Page 1 Turbo-V 3K-G Pumping System Models 9698888 9698889 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila Bruksanvisning...
Page 2: Safety Notices
Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 3 Turbo-V 3K-G Turbo-V 3K-G Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 3/360...
Page 4 Turbo-V 3K-G 4/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 5: Table Des Matières
Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione Uso 24 Manutenzione 29 Smaltimento Gebrauchsanleitung 31 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 36 Installation 38 Gebrauch Wartung Entsorgung 48 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 5/360...
Page 6 Información general 69 Almacenamiento Preparación para la instalación 72 Instalación 74 Uso 78 Mantenimiento 83 Eliminación 84 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 86 Informações gerais 87 Armazenagem 89 6/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 7 Algemene informatie Opslag Uitpakken 108 Installatie Gebruik Onderhoud 119 Afvalverwerking 120 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information 123 Opbevaring 125 Forberedelse før installation 126 Installation 128 Anvendelse 132 Vedligeholdelse 137 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 7/360...
Page 8 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 157 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 159 Lagring Klargjøre til installasjon 162 Installasjon 164 Bruk Vedlikehold 171 Eliminering 172 10 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja 8/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 9 Általános információk Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 208 12 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 210 Ogólne informacje Magazynowanie 213 Przygotowanie do instalacji 214 Instalacja Użytkowanie Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 9/360...
Page 10 14 Návod na Obsluhu 245 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia 15 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 264 10/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 11 Preparation for Installation 286 Installation 288 Use 292 Maintenance Disposal 17 Technical Information 299 Description of the Turbo-V 3K-G 301 Technical Specification 306 Turbo-V 3K-G Outline Interconnections Controlled Vent Procedure Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 11/360...
Page 12 Vent Valve Installation 349 Pump Purging and Venting 349 High Vacuum Flange Connection 352 Fore-Vacuum Pump Connection 353 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 354 12/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 13: Istruzioni Per L'uso
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali 15 Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Uso della Turbo-V 3K-G 25 Come avviare il sistema 25 Come arrestare la Turbo-V 3K-G 28...
Page 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è AVVERTENZA! necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 14/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 15: Informazioni Generali
La Turbo-V 3K-G è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare molti tipi di gas o di composto gassoso, ma non è...
Page 16 I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 16/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 17: Immagazzinamento
10 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 17/360...
Page 18: Preparazione Per L'installazione
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo-V 3K-G e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Rimuovere la protezione dei connettori solo dopo che la turbopompa è...
Page 19 15 vie “REMOTE I/O” IP-54 con integrate le connessioni necessarie a far partire la pompa controconnettore a 9 vie “SERIAL” IP-54 da utilizzare per la connessione seriale staffetta per la ritenzione del cavo di alimentazione (montata). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 19/360...
Page 20: Installazione
(AWG18). Non rimuovere la copertura imbullonata prima del collegamento della ATTENZIONE! turbopompa al sistema. Rimuovere la protezione dei connettori solo dopo che la turbopompa è stata ATTENZIONE! fissata al sistema. 20/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 21 (vedere schema in "Technical Information"). La Turbo-V 3K-G può essere installata in qualsiasi posizione. Fissare la Turbo-V 3K-G in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 33000 Nm attorno al proprio asse.
Page 22 ISO 250 F Bullone con filettatura M10 30 Nm La Turbo-V 3K-G non può essere fissata tramite la sua base. Il sistema può AVVERTENZA! essere fissato solo tramite la sua flangia ISO 250F. Il mancato rispetto di queste istruzioni d’installazione, nel caso in cui si AVVERTENZA! verifichi un guasto al rotore, può...
Page 23 Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo connesso alla Turbo-V 3K-G abbia un isolamento adeguato anche in condizione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1.
Page 24: Uso
è necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Elio) per proteggere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information"). 24/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 25: Uso Della Turbo-V 3K-G
(se presente) il controconnettore I/O collegare l'alimentazione di rete portare la pressione all0'interno della camera a vuoto a 0,1 mbar fornire alla Turbo-V 3K-G il segnale di START in uno dei seguenti modi: collegare il controconnettore I/O in dotazione dare il segnale di START da remoto tramite il connettore I/O (vedere il paragrafo "J1 –...
Page 26 La separazione del controller dal corpo pompa può solo essere effettuata da personale autorizzato dalla Agilent Vacuum Technologies. Quando si avvia la Turbo-V 3K-G per la prima volta, il controller NOTA automaticamente avvia il sistema con una procedura speciale che protegge i cuscinetti da possibili danni (SOFT START).
