Télécharger
Partager
Imprimer la page
Agilent Technologies TwisTorr 804 FS Mode D'emploi
  1. Manuels
  2. Marques
  3. Agilent Technologies Manuels
  4. Pompes
  5. TwisTorr 804 FS
  6. Mode d'emploi

Agilent Technologies TwisTorr 804 FS Mode D'emploi

Masquer les pouces

Publicité

Liens rapides

Télécharger ce manuel
Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d'emploi
Manual de istrucciones
Manual de istruções
Bedrijfshandleiding
Istrukstionsbog
Bruksanvisning
87-901-052-01
10/2017
TwisTorr 804 FS
Pump models:
X3511-64007, X3511-64008, X3511-64009,
X3511-64010, X3511-64011, X3511-64012,
X3511-64013, X3511-64014, X3511-64022,
X3511-64023, X3511-64024, X3511-64025,
X3511-64026, X3511-64027, X3511-64028,
X3511-64029
Instruksjon manual
Ohjekäsikirja
Felhasználói kézikönyv
Podrecznik instrukcji
Návod k použití
Návod na obsluhu
Priročnik za navodila
User Manual

Publicité

loading

Manuels Connexes pour Agilent Technologies TwisTorr 804 FS

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TwisTorr 804 FS

  • Page 1 TwisTorr 804 FS Pump models: X3511-64007, X3511-64008, X3511-64009, X3511-64010, X3511-64011, X3511-64012, X3511-64013, X3511-64014, X3511-64022, X3511-64023, X3511-64024, X3511-64025, X3511-64026, X3511-64027, X3511-64028, X3511-64029 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití...
  • Page 2 FAR 2.101(a) or as proceed beyond a WARNING notice “Restricted computer software” as until the indicated conditions are defined in FAR 52.227-19 (June 1987) fully understood and met. or any equivalent agency regulation or TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 3 TwisTorr 804 FS Pump TwisTorr 804 FS Pump TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 3/344...
  • Page 4 TwisTorr 804 FS Pump 4/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 5: Table Des Matières

    Uso della TwisTorr 804 FS Manutenzione 29 Smaltimento Gebrauchsanleitung 31 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 37 Installation 39 Befestigung der Pumpe 41 Verwendung der TwisTorr 804 FS 43 Wartung TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 5/344...
  • Page 6 Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Préparation pour l’installation Installation 55 Fixation de la pompe 57 Utilisation de la TwisTorr 804 FS 59 Entretien Mise au rebut Manual de istrucciones 63 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 65 Almacenamiento Preparación para la instalación 69...
  • Page 7 Bedrijfshandleiding 95 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 96 Algemene informatie Opslag Uitpakken 101 Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik van de TwisTorr 804 FS 107 Onderhoud 109 Afvalverwerking 110 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 7/344...
  • Page 8 Allmän information 129 Förvaring Förberedelser för installation 133 Installation 135 Fastsättning av pumpen 137 Användning av TwisTorr 804 FS 139 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 143 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 145 Lagring 8/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 9 Yleisiä tietoja Varastointi 164 Valmistelut asennusta varten165 Asennus Pumpun kiinnitys TwisTorr 804 FS käyttö 171 Huolto Hävittäminen 11 Felhasználói Kézikönyv 175 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 176 Általános informáicó 177 Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 9/344...
  • Page 10 Użytkowanie pompy TwisTorr 804 FS 203 Konserwacja Przetworstwo odpadow 206 13 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 208 Všeobecné informace Uskladnění 212 Příprava k instalaci 213 Instalace Upevnění vývěvy 217 Použití vývěvy TwisTorr 804 FS 10/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 11 15 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 240 Splošne informacije 241 Shranjevanje Priprava za montažo 244 Montaža Pritrditev črpalke Uporaba črpalke TwisTorr 804 FS 250 Vzdrževanje 252 Odlaganje opadkov 253 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 11/344...
  • Page 12 TwisTorr 804 FS Outline 288 Output Power during High Temperature Condition (derating) Interconnections Soft Start Inlet screen installation 309 Air Cooling Kit Installation TwisTorr 804 FS with TMP Rack Controller TwisTorr 804 FS with On Board Controller 313 Water Cooling Kit Connection Vent Accessories...
  • Page 13 Contents Purge Valve Installation 321 Serial Cable Installation 322 TwisTorr 804 FS On Board Controller Installation 324 Connection of the High Vacuum Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump Pump Used with Corrosive Gases 333 Pump Used in Presence of Magnetic Fields...
  • Page 14 Contents 14/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 15: Istruzioni Per L'uso

    TwisTorr 804 FS User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 17 Simboli di Sicurezza Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 21 Installazione Fissaggio della pompa 25 Uso della TwisTorr 804 FS 27 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 15/344...

  • Page 16: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è AVVERTENZA! necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 16/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 17: Informazioni Generali

    L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (49500 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. La TwisTorr 804 FS è totalmente priva di agenti contaminanti, ed è quindi adatta per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
  • Page 18 I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 18/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 19: Simboli Di Sicurezza

    L’apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l’operatore deve stare lontano durante il funzionamento dell'apparato. L'apparato è contrassegnato da questo simbolo quando l'utente deve mettere a massa l'apparato. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 19/344...

  • Page 20: Immagazzinamento

    12 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. 20/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 21: Preparazione Per L'installazione

    Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa TwisTorr 804 FS e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva per la tutela dell'ambiente 94/62/CE e successive modifiche.
  • Page 22 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Figura 1 22/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 23: Installazione

    Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica;  temperatura: da + 5 °C a +35 °C;  TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 23/344...
  • Page 24 Controller onboard X3512-64016 TwisTorr Medium TMP onboard Controller La TwisTorr 804 FS è conforme alla categoria di installazione II prevista dalla ATTENZIONE! normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information".

  • Page 25: Fissaggio Della Pompa

    La TwisTorr 804 FS può essere installata in qualsiasi posizione. Fissare la TwisTorr 804 FS in posizione stabile montando la flangia di ingresso della turbopompa alla controflangia di sistema, con una connessione capace di resistere ad una coppia di 20000 Nm attorno al proprio asse.
  • Page 26 Agilent. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical Information". Tab. 4 FLANGIA COPPIA DI SERRAGGIO CFF10” 25 Nm La TwisTorr 804 FS non può essere fissata tramite la sua base. NOTA 26/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 27: Uso Della Twistorr 804 Fs

    (Azoto, Elio o Argon) per proteggere i cuscinetti della pompa (vedere l'appendice "Technical Information"). Non usare mai la pompa in presenza di gas o vapori corrosivi che possano ATTENZIONE! danneggiare i materiali interni alla pompa. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 27/344...
  • Page 28 Azoto, Argon e gas più leggeri. Nel caso in cui ci fosse la necessità di pompare gas più pesanti dell'Argon si prega di prendere contatti con l'Assistenza Tecnica della Agilent per informazioni. 28/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 29: Manutenzione

    Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione La TwisTorr 804 FS non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.

  • Page 30: Smaltimento

    Per maggiori informazioni riferirsi a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 30/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 31: Gebrauchsanleitung

    TwisTorr 804 FS User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Sicherheits-Symbole 35 Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe 41 Verwendung der TwisTorr 804 FS Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 31/344...

  • Page 32: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen

    Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener WARNUNG! vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 32/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 33: Allgemeine Informationen

    Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. TwisTorr 804 FS ist eine Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen, die jede beliebige Art von Gasen oder gasförmigen Gemischen pumpen können. Sie sind nicht für das Pumpen von Flüssigkeiten oder Festkörperpartikeln geeignet.
  • Page 34 Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben HINWEIS werden. 34/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 35: Sicherheits-Symbole

    Das Gerät ist mit diesem Symbol gekennzeichnet, wenn der Bediener sich während des Betriebs davon fernhalten soll. Das Gerät ist mit diesem Symbol gekennzeichnet, wenn der Bediener es an die Masse anschließen soll. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 35/344...

