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Gebrauchsanleitung
Gebrauch
Die Pumpe kann in einer beliebigen Position installiert werden. Aus
praktischen Gründen wird sie in der Regel senkrecht mit nach oben
gerichtetem Eintrittsflansch oder waagerecht eingebaut.
Die Pumpen können auch in einer beliebigen Position an ihrem
Eintrittsflansch hängend eingebaut werden.
Detaillierte Informationen zur Installation der Pumpe sind dem
Anhang "Technical Information" zu entnehmen.
Gebrauch
Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Pumpen sind im
Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch ist vor der Inbetriebnahme genau durchzulesen.
Es wird empfohlen, die Pumpe auf einen Druck von 1x10
bringen, um einen rascheren Anlauf zu gewährleisten. Zu diesem
Zweck empfiehlt es sich, keine ölversiegelte mechanische Pumpe zu
verwenden. Falls hingegen eine derartige Pumpe benutzt werden
muß, soll an der Vakuumleitung eine Falle eingesetzt werden, um den
durch die Wasser- und Öldämpfe aus der mechanischen Pumpe
erzeugten Druck zu verringern. Es ist zu versuchen, die Zeit auf ein
Mindestmaß zu reduzieren, während der die mechanische Pumpe
zum System und zur Ionenpumpe geöffnet ist, da sich ihre Dämpfe
bei Drücken unter 1x10
Verunreinigung verursachen. Bei Systemen, die vollkommen ölfrei
sein müssen, erweisen sich für den obengenannten Vorgang
Turbopumpen als geeigneter.
Hygroskopische Ablagerungen und die Absorption von Wasserstoff in
der Titanverbindung können die Anlaufzeit verlängern und eine
kürzere Standzeit der Pumpe verursachen. Die Ablagerungen der
Titanverbindungen absorbieren Wasserdampf, wenn sie der Luft
ausgesetzt werden. Dadurch bewirkt beim anschließenden
Anlaufvorgang die Aufheizung der Pumpe die Abgabe des Dampfes
und eines Teils des zuvor gepumpten Wasserstoffs, so daß sich die
Anlaufzeit verlängert.
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-1
mbar im System verbreiten und dessen
2 l/s Ion Pump User Manual / 87-900-091-01 (E)
-4
mbar zu
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