Page 27 Istruzioni per l’uso Figura 3 Il sistema è fornito di un LED verde pilotato da un segnale di stato. Il LED verde posto sul pannello frontale della Turbo-V 3K-G indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative del sistema: acceso fisso: la pompa è...
Page 28: Come Arrestare La Turbo-V 3K-G
è stata integrata via I/Os, Seriale o Profibus. Inoltre, questa operazione non può garantire l'arresto immediato del rotore la cui velocità di rotazione diminuirà in funzione del grado di vuoto presente nel sistema. 28/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 29: Manutenzione
"Request for Return" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della spedizione. Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 29/360...
Page 30: Smaltimento
Per maggiori informazioni riferirsi a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 30/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 31: Gebrauchsanleitung
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 32 Allgemeine Informationen 33 Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Benutzung der Turbo-V 3K-G43 Ingangsetzung des Systems 43 Stillsetzung der Turbo-V 3K-G Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 31/360...
Page 32: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener WARNUNG! vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 32/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 33: Allgemeine Informationen
Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Modell Turbo-V 3K-G ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-anwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System kann viele Arten von Gas oder gasförmigen Gemischen pumpen, ist jedoch nicht für das Pumpen von Flüssigkeiten oder...
Page 34 Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben HINWEIS werden. 34/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 35: Lagerung
Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 35/360...
Page 36: Vor Der Installation
VORSICHT! Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Die Turbo-V 3K-G kann durch ledigliche Einwirkung von atmosphärischen HINWEIS Bedingungen nicht beschädigt werden. Es wird indes empfohlen, die Pumpe bis zur Installation am System geschlossen und versiegelt zu halten.
Page 37 Beutel mit Zubehör Gegenkonnektor mit 15 PINs “REMOTE I/O” IP-54 mit integrierten Anschlüssen für den Pumpenanlauf Gegenkonnektor mit 9 PINs “SERIAL” IP-54 für den seriellen Anschluss Halteschelle für das Stromversorgungskabel (montiert). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 37/360...
Page 38: Installation
(AWG18). Die angeschraubte Abdeckung darf erst nach Anschluss der Turbopumpe an das VORSICHT! System entfernt werden. Den Schutz der Steckverbinder erst entfernen, wenn die Turbopumpe am System VORSICHT! befestigt ist. 38/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 39 Schema in "Technical Information"). Modell Turbo-V 3K-G kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell Turbo-V 3K-G ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 33000 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Page 40 Mutterschraube mit Gewinde M10 30 Nm WARNUNG! Die Turbo-V 3K-G kann nicht über ihren Sockel befestigt werden. Zur Befestigung des Systems kann nur der Flansch ISO 250F verwendet werden. WARNUNG! Die Nichtbeachtung dieser Anleitung, sollte sich ein Schaden am Rotor ergeben, kann zur Loslösung der Pumpe vom System führen mit Schäden an...
Page 41 Gebrauchsanleitung Installation Der Turbo-V 3K-G gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von den VORSICHT! Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Zur Gewährleistung der Schutzart IP-54 sind die Gegenkonnektoren zu verwenden.
Page 42: Gebrauch
Gasen mit Partikeln oder aggressiven Schadstoffe für die Lager, sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Helium) zuzuleiten ist (siehe Anhang "Technical Information"). 42/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 43: Ingangsetzung Des Systems
E/A-Gegenkonnektor entfernen (sofern vorhanden) Gerät an das Netz anschließen Druck in der Vakuumkammer auf 0,1 mbar bringen. Für die Erteilung des Signals START an die Turbo-V 3K-G gibt es die folgenden Möglichkeiten: Mitgelieferten E/A-Gegenkonnektor anschließen. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 44 Controller enthalten. Die Trennung des Controllers vom Pumpenkorpus darf nur von Personen ausgeführt werden, die von Agilent Vacuum Technologies autorisiert sind. Bei Erstingangsetzung der Turbo-V 3K-G startet der Controller das System mit HINWEIS einer Spezialprozedur, um die Kugellager vor etwaigen Schäden zu schützen (SOFT START).
Page 45 Abbildung 3 Das System wird mit einer grünen LED geliefert, die von einem Statussignal angesteuert wird. Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell Turbo-V 3K-G gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an: Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.
Page 46: Stillsetzung Der Turbo-V 3K-G
Kommunikationsfähigkeit mit dem System deaktiviert, in dem die Pumpe über I/O´s, serielle Anschlüsse oder Profibus integriert ist. Außerdem kann dieser Vorgang nicht den sofortigen Stopp des Rotors garantieren, dessen Drehgeschwindigkeit aufgrund der Vakuumgröße im System verringert wird. 46/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 47: Wartung
örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen. Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 47/360...
