Table des Matières
Publicité
Használat
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze
el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer
használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep hőmérséklete
nem haladhatja meg a 80 °C-ot.
A felhasználónak ügyelnie kell, hogy a szivattyúzott gáz szerint
beállítsa a helyes gázmódot. 1 a nitrogénhez és könnyebb gázokhoz, 0
az argonhoz (alapértelmezés) a 157-es sorszámú vezérlésben.
Részletekért lásd „Technical Information".
VESZÉLY!
Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva. Ne érintse meg a
turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben. Magas
hőmérséklet égést okozhat.
Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A
FIGYELEM!
csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt
vagy közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő
nyomásnak 1 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). A
csapágyakra szennyező vagy részecskéket tartalmazó gázok szivattyúzásához
ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy olyan különleges porttal, amelyen
keresztül a csapágyak védelme érdekében a szivattyúhoz közömbös gázt
(Nitrogén vagy Hélium) kell áramoltatni (lásd „Technical Information" függelék).
A szivattyút soha ne használjuk olyan korrodáló gáz vagy gőz jelenlétében
FIGYELEM!
használni, amely károsíthatja a szivattyú belsejében lévő anyagokat.
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01
Felhasználói Kézikönyv
Használat
(C)
11
201/374
Publicité
Table des Matières
