Page 1 TV 401/301 MS Pump model 8698928R003 Controller model 9698979M005 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila...
Page 2: Safety Notices
Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01...
Page 3 TV 401/301 MS TV 401/301 MS TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 3/266...
Page 4 TV 401/301 MS 4/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 5: Table Des Matières
Immagazzinamento 16 Preparazione per l'installazione 17 Installazione Uso 20 Manutenzione 23 Smaltimento Gebrauchsanleitung 25 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Information 27 Lagerung Vor der Installation 29 Installation 30 Gebrauch Wartung Entsorgung 36 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 5/266...
Page 6 Información general 51 Almacenamiento Preparación para la instalación 53 Instalación 54 Uso 56 Mantenimiento 59 Eliminación 60 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 62 Informações gerais 63 Armazenagem 64 6/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 7 Algemene informatie Opslag Uitpakken 77 Installatie Gebruik Onderhoud 83 Afvalverwerking 84 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information 87 Opbevaring 88 Forberedelse før installation 89 Installation 90 Anvendelse 92 Vedligeholdelse 95 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 7/266...
Page 8 Användning 104 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 109 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Generell informasjon 111 Lagring Klargjøre til installasjon 113 Installasjon 114 Bruk Vedlikehold 119 Eliminering 120 10 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja 8/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 9 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 134 Általános információk Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 144 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 146 Ogólne informacje Magazynowanie 148 Przygotowanie do instalacji 149 Instalacja Użytkowanie TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 9/266...
Page 10 Likvidace 14 Návod na Obsluhu 169 Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia 15 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 182 10/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 11 Preparation for Installation 197 Installation 198 Use 200 Maintenance Disposal 17 Technical Information 205 Description of the TV 401/301 MS Pump Description Technical Specification 210 TV 401/301 MS Outline 212 Interconnections TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 11/266...
Page 12 Connection of the Fore-Vacuum Pump TV 401/301 MS Insertion and Extraction 248 Connection of the Electrical Connector Pump Used with Corrosive Gases 257 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 260 12/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 13: Istruzioni Per L'uso
Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni generali 15 Immagazzinamento Preparazione per l'installazione 17 Installazione Accensione ed Uso della TV 401/301 MS 21 Arresto della TV 401/301 MS Arresto di Emergenza 22 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali...
Page 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è AVVERTENZA! necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 14/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 15: Informazioni Generali
Il TV 401/301 MS è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è...
Page 16: Immagazzinamento
 Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è  di 10 mesi dalla data di spedizione. 16/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 17: Preparazione Per L'installazione
Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. Preparazione per l'installazione Il TV 401/301 MS viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Page 18: Installazione
Istruzioni per l’uso Installazione Il TV 401/301 MS non può essere danneggiato rimanendo semplicemente NOTA esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. Installazione Togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della ATTENZIONE! turbopompa al sistema.
Page 19 (vedere schema in "Technical Information"). Il TV 401/301 MS può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare il TV 401/301 MS in posizione stabile collegando la flangia di fissaggio della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 2000 Nm attorno al proprio asse.
Page 20: Uso
EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Il TV 401/301 MS ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile.
Page 21: Accensione Ed Uso Della Tv 401/301 Ms
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. Accensione ed Uso della TV 401/301 MS Per accendere il TV 401/301 MS è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa.
Page 22: Arresto Della Tv 401/301 Ms
Istruzioni per l’uso Il LED verde posto sul pannello della base del TV 401/301 MS indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;  lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il sistema è in ...
Page 23: Manutenzione
Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TV 401/301 MS non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Page 24: Smaltimento
Per maggiori informazioni riferirsi a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 24/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 25: Gebrauchsanleitung
TV 401/301 MS User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Information Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch der TV 401/301 MS Stoppen von Modell TV 401/301 MS 34 Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 25/266...
Page 26: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener WARNUNG! vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 26/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 27: Allgemeine Information
Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Modell TV 401/301 MS ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder...
Page 28: Lagerung
Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang  bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in Gang zu setzen. Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate  ab dem Speditionsdatum. 28/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 29: Vor Der Installation
überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Vor der Installation Modell TV 401/301 MS wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 401/301 MS ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Page 30: Installation
Gebrauchsanleitung Installation Modell TV 401/301 MS kann durch die Umgebung an sich keine Schäden HINWEIS erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden. Installation Die Schutzkappe erst bei Anschluss der Turbopumpe an das System entfernen.
Page 31 Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV 401/301 MS ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe Schema in "Technical Information"). Modell TV 401/301 MS kann in jeder beliebigen Position installiert werden.
Page 32: Gebrauch
Gebrauchsanleitung Gebrauch Der TV 401/301 MS gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von VORSICHT! den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Der TV 401/301 MS hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden...
Page 33: Einschaltung Und Gebrauch Der Tv 401/301 Ms
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. Einschaltung und Gebrauch der TV 401/301 MS Zur Einschaltung von Modell TV 401/301 MS ist es mit der erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock- und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Page 34: Stoppen Von Modell Tv 401/301 Ms
Gebrauchsanleitung Gebrauch Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 401/301 MS gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an: Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.  Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet sich ...
