Systembeschreibung; Typensystematik; Allgemeine Funktion - Burkert 8626 Instructions De Service

SYSTEMBESCHREIBUNG

Typensystematik

Diese Bedienungsanleitung beinhaltet Informationen für folgende MassFlowCon-
troller (MFC) und MassFlowMeter (MFM) aus dem Bürkert-Produktprogramm:
Typ Art Endwertebereiche
bezogen auf Luft / N
8626 MFC
8006 MFM
8716 MFC
8706 MFM
8712 MFC
8702 MFM
8710 MFC
8700 MFM
1 ) Bitte beachten Sie hierzu den Hinweis zu den Gerätetypen 8626/8006 im Abschnitt Anschlussbelegung
Typ 8626/8006.
2 ) CMOSens ® ist ein eingetragenes Warenzeichen der Firma Sensirion AG (Schweiz)

Allgemeine Funktion

Die MFC der Typen 8626, 8716, 8712 und 8710 sind Kompaktgeräte, mit denen
der Massendurchfluss von Gasen geregelt wird. Sie regeln einen vorgegebenen
Durchfluss-Sollwert aus, unabhängig von Störgrößen wie Druckschwankungen
oder zeitlich veränderlichen Strömungswiderständen, z. B. infolge Filterver-
schmutzung.
Die MFC enthalten die Komponenten Durchflusssensor (Q-Sensor), Elektronik
(mit den Funktionen Signalverarbeitung, Regelung und Ventilansteuerung) und ein
Proportional-Magnetventil als Stellglied.
w x =w-x
d
x
Regler
p
Q-Sensor
Bild: Komponenten eines Mass Flow Controllers
Q (l /min)
nenn N
2
25 ... 1500
25 ... 1500
25 ... 1500
25 ... 1500
0,02 ... 50 Bypass CMOSens
0,02 ... 50 Bypass CMOSens
0,05 ... 30 Bypass Standard
0,05 ... 30 Bypass Standard
y
Stellglied
Sensor Bemerkungen
Inline für Geräte ab
Jan. 2003
Inline für Geräte ab
Jan. 2003
Inline
Inline
® 2)
® 2)
x
out
MFC/MFM - 43
1)
1)