Page 48: Entsorgung
Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Für weitere Informationen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 48/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 49: Mode D'emploi
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications generales 51 Stockage Preparation pour l‘installation 54 Installation Utilization Utilisation de la pompe Turbo-V 3K-G61 61 Mise en marche du système 61 Arrêt du système 64 Arrêt d’urgence...
Page 50: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires
être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 50/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 51: Indications Generales
Le Turbo-V 3K-G est un système intégré, constitué d'une pompe turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé et ultrapoussé et doté d'un contrôleur Le système est en mesure de pomper de nombreux types de gaz ou de composés gazeux, mais il...
Page 52: Cette Notice Utilise Les Signes Conventionnels Suivants
Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le non ATTENTION! respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage. Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte. NOTE 52/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 53: Stockage
à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en ATTENTION! usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 53/360...
Page 54: Preparation Pour L'installation
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le Turbo-V 3K-G et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Enlever la protection des connecteurs seulement après avoir fixée la turbopompe au système.
Page 55 Connecteur à 15 voies “REMOTE I/O” IP-54 avec toutes les connexions nécessaires à la mise en marche de la pompe Connecteur à 9 voies “SERIAL” IP-54 à utiliser pour la connexion sérielle Bride de retenue du câble d’alimentation (montée). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 55/360...
Page 56: Installation
Ne jamais retirer la protection boulonnée avant le branchement de la turbo ATTENTION! pompe au système. Enlever la protection des connecteurs seulement après avoir fixée la turbopompe ATTENTION! au système. 56/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 57 En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le Turbo-V 3K-G doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information"). Le Turbo-V 3K-G peut être installée dans n'importe quelle position.
Page 58 Le non-respect des instructions de montage peut provoquer un décrochage de la pompe du système en cas de panne du rotor et entraîner des dommages aux biens et de graves préjudices, voire la mort, aux personnes. 58/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 59 être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que l'isolation du dispositif branché au Turbo-V 3K-G a une isolation appropriée même en condition de panne individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1.
Page 60: Utilization
à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (Azote ou Hélium) pour protéger les paliers (voir l'appendice "Technical Information"). 60/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 61: Mise En Marche Du Système
Retirer (si monté) le connecteur E/S. Connecter au réseau. Porter la pression à l’intérieur de la chambre à vide à 0,1 mbar. Donner à la pompe Turbo-V 3K-G le signal de START de l’une des façons suivantes : Brancher le connecteur E/S fourni.
Page 62 La séparation du contrôleur du corps de la pompe peut être effectuée uniquement par le personnel autorisé par la société Agilent Vacuum Technologies. Lors de la première mise en marche de la pompe Turbo-V 3K-G le contrôleur NOTE lance automatiquement le système en exécu-tant une procédure spéciale qui protège les paliers contre tout risque d’endommagement (SOFT START).
Page 63 CE. Figure 3 Le système est muni d’un LED vert piloté par un signal d’état. La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du Turbo-V 3K-G indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système: allumée fixe: la pompe est en rotation normale;...
Page 64: Arrêt Du Système
232/485 (Cf. paragraphe "RS 232/485 Communication Description" dans l’appendice "Technical Information"). Arrêt d’urgence Pour arrêter le Turbo-V 3K-G en conditions d'urgence, il faut débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur. Il faut cependant rappeler que cette opération déshabilite non seulement l'alimentation de la pompe mais aussi toutes les autres fonctions du contrôleur...
Page 65: Entretien
être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition. En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales concernant la gestion des déchets. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 65/360...
Page 66: Mise Au Rebut
œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 66/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 67: Manual De Istrucciones
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 68 Información general Almacenamiento 71 Preparación para la instalación 72 Instalación Uso de Turbo-V 3K-G Cómo poner en funcionamiento el sistema Cómo detener la Turbo-V 3K-G...
Page 68: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares
¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 68/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 69: Información General
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (31800 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El Turbo-V 3K-G no posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’...
Page 70 Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 70/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 71: Almacenamiento
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 71/360...
Page 72: Preparación Para La Instalación
Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada. La Turbo-V 3K-G no puede sufrir daños sólo por quedar expuesta a la acción de NOTA la atmósfera. No obstante, se aconseja mantener la bomba cerrada y sellada hasta el momento de instalarla en el sistema a fin de prevenir la contaminación...
Page 73 9 vías “SERIAL” IP-54 a utilizar para efectuar la conexión serie abrazadera para retener el cable de alimentación (montada). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 73/360...