  • Page 36: Lagerung

    Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. 36/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 37: Vor Der Installation

    Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Die TwisTorr 804 FS kann durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden. HINWEIS Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
  • Page 38 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Abbildung 1 38/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 39: Installation

    Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, und nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen verwendet werden. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck;  temperatur: von +5°C bis +35°C;  TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 39/344...
  • Page 40 Controller onboard X3512-64016 TwisTorr Medium TMP onboard Controller Das Modell TwisTorr 804 FS entspricht der Installationskategorie II gemäß der VORSICHT! Norm EN 61010-1. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical Information".

  • Page 41: Befestigung Der Pumpe

    Personenschäden bis hin zu schweren Verletzungen und zum Tod führen kann. Modell TwisTorr 804 FS kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Die Pumpe TwisTorr 804 FS ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 20000 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
  • Page 42 Agilent Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Tab. 4 FLANSCH ANZ. ANZUGSMOMENT CFF10” 25 Nm Modell TwisTorr 804 FS kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden. HINWEIS 42/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 43: Verwendung Der Twistorr 804 Fs

    Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff, Helium oder Argon) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Information"). Verwenden Sie die Pumpe nie, wenn korrosives Gas oder korrosive Dämpfe in VORSICHT! der Luft sind, die die Materialien der Pumpe schädigen könnten. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 43/344...
  • Page 44 Die Pumpe wurde für den Durchsatz von leichten Gasen wie Stickstoff, Argon und leichteren Gasen konzipiert. Wenn Gase gepumpt werden sollen, die schwerer sind als Argon, wenden Sie sich bitte an den technischen Kundendienst von Agilent für weitere Informationen. 44/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 45: Wartung

    Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Die Pumpen TwisTorr 804 FS erfordern keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C...

  • Page 46: Entsorgung

    Sammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Für weitere Informationen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 46/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 47: Mode D'emploi

    Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Symboles de sécurité 51 Stockage Préparation pour l’installation Installation Fixation de la pompe Utilisation de la TwisTorr 804 FS 59 Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 47/344...

  • Page 48: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires

    être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 48/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 49: Indications Générales

    La TwisTorr 804 FS est une pompe turbomoléculaires pour des applications de vide poussé et ultrapoussé en mesure de pomper n’importe quel type de gaz ou de composé non corrosif. Elles ne sont pas adaptées au pompage de liquides ou de particules solides.
  • Page 50 Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage. Les notes contiennent des renseignements importants isolés du texte. NOTE 50/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 51: Symboles De Sécurité

    Ce symbole apposé sur l’appareil signale à l’opérateur qu’il doit se tenir à distance de sécurité pendant le fonctionnement de l’appareil. Ce symbole apposé sur l’appareil signale à l’utilisateur qu’il doit mettre l’appareil à la terre. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 51/344...

  • Page 52: Stockage

    à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage pour toutes raisons, la pompe ATTENTION! doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. 52/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 53: Préparation Pour L'installation

    Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la TwisTorr 804 FS et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à...
  • Page 54 Mode d’emploi Préparation pour l’installation Figure 1 54/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 55: Installation

    (pluie, gel, neige), à la poussière, à des gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique;  TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 55/344...
  • Page 56 Controller onboard X3512-64016 TwisTorr Medium TMP onboard Controller La TwisTorr 804 FS est conforme à la catégorie d’installation II prévue par la ATTENTION! norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie.

  • Page 57: Fixation De La Pompe

    Le TwisTorr 804 FS peut être installée dans n'importe quelle position. Fixer le TwisTorr 804 FS dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 20000 Nm autour de son axe.
  • Page 58 à vide à l'aide des éléments mécaniques Agilent prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical Information". Tab. 4 BRIDE COUPLE DE SERRAGE CFF10” 25 Nm Le TwisTorr 804 FS ne peut être fixé par sa base. NOTE 58/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 59: Utilisation De La Twistorr 804 Fs

    à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote, hélium ou argon) pour protéger les paliers (voir l'annexe " Technical Information "). TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 59/344...
  • Page 60 La pompe a été conçue pour assurer un transfert élevé d'azote, d'argon et de gaz plus légers. En cas de nécessité de pomper des gaz plus lourds que l'argon, veuillez contacter l'assistance technique Agilent pour plus d'informations. 60/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 61: Entretien

    Mode d’emploi Entretien Entretien Le TwisTorr 804 FS ne demand aucun entretien. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...

  • Page 62: Mise Au Rebut

    œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 62/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 63: Manual De Istrucciones

    Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 64 Información general Símbolos usados 67 Almacenamiento Preparación para la instalación 69 Instalación Fijación de la bomba Uso de la TwisTorr 804 FS 75 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 63/344...

  • Page 64: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    ¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 64/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 65: Información General

    El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (49500 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. La TwisTorr 804 FS no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’...
  • Page 66 Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 66/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 67: Símbolos Usados

    Cuando el equipo está señalizado con este símbolo, significa que el operador debe manterse alejado durante el funcionamiento del equipo. Cuando el equipo está señalizado con este símbolo, significa que el usuario debe conectar el equipo a masa. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 67/344...

  • Page 68: Almacenamiento

    En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. 68/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 69: Preparación Para La Instalación

    Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga La TwisTorr 804 FS y de no someterla a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva para la preservación del medio ambiente 94/62/CE y modificaciones...
  • Page 70 Manual de istrucciones Preparación para la instalación Figura 1 70/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 71: Instalación

    Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica;  temperatura: de +5 °C a +35 °C;  TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 71/344...
  • Page 72 X3512-64016 TwisTorr Medium TMP onboard Controller La TwisTorr 804 FS es conforme a la categoría de instalación II prevista por la ¡ATENCIÓN! normativa EN 61010-1. Por lo tanto, este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.

  • Page 73: Fijación De La Bomba

    La TwisTorr 804 FS puede instalarse en cualquier posición. Fijar la TwisTorr 804 FS en posición estable, montando la brida de entrada de la turbobomba a la contrabrida del sistema, con una conexión que...
  • Page 74 Agilent. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. Tab. 4 BRIDA PAR DE APRIETE CFF10” 25 Nm La TwisTorr 804 FS no puede fijarse utilizando su base. NOTA 74/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 75: Uso De La Twistorr 804 Fs

    (Nitrógeno, Helio o Argón) para proteger los rodamientos de la misma (véase el anexo “Technical Information”). No utilizar, en ningún caso, la bomba en presencia de gases o vapores ¡ATENCIÓN! corrosivos, que puedan dañar los materiales internos de la misma. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 75/344...
  • Page 76 Nitrógeno, Argón y gases más livianos. En caso de que fuere necesario bombear gases más pesados que el Argón, se ruega contactar con la Asistencia Técnica de Agilent para solicitar información. 76/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 77: Mantenimiento

    Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento La TwisTorr 804 FS no requiere ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.

  • Page 78: Eliminación

    Para mayor información, remitirse a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 78/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 79: Manual De Istruções

    TwisTorr 804 FS User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 80 Informações gerais Símbolos de segurança 83 Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 89 Utilização do TwisTorr 804 FS Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais...

  • Page 80: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares

    ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 80/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 81: Informações Gerais

    O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (49500 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O TwisTorr 804 FS é totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
  • Page 82 As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à aparelhagem. As notas contêm informações importantes estrapoladas pelo texto. NOTA 82/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 83: Símbolos De Segurança

    O aparelho é marcado com este símbolo quando o operador deve se manter distante durante o funcionamento do aparelho. O aparelho é marcado com este símbolo quando o usuário deve ligar o aparelho à terra. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 83/344...

  • Page 84: Armazenagem

    é de 12 meses a contar da data da expedição. Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. 84/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 85: Preparação Para A Instalação

    Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair o TwisTorr 804 FS e para não submetêla a choques ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é...
  • Page 86 Manual de Istruções Preparação para a instalação Figura 1 86/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 87: Instalação

    (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 87/344...
  • Page 88 Controller onboard X3512-64016 TwisTorr Medium TMP onboard Controller A TwisTorr 804 FS está em conformidade com a categoria de instalação II CUIDADO! prevista pela normativa EN 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria.

