contents agree with the stated scope of delivery. The latter comprises: • MFC or MFM Type 8626, 8006 or 87xx • Operating Instructions (possibly on data carrier) •...
Bypass / Capillary 8700 0.005 ... 1 Bypass / Capillary Please observe in this connection the note on the device types 8626 / 8006 in the section Connection Configuration Type 8626/8006. ® CMOSens is a registered trademark of Sensirion AG (Switzerland)
General function The MFCs of Types 8626 / 8716 / 8713 / 8712 / 8711 / 8710 are compact devices with which the mass flow of gases is controlled. They control to a preset setpoint value, independent of disturbances such as pressure variations or flow resistances that vary with time, e.g.
Sensors Thermal measurement principle The flow sensors employed work on a thermal (anemometer) measurement principle. They measure in each case the product of density an flow velocity and thus deli- ver a signal related to the quantity of material flowing. For most applications the relevant quantity mass flow is directly determined thereby, without additional measurement of secondary quantities, such as density, and the signal can be further processed in the controller as the process value...
Inline sensor (Types 8626 / 8006 / 8716 / 8706) This sensor works as a hot-film anemometer in the so-called CTA (Constant Temperature Anemometer) mode. Two resistors with exactly defined temperature coefficients in the medium flow form a resistance bridge with three resistors situated outside the flow.
Bypass sensor in conventional technology "capillary" (Types 8710 / 8700) Measurement is also on the bypass principle. A laminar flow element in the main channel generates a small pressure drop. This drives a small flow proportional to the main flow through the actual sensor tube. On this narrow tube are wound two heater resistors which are connected in measuring bridge.
Bypass sensor in CMOSens ® technology (Types 8713 / 8703 / 8712 / 8702 / 8711 / 8701) In this technology, the mass flow is measured in a specially shaped flow channel whose wall contains at one point a Si chip with a membrane that has been formed by etching.
Control electronics Processing of the setpoint and actual flow signals, and drive of the actuator are carried out by a microprocessor. The sensor signal is filtered by the control electronics and with the aid of the calibration curve stored in the device, converted to a value corresponding to actual flow rate.
Depending on the version of the device, the setpoint is set either via the standard signal input as an analog signal, or digitally via the field bus interface. Independent of the control status, the flow rate measured by the sensor is sent as an analog signal via the standard signal input or digitally via the field bus interface.
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In this case, in analogy to equations (1) and (2), one first determines from the desired nominal flow rate Q and the pressures p and p , the minimum flow coefficient of the overall system k . Via the relationship Vges ⎛...
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The system must not be dimensioned so closely with regard to the NOTE flow coefficient (k ) that at the desired flow rate, the major part of the available pressure drop is used up there, and then the nominal valve diameter of the MFC is chosen so great (k >>...
TECHNICAL DATA Environmental tests • Temperature cycles to EN 60068-2-14, Nb and EN 60068-2-33 • Head and humidity to EN 60068-2-38, Z/AD • Shocks to EN 60068-2-27 • Vibration to EN 60068-2-6 • IP protection type to EN 60529 • Free fall to EN 60068-2-32 •...
Connection cross-section min. 0.5 mm² (0.75 mm² for valve Type 2836) Power consumption 20 W - max. 50 W (Type 8626,dep. on Valve) 22.5 W - max. 52.5 W (Type 8626 bus, dep. on valve) 10 W (Type 8006) 12.5 W (Type 8006 bus)
® Type 8710 / 8700 MASS FLOW CMOSens Full scale range (Q 0.005 to 1.0 I /min (N equivalent) Operating media neutral, not-contaminated gases, others on request max. operating pressure 10 bar (145 psi), depends on valve orifice (inlet) Calibration medium operating gas or air with conversion factor Medium temperature -10 to + 70 °C...
® Type 8711 / 8701 MASS FLOW CMOSens Full scale range (Q 0.02 to 50 l / min (N equivalent) Operating media neutral, non-contaminated gases, others on request max. operating pressure 10 bar (145 psi), depends on valve orifice (inlet) Calibration medium operating gas or air with conversion factor Medium temperature...
® Type 8712 / 8702 MASS FLOW CMOSens Full scale range (Q 0.02 to 50 l /min (N equivalent) neutral, non-contaminated gases, Operating media others on request max. operating pressure 10 bar, depending on nom. valve diameter Calibration medium operating gas or air Medium temperature -10 to + 70 °C Ambient temperature...
® Type 8713 / 8703 MASS FLOW CMOSens Full scale range (Q 0.02 to 50 l /min (N equivalent) Operating media neutral, non-contaminated gases, others on request Max. operating pressure 10 bar (145 psi), depends on valve orifice (inlet) Calibration medium Operating gas or air with conversion factor Medium temperature -10 to + 70 °C...
Type 8716 / 8706 MASS FLOW INLINE Full scale range (Q 8706 25 to 1500 l /min (N equivalent) 8716 25 to 500 l /min (N equivalent) Operating media neutral, non-contaminated gases, others on request max. operating pressure 10 bar, depending on nom. valve diameter Calibration medium operating gas or air with conversion factor Medium temperature...
ASSEMBLY, INSTALLATION AND COMMISSIONING Dimensional drawings Fig.: Type 8626 / 8006 MASS FLOW INLINE (version with proportional valve 6022 and standard sensor body) 2 x M 4 - 6 deep Bus version Bus version 16,5 Bus version ® Fig.: Type 8710 / 8700 MASS FLOW CAPILLARY / Type 8711/8701 MASS FLOW CMOSens...
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Fig.: Type 8711 / 8701 MASS FLOW CMOSens ® (with steel sheet housing) M4 - 6 deep M4 - 6 deep ca. 3.5 ca. 24 Fig.: Type 8711 with external valve MFC/MFM - 25...
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Fig.: Type 8712 / 8702 MASS FLOW CMOSens ® ® Fig.: Type 8713 / 8703 MASS FLOW CMOSens 26 - MFC/MFM...
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Fig.: Type 8716 / 8706 MASS FLOW INLINE (with standard sensor body) MFC/MFM - 27...