Page 35: Wartung
Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell TV 401/301 MS erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C...
Page 36: Entsorgung
Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Für weitere Informationen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 36/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 37: Mode D'emploi
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications Générales 39 Stockage Preparation pour l'installation 41 Installation Utilization Mise en marche et utilisation de la TV 401/301 MS Arrêt de la TV 401/301 MS 46 Arrêt d'urgence Entretien Mis au rebut Traduction de la mode d’emploi originale...
Page 38: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel ! 38/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 39: Indications Generales
Le TV 401/301 MS est totalement exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide "propre". Le TV 401/301 MS est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant d'alimenter un ventilateur supplémentaire, de commander la soupape de ventilation, de le piloter à...
Page 40: Stockage
A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doivent  toujours être mises en marche en mode soft-Start. Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 10  mois à compter de la date d'expédition. 40/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 41: Preparation Pour L'installation
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le TV 401/301 MS et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à...
Page 42: Installation
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque d'incendie. 42/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 43 (Cf. schéma dans "Technical Information"). Le TV 401/301 MS peut être installée dans n'importe quelle position. Assurer le TV 401/301 MS de façon stable en fixant la collerette de la turbopompe à une contre-collerette fixe pouvant résister à un couple de 2000 Nm autour de son axe.
Page 44: Utilization
être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que l'isolation du dispositif branché au TV 401/301 MS a une isolation appropriée même en condition de panne individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1.
Page 45: Mise En Marche Et Utilisation De La Tv 401/301 Ms
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. Mise en marche et utilisation de la TV 401/301 MS Pour allumer le TV 401/301 MS il suffit de fournir la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la pompe.
Page 46: Arrêt De La Tv 401/301 Ms
Mode d’emploi Utilization La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV 401/301 MS indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système: allumée fixe: la pompe est en rotation normale;  clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est en ...
Page 47: Entretien
Mode d’emploi Entretien Entretien Le TV 401/301 MS n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Page 48: Mis Au Rebut
œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 48/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 49: Manual De Istrucciones
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento 52 Preparación para la instalación 53 Instalación Encendido y Uso de la TV 401/301 MS Parada de la TV 401/301 MS Parada de Emergencia 58 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales...
Page 50: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 50/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 51: Información General
El TV 401/301 MS es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada por el controler correspondiente.
Page 52: Almacenamiento
Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez; el período máximo de almacenamiento de una bomba  turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente. 52/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 53: Preparación Para La Instalación
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TV 401/301 MS y de no someterlo a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.
Page 54: Instalación
Manual de istrucciones Instalación El TV 401/301 MS no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a la NOTA atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
Page 55 Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El TV 401/301 MS ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). El TV 401/301 MS puede instalarse en cualquier posición. Fijar el TV 401/301 MS en una posición estable conectando la brida de fijación...
Page 56: Uso
Manual de istrucciones El TV 401/301 MS pertenece a la segunda categoría de instalación (o ¡ATENCIÓN! sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría. El TV 401/301 MS tiene conectores para las entradas/salidas y para la comunicación serial que deben ser conectados a los circuitos externos...
Page 57: Encendido Y Uso De La Tv 401/301 Ms
Encendido y Uso de la TV 401/301 MS Para encender el TV 401/301 MS basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba.
Page 58: Parada De La Tv 401/301 Ms
Manual de istrucciones El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV 401/301 MS indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas del sistema: encendido fijo: la bomba está en rotación normal;  parpadea lentamente (periodo de 400 ms aproximadamente): el ...
Page 59: Mantenimiento
Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TV 401/301 MS no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Page 60: Eliminación
Para mayor información, remitirse a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 60/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 61: Manual De Istruções
Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Acendimento e Utilização da TV 401/301 MS 69 Paragem da TV 401/301 MS 70 Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 61/266...
Page 62: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 62/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 63: Informações Gerais
às normas nacionais específicas. O TV 401/301 MS é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller.
Page 64: Armazenagem
 cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular  é de 10 meses a contar da data da expedição. 64/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 65: Preparação Para A Instalação
Agilent. Preparação para a instalação O TV 401/301 MS é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Page 66: Instalação
Manual de Istruções Instalação O TV 401/301 MS não pode ser danificado permanecendo simplesmente NOTA exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó. Instalação Retirar a tampa de proteção somente no momento de ligar a turbobomba ao CUIDADO! sistema.
Page 67 O TV 401/301 MS deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). O TV 401/301 MS pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TV 401/301 MS em posição estável ligando o flange de retenção da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 2000 Nm ao redor do seu eixo.
Page 68: Utilização
Manual de Istruções Utilização O TV 401/301 MS pertence à segunda categoria de instalação (ou sobretensão) CUIDADO! prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. O TV 401/301 MS tem dois conectores para as entradas/saídas e para a comunicação de série que devem...
Page 69: Acendimento E Utilização Da Tv 401/301 Ms
Acendimento e Utilização da TV 401/301 MS Para ligar o TV 401/301 MS é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba.