  • Page 89: Fixação Da Bomba

    O TwisTorr 804 FS pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TwisTorr 804 FS em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba ao contraflange do sistema, com uma conexão capaz de...
  • Page 90 Agilent. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". Tab. 4 FLANGE TORQUE DE APERTO CFF10” 25 Nm O TwisTorr 804 FS não pode ser fixado através da sua base. NOTA 90/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 91: Utilização Do Twistorr 804 Fs

    (de purga/ventilação integrada) através da qual é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (nitrogénio, hélio ou argónio) para proteger os rolamentos da bomba (consultar o apêndice "Technical Information”). TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 91/344...
  • Page 92 Se for necessário bombear gases mais pesados que o argónio, pede-se entrar em contacto com a Assistência Técnica da Agilent para informações. 92/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 93: Manutenção

    Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TwisTorr 804 FS não necessita de qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...

  • Page 94: Eliminação

    Para maiores informações consultar: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 94/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 95: Bedrijfshandleiding

    TwisTorr 804 FS User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Veiligheidssymbolen 99 Opslag Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik van de TwisTorr 804 FS 107 Onderhoud Afvalverwerking 110 Vertaling van de originele instructies 95/344...

  • Page 96: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen

    WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 96/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 97: Algemene Informatie

    De pomp TwisTorr 804 FS is een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen die elk soort gas en gasvormige verbindingen kan pompen. Deze pomp is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
  • Page 98 Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 98/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 99: Veiligheidssymbolen

    Het apparaat drag dit symbool wanneer de bediener op afstand moet blijven tijdens de werking van het apparaat. Het apparaat drag dit symbool wanneer de gebruiker het apparaat moet aarden. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 99/344...

  • Page 100: Opslag

    Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. 100/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 101: Uitpakken

    Zorg er bij het uitpakken voor dat de TwisTorr 804 FS niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG- milieurichtlijn 94/62/CE en daaropvolgende wijzigingen.
  • Page 102 Bedrijfshandleiding Uitpakken Figuur 1 102/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 103: Installatie

    (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar. Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk;  TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 103/344...
  • Page 104 Controller onboard X3512-64016 TwisTorr Medium TMP onboard Controller TwisTorr 804 FS is conform de installatiecategorie II voorzien door de norm EN VOORZICHTIG! 61010-1. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn.

  • Page 105: Bevestiging Van De Pomp

    De TwisTorr 804 FS kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de TwisTorr 804 FS in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 20000 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
  • Page 106 Agilent. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical Information" Tab. 4 FLENS AANHAAL KOPPEL CFF10” 25 Nm De TwisTorr 804 FS kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. OPMERKING 106/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 107: Gebruik Van De Twistorr 804 Fs

    (stikstof, helium of argon) moet krijgen ter bescherming van de pomplagers (zie bijlage “Technical Information”). Gebruik de pomp nooit in aanwezigheid van bijtende gassen of dampen die de VOORZICHTIG! interne materialen van de pomp kunnen beschadigen. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 107/344...
  • Page 108 De pomp is ontworpen voor een hoge overdracht van Stikstof, Argon en lichtere gassen. Indien het nodig mocht zijn zwaardere gassen te pompen dan Argon, neem dan contact op met de Technische Dienst van Agilent voor meer informatie. 108/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 109: Onderhoud

    Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De pompen TwisTorr 804 FS zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.

  • Page 110: Afvalverwerking

    Kijk voor meer informatie op: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 110/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 111: Istruktionsbog

    TwisTorr 804 FS User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Sikkerhedssymboler Opbevaring Forberedelser før installation Installation Fastgøring af pumpen 121 Anvendelse af TwisTorr 804 FS 123 Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 111/344...

  • Page 112: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper

    For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det ADVARSEL! strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 112/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 113: Generel Information

    Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (49500 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. TwisTorr 804 FS er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med anvendelse af...
  • Page 114 I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 114/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 115: Sikkerhedssymboler

    Apparatet er markeret med dette symbol, når brugeren skal holde sig på sikker afstand under drift af apparatet. Apparatet er markeret med dette symbol, når brugeren skal jordforbinde apparatet. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 115/344...

  • Page 116: Opbevaring

    De turbomolekylære pumper må opbevares i 12 måneder fra  forsendelsesdatoen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. 116/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 117: Forberedelser Før Installation

    TwisTorr 804 FS leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TwisTorr 804 FS ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og opfylder EU-direktiv 94/62/EF og efterfølgende ændringer om...
  • Page 118 Istruktionsbog Forberedelser før installation Figur 1 118/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 119: Installation

    (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø. Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift: max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk;  temperatur: fra +5 °C til + 35 °C;  TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 119/344...
  • Page 120 Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. Den turbomolekylær pumpe TwisTorr 804 FS må kun benyttes med en af de specielle Agilent controller og de skal tilsluttes med en primær pumpe (se skemaet i bilaget "Technical Information").

  • Page 121: Fastgøring Af Pumpen

    TwisTorr 804 FS kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TwisTorr 804 FS i en stabil position ved at montere turbopumpens indløbsflange på systemets kontraflange med en tilslutning, der tåler et moment på...
  • Page 122 Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på vakuumkammeret ved hjælp af Agilent monteringsudstyret. I bilaget “Technical Information” findes yderligere detaljer. Tab. 4 FLANGE ANT. DREJNINGS-MOMENT CFF10” 25 Nm TwisTorr 804 FS kan ikke fastgøres i fundamentet. BEMÆRK 122/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 123: Anvendelse Af Twistorr 804 Fs

    ædelgasser (kvælstof, helium eller argon) for at beskytte pumpens lejer (se bilaget “Technical Information”). Anvend aldrig pumpen ved tilstedeværelse af ætsende gasser eller dampe som FORSIGTIG! kan skade pumpens indvendige materialer. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 123/344...
  • Page 124 Pumpen er konstrueret til at have en høj overførsel af kvælstof, argon og lettere gasser. Såfremt der er behov for at pumpe gasser, som er tungere end argon, skal man kontakte den tekniske kundeservice hos Agilent for yderligere oplysninger. 124/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 125: Vedligeholdelse

    Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Pumpen TwisTorr 804 FS kræver ikke nogen form for vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...

  • Page 126: Bortskaffelse

    For yderligere oplysninger, ret henvendelse til: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 126/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 127: Bruksanvisning

    TwisTorr 804 FS User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 128 Allmän information Säkerhetssymboler131 Förvaring Förberedelser för installation Installation Fastsättning av pumpen Användning av TwisTorr 804 FS 139 Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 127/344...

  • Page 128: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar

    VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 128/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 129: Allmän Information

    TwisTorr 804 FS är en turbomolekylärpump för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. Systemet kan pumpa alla typer av gaser men inte för att pumpa vätskor eller fasta partiklar.
  • Page 130 Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå. Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA 130/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 131: Säkerhetssymboler131

    Apparaten har markerats med den här symbolen när operatören ska hålla sig på avstånd när apparaten är i funktion. Apparaten har markerats med den här symbolen när användare ska jorda apparaten. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 131/344...

  • Page 132: Förvaring

    De turbomolekylära pumparna kan lagras i 12 månader från  leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent -återförsäljaren för ytterligare information. 132/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 133: Förberedelser För Installation

    Pumpen TwisTorr 804 FS levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TwisTorr 804 FS inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller direktiv 94/62/EG om miljöskydd och följande...
  • Page 134 Bruksanvisning Förberedelser för installation Figur 1 134/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 135: Installation

    +5 °C till +35 °C;  relativ luftfuktighet: 0 – 90 % (utan kondens).  I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical Information“ för ytterligare upplysningar. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 135/344...
  • Page 136 Bruksanvisning Installation Pumpen TwisTorr 804 FS ska endast användas med en av de speciella Agilent systemen och måste anslutas till en huvudpump (se schemat i bilagan "Technical Information"). Följande kontrollsystem finns tillgängliga: Tab. 1 PRODUKTNAMN KONTROLLSYSTEM DELNUMMER Controller Rack X3501-64016...