General notes on installation and operation Before installation: Install a suitable filter upsteam to assure cleanliness of the operating medium. Observe the installation position (see calibration data). Provide a power supply with adequate power. Observe the max. residual ripple on the operating voltage. Remove dirt from the piping before installation of the MFC.
Please select the matching fluidic connection from the table in Appen- dix B. Connections at MFC/MFM Standard screw-in thread Special screw-in thread base Types G 1/4" G 3/8" G 1/2" G 3/4" NPT 1/4 NPT 3/8 NPT1/2 NPT3/4 8626 8006 8716 8706 8713 8703 8712...
Data ). Suitable connecting cables are to be found in Appendix A. ATTENTION! The 8-pole socket (types 8626 / 8006 / 8712 / 8702 / 8716 / 8706) only has to be tightened hand-screwed. Connect the the functional earth (FE) to the marked screw, e.g. using round pliers.
DGND (for RS232 interface) NOTE If a device of Type 8626 / 8006 (built before 2003) is to be replaced by a new one (from 2003 on), this can be done by using an adapter (see Appendix A) without additional cabling.
Connection configuration Type 8712 / 8702 9-pole Sub-D socket (bus version only) PROFIBUS DP DeviceNet Shield (FE) functional earth N. C. (not connected) CAN_L data line RxD/TxD-P B-line RTS control signal for repeater N. C. GND data transmission potential N. C. N.
Connection configuration Type 8713 / 8703 9-pin sub-D plug Binary input (related to GND PIN 2) Power supply +24 V DC Relay, C contact Relay, NC contact TX+ (RS485-Y) bridge with pin 9 at Half-Dublex TX- (RS485-Z) bridge with pin 8 at Half-Dublex RX- (RS485-B) RX+ (RS485-A) MFC/MFM - 35...
Connection configuration Type 8716 / 8706 9-pole Sub-D socket (bus version only) PROFIBUS DP DeviceNet Shield (FE) functional earth N. C. (not connected) CAN_L data line RxD/TxD-P B-line RTS control signal for repeater N. C. GND data transmission potential N. C. N.
Overview of types Type Setpoint Process LED Binary Relay input value output connection inputs outputs 8006 8626 8006 Bus 8626 Bus 8700 8710 8700 Bus 8710 Bus 8701 8711 8701 Bus 8711 Bus 8702 8712 8702 Bus 8712 Bus 8703...
Bus connection Types 8626, 8006, 8716, 8706, 8712, 8702, 8711, 8701, 8710 and 8700 are available as bus versions. Setpoint and process value are received or repeated in digital form via the bus. One can choose between a PROFIBUS DP and a DeviceNet connection (see also Supplement to Operating Instructions for fieldbus devices or serial communication RS 232 / RS 485 ).
Binary outputs (default configuration) The binary outputs are executed as realy outputs (potential-free changeover contacts). Functions Relay 1** LIMIT (y) Relay 2* ERROR (serious error, e.g. sensor breakage or faulty internal voltage supply) * (not present with 8710 / 8700 / 8711 / 8701 / 8713 / 8703) * * (with 8713 / 8703 as normally closed contact) NOTE The functions of the POWER- and ERROR-LED are unchangable.
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Binary outputs The binary outputs of the MFC, which can be defined specificly, can be used to transfer information to a higher-level controller under certain circumstances. The binary outputs enable to make predication of the device or can be used for diagnostics and fixing malfunctions.
Operating modes of the MFC Standard control operation This is the operating mode in which the MFC finds itself after being switched on and after a short initialization phase. In the LED group, only the green Power LED lights. The flow rate is controlled to the setpoint with high sensitivity. Disturbances such as those resulting from pressure variations are rapidly corrected by suitable adjustment to the aperture of the control valve.
NOTE Each MFC has been subjected to the Autotune routine in the factory during final testing at the operating pressure stated in the calibration report. For reliable control operation in a system, it is not absolutely necessary to initiate this function again after commissioning. We recommend renewed initialization if the operating pressure deviates by serveral bar from the calibration pressure or if the characteristic curve of the proportional valve is heavily influenced by a low valve...
Operating modes of the MFC Operating can be interrupted LED display Reaching the operating mode or ended by of default status via binary input (if configured) Standard · Autotune routine control · Safety function operation · Setpoint profile · Control operation Control ·...
If after prolonged operation with contaminated medium, large quantities of particles were drawn in, with Types 8626 / 8006 / 8710 / 8700 / 8711 / 8701, 8712 / 8702 / 8713 / 8703 / 8716 / 8706 the easily accessible stainless steel filter can be...
MALFUNCTION / TROUBLESHOOTING Problem Possible cause Remedy "POWER" LED No electrical supply Check the electrical does not light connections. "POWER" LED Autotune activated see Section flashes Operating Modes "POWER" LED Voltage supply collapses Select a power supply with extinguishes periodically - device adequate power.
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(→ increased intrinsic con- flow vection, only with 8716 and 8626) Incorrect installation Install the MFC in the position position calibrated or execute an (→ increased intrinsic con- Autotune to adapt to the vection, only with 8716 and operating conditions.
RS232 adapter for connecting a PC with an 654757 extension cable (Order no. 917039) Connecion adapter (DB9/m-DB15HD/m) to replace a device Type 8626/8006 built before 2003) by a new one of the same type (built 787923 from 2003 on) → no IP65 protection...
Further accessories for the fluidic connection of the MFC/MFM can be found under Type 1013 in Bürkert Accessory Catalog. Spare parts Designation Order no. Stainless steel grid* for 8626 / 8006 / 8716 / 8706 (standard 646808 housing) Stainless steel grid* for 8626 / 8006 / 8716 / 8706 651694...
RS 232-Interface requires a RS 232 adapter with interface driver (see ASSECOIRES in APPENDIX A). For a more easy and comfortable connection of the types 8626 / 8006 / 8712 / 8702 / 8716 / 8706 an adapter is also available (see ASSECOIRES in APPENDIX A).
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A detailled description of the procedure using the software is available in the help function of software documentation encolsed in the program itself. The software may be downloaded from: www.buerkert.com NOTE The downloadfunction always provides the latest version of the MassFlowCommunicator.