Page 70: Paragem Da Tv 401/301 Ms
Manual de Istruções Utilização A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do TV 401/301 MS, indica, através da frequência de intermitência, as condições operacionais do sistema: acesa fixa: a bomba funciona normalmente;  intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema está em ...
Page 71: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TV 401/301 MS não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Page 72: Eliminação
Para maiores informações consultar: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 72/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 73: Bedrijfshandleiding
TV 401/301 MS User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74 Algemene informatie 75 Opslag 76 Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 401/301 MS Afzetten van de TV 401/301 MS 82 Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 84 Vertaling van de originele instructies 73/266...
Page 74: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 74/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 75: Algemene Informatie
(max. 60000 toeren/min.) aangedreven door een asynchrone draaistroommotor. De TV 401/301 MS is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. De TV 401/301 MS is bovendien van hulpconnectors voorzien...
Page 76: Opslag
Soft-  Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10  maanden vanaf de verzenddatum. 76/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 77: Uitpakken
Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 401/301 MS niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399.
Page 78: Installatie
Bedrijfshandleiding Installatie De TV 401/301 MS kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de OPMERKING atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen.
Page 79 In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie De TV 401/301 MS moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical information"). De TV 401/301 MS kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig...
Page 80: Gebruik
Controleer of de inrichting verbonden met de TV 401/301 MS goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.
Page 81: Inschakeling En Gebruik Van De Tv 401/301 Ms
Inschakeling en gebruik van de TV 401/301 MS Om de TV 401/301 MS in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp.
Page 82: Afzetten Van De Tv 401/301 Ms
Bedrijfshandleiding Gebruik De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de TV 401/301 MS geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan: brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;  knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is in ...
Page 83: Onderhoud
Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TV 401/301 MS is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Page 84: Afvalverwerking
Kijk voor meer informatie op: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 84/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 85: Istruktionsbog
TV 401/301 MS User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Start og anvendelse af TV 401/301 MS Stop af TV 401/301 MS 94 Nødstop Vedligeholdelse 95 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 85/266...
Page 86: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det ADVARSEL! strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 86/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 87: Generel Information
Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved høj hastighed (max. 60000 omdr./min.) drevet af en trefaset asynkron elektrisk motor. TV 401/301 MS er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum.
Page 88: Opbevaring
Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af  Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for første gang. De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra  forsendelsesdatoen. 88/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 89: Forberedelse Før Installation
Sørg for, at TV 401/301 MS ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100 % og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
Page 90: Installation
Istruktionsbog Installation Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TV 401/301 MS. Det anbefales BEMÆRK dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i pumpen. Installation Beskyttelsesproppen må først fjernes, når turbopumpen sluttes til systemet.
Page 91 TV 401/301 MS skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). TV 401/301 MS kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TV 401/301 MS i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på...
Page 92: Anvendelse
FORSIGTIG! overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. TV 401/301 MS er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang til de spændingsførende dele.
Page 93: Start Og Anvendelse Af Tv 401/301 Ms
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Start og anvendelse af TV 401/301 MS For at starte TV 401/301 MS er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen.
Page 94: Stop Af Tv 401/301 Ms
Istruktionsbog Anvendelse Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TV 401/301 MS’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: konstant tændt: pumpen er i normal rotation;  langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i stilling ...
Page 95: Vedligeholdelse
Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TV 401/301 MS behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 96: Bortskaffelse
For yderligere oplysninger, ret henvendelse til: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 96/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 97: Bruksanvisning
TV 401/301 MS User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar98 Allmän information Förvaring Förberedelser för installationen 101 Installation Användning Start och användning av TV 401/301 MS 105 Att stänga av TV 401/301 MS Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 97/266...
Page 98: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 98/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 99: Allmän Information
TV 401/301 MS, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. TV 401/301 MS har dessutom en hjälpkontakt som gör det möjlig att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-dator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS 485).
Page 100: Förvaring
Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).  Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när  de mottas och sätts i drift för första gången. De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från  leveransdatumet. 100/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 101: Förberedelser För Installationen
TV 401/301 MS levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 401/301 MS inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.
Page 102: Installation
Bruksanvisning Installation Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 401/301 MS. Trots det är OBSERVERA det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den.
Page 103 TV 401/301 MS måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). TV 401/301 MS kan installeras i valfri position. Fäst TV 401/301 MS i ett stabilt läge genom att ansluta turbopumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 2000 Nm kring sin axel.
Page 104: Användning
åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till TV 401/301 MS har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1.
Page 105: Start Och Användning Av Tv 401/301 Ms
Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. Start och användning av TV 401/301 MS För att starta TV 401/301 MS behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen.
Page 106: Att Stänga Av Tv 401/301 Ms
Stop eller "Waiting for interlock"; hastigt blinkande (ungefär 200 ms) : feltillstånd.  Att stänga av TV 401/301 MS Om du vill stänga av TV 401/301 MS behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en...
Page 107: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll TV 401/301 MS är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC.
Page 108: Bortskaffning
återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. För ytterligare information, se: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 108/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 109: Instruksjon Manual
TV 401/301 MS User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper Generell informasjon 111 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 116 Starte og bruke TV 401/301 MS 117 Stoppe TV 401/301 MS 118 Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 109/266...