Page 74: Instalación
No retirar la cubierta empernada antes de haber conectado la bomba de turbina ¡ATENCIÓN! al sistema. Quitar la protección de los conectores solamente después de haber fijado al ¡ATENCIÓN! sistema la turbobomba. 74/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 75 Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El Turbo-V 3K-G ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). El Turbo-V 3K-G puede instalarse en cualquier posición. Fijar el Turbo-V 3K-G en posición estable conectando la brida de entrada de...
Page 76 Perno con rosca M10 30 Nm ¡ADVERTENCIA! La Turbo-V 3K-G no puede ser fijada por medio de su ba-se. El sistema puede fijarse únicamente mediante su brida ISO 250F El incumplimiento de estas instrucciones de instalación, en el caso de que se ¡ADVERTENCIA!
Page 77 Manual de istrucciones Instalación El Turbo-V 3K-G pertenece a la segunda categoría de instalación (o sobretensión) ¡ATENCIÓN! prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría. Usar los contra-conectores suministrados con el equipo para garantizar el aislamiento IP- 54.
Page 78: Uso
(Nitrógeno o Helio) para proteger los rodamientos (véase el anexo “Technical Information”). 78/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 79: Uso De Turbo-V 3K-G
0,1 mbar la presión en el interior de la cámara de vacío dar la señal de START a la Turbo-V 3K-G mediante una de las siguientes formas: conectar el ensamble conector I/O suministrado adjunto;...
Page 80 La separación del controlador respecto del cuerpo de la bomba puede ser efectuada únicamente por personal autorizado por Agilent Vacuum Technologies. Al activar la Turbo-V 3K-G por primera vez, el controlador activa NOTA automáticamente el sistema mediante un procedimiento especial que protege los cojinetes contra posibles daños (SOFT START).
Page 81 (periodo de 400 ms aproximadamente): el  sistema está en estado de rampa, o de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” parpadea rápidamente (periodo de 200 ms aproximadamente):  condición de error. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 81/360...
Page 82: Cómo Detener La Turbo-V 3K-G
(periodo de 200 ms aproximadamente): condición de error. Parada de Emergencia Para detener en condiciones de emergencia el Turbo-V 3K-G es necesario desconectar del controlador el cable de alimentación. De todas maneras, se debe tener en cuenta que esta operación además de inhabilitar completamente la alimentación de la bomba, inhabilita...
Page 83: Mantenimiento
Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo. En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo respetando las normas nacionales específicas. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 83/360...
Page 84: Eliminación
Para mayor información, remitirse a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 84/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 85: Manual De Istruções
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 86 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Uso da Turbo-V 3K-G Como activar o sistema 97 Como parar a Turbo-V 3K-G 100 Paragem de Emergência...
Page 86: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares
ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 86/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 87: Informações Gerais
às normas nacionais específicas. O Turbo-V 3K-G é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller.
Page 88 As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se não CUIDADO! observados, podem causar danos à aparelhagem. As notas contêm informações importantes destacadas do texto. NOTA 88/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 89: Armazenagem
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 89/360...
Page 90: Preparação Para A Instalação
à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. A normal exposição ao ar não pode danificar a Turbo-V 3K-G. Aconselha-se, no NOTA entanto, mantê-la selada e bem fechada dentro da caixa até ao momento da instalação no sistema, para evitar que se suje com poeiras.
Page 91 15 vias “REMOTE I/O” IP-54 com todas as ligações necessárias para activar a bomba. conector conjugado de 9 vias “SERIAL” IP-54 a utilizar para a ligação série braçadeira de fixação do cabo de alimentação (montada). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 91/360...
Page 92: Instalação
(Fase+Neutro+Terra). A secção do cabo deve ser no mínimo de 0,75 mm² (AWG18). Não remover a cobertura aparafusada antes de ligar a turbobomba ao sistema. CUIDADO! Retirar a protecção dos conectores somente depois que a turbobomba estiver CUIDADO! fixada ao sistema. 92/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 93 Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". O Turbo-V 3K-G deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). O Turbo-V 3K-G pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o Turbo-V 3K-G em posição estável ligando o flange de entrada da...
Page 94 ISO 250 F Parafuso com rosca M10. 30 Nm A Turbo-V 3K-G não pode ser fixada por meio da sua base. O sistema pode ser ATENÇAO! segurado só por intermédio da sua flange ISO 250F. O desrespeito a estas instruções de instalação, no caso em que se verifique ATENÇAO!
Page 95 NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. Utilizar os conectores conjugados fornecidos de série para garantir o isolamento IP-54. O Turbo-V 3K-G tem dois conectores para as entradas/saídas e para a comunicação de série que devem ser ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes sob...