ALLGEMEINE HINWEISE Darstellungsmittel In dieser Betriebsanleitung werden folgende Darstellungsmittel verwendet: markiert einen Arbeitsschritt, den Sie ausführen müssen. ACHTUNG! kennzeichnet Hinweise, bei deren Nichtbeachtung Ihre Gesund- heit oder die Funktionsfähigkeit des Gerätes gefährdet ist. HINWEIS kennzeichnet wichtige Zusatzinformationen, Tipps und Empfehlungen. Bestimmungsgemäße Verwendung ACHTUNG! Zur bestimmungsgemäßen Verwendung gehört insbesondere...
Lieferumfang Überzeugen Sie sich unmittelbar nach Erhalt der Lieferung, ob der Inhalt mit dem angegebenen Lieferumfang übereinstimmt. Zu diesem gehören: • MFC bzw. MFM Typ 8626, 8006 oder 87xx • eine Betriebsanleitung (ggf. auf Datenträger) • bei Busgeräten Ergänzungen zur Bedienungsanleitung (ggf.
0,005 ... 1 Bypass / Capillary 8700 0,005 ... 1 Bypass / Capillary Bitte beachten Sie hierzu den Hinweis zu den Gerätetypen 8626/8006 im Abschnitt Anschlussbelegung Typ 8626/8006. CMOSens ® ist ein eingetragenes Warenzeichen der Firma Sensirion AG (Schweiz) MFC/MFM - 55...
Allgemeine Funktion Die MFC der Typen 8626 / 8716 / 8713 / 8712 / 8711 / 8710 sind Kompaktgeräte, mit denen der Massendurchfluss von Gasen geregelt wird. Sie regeln einen vorge- gebenen Durchfluss-Sollwert aus, unabhängig von Störgrößen wie Druck- schwankungen oder zeitlich veränderlichen Strömungswiderständen, z. B. infolge Filterverschmutzung.
Sensor Thermisches Messprinzip Die verwendeten Durchflusssensoren arbeiten nach einem thermischen (anemometrischen) Messverfahren. Sie messen jeweils das Produkt aus Dichte und Strömungsgeschwindigkeit und liefern damit ein stoffmengenbezogenes Signal. Dadurch wird die für die meisten Applikationen relevante Größe Massendurchfluss direkt und ohne zusätzliche Erfassung von Hilfsgrößen, wie der Dichte, bestimmt und kann im Regler als Istwert weiterverarbeitet werden Je nach Durchflussbereich und Zielmarkt der Geräte enthalten die einzelnen...
Inline-Sensor (Typen 8626 / 8006 / 8716 / 8706) Dieser Sensor arbeitet als Heißfilm-Anemometer im sogenannten CTA-Betriebs- modus ( C onstant T emperature A nemometer) . Dabei sind zwei direkt im Medien- strom befindliche Widerstände mit präzise spezifiziertem Temperaturkoeffizienten und drei außerhalb der Strömung befindliche Widerstände zu einer Brücke ver- schaltet.
Bypass-Sensor konventioneller Technologie "capillary" (Typen 8710/8700) Die Messung erfolgt auch hier nach dem Bypass-Prinzip. Ein Laminar-Flow- Element im Hauptkanal erzeugt einen geringen Druckabfall, welcher einen kleinen Teil des Gesamtdurchflusses, der diesem aber proportional ist, durch das eigent- liche Sensorröhrchen treibt. Auf das dünne Edelstahlröhrchen sind zwei Heiz- widerstände aufgewickelt, welche in einer Messbrücke verschaltet sind.
® Bypass-Sensor in CMOSens -Technologie (Typen 8713 / 8703 / 8712 / 8702 / 8711 / 8701) Der Massendurchfluss wird bei dieser Technologie in einem speziell geformten Strömungskanal gemessen, dessen Wandung an einer Stelle einen Si-Chip mit ® einer freigeätzten Membran enthält. Auf dieser Membran sind in CMOSens Technologie ein Heizwiderstand sowie symmetrisch zu diesem stromaufwärts und stromabwärts zwei Temperatursensoren aufgebracht.
Regelelektronik Die Verarbeitung der aktuellen Soll- und Ist-Durchflüsse und die Ansteuerung des Stellgliedes wird von einer Mikroprozessorelektronik durchgeführt. Das Sensorsignal wird von der Regelelektronik gefiltert und mit Hilfe der im Gerät hinterlegten Kalibrierkurve in einen dem Ist-Durchfluss entsprechenden Wert umgewandelt. Damit auch kritische Prozesse geregelt werden können, in denen zu schnelle Durchflussänderungen nicht zulässig sind, kann über die Software "MassFlowCommunicator"...
Der Sollwert wird je nach Geräteausführung alternativ über den Normsignalein- gang als analoges Signal oder digital über die Feldbusschnittstelle vorgegeben. Unabhängig vom Regelzustand wird der aktuelle, vom Sensor gemessene Durch- flusswert analog über den Normsignalausgang bzw. digital über die Feldbus- schnittstelle ausgegeben.
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Aus dem gewünschten Nenndurchfluss Q und den Drücken p und p ist in nenn diesem Falle analog zu Gl. (1) oder (2) zunächst der minimale Durchflussbeiwert der Gesamtanlage k zu ermitteln. Über die Beziehung Vges ⎛ ⎞ ⎛ ⎞ ⎛ ⎞...
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Die Anlage darf von ihrem Strömungsbeiwert (k ) her nicht so HINWEIS knapp ausgelegt sein, dass beim gewünschten Nenndurchfluss schon der weitaus größte Teil des verfügbaren Druckabfalles dort verbraucht und dann die Ventilnennweite des MFC so groß gewählt wird (k >>...
TECHNISCHE DATEN Umweltprüfungen • Temperaturwechsel nach EN 60068-2-14, Nb und EN 60068-2-33 • Feuchte Wärme nach EN 60068-2-38, Z/AD • Schocken nach EN 60068-2-27 • Schwingen nach EN 60068-2-6 • IP-Schutzart nach EN 60529 • Freifallen nach EN 60068-2-32 • UPS-Falltest nach DIN ISO 2248 und DIN ISO 2206 Elektromagnetische Verträglichkeit (EMV) Alle Geräte sind CE-konform für den Bereich Industrie und haben die damit ver-...
