MASS FLOW CONTROLLER TYP 8626
INHALT
1
ALLGEMEINES ...................................................................................................... 3
1.1
Sicherheitshinweise ................................................................................................ 3
1.2
1.3
Lieferbedingungen .................................................................................................. 4
1.4
Garantiebestimmungen ........................................................................................... 4
2
SYSTEMBESCHREIBUNG .................................................................................... 5
2.1
Allgemeine Funktion ............................................................................................... 5
2.2
Fluidische Anschlüsse ............................................................................................ 6
2.3
Elektrische Anschlüsse ........................................................................................... 7
2.4.
2.5
Komponenten ........................................................................................................ 10
2.5.1
Sensor .................................................................................................................. 10
2.5.2
Regler ................................................................................................................... 11
2.5.3
Proportionalventil .................................................................................................. 12
2.5.4
Gehäuse ............................................................................................................... 12
3
BETRIEBSHINWEISE .......................................................................................... 13
3.1
Auswahlkriterien .................................................................................................... 13
3.2
Kalibrierung ........................................................................................................... 16
3.3
Inbetriebnahme ..................................................................................................... 16
3.4
Betriebszustände .................................................................................................. 17
3.4.1
Normaler Regelbetrieb .......................................................................................... 17
3.4.2
Autotune-Modus .................................................................................................... 18
3.4.3
3.4.4
Sensorfehler .......................................................................................................... 20
3.5
3.6
Wartung ................................................................................................................ 21
4
5
ZUBEHÖR ............................................................................................................ 23
Betriebsanleitung-Nr. 801 147
1