  • Page 137: Fastsättning Av Pumpen

    TwisTorr 804 FS kan installeras i valfri position. Fäst TwisTorr 804 FS i ett stabilt läge genom att montera pumpens intagsfläns till systemetskontrafläns med en anslutning som måste tåla ett...
  • Page 138 Agilent fästdelar. För detaljer hänvisas till bilaga ”Technical Information”. Tab. 4 FLÄNS ANT. ÅTDRAGNINGS-MOMENT CFF10” 25 Nm TwisTorr 804 FS-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas. OBSERVERA 138/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 139: Användning Av Twistorr 804 Fs

    är dessa pumpar försedda med en speciell öppning (integrerad rensning/ventilation) igenom vilken man ska leda en ström av ädelgas (kväve, helium eller argon) för att skydda pumpens lager (se bilagan “Technical information”). TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 139/344...
  • Page 140 Pumpen skyddas för att få en hög överföring av kväve, argon och lättare gaser. Om tyngre gas är argon måste pumpas, kontakta Agilens tekniska support för information. 140/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 141: Underhåll

    Bruksanvisning Underhåll Underhåll TwisTorr 804 FS kräver inget som helst underhåll. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat...

  • Page 142: Bortskaffning

    återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. För ytterligare information, se: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 142/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 143: Instruksjon Manual

    TwisTorr 804 FS User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 145 Sikkerhetssymboler Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk av TwisTorr 804 FS Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 143/344...

  • Page 144: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper

    I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må ADVARSEL! installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 144/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 145: Generell Informasjon

    TwisTorr 804 FS er en turbomolekylær pumpe for høye- og ultrahøye vakuumanlegg som kan pumpe alle typer gasser eller gassblandinger. Den egner seg ikke for pumping av væsker eller faste partikler.
  • Page 146 Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK 146/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 147: Sikkerhetssymboler

    å beskytte seg mot fare for skader og for å beskytte apparatet mot eventuelle skader. Apparatet er merket med dette symbolet når operatøren må holde avstand mens apparatet er i drift. Apparatet er merket med dette symbolet når brukeren må jorde apparatet. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 147/344...

  • Page 148: Lagring

    Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 12 måneder fra  sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger, må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent -forhandleren for informasjon. 148/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 149: Klargjøre Til Installasjon

    Når TwisTorr 804 FS pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
  • Page 150 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Figur 1 150/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 151: Installasjon

     temperatur: fra +5 °C til +35 °C;  relativ fuktighet: 0 – 90 % (uten kondens).  Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 151/344...
  • Page 152 Instruksjon Manual Installasjon Pumpen TwisTorr 804 FS skal kun brukes sammen med en av de egnede Agilent-styreenhetene og den må koples til en hovedpumpe (se skjema i tillegget "Technical Information"). Følgende styreenheter kan brukes: Tab. 1 PRODUKTNAVN STYREENHET DELENUMMER Controller Rack...

  • Page 153: Festing Av Pumpen

    ødelegges. Dette kan føre til materielle skader, alvorlige personskader eller død. TwisTorr 804 FS kan monteres i en valgfri stilling. Fest TwisTorr 804 FS i en stabil stilling ved å montere turbopumpens inngangsflens på...
  • Page 154 CF flens, og hvilket tiltrekkingsmoment Agilent anbefaler ved stramming. Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Agilent. For detaljer henvises det til “Technical Information”. TwisTorr 804 FS kan monteres i en valgfri stilling. Tab. 4 FLENS ANT.

  • Page 155: Bruk Av Twistorr 804 Fs

    Kople en strøm av inaktive gasser (nitrogen, helium eller argon) til denne åpningen for å beskytte lagrene til pumpen (se “Technical Information). Bruk aldri pumpen i miljøer med etsende gass eller damp som kan skade FORSIKTIG! materialene på innsiden av pumpen. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 155/344...
  • Page 156 Pumpen er utformet for å overføre nitrogen, argon og lettere gasser. Ta kontakt med Agilents tekniske kundestøtte for mer informasjon hvis du må pumpe gasser som er tyngre enn argon. 156/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 157: Vedlikehold

    Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TwisTorr 804 FS er vedlikeholdsfri.Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.

  • Page 158: Eliminering

    å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. For mer informasjon: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 158/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 159: Ohjekäsikirja

    TwisTorr 804 FS User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 160 Yleisiä tietoja Turvamerkit Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 169 TwisTorr 804 FS käyttö 171 Huolto Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 159/344...

  • Page 160: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet

    Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 160/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 161: Yleisiä Tietoja

    TwisTorr 804 FS on turbomolekyylipumppu korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten, joka kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai kaasuyhdisteitä, mutta ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen.
  • Page 162 Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö-tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 162/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 163: Turvamerkit

    Laitteessa on tämä merkki kun käyttäjän on viitattava ohjekirjaan suojautuakseen vahingoilta ja suojatakseen laitetta mahdollisilta vahingoilta. Laitteessa on tämä merkki kun käyttäjän on pysyttävä siitä loitolla sen toiminnan aikana. Laitteesa on tämä merkki kun käyttäjän on maadoitettava laite. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 163/344...

  • Page 164: Varastointi

     start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 12 kuukautta  toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. 164/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 165: Valmistelut Asennusta Varten165

    Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. TwisTorr 804 FS ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään.
  • Page 166 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Kuva 1 166/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 167: Asennus

    Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen;  lämpötila: +5 °C - +35 °C;  suhteellinen kosteus: 0 – 90 % (ei tiivistävä).  TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 167/344...
  • Page 168 Rack Controller Controller onboard X3512-64016 TwisTorr Medium TMP onboard Controller TwisTorr 804 FS on normin EN 61010-1 osoittaman asennusluokan II mukainen. HUOMIO! Kytke laite tämän vuoksi sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset. Ks. “Technical Information” -liitettä lisävarusteiden asentamista varten. 168/344...

  • Page 169: Pumpun Kiinnitys

    Asennusohjeiden noudattamatta jättäminen, mikäli roottorissa syntyy vika, voi aiheuttaa pumpun irtoamisen järjestelmästä ja näin ollen vahinkoja, vakavia vammoja tai kuoleman. TwisTorr 804 FS voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää TwisTorr 804 FS vakaaseen asentoon asentamalla turbopumpun sisääntulolaippa järjestelmän vastalaippaan liitännällä, joka kestää 20000 Nm:n momentin akselinsa ympäri.
  • Page 170 Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammioon sopivien Agilentin mekaanisten varusteiden avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. Tab. 4 LAIPPA MÄÄ-RÄ KIRISTYS- MOMENTTI CFF10” 25 Nm TwisTorr 804 FSia ei voida kiinnittää perustansa kautta. HUOM 170/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 171: Twistorr 804 Fs Käyttö

    (integroitu purge/vent), jonka läpi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja (typpi, helium tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information” - liite). Älkää koskaan käyttäkö pumppua jos paikalla on syövyttäviä kaasuja tai höyryjä, HUOMIO! jotka voivat vahingoittaa pumpun sisällä olevia materiaaleja. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 171/344...
  • Page 172 Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. Pumppu on suunniteltu typen, argonin tai kevyempien kaasujen pumppaamiseen. Mikäli argoniin nähden painavampia kaasuja joudutaan pumppaamaan, ottakaa yhteyttä Agilentin tekniseen huoltoon lisätietoja varten. 172/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 173: Huolto

    Ohjekäsikirja Huolto Huolto TwisTorr 804 FS pumput eivät vaadi mitään huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.

  • Page 174: Hävittäminen

    Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Lisätietoja varten viitatkaa osoitteeseen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 174/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 175: Felhasználói Kézikönyv

    TwisTorr 804 FS User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Biztonsági jelzések 179 Tárolás Előkészítés telepítésre 181 Telepítés A szivattyú rögzítése A TwisTorr 804 FS használata Karbantartás Megsemmisítés 190 Az eredeti utasítás fordítása 175/344...

  • Page 176: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz

    érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 176/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 177: Általános Informáicó

    A szivattyúzási műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral hajtott nagysebességű turbina (max. 49500 fordulat/perc) biztosítja. A TwisTorr 804 FS szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta” vákuumot igénylő alkalmazásokra. A következő bekezdések a berendezést használó kezelő biztonságának garantálásához szükséges összes információt tartalmazzák. Részletes információt talál a „Technical Information”...
  • Page 178 A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja. A megjegyzések fontos, a szövegből kivonatolt információkat tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 178/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 179: Biztonsági Jelzések

    A berendezésen akkor jelenik meg ez a jelzés, ha a kezelőnek a berendezés működése alatt attól távol kell tartózkodnia. A berendezésen akkor jelenik meg ez a jelzés, ha a felhasználónak földelnie kell a berendezést. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 179/344...