24 V DC ± 10 %; Restwelligkeit < 5 % Anschlussquerschnitt min. 0,5 mm² (0,75 mm² bei Ventil Typ 2836) 20 W - max. 50 W (Typ 8626, abh. vom Ventil) 22,5 W - max. 52,5 W (Typ 8626 Bus, abh. vom Leistungsaufnahme...
Typ 8710 / 8700 MASS FLOW Endwertebereich (Q 0,005 ... 1,0 l /min (Bezugsmedium N nenn neutrale, nicht kontaminierte Gase; Betriebsmedien andere auf Anfrage max. Betriebsdruck 10 bar, abhängig von der Ventilnennweite (Eingangs- / Vordruck) Kalibriermedium Betriebsgas oder Luft Mediumstemperatur -10 ...
® Typ 8711 / 8701 MASS FLOW CMOSens Endwertebereich (Q 0,02 ... 50 l / min (Bezugsmedium N nenn neutrale, nicht kontaminierte Gase, Betriebsmedien andere auf Anfrage max. Betriebsdruck 10 bar, abhängig von der Ventilnennweite (Eingangs- / Vordruck) Kalibriermedium Betriebsgas oder Luft Mediumstemperatur -10 ...
® Typ 8712 / 8702 MASS FLOW CMOSens Endwertebereich (Q 0,02 ... 50 l /min (Bezugsmedium N nenn neutrale, nicht kontaminierte Gase, Betriebsmedien andere auf Anfrage max. Betriebsdruck 10 bar, abhängig von der Ventilnennweite Kalibriermedium Betriebsgas oder Luft Mediumstemperatur -10 ... + 70 °C Umgebungstemperatur -10 ...
® Typ 8713 / 8703 MASS FLOW CMOSens Endwertebereich (Q 0,02 ... 50 l /min (Bezugsmedium N nenn neutrale, nicht kontaminierte Gase, Betriebsmedien andere auf Anfrage max. Betriebsdruck 10 bar, abhängig von der Ventilnennweite Kalibriermedium Betriebsgas oder Luft Mediumstemperatur -10 ... + 70 °C Umgebungstemperatur -10 ...
Typ 8716 / 8706 MASS FLOW INLINE Endwertebereich (Q 8716: 25 ... 500 l /min (Bezugsmedium N nenn 8706: 25 ... 1500 l /min (Bezugsmedium N neutrale, nicht kontaminierte Gase; andere auf Betriebsmedien Anfrage max. Betriebsdruck 10 bar, abhängig von der Ventilnennweite Kalibriermedium Betriebsgas oder Luft Mediumstemperatur...
MONTAGE, INSTALLATION UND INBETRIEBNAHME Maßzeichnungen Bild: Typ 8626 / 8006 MASS FLOW INLINE (Ausführung mit Ventil 6022 und Standard-Sensorblock) 2 x M 4 - 6 deep Bus version Bus version 16,5 Bus version ® Bild.: Typ 8710 / 8700 MASS FLOW CAPILLARY / Typ 8711/8701 MASS FLOW CMOSens...
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Bild: Typ 8711 / 8701 MASS FLOW CMOSens ® (mit Stahlblechdeckel) M4 - 6 deep M4 - 6 deep ca. 3.5 ca. 24 Bild: Typ 8711 mit externem Ventil MFC/MFM - 73...
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Bild: Typ 8712 / 8702 MASS FLOW CMOSens ® ® Bild: Typ 8713 / 8703 MASS FLOW CMOSens 74 - MFC/MFM...
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Bild: Typ 8716 / 8706 MASS FLOW INLINE (mit Standard-Sensorblock) MFC/MFM - 75...
Allgemeine Hinweise zu Installation und Betrieb Beachten Sie vor der Installation: Schalten Sie geeignete Filter vor, um die Sauberkeit des Betriebsmediums zu gewährleisten. Beachten Sie die Einbaulage (siehe Kalibrierdaten). Sehen Sie ein Netzteil mit ausreichender Leistung vor. Beachten Sie die max. Restwelligkeit der Betriebsspannung. Entfernen Sie vor dem Einbau des MFC Verschmutzungen aus den Rohren.
Bitte wählen Sie die entsprechenden fluidischen Anschlüsse aus der Tabelle im Anhang B aus. Anschlüsse am MFC/MFM Flansch- Standard-Einschraubgewinde Sonder-Einschraubgewinde aus- G 1/4" G 3/8" G 1/2" G 3/4" NPT 1/4 NPT 3/8 NPT1/2 NPT3/4 führung 8626 8006 8716 8706 8713 8703 8712 8702 8711...
(siehe Technische Daten ). Geeignete Anschlusskabel finden Sie im Anhang A. ACHTUNG! Der 8-polige Rundstecker (Typen 8626 / 8006 / 8712 / 8702 / 8716 / 8706) darf nur handfest angezogen werden. Schließen Sie die Funktionserde (FE) an der gekennzeichneten Schraube an, z.B.
Relais 2 - Öffner DGND (für RS232-Schnittstelle) HINWEIS Soll ein Gerät des Typs 8626/8006 vor Baujahr 2003 durch ein neueres (ab Baujahr 2003) ersetzt werden, so kann dies mit Hilfe eines Adapters (siehe Anhang A) ohne zusätzlichen Verkabelungs- aufwand geschehen.
Anschlussbelegung Typ 8712 / 8702 9pol. Sub-D-Buchse (nur bei Busausführung) PROFIBUS DP DeviceNet Schirm (FE) Funktionserde N. C. (not connected) CAN_L Datenleitung RxD/TxD-P B-Leitung RTS Steuersignal für Repeater N. C. GND Datenübertragungspotential N. C. N. C. Versorgungsspannung + (P5V) N. C. CAN_H Datenleitung RxD/TxD-N A- Leitung N.