Page 110: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylær Pumper
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må ADVARSEL! installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye! 110/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 111: Generell Informasjon
TV 401/301 MS systemet består av en turbo-molekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg og en styreenhet. Systemet kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. Det er ikke beregnet for å...
Page 112: Lagring
Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering).  Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene når de  mottas og startes opp første gang. Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra  sendedato. 112/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 113: Klargjøre Til Installasjon
Når TV 401/301 MS pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Page 114: Installasjon
Instruksjon Manual Installasjon Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TV 401/301 MS. Likevel MERK anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. Installasjon Fjern beskyttelsesproppen først når turbopumpen skal sluttes til systemet.
Page 115 TV 401/301 MS må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). TV 401/301 MS kan monteres i en valgfri stilling. TV 401/301 MS må installeres i en stabil posisjon, og turbopumpens inngangsflens må koples til en fast motflens som er i stand til å motstå et moment på...
Page 116: Bruk
Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til TV 401/301 MS har en egnet isolering, også under forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.
Page 117: Starte Og Bruke Tv 401/301 Ms
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Starte og bruke TV 401/301 MS TV 401/301 MS startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen.
Page 118: Stoppe Tv 401/301 Ms
Før man utfører vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten, er det nødvendig å kople fra strømkabelen. Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 401/301 MS i en nødsituasjon. 118/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 119: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 401/301 MS er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 120: Eliminering
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. For mer informasjon: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 120/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 121: Ohjekäsikirja
TV 401/301 MS User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 122 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 128 TV 401/301 MSin käynnistys ja käyttö TV 401/301 MSin pysäyttäminen 130 Hätäpysäytys 130 Huolto 131 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 121/266...
Page 122: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 122/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 123: Yleisiä Tietoja
TV 401/301 MS on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu valvojalla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen.
Page 124: Varastointi
0 - 95 % (ei tiivistävä).  Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft-  start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta  toimituspäivästä. 124/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 125: Valmistelut Asennusta Varten125
TV 401/301 MS toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 401/301 MSin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali voidaan kierrättää...
Page 126: Asennus
Ohjekäsikirja Asennus TV 401/301 MS ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen. Asennus Poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään järjestelmään. Älkää HUOMIO! kytkekö turbopumppuun sähköä, ellei sitä ole kiinnitetty asianmukaisesti tyhjiöjärjestelmään.
Page 127  Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. TV 401/301 MS tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). TV 401/301 MS voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää Kiinnittäkää TV 401/301 MS vakaaseen asentoon liittämällä...
Page 128: Käyttö
TV 401/301 MS laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että TV 401/301 MS laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.
Page 129: Tv 401/301 Msin Käynnistys Ja Käyttö
Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. TV 401/301 MSin käynnistys ja käyttö TV 401/301 MSin käynnistykseen riittää, että se kytketään sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää pumpun. Pumpun ensimmäinen käynnistys tapahtuu “Soft Start” - menetelmällä, joka inaktivoituu automaattisesti käynnistysjakson...
Page 130: Tv 401/301 Msin Pysäyttäminen
Ohjekäsikirja Käyttö Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 401/301 MS:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;  vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-,  jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”- tilassa; vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.
Page 131: Huolto
Ohjekäsikirja Huolto Huolto TV 401/301 MS ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.
Page 132: Hävittäminen
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Lisätietoja varten viitatkaa osoitteeseen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 132/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 133: Felhasználói Kézikönyv
TV 401/301 MS User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános információk 135 Tárolás Előkészítés telepítésre 137 Telepítés Használat A TV 401/301 MS bekapcsolása és 141 A TV 401/301 MS 142 Vészleállítás 142 Karbantartás Megsemmisítés 144 Az eredeti utasítás fordítása 133/266...
Page 134: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
– esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 134/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 135: Általános Információk
általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A TV 401/301 MS egy integrált rendszer turbo-molekuláris szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni.
Page 136: Tárolás
0 – 95 % (nem kondenzáló)  A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,  amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti. Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap a  szállítás dátumától. 136/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 137: Előkészítés Telepítésre
Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. Előkészítés telepítésre A TV 401/301 MS-t különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Page 138: Telepítés
Felhasználói Kézikönyv Telepítés A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TV 401/301 MS-et. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját. Telepítés Ne távolítsa el a védőkupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez való...
Page 139 Information”. A TV 401/301 MS-et elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „Technical Information”). A TV 401/301 MS bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TV 401/301 MS-et stabil helyzetben, a turbószivattyú rögzítő karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 2000 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Page 140: Használat
Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 401/301 MS a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik FIGYELEM! az EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A TV 401/301 MS-nek olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső áramkörökhöz csatlakoztatni, hogy elektromos részek ne legyenek hozzáférhetők.
Page 141: A Tv 401/301 Ms Bekapcsolása És
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat. Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében. A TV 401/301 MS bekapcsolása és használata A TV 401/301 MS bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
Page 142: A Tv 401/301 Ms
Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 401/301 MS bekapcsolása A TV 401/301 MS kikapcsolásához egyszerűen le kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút. VESZÉLY! A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó...