  • Page 180: Tárolás

    Egy turbomolekuláris szivattyú raktározási ideje 12 hónap a  szállítás dátumától számítva. Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a FIGYELEM! gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. 180/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 181: Előkészítés Telepítésre

    TwisTorr 804 FS A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett módon.
  • Page 182 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Ábra 1 182/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 183: Telepítés

    (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell biztosítani: maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett;  TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 183/344...
  • Page 184 TwisTorr Medium-TMP Rack Controller Controller onboard X3512-64016 TwisTorr Medium TMP onboard Controller A TwisTorr 804 FS megfelel az EN 61010-1 szabvány II. telepítési kategóriájának. FIGYELEM! Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Technical Information”. 184/344...

  • Page 185: A Szivattyú Rögzítése

    úgy, hogy a dolgokban kárt, súlyos sérülést vagy halált okozhat. A TwisTorr 804 FS bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TwisTorr 804 FSt stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 20000 Nm tengely körüli nyomatéknak.
  • Page 186 A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Agilent hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért lásd “Technical Information”. Tab. 4 KARIMA RÖGZÍTŐ NYOMATÉK CFF10” 25 Nm A TwisTorr 804 FS nem rögzíthető az alapján keresztül. MEGJEGYZÉS 186/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 187: A Twistorr 804 Fs Használata

    (pl. nitrogén, hélium, argon) kell bevezetni (lásd “Technical Information” függelék). Soha ne használja a szivattyút olyan maró gázok vagy gőzök jelenlétében, FIGYELEM! amelyek a szivattyú belsejében lévő anyagokat károsíthatják. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 187/344...
  • Page 188 Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében! A szivattyút úgy tervezétk, hogy nitrogén, argon és más könnyebb gázok jó átvitelét biztosítsa. Amennyiben az argonnál nehezebb gázok szivattyúzására lenne szükség, kérjük forduljon az Agilent ügyfélszolgálatához tájékoztatás végett. 188/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 189: Karbantartás

    Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TwisTorr 804 FS típusú szivattyúk nem igényelnek karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...

  • Page 190: Megsemmisítés

    és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Részletes információk végett forduljon az alábbi címhez: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 190/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 191: Podrecznik Instrukcji

    TwisTorr 804 FS User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje Zastosdowane symbole 195 Magazynowanie Przygotowanie do instalacji 197 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie pompy TwisTorr 804 FS 203 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 191/344...

  • Page 192: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych

    ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 192/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 193: Ogólne Informacje

    Pompa TwisTorr 804 FS jest pompą turbomolekularną przeznaczoną są do wywoływania wysokiej i ultra wysokiej próżni, jest wstanie pompować jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej nie korozyjnej, natomiast nie ma ona zastosowania do pompowania płynów lub cząstek ciał...
  • Page 194 Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 194/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 195: Zastosdowane Symbole

    Na urządzeniu zostaje umieszczony ten symbol, kiedy operator musi znajdować się w odpowiednim oddaleniu podczas pracy urządzenia. Na urządzeniu zostaje umieszczony ten symbol, kiedy użytkownik musi podłączyć urządzenie do uziemienia. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 195/344...

  • Page 196: Magazynowanie

    12  miesięcy od daty wysyłki. Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy odesłać UWAGA! pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. 196/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 197: Przygotowanie Do Instalacji

    Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Pompa TwisTorr 804 FS, nie może zostać uszkodzona poprzez wystawienie jej na PRZYPIS działanie atmosfery. Mimo to zaleca się, aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
  • Page 198 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Postać 1 198/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 199: Instalacja

    żadnym przypadku nie wykorzystywać pompy w pomieszczeniach narażonych na oddziaływanie czynników atmosferycznych (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w pomieszczeniach z atmosferą wybuchową lub z wysokim zagrożeniem pożaru. Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać następujące warunki otoczenia: TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 199/344...
  • Page 200 Controller onboard X3512-64016 TwisTorr Medium TMP onboard Controller Pompa TwisTorr 804 FS odpowiada wymaganiom II kategorii instalacji UWAGA! przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też należy podłączyć urządzenie do linii zasilania, która spełnia te wymogi. Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z “Technical Information”.

  • Page 201: Mocowanie Pompy

    śmierci. Pompa TwisTorr 804 FS może być zainstalowana w jakiejkolwiek pozycji. Pompę TwisTorr 804 FS należy zamocować w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na obciążenie 20000 Nm wokół...
  • Page 202 Agilent. W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Technical Information”. Tab. 4 KOŁNIERZ ILOŚĆ MOMENT DOKRĘCENIA CFF10” 25 Nm Pompa TwisTorr 804 FS nie może być mocowana z wykorzystaniem jej własnej PRZYPIS podstawy. 202/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 203: Użytkowanie Pompy Twistorr 804 Fs

    (Azot, Hel, Argon) w celu zabezpieczenia łożysk pompy (Patrz dodatek “Technical Information”). Absolutnie nie wylorzystywać pompy w środowisku zawierającym gazy lub opary UWAGA! powodujące korozję, ponieważ mogłoby to doprowadzić do uszkodzenia wewnętrznych elementów pompy. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 203/344...
  • Page 204 Pompa jest zaprojektowana w taki sposób, aby możliwy był szybki przesył Azotu, Argonu i gazów lżejszych. Gdyby pojawiła się konieczność pompowania gazów cięższych niż Argon, należy skontaktować się z działem Obsługi Technicznej firmy Agilent w celu uzyskania koniecznych informacji. 204/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 205: Konserwacja

    Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Pompa TwisTorr 804 FS nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...

  • Page 206: Przetworstwo Odpadow

    Dlatego też zaleca się, aby użytkownik końcowy, po uprzedniem sprawdzeniu terminu i warunków zawartych w kontrakcie sprzedaży, skontaktował się z dostawcą lub sprzedawcą urządzenia w celu uruchomienia procesu składowania i likwidacji. W@ięcej informacji zamieszczono: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 206/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 207: Návod K Použití

    TwisTorr 804 FS User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 208 Všeobecné informace 209 Bezpečnostní symboly 211 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Upevnění vývěvy Použití vývěvy TwisTorr 804 FS 219 Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 207/344...

  • Page 208: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy

    V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 208/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 209: Všeobecné Informace

    čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 49500 ot/min.) poháněná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem. Vývěva TwisTorr 804 FS neobsahuje žádné kontaminující látky a proto se hodí pro aplikace vyžadující "čisté" vakuum. Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění...
  • Page 210 činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení. Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu. POZNÁMKA 210/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 211: Bezpečnostní Symboly

    Zařízení je označeno tímto symbolem, když se obsluha musí během činnosti zařízení zdržovat v dostatečné vzdálenosti. Zařízení je označeno tímto symbolem, když uživatel musí ukostřit zařízení. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 211/344...

  • Page 212: Uskladnění

    12 měsíců ode dne  doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. 212/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 213: Příprava K Instalaci

    Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby vývěva TwisTorr 804 FS nespadla a chraňte ji před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi. Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice 94/62/ES ve...
  • Page 214 Návod k Použití Příprava k instalaci Obrázek 1 214/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 215: Instalace

    Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím: maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem;  teplota: od +5 °C do +35 °C;  relativní vlhkost: 0 – 90 % (bez srážení).  TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 215/344...
  • Page 216 Controller onboard X3512-64016 TwisTorr Medium TMP onboard Controller Vývěva TwisTorr 804 FS je ve shodě s kategorií instalace II, stanovenou normou POZOR! EN 61010-1. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu. Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technical Information".