Anschlussbelegung Typ 8716 / 8706 9pol. Sub-D-Buchse (nur bei Busausführung) PROFIBUS DP DeviceNet Schirm (FE) Funktionserde N. C. (not connected) CAN_L Datenleitung RxD/TxD-P B-Leitung RTS Steuersignal für Repeater N. C. GND Datenübertragungspotential N. C. N. C. Versorgungsspannung + (P5V) N. C. CAN_H Datenleitung RxD/TxD-N A- Leitung N.
Ein- / Ausgänge Typenübersicht Sollwert- Istwert- BUS-An- LED Binär- Relais- eingang ausgang schaltung eingänge ausgänge 8006 8626 8006 Bus 8626 Bus 8700 8710 8700 Bus 8710 Bus 8701 8711 8701 Bus 8711 Bus 8702 8712 8702 Bus 8712 Bus 8703 8713...
Busanschaltung Die Typen 8626, 8006, 8716, 8706, 8712, 8702, 8711, 8701, 8710 und 8700 sind als Bus-Versionen erhältlich. Soll- und Istwert werden hier in digitaler Form über den Bus empfangen bzw. rückgemeldet. Es kann zwischen einer PROFIBUS DP- und einer DeviceNet-Anschaltung gewählt werden (siehe auch Ergänzung zur Bedienungsanleitung für Feldbus-Geräte oder serielle Kommunikation RS 232 /...
Binärausgänge (Default-Belegung) Die Binärausgänge sind als Relaisausgänge (potentialfreie Wechsler) ausgeführt. Funktionen Relais 1** LIMIT (y) Relais 2* ERROR (bei schwerwiegendem Fehler, z.B. Sensorbruch oder Fehler bei interner Spannungsversorgung) * (bei den Typen 8710 / 8700 / 8711 / 8701 / 8713 / 8703 nicht vorhanden) ** (bei den Typen 8713 / 8703 als Öffner ausgeführt) HINWEIS Die Funktionen der POWER- und ERROR-LED sind nicht veränder-...
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Binärausgänge Die Binärausgänge des MFCs können verwendet werden, um bestimmte Zustän- de, die spezifisch definiert werden können, an eine übergeordnete Steuerung weiterzuleiten und dort zu verarbeiten. Die Binärausgänge lassen zudem Aussagen über den Gerätestatus zu und kön- nen zur Diagnose und zur Behebung von Fehlfunktionen genutzt werden. - Gerätestatus AutoTune-Modus aktiv aktive Gaskalibrierung...
Betriebszustände MFC Standard-Regelbetrieb Dies ist der Betriebszustand, in dem sich der MFC sofort nach dem Einschalten und einer kurzen Initialisierungsphase befindet. Im LED-Feld leuchtet nur die grüne Power-LED. Der Durchfluss wird auf den vorgegebenen Sollwert mit einer hohen Dynamik ausgeregelt. Störungen, z.B. infolge von Druckschwankungen, werden durch entsprechende Anpassung der Öffnung des Regelventils schnell ausgeglichen.
HINWEIS Jeder MFC hat die Autotune-Routine im Werk während der End- prüfung bei dem im Kalibrierprotokoll angegebenen Betriebsdruck durchlaufen. Für einen sicheren Regelbetrieb in einer Anlage ist das erneute Auslösen dieser Funktion nach der Inbetriebnahme nicht zwingend erforderlich. Wir empfehlen sie auszulösen, wenn der Betriebsdruck um mehrere bar vom Kalibrierdruck abweicht oder wenn die Kennlinie des Proportionalventils infolge einer niedrigen Ventilautorität (siehe Proportionalventil ) stark beeinflusst wird.
Betriebszustände MFC Betriebs- kann Darstellung Erreichen des zustand unterbrochen bzw. auf Anzeige Betriebszustands über beendet werden (LEDs) bei Binäreingang (falls durch Default konfiguriert) Standard- Autotune-Routine Regelbetrieb Sicherheitsfunktion Sollwert-Profil Steuerbetrieb Steuerbetrieb Autotune-Routine LIMIT (y) LED solange aktiv Sicherheitsfunktion blinkt Sollwert-Profil Sollwert-Profil Autotune-Routine LIMIT (y) LED Auslösen bei aktivem...
Falls nach längerem Betrieb mit einem verschmutzten Medium größere Mengen von Partikeln eingetragen wurden, kann bei den Typen 8626 / 8006 / 8710 / 8700 / 8711 / 8701 / 8712 / 8702 / 8713 /8703 / 8716 / 8706 nach Lösen der eingangs- seitigen Flanschplatte das dann zugängliche Edelstahldrahtgitter gereinigt oder...
STÖRUNG / FEHLERSUCHE Problem mögliche Ursache Abhilfe "POWER" LED keine elektrische Prüfen Sie die elektrischen leuchtet nicht Versorgung Anschlüsse. "POWER" LED Autotune aktiv siehe Kapitel Betriebszustände blinkt "POWER" LED Spannungsversorgung Wählen Sie die Spannungs- erlischt periodisch bricht periodisch zusammen versorgung mit ausreichender - Gerät führt Reset aus Leistung.
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Kalibrierdruck Anpassung an die Betriebs- Durchfluss; (→ erhöhte Eigenkonvek-tion bedingungen durch. Istwertausgang zeigt aber nur bei 8716 u. 8626) geringen Durchfluss an falsche Einbaulage Bauen Sie den MFC in der (→ erhöhte Eigenkonvek-tion kalibrierten Einbaulage ein oder nur bei 8716 u. 8626) führen Sie eine Autotune zur...
RS232-Adapter zum Anschluss eines PC in Verbindung mit einem Verlängerungskabel 654757 (Best.Nr. 917039) Anschlussadapter (DB9/m-DB15HD/m) zum Ersatz eines Gerätes Typ 8626/8006 (vor Baujahr 2003) durch ein neueres gleichen Typs 787923 (ab Baujahr 2003) → kein IP65 Schutz SUB-D-Buchse 15pol. mit Lötkelchanschluss 918274 SUB-D-Haube für 15pol.