Page 96: Utilização
é necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Hélio) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice "Technical Information”). 96/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 97: Uso Da Turbo-V 3K-G
à rede de alimentação eléctrica. deixar aumentar a pressão dentro da câmara de vácuo até atingir 0,1 mbars. fornecer à Turbo-V 3K-G o sinal de START num dos seguintes modos: Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 98 ATENÇAO! Quando o aparelho está ligado à rede de alimentação eléctrica e o conector conjugado de 15 pinos, fornecido de série, está introduzido, a Turbo-V 3K-G activa-se automaticamente. O controller é fornecido com todas as ligações mecânicas e as conexões CUIDADO! eléctricas com a bomba já...
Page 99 (período de aprox. 400 ms): o sistema está em  estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop, ou de “waiting for interlock”. intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição de  erro. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 99/360...
Page 100: Como Parar A Turbo-V 3K-G
Description” no apêndice “Technical Information”). Paragem de Emergência Para parar o Turbo-V 3K-G em condições de emergência é necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação. É preciso ter em conta que esta operação além de desabilitar completamente a alimentação da bomba desabilita também todas as outras funções do controller,...
Page 101: Manutenção
Manual de Istruções Manutenção Manutenção O Turbo-V 3K-G não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Page 102: Eliminação
Para maiores informações consultar: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 102/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 103: Bedrijfshandleiding
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 104 Algemene informatie 105 Opslag 107 Uitpakken Installatie Gebruik Gebruik van de Turbo-V 3K-G Hoe wordt het systeem gestart 115 Hoe wordt de Turbo-V 3K-G gestopt 118 Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 120 Vertaling van de originele instructies 103/360...
Page 104: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 104/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 105: Algemene Informatie
De Turbo-V 3K-G is een geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen plus bijbehorende controller bestaat.
Page 106 Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 106/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 107: Opslag
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 107/360...
Page 108: Uitpakken
Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo-V 3K-G niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt. Verwijder de bescherming van de connectors uitsluitend nadat de turbopomp aan het systeem is bevestigd.
Page 109 Bedrijfshandleiding Uitpakken Figuur 1 In de verpakking van de Turbo-V 3K-G zijn aanwezig: pomp met geïntegreerde controller inlet screen (gemonteerd) deze handleiding op CD-ROM zak met accessoires 15-pin contraconnector IP-54 voor “REMOTE I/O” connector met alle geïntegreerde aansluitingen die benodigd zijn om de pomp op te starten 9-pin contraconnector IP-54 voor “SERIAL”...
Page 110: Installatie
Verwijder niet de opgeboute afdekking voordat de turbopomp met het systeem VOORZICHTIG! wordt verbonden. Verwijder de bescherming van de connectors uitsluitend nadat de turbopomp VOORZICHTIG! aan het systeem is bevestigd. 110/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 111 "Technical Information"). De Turbo-V 3K-G kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig de Turbo-V 3K-G in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 33000 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
Page 112 ISO 250 F Bout met M10 schroefdraad 30 Nm WAARSCHUWING! De Turbo-V 3K-G kan niet bevestigd worden via zijn basis. Het systeem mag uitsluitend bevestigd worden via zijn ISO 250F flens. WAARSCHUWING! Indien deze installatie-instructies niet worden opgevolgd kan bij optreden van een defect aan de rotor de pomp van het systeem losraken met als gevolg schade aan voorwerpen of ernstig letsel of levensgevaar voor personen.
Page 113 Controleer of de inrichting verbonden met de Turbo-V 3K-G goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.
Page 114: Gebruik
(stikstof of helium) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”). 114/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 115: Gebruik Van De Turbo-V 3K-G
I/O contraconnector (indien aanwezig) sluit het voedingsnet aan breng de de druk in de vacuümkamer op 0,1 mbar geef aan de Turbo-V 3K-G het START signaal op een van de volgende manieren: Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 116 De controller kan slechts van het pomplichaam worden gescheiden door hiertoe bevoegd personeel van Agilent Vacuum Technologies. Wanneer de Turbo-V 3K-G voor de eerste keer wordt gestart, start de controller OPMERKING automatisch het systeem met een speciale procedure die de lagers tegen mogelijke schade beschermt (SOFT START).
Page 117 Het systeem is voorzien van een groene LED die door een statussignaal wordt aangestuurd. De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de Turbo-V 3K-G geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan: brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;...
Page 118: Hoe Wordt De Turbo-V 3K-G Gestopt
RS 232/485 (zie paragraaf "RS 232/485 Communication Description" in de bijlage "Technical Information"). Noodstop Om de Turbo-V 3K-G in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. Men moet er echter rekening mee houden dat hiermee niet alleen de...
