Table des Matières
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Gebrauch
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und
pneumatischen Anschlüsse auszuführen.
Während der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die
Temperatur am Eingangsflansch 80 °C nicht überschreiten.
Während des Pumpenbetriebs darf die Temperatur des Läufers
niemals 120 °C überschreiten.
Der Bediener hat sich zu vergewissern, dass die richtige Betriebsart
in Abhängigkeit von dem zu pumpenden Gas eingestellt ist: 1 für
Stickstoff und leichtere Gase, 0 für Argon (voreingestellte
Betriebsart) in der Seriensteuerung 157. Für ausführliche
Informationen siehe im Anhang "Technical Information".
WARNUNG!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit
dem Verschlussflansch verschlossen ist. Während des Aufheizens dürfen
weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es
besteht Verbrennungsgefahr.
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie
VORSICHT!
Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt
werden könnten. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll
unter 1 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Zum Pumpen von
Gasen mit Partikeln oder aggressiven Schadstoffe für die Lager, sind die Pumpen
mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas
(Stickstoff oder Helium) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Information").
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
(C)
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