Weiteres Zubehör für den fluidischen Anschluss des MFC/MFM finden Sie unter Typ 1013 im Bürkert-Zubehör-Katalog. Ersatzteile Bezeichnung Best.-Nr. Edelstahlgitter* für 8626 / 8006 / 8716 / 8706 (Standardgehäuse) 646808 Edelstahlgitter* für 8626 / 8006 / 8716 / 8706 651694 (Gehäuse für große Durchflüsse) Edelstahlgitter* für 8710 / 8700 / 8711 / 8701 / 8712 / 8702 /...
Kommunikation über RS 232 wird ein Adapter mit Schnittstellen- treiber benötigt (siehe Zubehör in Anhang A). Zur leichteren Adap- tion der Typen 8626 / 8006, 8712 / 8702 und 8716 / 8706 ist ebenfalls ein Adapter erhältlich (siehe Zubehör in Anhang A).
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Eine detaillierte Beschreibung und genaue Auflistung der Vorgehensweise bei der Bedienung der Software MassFlowCommunicator entnehmen Sie bitte der in der Hilfefunktion des Programmes enthaltenen Software-Dokumentation. Download der Software unter: www.buerkert.com HINWEIS Unter der Downloadfunktion steht immer die aktuellste Version des MassFlowCommunicators zur Verfügung.
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MassFlowController (MFC) type 8626 / 8710 / 8711 / 8712 / 8713 / 8716 MassFlowMeter (MFM) type 8006 / 8700 / 8701 / 8702 / 8703 / 8706 REMARQUES GENERALES ................. 101 Symboles de représentation ................101 Utilisation conforme à la destination ..............101 Consignes de sécurité...
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Montage de raccords à bague de serrage ............ 126 Raccordements électriques ................126 Brochage des connecteurs type 8626 / 8006 ..........127 Affectation broches pour les types 8710 / 8700 .......... 128 Affectation des raccords type 8711 / 8701 ............ 129 Brochage des connecteurs type 8712 / 8702 ..........
REMARQUES GENERALES Symboles de représentation Les symboles de représentation suivants sont utilisés dans ces instructions de service: désigne une étape de travail devant être exécutée. ATTENTION! désigne une mise en garde dont l'inobservation pourrait mettre en danger votre santé ou l'intégrité. REMARQUE désigne des informations supplémentaires, conseils et recommandations importantes.
Contrôler dès réception de l'envoi que le contenu n'a subi aucun dommage et qu'il correspond bien à la fourniture spécifiée. Celle-ci comprend généralement: • MFC ou MFM type 8626, 8006 ou 87xx • les instructions de service sur papier (le cas échéant sur support de données) •...
Bypass / Capillary 8700 0,005 ... 1 Bypass / Capillary Observer à cet effet les recommandations relatives aux types 8626/8006 dans le chapitre Brochage des connecteurs type 8626/8006. CMOSens ® est une marque déposée de la société Sensirion SA (Suisse).
Fonctionnement général Les MFC du type 8626 / 8716 / 8713 / 8712 / 8711 / 8710 sont des appareils compatibles dont la fonction et de contrôler le débit massique de gaz. Ils assurent la régulation en fonction d'une consigne de débit prédéterminée, indépendamment des grandeurs perturbatrices telles que fluctuations de pression ou résistance à...
Capteurs Principe de mesure thermique Les capteurs de débit fonctionnent d'après le principe de mesure thermique (anémométrique). La mesure a toujours lieu d'après la densité et la vitesse d'écoulement, et livre par conséquent un signal reflétant une quantité de matière. Par conséquent, la grandeur débit massique déterminate pour la plupart des applications est obtenue directement, sans nécessiter de définition d'aucune autre grandeur auxiliaire telle que la densité, et peut donc être traitée comme la variable...
Capteur Inline (types 8626 / 8006; 8716 / 8706) Ce capteur fonctionne selon le principe de l'anémomètre à film chaud dans le mode dit CTA ( C onstant T emperature A nemometer) . Avec ce système, deux résistances avec coefficients de température définis avec précision sont directement exposées au flux gazeux, et trois autres résistances hors de ce flux...
Capteur bypass en technologie "capillary" conventionnelle (Types 8710 / 8700) La mesure est également réalisée ici selon le principe de bypass. Un élément de débit laminaire placé dans le canal principal produit une légère baisse de pression, qui entraîne une petite portion du flux total, proportionnelle à ce dernier, dans le petit tube (capillaire) du capteur.
® Capteur bypass en technologie CMOSens (types 8713 / 8703 / 8712 / 8702 / 8711 / 8701) Avec cette technologie, le débit massique est mesuré dans un canal d'écoulement de forme spéciale, dont la paroi contient une puce Si sur une membrane décapée ®...
Electronique de régulation Le traitement des valeurs de consigne et des débits instantanés ainsi que le pilotage de l'organe de réglage sont exécutés par une électronique à microprocesseurs. Le signal du capteur est filtré par l'électronique du régulateur, puis est converti en une valeur reflétant le débit instantané...
Selon l’exécution de l’appareil, la valeur de consigne peut être appliquée soit via l’entrée normalisée comme signal analogique, soit comme signal numérique via l’interface de bus de terrain. Indépendamment de l’état de la régulation, la variable de débit actuelle, mesurée par le capteur, est délivrée comme signal analogique via la sortie normalisée, ou comme signal numérique via l’interface de bus de terrain.
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A partir du débit nominal désiré Q et des pressions p et p , on déterminera nenn ensuite, de manière analogue à l'équation Gl. (1) ou (2), le coefficient minimum de l'installation complète k . L'équation: Vges ⎛ ⎞ ⎛ ⎞...
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L’installation ne doit pas être dimensionnée trop chichement sur la REMARQUE base du coefficient de débit (k ), pour que la majeure partie de la perte de charge disponible ne soit pas déjà absorbée au débit nominal désiré, et que la dimension nominale de la vanne du MFC ne doive pas être choisie plus grande (kvs >>...
CARACTERISTIQUES TECHNIQES Facteurs liés à l'environnement • Fluctuations de température selon EN 60068-2-14, Nb et EN 60068-2-33 • Chaleur humide selon EN 60068-2-38, Z/AD • Chocs selon EN 60068-2-27 • Oscillations selon EN 60068-2-6 • Degrée de protection IP selon EN 60529 •...