Page 119: Onderhoud
Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 119/360...
Page 120: Afvalverwerking
Kijk voor meer informatie op: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 120/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 121: Istruktionsbog
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel Information Opbevaring Forberedelse før installation Installation Anvendelse Brug af Turbo-V 3K-G Start af systemet 133 Afbrydelse af Turbo-V 3K-G 136 Nødstop Vedligeholdelse 137 Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 121/360...
Page 122: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er ADVARSEL! det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 122/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 123: Generel Information
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (31800 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. Turbo-V 3K-G er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. Endvidere er systemet udstyret med kontakter, som gør det muligt at fjernstyre systemet ved hjælp af en host computer, der er tilsluttet med...
Page 124 Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader. Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten. BEMÆRK 124/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 125: Opbevaring
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 125/360...
Page 126: Forberedelse Før Installation
Turbo-V 3K-G leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at Turbo-V 3K-G ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Fjern beskyttelsen fra konnektorerne, kun efter at turbopumpen er blevet fastgjort til systemet.
Page 127 15-benet “REMOTE I/O” kontakt (IP-54) med indbyggede tilslutninger, der er nødvendige i forbindelse med start af pumpen 9-benet “SERIAL” kontakt (IP-54) til seriel tilslutning af pumpe Konsol til blokering af strømkabel (monteret). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 127/360...
Page 128: Installation
(Fase+Neutral+Jord). Ledningens snit skal mindst være på 0,75 mm (AWG18). Fjern først den fastboltede afskærmning, når turbopumpen er blevet sluttet til FORSIGTIG! systemet. Fjern beskyttelsen fra konnektorerne, kun efter at turbopumpen er blevet FORSIGTIG! fastgjort til systemet. 128/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 129 Turbo-V 3K-G skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). Turbo-V 3K-G kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør Turbo-V 3K-G i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 33000 Nm omkring akselen.
Page 130 ISO 250 F Bolt med M10 gevind 30 Nm Turbo-V 3K-G pumpen kan ikke fastgøres ved hjælp af dens sokkel. Pumpen ADVARSEL! kan kun monteres ved hjælp af dens ISO 250F flange. Den manglende overholdelse af installationsanvisningerne, hvis der opstår en ADVARSEL! fejl på...
Page 131 Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang til de spændingsførende dele. Kontrollér, at anordningen, der er tilsluttet Turbo-V 3K-G, har en passende isolering. Dette gælder også i tilfælde af enkeltfejl som angivet i normen EN 61010-1.
Page 132: Anvendelse
ædelgasser (kvælstof eller helium) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”). Pumpen må aldrig bruges hvis der er gasser eller ætsende dampe, der kan FORSIGTIG! beskadige pumpens indvendige dele. 132/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 133: Brug Af Turbo-V 3K-G
Fjern I/O kontakten (hvis den er monteret) Tilslut strømmen Indstil trykket i vakuumkammeret til 0,1 mbar Overfør startsignalet til Turbo-V 3K-G på en af følgende måder: Tilslut den medleverede I/O kontakt Overfør det fjernstyrede startsignal ved hjælp af I/O kontakten (se afsnittet "J1 - REMOTE I/O" i bilaget "Technical Information")
Page 134 Istruktionsbog Anvendelse ADVARSEL! Turbo-V 3K-G starter automatisk efter tilslutning af strøm og indsættelse af den medleverede 15-benede kontakt. Ved levering er styreenheden allerede sluttet mekanisk og elektrisk til pumpen. FORSIGITG! Det er kun personale fra Agilent Vacuum Technologies, som må fjerne styreenheden fra pumpehuset.
Page 135 Figur 3 Systemet er udstyret med en grøn LED, som overvåges af et signal for tilstand. Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TURBO-V 3K-G’s fundament, angiver systemets funktion ved blink: konstant tændt: pumpen er i normal rotation ...
Page 136: Afbrydelse Af Turbo-V 3K-G
RS232/485 (se afsnit "RS232/485 Communication Description" i bilaget "Technical Information"). Nødstop Afbrydelse af Turbo-V 3K-G i nødsituationer sker ved at koble ledningen fra styreenheden. Det er vigtigt at notere, at denne operation, ud over at afkoble fuldstændigt pumpens tilførsel, afkobler desuden også...
Page 137: Vedligeholdelse
“Request for Return”, der er vedlagt denne instruktionsmanual, udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets emballage inden afsendelse. Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 137/360...