  • Page 217: Upevnění Vývěvy

    Vývěvu TwisTorr 804 FS lze instalovat do libovolné polohy. Upevněte vývěvu TwisTorr 804 FS ve stabilní poloze, a to tak, že vstupní přírubu namontujete k protipřírubě systému prostřednictvím spoje, který kolem své osy snese krouticí moment 20000 Nm.
  • Page 218 Agilent. Viz podrobný popis v příloze “Technical Information”. Tab. 4 PŘÍRUBA POČET UTAHOVACÍ MOMENT CFF10” 25 Nm Vývěvu TwisTorr 804 FS nelze připevnit pomocí její podstavy. POZNÁMKA 218/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 219: Použití Vývěvy Twistorr 804 Fs

    (dusíku, hélia nebo argonu) za účelem ochrany ložisek vývěvy (viz dodatek „Technical Information“). Vývěvu nikdy nepoužívejte za přítomnosti korozivních plynů nebo výparů, které by POZOR! mohly poškodit její vnitřní materiály. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 219/344...
  • Page 220 Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Vývěva byla navržena pro vysoký přenos dusíku, argonu a dalších lehčích plynů. V případě, že by s ní bylo třeba čerpat těžší plyny, obraťte se ohledně dalších informací na servisní službu firmy Agilent. 220/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 221: Údržba

    Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TwisTorr 804 FS nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...

  • Page 222: Likvidace

    Podrobnejší informace můžete získat na internetové stránce: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 222/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 223: Návod Na Obsluhu

    TwisTorr 804 FS User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 224 Všeobecné informácie Bezpečnostné symboly 227 Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy233 Použitie vývevy TwisTorr 804 FS 235 Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu 223/344...

  • Page 224: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy

    V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení rotora, sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované, aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy! 224/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 225: Všeobecné Informácie

    úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. TwisTorr 804 FS je turbomolekulárna výveva pre vysokovákuové a ultra vysokovákuové aplikácie, ktorá je schopná čerpať akýkoľvek druh nekorozívneho plynu alebo plynné zlúčeniny, ale nehodí sa na čerpanie tekutín alebo pevných častíc.
  • Page 226 Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA 226/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 227: Bezpečnostné Symboly

    úrazu a poškodenia zariadenia. Zariadenie je označené týmto symbolom, keď sa pracovník musí počas činnosti zariadenia zdržiavať v dostatočnej vzdialenosti. Zariadenie je označené týmto symbolom, keď užívateľ musí uzemniť zariadenie. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 227/344...

  • Page 228: Uchovávanie

    12 mesiacov odo  dňa dodania Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. 228/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 229: Príprava Na Inštaláciu

    Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Pri vybaľovaní dávajte pozor, aby výveva TwisTorr 804 FS nespadla a chráňte ju pred náhodnými nárazmi, otrasmi alebo vibráciami. Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál je 100% recyklovateľný...
  • Page 230 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Obrázok 1 230/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 231: Inštalácia

    Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia: maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku;  teplota: od +5 °C do +35 °C;  relatívna vlhkosť: 0 – 90 % (bez kondenzácie).  TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 231/344...
  • Page 232 Controller onboard X3512-64016 TwisTorr Medium TMP onboard Controller Výveva TwisTorr 804 FS je v zhode s kategóriou inštalácie II, určenou normou POZOR! EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý vyhovuje uvedenej kategórii. O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technical Information”.

  • Page 233: Upevnenie Vývevy233

    Vývevu TwisTorr 804 FS je možné inštalovať v ľubovoľnej polohe. Upevnite vývevu TwisTorr 804 FS do stabilnej polohy, a to tak, že vstupnú prírubu namontujete k protiprírube systému prostredníctvom spoja, ktorý znesie krútiaci moment 20000 Nm okolo svojej osi.
  • Page 234 Agilent. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku “Technical Information”. Tab. 4 PRÍRUBA POČET UŤAHOVACÍ KRÚTIACI MOMENT CFF10” 25 Nm Zariadenie TwisTorr 804 FS sa nemôže upevniť pomocou vlastnej základne. POZNÁMKA 234/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 235: Použitie Vývevy Twistorr 804 Fs

    (Dusíku, Hélia alebo Argónu) kvôli ochrane ložísk vývevy (viď dodatok „Technical Information“). Nikdy nepoužívajte vývevu za prítomnosti korozívnych plynov alebo výparov, POZOR! ktoré by mohli poškodiť jej vnútorné materiály. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 235/344...
  • Page 236 Výveva bola navrhnutá pre vysoký prenos Dusíka, Argónu a ďalších ľahších plynov. V prípade, keď by bolo potrebné čerpať jej prostredníctvom ťažšie plyny, obráťte sa ohľadom ďalších informácií na Servisnú službu firmy Agilent. 236/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 237: Údržba

    Návod na Obsluhu Údržba Údržba Výveva TwisTorr 804 FS nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...

  • Page 238: Likvidácia

    Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Podrobnejšie informácie môžete získať na internetovej stránke: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 238/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 239: Priročnik Za Navodila

    TwisTorr 804 FS User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Varnostni znaki Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrditev črpalke Uporaba črpalke TwisTorr 804 FS Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 239/344...

  • Page 240: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke

    V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 240/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 241: Splošne Informacije

    Črpalke iz serije TwisTorr 804 FS so turbomolekularne črpalke za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo. Sistem lahko črpa vse tipe plinov in plinskih zmesi, ni pa primeren za črpanje tekočin ali trdnih delcev.

  • Page 242: Varnostni Znaki

    Ta znak na napravi pomeni, da se upravljavec delujoči napravi ne sme približevati. Ta znak na napravi pomeni, da mora upravljavec napravo ozemljiti. 242/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 243: Shranjevanje

    Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 12 mesecev od  datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti POZOR! v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 243/344...

  • Page 244: Priprava Za Montažo

    Ker teža črpalke presega 13 kg, sta za njeno prestavljanje potrebni najmanj dve osebi. Črpalka TwisTorr 804 FS je dobavljena v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju embalaže pazite pazite, da vam črpalka TwisTorr 804 FS ne pade iz rok in ne izpostavljajte je udarcem ali tresljajem.
  • Page 245 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Slika 1 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 245/344...

  • Page 246: Montaža

    Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje: maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere;  temperatura: od +5 °C do +35 °C;  relativna vlažnost: 0 – 90 % (brez kondenza).  246/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 247 Controller onboard X3512-64016 TwisTorr Medium TMP onboard Controller Črpalka TwisTorr 804 FS je skladna z II. razredom namestitve, ki ga določa POZOR! standard EN 61010-1. Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo. Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Technical Information«.

  • Page 248: Pritrditev Črpalke

    črpalke s sistema s posledičnimi okvarami, hudimi poškodbami ali celo smrtjo. TwisTorr 804 FS lahko montirate v številne pozicije. TwisTorr 804 FS namestite v stabilen položaj tako, da pritrdite vhodno prirobnico turbočrpalke na števno prirobnico s tako spojko, ki lahko prenaša navor 20000 Nm okoli svoje osi.
  • Page 249 Agilent strojne opreme. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". Tab. 4 PRIROBNICA NAVOR CFF10” 25 Nm Naprave TwisTorr 804 FS ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo ploskvijo. OPOMBA TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 249/344...

  • Page 250: Uporaba Črpalke Twistorr 804 Fs

    (dušik, helij ali argon) za zaščito ležajev črpalke (glej prilogo “Technical Information”). Nikoli ne uporabljajte črpalke v primeru jedkih plinov ali hlapov, ki lahko POZOR! poškodujejo notranje strukture črpalke. 250/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 251 Črpalka je zasnovana za prenos velike količine dušika, argona in lažjih plinov. Če bi želeli črpati pline, ki so težji od argona, se posvetujte s službo za tehnično pomoč Agilent. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 251/344...

  • Page 252: Vzdrževanje

    Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Črpalke TwisTorr 804 FS ne potrebujejo nikakršnega vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.

  • Page 253: Odlaganje Opadkov

    Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Za podrobnejše informacije si oglejte spletno stran: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 253/344...
  • Page 254 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 254/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 255: Instructions For Use

    TwisTorr 804 FS User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Safety Symbols 259 Storage Preparation for installation 261 Installation Pump Fixing265 Use of TwisTorr 804 FS 267 Maintenance Disposal Original Instructions 255/344...