0,5 mm² (0,75 mm² avec vanne type 2836) Puissance absorbée 20 W - max. 50 W (type 8626, selon vanne) 22,5 W - max. 52,5 W (type 8626 bus selon vanne) 10 W (type 8006) 12,5 W (type 8006 bus) Isolation galvanique Spécification de valeur de consigne...
Type 8710 / 8700 MASS FLOW Valeur de pleine échelle (Q ) 0,005 ... 1,0 l /min (fluide de référence N gaz neutres, non contaminés; Fluides de service autres sur demande Pression max. de service (Pression d'alimentation / 10 bar, selon le diamètre nominal de la vanne d'entrée) Fluide d'étalonnage gaz de service ou air...
Type 8711 / 8701 MASS FLOW CMOSens ® Valeur de pleine échelle (Q 0,02 ... 50 L /min (fluide de référence N nenn Fluides de service gaz neutres, non contaminés, autres sur demande Pression de service max 10 bar, selon le diamètre nominal de la vanne (pression d'entrée, amont,) Fluide d'étalonnage Gaz de service ou air...
® Type 8712 / 8702 MASS FLOW CMOSens Valeur de pleine échelle (Q 0,02 ... 50 L /min (fluide de référence N nenn Fluides de service gaz neutres, non contaminés, autres sur demande Pression max. de service 10 bar, selon le diamètre nominal de la vanne Fluide d'étalonnage Gaz de service ou air Température du fluide...
® Type 8713 / 8703 MASS FLOW CMOSens Valeur de pleine échelle (Q 0,02 ... 50 L /min (fluide de référence N nenn Fluides de service gaz neutres, non contaminés, autres sur demande Pression max. de service 10 bar, selon le diamètre nominal de la vanne Fluide d'étalonnage Gaz de servie ou air Température du fluide...
Type 8716 / 8706 MASS FLOW INLINE Valeur pleine échelle (Q 8716: 25 ... 500 L /min (fluide de référence N nenn 8706: 25 ... 1500 L /min (fluide de référence N Fluides de service gaz neutres, non contaminés, autres sur demande Pression max.
MONTAGE, INSTALLATION ET MISE EN SERVICE Dessins cotés Figure: Type 8626/8006 MASS FLOW INLINE 2 x M 4 - 6 deep Bus version Bus version 16,5 Bus version Figure: Type 8710 / 8700 MASS FLOW CAPILLARY / Type 8711/8701 MASS FLOW CMOSens ®...
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® Figure: Typ 8711 / 8701 MASS FLOW CMOSens (avec couvercle de tôle d'acier) M4 - 6 deep M4 - 6 deep ca. 3.5 ca. 24 Figure: Type 8711 avec vanne externe MFC/MFM - 121...
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® Figure: Type 8712/8702 MASS FLOW CMOSens ® Figure: Typ 8713 / 8703 MASS FLOW CMOSens 122 - MFC/MFM...
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Figure: Type 8716/8706 MASS FLOW INLINE (avec corps de capteur standard) MFC/MFM - 123...
Recommandations générales pour l'installation et la mise en sericve Avant l'installation, observer les points suivants: Prévoir en amont des filtres appropriés afin de garantir la propreté du fluide de service. Observer la position de montage (voir les données d'étalonnage). Prévoir une unité d'alimentation d'une puissance suffisante. Observer l'ondulation résiduelle de la tension de service.
Sélectionnez les raccords fluidiques correspondants dans le tableau de l’annexe B. Raccords sur MFC/MFM Filetages standard Filetages spéciaux Brides Type G 1/4" G 3/8" G 1/2" G 3/4" NPT 1/4 NPT 3/8 NPT1/2 NPT3/4 8626 8006 8716 8706 8713 8703 8712...
à l’annexe A. ATTENTION! Le connecteur rond 8 pôles (types 8626 / 8006 / 8712 / 8702 / 8716 / 8706) doit être serré à la main. Raccorder la terre fonctionnelle (FE) à une vis identifiée, par ex. à l'aide d'une cosse.
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Relais 2 - contact de travail REMARQUE Si l’on doit remplacer un appareil du type 8626/8006 d’avant 2003 par un modèle plus récent (à partir de 2003), ceci peut être fait à l’aide d’un adaptateur (voir l’annexe A) sans nécessiter de câblage supplémentaire.
Affectation des broches pour les types 8710 / 8700 Prise SUB-D 15 pôles Relais - contact de repos Relais - contact de travail Relais - contact central GND pour alimentation 24 V et entrées binaires Alimentation 24 V + Sortie 8 V (utilisation interne seulement) Entrée valeur de consigne GND Entrée valeur de consigne + Sortie valeur mesurée GND...
Affectation des broches pour les types 8711 / 8701 Prise SUB-D 15 pôles Relais - contact de repos Relais - contact de travail Relais - contact central GND pour alimentation 24 V et entrées binaires Alimentation 24 V + Sortie 8 V (utilisation interne seulement) Entrée valeur de consigne GND Entrée valeur de consigne + Sortie valeur mesurée GND...
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Affectation des broches pour les types 8712 / 8702 Prise SUB-D 9 pôle (exécution bus seulement) PROFIBUS DP DeviceNet Blindage (FE) terre fonctionnelle CAN_L ligne de N. C. (not connecté) données RxD/TxD-P ligne B RTS signal de commande pour N. C. répétiteur GND potentiel de transmission N.
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Affectation des broches pour les types 8713 / 8703 Prise SUB-D 9 pôles Entrée binaire (rapportée à GND broche 2) Alimentation + 24 V DC Relais - contact C Relais - contact NC TX+ (RS 485-Y)* TX+ (RS 485-Z)* RX+ (RS 485-B)* RX+ (RS 485-A)* * Pour un fonctionnement en semi-duplex, connecter la broche 6 à...
Brochage des connecteurs type 8716 / 8706 Prise SUB-D 9 pôle (exécution bus seulement) PROFIBUS DP DeviceNet Blindage (FE) terre fonctionnelle CAN_L ligne de N. C. (non connecté) données RxD/TxD-P ligne B RTS signal de commande pour N. C. répétiteur GND potentiel de transmission des N.