Page 138: Bortskaffelse
For yderligere oplysninger, ret henvendelse til: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 138/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 139: Bruksanvisning
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 140 Allmän Information Förvaring Förberedelser för installationen 144 Installation Användning Användning av Turbo-V 3K-G Hur du startar systemet Hur du stoppar Turbo-V 3K-G Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna...
Page 140: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar
VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 140/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 141: Allmän Information
Systemet Turbo-V 3K-G bestär av en turbomolekylär pump för höga och mycket höga vakuumtillämpningar och en styrenhet. Systemet kan pumpa många typer av gaser eller gasblandningar. Det kan dock inte användas för att pumpa vätskor eller fasta partiklar.
Page 142 I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! maskinskada skall uppstå. Detta visar på viktig information i texten. OBSERVERA 142/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 143: Förvaring
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från  leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent-återförsäljaren för ytterligare information. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 143/360...
Page 144: Förberedelser För Installationen
Turbo-V 3K-G levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att Turbo-V 3K-G inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har satts fast på...
Page 145 15-polig kontakt "REMOTE I/O" IP-54 med inbyggda anslutningar som behövs för att kunna starta pumpen 9- polig kontakt "SERIAL" IP-54 som används för den seriella anslutningen Kabelklammer för att hålla fast strömkabeln. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 145/360...
Page 146: Installation
Kabelns tvärsnitt ska vara minst 0,75 mm (AWG18). Ta inte bort skruvlocket förrän turbopumpen ansluts till systemet. OBSERVER! Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har satts fast på OBSERVER! systemet. 146/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 147 Turbo-V 3K-G måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical Information"). Turbo-V 3K-G kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 33000 Nm kring sin axel.
Page 148 åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till Turbo-V 3K-G har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1.
Page 149: Användning
ädelgas (Kväve eller Helium) för att skydda lagren (se bilagan “Technical Information”). Använd aldrig pumpen om det finns frätande gaser eller ångor som kan skada OBSERVER! pumpens invändiga material. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 149/360...
Page 150: Användning Av Turbo-V 3K-G
Ta bort I/O-kontakten (om sådan finns) Anslut pumpen till elnätet Pumpa ned trycket i vakuumkammaren till 0,1 mbar Skicka startsignal till Turbo-V 3K-G på något av följande sätt: Anslut den medlevererade I/O-kontakten Skicka en fjärrstyrd startsignal via I/O-kontakten (se avsnitt “J1 - REMOTE I/O”...
Page 151 OBSERVER! Frånkoppling av styrenheten från pumpen får endast göras av auktoriserad personal från Agilent Vacuum Technologies. När du använder Turbo-V 3K-G för första gången startas systemet automatiskt OBSERVERA av styrenheten med en speciell procedur som skyddar lagren mot eventuella skador (SOFT START). Systemet startas stegvis för att till slut uppnå max.
Page 152 Bruksanvisning Användning Figur 3 Systemet är utrustat med en grön LED för statussignal. Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av TURBO-V 3K-G anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar: fast sken: pumpen roterar normalt;  långsamt blinkande (ungefär var 400 ms) : systemet är i lage för ...
Page 153: Hur Du Stoppar Turbo-V 3K-G
“Technical Information”). Nödstopp Dra ut elsladden från styrenheten för att utföra ett nödstopp av Turbo-V 3K-G. Utöver att denna operation totalt kopplar från pumpens försörjning, avaktiveras även alla andra funktioner på styrenheten, som till exempel hanteringen av rensningen och den styrda ventilatorn.
Page 154: Underhåll
Bruksanvisning Underhåll Underhåll Turbo-V 3K-G är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC.
Page 155: Bortskaffning
återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. För ytterligare information, se: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 155/360...
Page 156 Bruksanvisning Bortskaffning 156/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 157: Instruksjon Manual
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 159 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Bruk 167 Bruk av Turbo-V 3K-G 168 Hvordan starte opp systemet Hvordan stoppe Turbo-V 3K-G Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen...
Page 158: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper
For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må ADVARSEL! installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 158/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 159: Generell Informasjon
Turbo-V 3K-G systemet består av en turbo-molekulær pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg og en styreenhet. Systemet kan pumpe mange typer gass eller gassblandinger, men er ikke egnet for pumping av væsker eller faste partikler.
Page 160 Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! fore til at utstyret skades. Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. MERK 160/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 161: Lagring
Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra  sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen returneres FORSIKTIG! til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent-forhandleren for informasjon. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 161/360...
Page 162: Klargjøre Til Installasjon
Når Turbo-V 3K-G pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Fjern beskyttelsen på koplingsstykket kun etter at turbopumpa er festet til systemet.