Page 143: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TV 401/301 MS nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Page 144: Megsemmisítés
és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Részletes információk végett forduljon az alábbi címhez: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 144/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 145: Podrecznik Instrukcji
Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 147 Magazynowanie 148 Przygotowanie do instalacji 149 Instalacja Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie TV 401/301/21 NSF 153 Zatrzymanie systemu TV 401/301/21 NSF154 Zatrzymanie Alarmowe 154 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej 145/266...
Page 146: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
ZAGROŻENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi! 146/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 147: Ogólne Informacje
(RS232 lub RS485). W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym informacji technicznych „Technical Information”. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 147/266...
Page 148: Magazynowanie
 turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób Soft- Start czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10  miesięcy od daty wysyłki. 148/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 149: Przygotowanie Do Instalacji
W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. Przygotowanie do instalacji System TV 401/301/21 NSF jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży.
Page 150: Instalacja
Podrecznik Instrukcji Instalacja System TV 401/301/21 NSF, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go PRZYPIS na działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem. Instalacja Zdjąć korek zabezpieczający tylko w momencie połączenia pompy do systemu.
Page 151 W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information” TV 401/301/21 NSF musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w dodatku “Technical Information”) TV 401/301/21 NSF może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji. Zamocować TV 401/301/21 NSF w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz mocujący turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na...
Page 152: Użytkowanie
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie TV 401/301/21 NSF należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) UWAGA! przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która spełni te wymogi. TV 401/301/21 NSF posiada konektory wejściowe/ wyjściowe i dla komunikacji szeregowej które muszą...
Page 153: Włączenie I Użytkowanie Tv 401/301/21 Nsf
Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. Włączenie i Użytkowanie TV 401/301/21 NSF Aby włączyć TV 401/301/21 NSF wystarczy dostarczyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie obecność sygnałów interlock-u i uruchomienia i uruchamia pompę. Pierwsze uruchomienie pompy odbywa się w sposób Soft-Start który na zakończenie cyklu uruchomienia, wyłącza się...
Page 154: Zatrzymanie Systemu Tv 401/301/21 Nsf154
Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Zielona dioda led znajdująca się na panelu podstawy TV 401/301/21 NSF wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan operacyjny systemu: zaświecona na stałe: pompa znajduje się w normalnych obrotach;  miga powoli ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub ...
Page 155: Konserwacja
Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja TV 401/301/21 NSF nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROŻENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie wynosiła poniżej 50 °C.
Page 156: Przetworstwo Odpadow
Zaleca się użytkownikowi, po uprzednim sprawdzeniu terminu i warunków zawartych w umowie sprzedaży, nawiązać kontakt z dostawcą lub sprzedawcą, w celu uruchomienia procesu zbiórki i przerobu. W@ięcej informacji zamieszczono: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 156/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 157: Návod K Použití
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 158 Všeobecné informace 159 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 164 Zapnutí a používání vývěvy TV 401/301 MS Vypnutí vývěvy TV 401/301 MSse šroubovanou přírubou Nouzové zastavení 166 Údržba 167 Likvidace Překlad originálního návodu 157/266...
Page 158: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační energie. NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence zranění obsluhy! 158/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 159: Všeobecné Informace
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěva TV 401/301 MS je integrovaný systém s turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zařízení může odčerpávat libovolný...
Page 160: Uskladnění
Rozpětí vlhkosti: 0 až 95 % (bez srážení)  turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a poprvé  vždycky spouštět pozvolně skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode dne  doručení. 160/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 161: Příprava K Instalaci
Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. Příprava k instalaci Vývěva TV 401/301 MS se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku.
Page 162: Instalace
Návod k Použití Instalace V normálním prostředí se vývěva TV 401/301 MS nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem. Instalace Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte šroubovací...
Page 163 V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Vývěva TV 401/301 MS se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz "Technical Information"). Vývěvu TV 401/301 MS lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 401/301 MS upevněte v nějaké...
Page 164: Použití
Návod k Použití Použití Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 401/301 MS do druhé POZOR! elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou třídu. Vývěva TV 401/301 MS je vybavena vstupními a výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí...
Page 165: Zapnutí A Používání Vývěvy Tv 401/301 Ms
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Zapnutí a používání vývěvy TV 401/301 MS Pro uvedení vývěvy TV 401/301 MS do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu.
Page 166: Vypnutí Vývěvy Tv 401/301 Msse Šroubovanou Přírubou
Návod k Použití Použití Vypnutí vývěvy TV 401/301 MSse šroubovanou přírubou Pro vypnutí vývěvy TV 401/301 MS je nutné vypnout síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně...
Page 167: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TV 401/301 MS nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 168: Likvidace
Podrobnejší informace můžete získat na internetové stránce: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 168/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 169: Návod Na Obsluhu
Návod na Obsluhu Bezpečnostný návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 171 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 173 Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 401/301 MS 177 Vypnutie zariadenia TV 401/301 MS 178 Núdzové zastavenie Údržba 179 Likvidácia Preklad originálneho návodu 169/266...