  • Page 256: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel WARNING! the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 256/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 257: General Information

    The TwisTorr 804 FS is a turbo-molecular pump for high and ultra- high vacuum applications which is able pump any type of non- corrosive gas or gas compound.
  • Page 258 The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. The notes contain important information taken from the text. NOTE 258/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 259: Safety Symbols

    The apparatus is marked with this symbol when the user should stay clear during operation of the apparatus. The apparatus is marked with this symbol when the user has to connect a protective earth connection to the apparatus. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 259/344...

  • Page 260: Storage

    If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. 260/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 261: Preparation For Installation

    Because the pump weight exceeds 13 kg, handling must be executed by at least 2 operators. The TwisTorr 804 FS pump is supplied in a special protective pack- ing. If this shows signs of damage which may have oc-curred during transport, contact your local sales office.
  • Page 262 Instructions for Use Preparation for installation Figure 1 262/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 263: Installation

    During operation, the following environmental conditions must be respected: maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure;  temperature: from +5 °C to +35 °C;  TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 263/344...
  • Page 264 See the appendix "Technical Information" for detailed information. The TwisTorr 804 FS pumps must be used in conjunction with one of the suitable Agilent controller and they must be connected to a primary pump (see "Technical Information").

  • Page 265: Pump Fixing265

    The TwisTorr 804 FS can be installed in any position. Fix the TwisTorr 804 FS in a stable position, mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter-flange, with a connection capable of withstanding a torque of 20000 Nm around its axis.
  • Page 266 Agilent hardware. See the appendix "Technical Information" for a detailed description. Tab. 4 FLANGE FIXING TORQUE CFF10” 25 Nm The TwisTorr 804 FS cannot be fixed by means of its base. NOTE 266/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 267: Use Of Twistorr 804 Fs

    (integrated purge/vent device) to allow a steady flow of inert gas (He, N2, Ar) for pump bearing protection (see the annex "Technical Information"). Never use the pump with corrosive gases or vapor to avoid damage to the CAUTION! internal materials of the pump. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 267/344...
  • Page 268 The pump is designed to pump high throughput of N , Ar and lighter gas. Should you need to pump gases heavier than Ar, please contact Agilent technical support for information. 268/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 269: Maintenance

    Instructions for Use Maintenance Maintenance The TwisTorr 804 FS does not require any maintenance. Any work must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.

  • Page 270: Disposal

    Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 270/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 271: Technical Information

    Interconnections 306 Earth (Ground) Connection Connection C – Electrical Soft Start Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation TwisTorr 804 FS with TMP Rack Controller TwisTorr 804 FS with On Board Controller Water Cooling Kit Connection Vent Accessories 318 TwisTorr 804 FS On Board Controller Compatible Vent Valve mod.
  • Page 272 Disposal Serial Cable Installation Procedure to Connect the Serial and I/O ports to an External Cable 322 TwisTorr 804 FS On Board Controller Installation 324 Side Mounting Connection of the High Vacuum Flange 327 Installation of ISO-K Flange Installation of ISO-F Flange...

  • Page 273: Description Of The Twistorr 804 Fs

    Technical Information Description of the TwisTorr 804 FS Description of the TwisTorr 804 FS The TwisTorr 804 FS pump is available in various models that differ in the high vacuum flange. The TwisTorr 804 FS pump models are: X3511-64007 TwisTorr 804 FS ISO200K KF25 Air Cooling ...
  • Page 274 KF25 KF40 KF25 KF40 ISO K X3511-64022 X3511-64023 X3511-64007 X3511-64008 X3511-64028 X3511-64013 ISO F X3511-64024 X3511-64025 X3511-64009 X3511-64010 X3511-64029 X3511-64014 CFF10” X3511-64026 X3511-64027 X3511-64011 X3511-64012 The following figures shows the 16 models. 274/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 275 Technical Information Description of the TwisTorr 804 FS Figure 3 Model X3511-64007 Figure 4 Model - X3511-64008 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 275/344...
  • Page 276 Technical Information Description of the TwisTorr 804 FS Figure 5 Model X3511-64009 Figure 6 Model X3511-64010 276/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 277 Technical Information Description of the TwisTorr 804 FS Figure 7 Model X3511-64011 Figure 8 Model X3511-64012 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 277/344...
  • Page 278 Technical Information Description of the TwisTorr 804 FS Figure 9 Model X3511-64013 Figure 10 Model X3511-64014 278/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 279 Technical Information Description of the TwisTorr 804 FS Figure 11 Model X3511-64022 Figure 12 Model X3511-64023 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 279/344...
  • Page 280 Technical Information Description of the TwisTorr 804 FS Figure 13 Model X3511-64024 Figure 14 Model X3511-64025 280/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 281 Technical Information Description of the TwisTorr 804 FS Figure 15 Model X3511-64026 Figure 16 Model X3511-64027 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 281/344...
  • Page 282 Technical Information Description of the TwisTorr 804 FS Figure 17 Model X3511-64028 Figure 18 Model X3511-64029 282/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 283: Pump Description

    Description of the TwisTorr 804 FS Pump Description The TwisTorr 804 FS pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 5 bladed stages and 2.5 TwisTorr drag stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
  • Page 284 The pump can operate in any position and must be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 25 or KF 40 NW flange. 284/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 285: Technical Specification

    Foreline tolerance defined to satisfy following criteria: • the Turbopump still produces a compression of 100 • the rotational frequency is not below the low speed of the pump (values measured in water cooling mode) TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 285/344...
  • Page 286 825 Hz max Max oper. power (± 5%): 200 W water cooling 200 W air cooling Installation category Pollution degree Storage temperature -40 °C to +70 °C Max operating altitude 3000 m 286/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 287 23.3 kg (51.2) ISO 250F 27.6 kg (60.9) Mean values based on a significative sample (Ar and N2 compression ratio estimated); (■) standard deviation per test: noise pressure level: ± 10%. Estimated values (♦) TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 287/344...

  • Page 288: Twistorr 804 Fs Outline

    Technical Information TwisTorr 804 FS Outline TwisTorr 804 FS Outline The following figures show the TwisTorr 804 FS (dimensions are in mm [inches]). Figure 19 TwisTorr 804 FS with air cooling kit (X3511-64007+X3501-68001) 288/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 289 Technical Information TwisTorr 804 FS Outline Figure 20 TwisTorr 804 FS with air cooling kit (X3511-64008+X3501-68001) TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 289/344...
  • Page 290 Technical Information TwisTorr 804 FS Outline Figure 21 TwisTorr 804 FS with air cooling kit (X3511-64009+X3501-68001) 290/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 291 Technical Information TwisTorr 804 FS Outline Figure 22 TwisTorr 804 FS with air cooling kit (X3511-64010+X3501-68001) TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 291/344...
  • Page 292 Technical Information TwisTorr 804 FS Outline Figure 23 TwisTorr 804 FS with air cooling kit (X3511-64011+X3501-68001) 292/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 293 Technical Information TwisTorr 804 FS Outline Figure 24 TwisTorr 804 FS with air cooling kit (X3511-64012+X3501-68001) TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 293/344...
  • Page 294 Technical Information TwisTorr 804 FS Outline Figure 25 TwisTorr 804 FS with air cooling kit (X3511-64013+X3501-68001) 294/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 295 Technical Information TwisTorr 804 FS Outline Figure 26 TwisTorr 804 FS with air cooling kit (X3511-64014+X3501-68001) TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 295/344...
  • Page 296 Technical Information TwisTorr 804 FS Outline Figure 27 TwisTorr 804 with water cooling kit (X3511-64022) 296/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 297 Technical Information TwisTorr 804 FS Outline Figure 28 TwisTorr 804 with water cooling kit (X3511-64023) TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 297/344...
  • Page 298 Technical Information TwisTorr 804 FS Outline Figure 29 TwisTorr 804 with water cooling kit (X3511-64024) 298/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 299 Technical Information TwisTorr 804 FS Outline Figure 30 TwisTorr 804 with water cooling kit (X3511-64025) TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 299/344...
  • Page 300 Technical Information TwisTorr 804 FS Outline Figure 31 TwisTorr 804 with water cooling kit (X3511-64026) 300/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 301 Technical Information TwisTorr 804 FS Outline Figure 32 TwisTorr 804 with water cooling kit (X3511-64027) TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 301/344...
  • Page 302 Technical Information TwisTorr 804 FS Outline Figure 33 TwisTorr 804 with water cooling kit (X3511-64028) 302/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 303 Technical Information TwisTorr 804 FS Outline Figure 34 TwisTorr 804 with water cooling kit (X3511-64029) TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 303/344...