Entrée Sortie Branche- LED Entrées Sortie à consigne variable ment bus binaires relais instantanée 8006 8626 8006 bus 8626 bus 8700 8710 8700 bus 8710 bus 8701 8711 8701 bus 8711 bus 8702 8712 8702 bus 8712 bus 8703 8713...
Branchement de bus Les types 8626, 8006, 8716, 8706, 8712, 8702, 8711, 8701, 8710 et 8700 sont disponibles en version bus. Les valeurs de consigne et mesurées sont reçues ou transmises en retour sous forme numérique via le bus. Il est possible de choisir entre une connexion PROFIBUS-DP ou DeviceNet (voir également Complément à...
Sorties binaires (configuration par défaut) Les entrées binaires sont réalisées sous forme de sortie à relais (contacts inverseurs hors potentiel). Fonctions Relais 1** LIMIT (y) Relais 2* ERROR (en cas d'erreur critique, par ex. rupture de capteur ou défaut interne d'alimentation) * (pas disponible sur les types 8710 / 8700 / 8711 / 8701 / 8713 / 8703) ** (sous forme de contact de repos sur les types 8713 / 8703) Les fonctions des voyants POWER et ERROR ne peuvent pas...
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Sorties binaires Les sorties binaires du MFC peuvent être utilisées pour transmettre certains états spéci- fiquement définis à un dispositif de commande de niveau supérieur où ils seront traités. Les sorties binaires donnent en outre des informations sur l’état de l’appareil et peuvent être utilisées pour le diagnostic et l’élimination de dysfonctionnements.
Etats de fonctionnement du MFC Mode de régulation standard Il s’agit du mode normal d’exploitation, que le MFC adopte immédiatement après la mise sous tension et une courte phase d’initialisation. Dans la zone des LED, seule la LED Power verte est allumée. Le débit est réglé...
REMARQUE Durant le contrôle final en usine, chaque MFC a subi la routine Autotune avec la pression de service spécifiée dans le rapport d’étalonnage. Pour assurer une régulation sûre de l’installation, il n’est pas impérativement nécessaire de répéter cette fonction après la mise en service.
Modes opérationnels MFC Mode peut être suspendu Représentation Obtention du mode via opérationnel ou arrêté par sur affichage entrée binaire (si (LED) par configuré) défaut Mode de · Routine Autotune régulation normal · Fonction de sécurité · Profil de consigne ·...
Sur les types 8626 / 8006 / 8710 / 8700 / 8711 / 8701 / 8712 / 8702 / 8713 / 8703 / 8716 / 8706, si de grandes quantités de particules ont été introduites après une longue utilisation avec un fluide pollué, la grille en fil d’acier inoxydable peut être...
DEPANNAGE / LOCALISATION DES DEFAUTS Problème Cause probable Correction La LED "POWER" Pas d'alimentation électrique Contrôler le branchement ne s'allume pas électrique. La LED "POWER" Autotune en cours Voir le chapitre Modes clignote opérationnels. La LED "POWER" La tension d'alimentation est Adoptez une unité...
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(→ Convexion propre accrue, actuelles. faible débit. seulement sur 8716 et 8626) Position de montage erronées Monter le MFC à la position (→ Convexion propre accrue, spécifiée pour l'étalonnage seulement sur 8716 et 8626) ou exécuter un Autotune...
Adaptateur RS232 pour raccordement d'un PC avec un 654757 câble rallonge (n° de commande 917039) Adaptateur de raccordement (DB9/m-DB15HD/m) pour remplacement d'un appareil type 8626/8006 (avant année 787923 2003) par un type plus récent (dès année 2003) → pas de protection IP 65 Prise SUB-D 15 pôle, connexion soudée...
MFM sous le type 1013 du catalogue d'accessoires Bürkert. Pièces de rechange Désignation N° de commande Grille en acier inoxydable* pour 8626 / 8606 / 8716 / 8706 (boîtier standard) 646808 Grille en acier inoxydable* pour 8626 / 8006 / 8716 / 8700 651694 (boîtier pour gros débits)
RS 485 nécessite un adaptateur à pilote d’interface (voir les accessoires en annexe A). Un adaptateur est également disponible pour faciliter l’adaptation des types 8626 / 8006, 8712 / 8702 et 8716 / 8706 (voir les accessoires en annexe A). MFC/MFM - 145...
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Vous trouverez une description détaillée et un mode opératoire précis pour l’utilisation du logiciel du MassFlowCommunicator dans la documentation du logiciel contenue dans la fonction d’aide du programme. Téléchargement du logiciel sous :: www.buerkert.com REMARQUE La version la plus récente du MassFlowCommunicator est toujours disponible par la fonction de téléchargement.
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+41 (0)41-785 66 33 Phone: +358 (0)207 412 550 E-mail: info.ch@buerkert.com Fax: +358 (0)207 412 555 BC-TR Turkey, Türkei E-mail: sales.fi@burkert.com Burkert Contromatic Akiskan BC-F France, Frankreich Kontrol Sistemleri Ticaret A.S. Burkert Contromatic SARL 1203/8 Sok. No2-E Rue du Giessen TR-Yenisehir, Izmir...
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Addresses of BC offices/Adressliste BC Länder APAC Suzhou BC-AUS Australia, Australien Burkert Contromatic (Suzhou), Co., Ltd. BURKERT CONTROMATIC AUSTRALIA PTY. LTD Unit A5, Suhong Square Norwest Business Park No. 81 Suhong West Road 15 Columbia Way SIP Suzhou P. R. China, 215021...
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Adressliste Bürkert Fluid Control Systems Deutschland Headquarter and Service Center, Stammsitz und Service-Center Ingelfingen Bürkert GmbH & Co. KG Christian-Bürkert-Straße 13 - 17 DE-74653 Ingelfingen Telefon: +49 (0)7940-10-111 Fax: +49 (0)7940-10-448 E-mail: info@de.buerkert.com Distribution Center, Vertriebs-Center Service-Center, Dienstleistungs-Center Dortmund Berlin Bürkert GmbH &...
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The smart choice of Fluid Control Systems www.buerkert.com...