Page 170: Bezpečnostný Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍE! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy! 170/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 171: Všeobecné Informácie
(RS232 alebo RS485). Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 171/266...
Page 172: Uchovávanie
0 až 95 % (bez kondenzácie)  zákazník musí pri prvom spustení turbo vývevy vždy použiť režim  soft štartu skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo  dňa dodania. 172/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 173: Príprava Na Inštaláciu
Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Príprava na inštaláciu Zariadenie TV 401/301 MS sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent.
Page 174: Inštalácia
Návod na Obsluhu Inštalácia Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie TV 401/301 MS POZNÁMKA poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie prachom. Inštalácia Ochranný kryt odstráňte tesne pred pripojením turbovývevy k systému.
Page 175 V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Zariadenie TV 401/301 MS sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technical Information“). Zariadenie TV 401/301 MS môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe.
Page 176: Použitie
žiadna elektrická súčasť. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k TV 401/301 MS má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1.
Page 177: Zapnutie A Použitie Zariadenia Tv 401/301 Ms
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Zapnutie a použitie zariadenia TV 401/301 MS Ak chcete zapnúť zariadenie TV 401/301 MS, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu.
Page 178: Vypnutie Zariadenia Tv 401/301 Ms
Návod na Obsluhu Použitie Vypnutie zariadenia TV 401/301 MS Ak chcete vypnúť zariadenie TV 401/301 MS, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍE! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie Turbo-V napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré...
Page 179: Údržba
Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TV 401/301 MS nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍE! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 180: Likvidácia
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Podrobnejšie informácie môžete získať na internetovej stránke: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 180/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 181: Priročnik Za Navodila
Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 182 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 401/301 MS 189 Izklop naprave TV 401/301 MS Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 181/266...
Page 182: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 182/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 183: Splošne Informacije
TV 401/301 MS je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev.
Page 184: Shranjevanje
0 do 95 % (brez kondenza)  Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja  zagnati mehko. Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od  datum pošiljanja. 184/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 185: Priprava Za Montažo
Agilent Vacuum. Priprava za montažo Naprava TV 401/301 MS je dobavljena v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.
Page 186: Montaža
Montaža Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati naprave OPOMBA TV 401/301 MS. Kljub temu je priporočljivo, da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s prahom. Montaža Zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na sistem. Ne POZOR! dovajajte ničesar turbočrpalki dokler ta ni primerno priključena na vakuumski...
Page 187 TV 401/301 MS morate priključiti na primarno črpalko (glej "Technical Information"). TV 401/301 MS lahko montirate v številne pozicije. TV 401/301 MS namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko prenese navor 2000 Nm okoli svoje osi.
Page 188: Uporaba
Priročnik za Navodila Uporaba Po direktivi EN 61010-1 spada TV 401/301 MS v skupino za drugo nameščanje POZOR! (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo. Naprava TV 401/301 MS ima vhodne/izhodne in serijske priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben električni del ni dosegljiv.
Page 189: Vklop In Uporaba Naprave Tv 401/301 Ms
»Soft Start« načina je potreben ustrezen programski ukaz (glej odstavek »Opis komunikacije RS 232/485« v prilogi »Technical Information«. Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 401/301 MS, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Brez utripanja: Č·rpalka je normalno vrti;...
Page 190: Izklop Naprave Tv 401/301 Ms
Priročnik za Navodila Uporaba Izklop naprave TV 401/301 MS Za izklop naprave TV 401/301 MS morate prekiniti dovod napetosti. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalko. SVARILO! Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem (potrjen na mednarodnem nivoju).
Page 191: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 401/301 MS ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 192: Odlaganje Opadkov
šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Za podrobnejše informacije si oglejte spletno stran: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 192/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 193: Instructions For Use
TV 401/301 MS User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 194 General Information Storage Preparation for Installation 197 Installation Switching on and Use of TV 401/301 MS 201 TV 401/301 MS Switching off Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 193/266...
Page 194: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel WARNING! the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 194/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 195: General Information
The TV 401/301 MS is an integrated system with a turbo-molecular pump for high and ultra-high vacuum applications with its relevant controller. The system can pumps any type of gas or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid particles.
Page 196: Storage
 received and operated for the first time by the customer the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the  shipping date. 196/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 197: Preparation For Installation
Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Preparation for Installation The TV 401/301 MS is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office.
Page 198: Installation
Instructions for Use Installation Normal exposure to the environment cannot damage the TV 401/301 MS. NOTE Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust. Installation...
Page 199 The TV 401/301 MS must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). The TV 401/301 MS can be installed in any position. Fix the TV 401/301 MS in a stable position connecting the turbopump fixing flange to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 2000 Nm around its axis.
Page 200: Use
Be sure that the insulation of the device connected to the TV 401/301 MS is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1.
Page 201: Switching On And Use Of Tv 401/301 Ms
Switching on and Use of TV 401/301 MS To switch on the TV 401/301 MS it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump.
Page 202: Tv 401/301 Ms Switching Off
Instructions for Use TV 401/301 MS Switching off To switch off the TV 401/301 MS it is necessary to remove the mains. The integrated controller immediately stops the pump. WARNING! The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety.