  • Page 304: Output Power During High Temperature Condition (Derating)

    The user must set the gas type load (WIN 157) and Cooling mode (WIN 106) before starting the pump. If the body temperature exceeds 60 °C, the controller goes in status 6 (Fail). 304/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 305 35. Figure 35 Example of a power limit curve Furthermore, the final power limit curves also minimize mechanical stress to extend the pump reliability through a smart rotational frequencies management. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 305/344...

  • Page 306: Interconnections

    Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TwisTorr 804 FS interconnections. Figure 36 Earth (Ground) Connection It is required to connect the pump to protective earth with a M5 screw (marked thread in the pump envelope) using a green/yellow wire of size AWG 16.

  • Page 307: Connection C - Electrical

    If the controller not recognize the pump, the pump is not energized. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 °C, the controller automatically cuts off the power supply. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 307/344...

  • Page 308: Soft Start

    Technical Information Soft Start Soft Start To start the pump after a protracted stop of the TwisTorr 804 FS, it’s recommended to enable the “Soft Start” function; this allows a better grease distribution in the bearings. The “Soft Start” mode is disabled by default.

  • Page 309: Inlet Screen Installation

    The inlet screens mod. 9699316 (ISO200-CFF10”) and 9699350 (ISO250) prevent the blades of the pump from being damaged by debris. The inlet screen, however, reduces the pumping speed as follows: Reduction in pumping speed (%) 9699316 9699350 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 309/344...
  • Page 310 The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 41 The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump do not change as the inlet screen remains inside the pump profile. 310/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 311: Air Cooling Kit Installation Twistorr 804 Fs With Tmp Rack Controller

    Technical Information Air Cooling Kit Installation TwisTorr 804 FS with TMP Rack Controller Air Cooling Kit Installation TwisTorr 804 FS with TMP Rack Controller When the pump is used with the TMP rack controller, it is necessary to utilize the air cooling kit model X3501-68001.
  • Page 312 Technical Information Air Cooling Kit Installation TwisTorr 804 FS with TMP Rack Controller power input: 4.6 W  dimensions: 127 x 127 x 38 mm (5 x 5 x 1.5 in.)  To fix the fan to the pump bottom;...

  • Page 313: Twistorr 804 Fs With On Board Controller

    TwisTorr 804 FS with On Board Controller TwisTorr 804 FS with On Board Controller An air cooling kit (model 9699297) is available to improve the TwisTorr 804 FS cooling during heavy operational conditions. Figure 44 Fan specifications: air flow: 187 m ...
  • Page 314 Technical Information TwisTorr 804 FS with On Board Controller To fix the fan to the pump bottom: Tear out the little rectangular sheet metal plate from the rest of the fan. Position this rectangular plate and the fan ensuring that the the 3 holes in the sheet plate are alined with the 3 holes in the pump base as shown in the image 45.

  • Page 315: Water Cooling Kit Connection

    Technical Information Water Cooling Kit Connection Water Cooling Kit Connection The TwisTorr 804 FS pump has a water cooling loop made of a corrosion resistant stainless steel pipe with two standard 1/8 G connections. Two types of water cooling kits are available to be mounted. The two model part numbers are: 9699337 (metallic model), and 9699347 (plastic model).
  • Page 316 The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure Figure 48 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the stainless-steel pipe with a recommended closing torque of 5 Nm. Figure 49 316/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 317 100 l/h. The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is suggested. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 317/344...

  • Page 318: Vent Accessories

    The vent valve and vent device allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation. TwisTorr 804 FS On Board Controller Compatible Vent Valve mod. 9699834 Figure 50 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec.
  • Page 319 Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”). TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 319/344...

  • Page 320: Tmp Rack Controller Compatible Vent Valve Mod. X3501- 68002

    Figure 53 This vent valve has a default delay time of about 3 sec. To install the vent valve execute the same steps as the vent valve model 9699834 (see the above paragraph). 320/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 321: Purge Valve Installation

    To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, Figure 54 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. Figure 55 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 321/344...

  • Page 322: Serial Cable Installation

    Technical Information Serial Cable Installation Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TwisTorr 804 FS Navigator or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure.
  • Page 323 In this way, you will be sure to reduce the influence of the external noise and to accomplish the EMC requests. In picture d is showed the cable assembled. Figure 57 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 323/344...

  • Page 324: Twistorr 804 Fs On Board Controller Installation

    Technical Information TwisTorr 804 FS On Board Controller Installation TwisTorr 804 FS On Board Controller Installation The controller can be mounted in two positions: bottom mounting (as per the complete system);  side mounting.  To install the controller execute the following procedures.

  • Page 325: Side Mounting

    Technical Information TwisTorr 804 FS On Board Controller Installation Figure 58 Side Mounting The L-shaped bracket (P/N X3511-68003) is available as an option. NOTE See the following figure. Place the L-shaped bracket on the controller, with the pump cable toward the bracket, and fix it by means of the three socket head screws M5, the washers and the nuts;...
  • Page 326 Technical Information TwisTorr 804 FS On Board Controller Installation Place the bracket on the pump bottom (the hole on the bracket has the same diameter as the pump bottom flange); Screw a little bit the three screws M6 in the holes on the pump bottom;...

  • Page 327: Connection Of The High Vacuum Flange

    The combination of different flange types is not allowed in any case. Agilent Vacuum will not accept any liability for all damages resulting from not allowed fastening. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 327/344...

  • Page 328: Installation Of Iso-K Flange

    (a protective screen can optionally be used). Figure 60 Use the required number of claw clamps: 18 for ISO 200 flange  18 for ISO 250 flange  Tighten the claw clamps with a torque of 25 Nm. 328/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 329: Installation Of Iso-F Flange

    12.9 screws as shown in the following figure (a protective screen can optionally be used). Figure 61 Use the required number of hex screws: 12 for ISO 200-250 flange  Tighten the screws with a torque of 40 Nm. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 329/344...

  • Page 330: Installation Of Conflat Flange

    Note that, in some cases, the connections can be made only with the bolt in the lower side. 330/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 331 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope as this may cause the pump rotor to lock. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 331/344...

  • Page 332: Connection Of The Fore-Vacuum Pump

    A flange KF 25 and KF 40 NW are available to connect the TwisTorr 804 FS pump to the forevacuum pump. The TwisTorr 804 FS pump is characterized by its high compression ratio also NOTE for oil vapors. When using a mechanical oil sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil back streaming.

  • Page 333: Pump Used With Corrosive Gases

    Turbo pump, with the chamber or the Turbo vent valve opened, to avoid system overpressure. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 333/344...
  • Page 334 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Figure 63 Purge layout 334/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 335: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    However, if the effect is greater, then the application should be carefully reviewed by Agilent's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 335/344...

  • Page 336: Cleaning

    Technical Information Cleaning Cleaning The Exterior surfaces of the turbo pump may be cleaned with mild detergent only. 336/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...

  • Page 337: Accessories And Spare Parts

    Spare vent screw X3511-68000 Vent valve driven by Rack Controller X3501-68002 Vent valve driven by On-board Controller 9699834 Vent valve Rack extension cable 5m long X3501-68004 Vent valve Rack extension cable 10m long X3501-68054 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01 337/344...
  • Page 338 Purge valve 20 SCCM NW16KF – M12 9699241 Purge valve 20 SCCM ¼ Swagelok – M12 9699242 Spare purge screw X3502-68004 Medium-TMP KF25 foreline flange X3511-68001 Medium-TMP KF40 foreline flange X3511-68002 Active Gauges Ask Agilent for details 338/344 TwisTorr 804 FS User Manual / 87-901-052-01...
  • Page 344 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Ce manuel est également adapté pour:

X3511-64007X3511-64008X3511-64009X3511-64010X3511-64011X3511-64012 ... Afficher tout