Page 203: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The TV 401/301 MS does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...
Page 204: Disposal
Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 204/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 205: Technical Information
TV 401/301 MS User Manual Technical Information Description of the TV 401/301 MS Pump Description 208 Controller Description 209 Technical Specification TV 401/301 MS Outline Interconnections 216 Input Power Connector 216 P3 – Spare P5 – External Fan 218 J5 - In-Out...
Page 206 TV 401/301 MS Insertion and Extraction 248 Insertion Procedure Extraction Procedure 252 Connection of the Electrical Connector Pump Used with Corrosive Gases Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 206/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 207: Description Of The Tv 401/301 Ms
Technical Information Description of the TV 401/301 MS Description of the TV 401/301 MS The TV 401/301 MS pumping system consists of a pump with a dedicated controller. The TV 401/301 MS pump model is 8698928R003 (see the following figure).
Page 208: Pump Description
The pump can operate in any position and must be supported on the flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF16 flange. 208/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 209: Controller Description
AC mains supply into a 3-phase output which is required to power the pump. The controller can be operated in two ways: via digital/analog I/O connector  via serial RS 232 or 485 connector.  TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 209/266...
Page 210: Technical Specification
≤ 45 dB (A) at 1 meter Pwr supply (mains): Input voltage: 100 - 240 Vac Input freq.: 50 - 60 Hz Max input pwr: 300 VA Stand-by pwr: 10 W 210/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 211 Pump: 5.8 (12.76) Controller: 1 (2.2) When the TV 401/301 MS has been stored at a temperature less than 5 °C, wait NOTE until the system has reached the above mentioned temperature. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 212: Tv 401/301 Ms Outline
Technical Information TV 401/301 MS Outline TV 401/301 MS Outline The following figure shows the TV 401/301 MS outlines (dimensions are in mm [inches]). Figure 5 TV 401/301 MS outline, with standard controller mounted 212/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 213 Technical Information TV 401/301 MS Outline The following figure shows the 8698979M005 controller outline (dimensions are in inches [mm]). Figure 6 TV 401/301 NSF controller outline TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 213/266...
Page 214 Technical Information TV 401/301 MS Outline Figure 7 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (Main port) Figure 8 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure (Side port) 214/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 215 Technical Information TV 401/301 MS Outline Figure 9 Graph of compression ratio vs foreline pressure (Main Port) Figure 10 Graph of compression ratio vs foreline pressure (Side Port) TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 215/266...
Page 216: Interconnections
Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 401/301 MS interconnections. Figure 11 Input Power Connector The following figure shows the input power connector. 216/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 217 Technical Information Interconnections Figure 12 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 217/266...
Page 218: P3 - Spare
This is a dedicated 24 Vdc spare connector; note that it can be also controlled by means of the serial connection. P5 – External Fan Figure 14 This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external fan. 218/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 219: J5 - In-Out
This connector carries all the input and output signals to remote control the TV 401/301 MS. It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 219/266...
Page 220: Signal Description
INTERLOCK: input signal to control the pump rotation. With the supplied cover connector the INTERLOCK (+) signal is connected to the +24 Vdc pin and the INTERLOCK (-)signal to the GROUND pin. 220/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 221 (frequency or power) set by the user (0 V = 0 W or 0 Hz; 10 V = 150 W or 1010 Hz). The default setting is the frequency. FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 221/266...
Page 222  threshold: 980 Hz  hysteresis: 2 %  actiation type: "low level"  Figure 17 It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time. 222/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 223 "PROGRAMMABLE SET POINT" signal is at low level, the relay is excited and it closes the contact between pin 10 and pin 12. The Navigator Software (optional) allows the operator to set all the NOTE programmable feature. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 223/266...
Page 224: How To Connect The Output Open Collector Of The Controller
How to Connect the Output Open Collector of the Controller Here below there are examples of typical connections of the input of TV 401/301 MS to an external system. Two cases are considered: the customer supplies the 24 Vdc the customer does not supply the 24 Vdc.
Page 225 J5 - In-Out The pin numbers reported in the drawings are referred to the "START/STOP" input, but the connections could be extended to all the other controller inputs. Figure 19 Case 1 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 225/266...
Page 226 Technical Information J5 - In-Out Figure 20 Case 2 with relay utilisation 226/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 227: How To Connect The Outputs Of The Controller
LED, a computer, etc., and the related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the programmable set point signal on pin 11. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 227/266...
Page 228 Technical Information J5 - In-Out Using internal 24 Vdc supply: Figure 22 Using external 24 Vdc supply: Figure 23 228/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 229: J6 - Serial
J6 – Serial Figure 24 Output to a relay coil This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 401/301 MS. Tab. 4 PIN N. SIGNAL NAME +5 V (OUT)
Page 230: Rs 232/Rs 485 Communication Description
(MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE); the controller answer with an ANSWER + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> 230/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 231  including the <ETX> terminator. The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character. The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 231/266...
Page 232 The specified window is Read Only or temporarily disabled (for Win Disabled 1 byte (0x35) example you can’t write the Soft Start when the Pump is running) 232/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 233: Examples
RS 232/RS 485 Communication Description Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 233/266...
Page 234 RS 232/RS 485 Communication Description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 234/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 235 Source: Controller (with address = 3 in stop status) Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL TYPE Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR WINDOW DATA TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 235/266...
Page 236: Window-Meanings
Set point hysteresis 0 to 100 (in % of threshold) (default = 2) Water cooling 0 = NO 1 = YES Active Stop 0 = NO (write only in stop) 1 = YES 236/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 237 (on = closed) Off = 0 (default = 1) Reserved to Agilent service Set the vent valve Automatic = 0 (see operation note 1.) On command = 1 (see note 2) TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 237/266...
Page 238 Cycle number (zeroed by the 9999 reset command) Pump life in hours (zeroed 999999 by the reset command) 320 to Reserved to Agilent service CRC EPROM (QE) QE8XXXX (where “XXXX” are variable) 238/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 239 TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Figure 25 Window N. 206 Bit Description TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 239/266...
Page 240: Water Cooling Kit Installation
The two model part numbers are: 9699337 (metallic model), and 9699347 (plastic model). Figure 26 Model 9699337 Figure 27 Model 9699347 240/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 241 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. The metallic model is assembled as shown in the figure. Figure 29 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 241/266...
Page 242 200 l/h. The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is suggested. 242/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 243: Purge Valve Installation
To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, Figure 30 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 243/266...
Page 244 Technical Information Purge Valve Installation Figure 31 244/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 245: Serial Cable Installation
Technical Information Serial Cable Installation Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TV 401/301 MS or the optional vent valve has to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure.
Page 246: Tv 401/301 Ms Controller Installation
It can be mounted on any flat surface by means of the three threaded holes on the controller casing (see controller outline drawing). 246/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 247: Connection Of The Fore-Vacuum Pump
Connection of the Fore-Vacuum Pump Connection of the Fore-Vacuum Pump A KF 16 flange is available to connect the TV 401/301 MS pump to the fore-vacuum pump. A vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Page 248: Tv 401/301 Ms Insertion And Extraction
TV 401/301 MS Insertion and Extraction TV 401/301 MS Insertion and Extraction Material Needed TV 401/301 MS pump, PN 8698928R003 (in the following: the  pump, supplied), with O-rings already mounted in the factory. Quantity 6 screws, M6 × 20.8 mm, black, with spherical tip, ...
Page 249: Insertion Procedure
Insert the pump into the chamber carefully and without tilting it. Align the 6 insertion smooth holes of the pump flange with the 6 threaded holes in the chamber flange (Fig. 35), in order to obtain the desired foreline orientation. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 249/266...
Page 250 When the axial distance between the pump flange and chamber flange is about 4 mm, engage 6 sphere-screws with washers (RED CIRCLES in Fig. 2) in the 6 outer flange threaded holes (Fig. 36). 250/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 251 Screw in the 6 sphere-screws clockwise into the notched smooth holes present on the flange, starting anywhere, and proceeding 1/2 turn/lap, until the pump flange is in contact with the chamber flange (Fig. 37). TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 251/266...
Page 252: Extraction Procedure
Get the pump flange in contact with the chamber flange and close the sphere-screws @ 10 Nm. Extraction Procedure Use a torque wrench, locked at a torque value > 10 Nm. Unscrew the 6 sphere-screws starting anywhere, proceeding clockwise. 252/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 253 Engage 3 sphere-screws into the M6 threaded holes present on the pump flange (blue rhombus in Fig. 2, see Fig. 38). Figure 38 Screw in the 3 M6 screws clockwise, starting anywhere, half turn/lap (Fig. 39). TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 253/266...
Page 254 Technical Information TV 401/301 MS Insertion and Extraction ½ turn ½ turn ½ turn Figure 39 When the pump is free, pull it out of the chamber carefully (Fig. 40). 254/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 255 Technical Information TV 401/301 MS Insertion and Extraction Figure 40 Remove the 3 M6 screws from the pump flange. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 255/266...
Page 256: Connection Of The Electrical Connector
If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 °C, the sensor automatically cuts out the power supply. 256/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 257: Pump Used With Corrosive Gases
Turbo-V pump, with the chamber or the vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 257/266...
Page 258 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump TV 401/301 MS pump Figure 42 Purge layout 258/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 259: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields
If this increase is lower than 50 % of the power value drawn by the motor in high vacuum operation, no particular problem should be expected. However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Agilent's specialist. TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B) 259/266...
Page 260: Accessories And Spare Parts
Purge valve with 7/16” flange 9699240 Purge valve KF16-M12 20 SCCM 9699241 Purge valve 7/16-M12 20 SCCM 9699242 Forepump DS 302, with 1 ph., universal motor 9499325 Forepump SH 110, 220/120 V SH01101UNIV 260/266 TV 401/301 MS User Manual / 87-901-013-01 (B)
Page 266 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Ce manuel est également adapté pour:

301 ms Tv 401/301/21 nsf

Agilent Technologies TV 401 Notice D'emploi

Liens rapides

Chapitres

Manuels Connexes pour Agilent Technologies TV 401

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TV 401