Page 163 Pose med tilbehør 15-veis “REMOTE I/O” IP-54 kontakt med de koplingene som er nødvendige for å starte opp pumpen 9-veis “SERIAL” IP-54 kontakt til bruk for serietilkoplingen Feste for strömkabelen (montert). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 163/360...
Page 164: Installasjon
+ jording). Kabelens tverrsnitt skal være minst 0,75 mm (AWG18). Ikke ta av det fastskrudde dekslet før turbopumpen koples til systemet. FORSIKTIG! Fjern beskyttelsen på koplingsstykket kun etter at turbopumpa er festet til FORSIKTIG! systemet. 164/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 165 Turbo-V 3K-G må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). Turbo-V 3K-G kan monteres i en valgfri stilling. Fest Turbo-V 3K-G i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 33000 Nm rundt aksen.
Page 166 ISO 250 F Bolt med M10 gjenge 30 Nm Turbo-V 3K-G kan ikke festes med bruk av bunnen. Systemet kan kun festes ADVARSEL! ved hjelp av sin egen ISO 250F flens. Manglende respekt for disse installeringsinstruksene kan føre til feil på rotor ADVARSEL! og dermed til at pumpa løsner fra systemet.
Page 167: Bruk
å bruke for å mate pumpen med en strømning av uvirksom gass (nitrogen eller helium) for å beskytte lagrene (se vedlegget "Technical Information"). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 167/360...
Page 168: Bruk Av Turbo-V 3K-G
Fjern I/O kontakten (hvis finnes) Kople til strømmen Før trykket i vakuumkammeret til 0,1 mbar Gi et startsignal til Turbo-V 3K-G på en av følgende måter: Kople til I/O kontakten som følger med Gi et fjernstyrt startsignal med I/O kontakten (se avsnittet "J1 - REMOTE I/O"...
Page 169 Instruksjon Manual Bruk ADVARSEL ! Turbo-V 3K-G starter automatisk når strømmen er tilkoplet og 15-veis kontakten som følger med er satt inn. Ved levering er styreenheten koplet mekanisk og elektrisk til pumpen. FORSIKTIG! Demontering av styreenheten fra pumpehuset må kun utføres av autorisert personale fra Agilent Vacuum Technologies.
Page 170: Hvordan Stoppe Turbo-V 3K-G
Instruksjon Manual Bruk Figur 3 Systemet leveres med en grønn LED styrt av et statussignal. Den grønne lysdioden LD1 på TURBO-V 3K-G basepanel angir systemets funksjon ved hjelp av blink: den lyser fast: pumpen roterer normalt  den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i stilling for ...
Page 171: Vedlikehold
Instruksjon Manual Vedlikehold Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe Turbo-V 3K-G i en nødsituasjon. Det må i alle tilfeller tas med i beregningen at dette inngrepet, foruten å koble ut pumpens mating fullstendig, kobler også ut alle andre funksjoner for kontrolleren, som for eksempel styring av Purge og kontrollert Vent samt evnen til å...
Page 172: Eliminering
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. For mer informasjon: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 172/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 173: Ohjekäsikirja
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 174 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 184 Turbo-V 3K-G -pumpun käyttö Järjestelmän käynnistys Turbo-V 3K-G -pumpun pysäytys 188 Hätäpysäytys 188 Huolto 189 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 173/360...
Page 174: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 174/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 175: Yleisiä Tietoja
Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Technical Information”. Tämä laitteeseen kiinnitetty symboli osoittaa käyttäjälle, että käyttöohjeisiin on tutustuttava sekä oman turvallisuuden että laitteen vahingoittumisen estämisen kannalta. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 175/360...
Page 176 Vaara-merkinnät saavat käyttäjän huomion kiinnittymään erityisiin toimintotapoihin, joiden seuraamatta jättäminen voi aiheuttaa vakavia henkilövaurioita. Huomio-merkinnät varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen HUOMIO! vaurioitumiseen. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 176/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 177: Varastointi
Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta  toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. HUOMIO! Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 177/360...
Page 178: Valmistelut Asennusta Varten
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Turbo-V 3K-G ei vaurioidu ilmalle altistuessaan. On kuitenkin suositeltavaa HUOM säilyttää pumppu suljettuna ja sinetöitynä, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten estetään järjestelmän likaantuminen.
Page 179 (asennettu) tämä ohjekirja CD-ROM:lla varustepussi 15-tieliitin “REMOTE I/O” IP-54 jossa on pumpun käynnistykseen tarvittavat sisäänrakennetut liitännät 9-tieliitin “SERIAL” IP-54 jota käytetään sarjaliitäntään sähkökaapelin kannatin (asennettu). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 179/360...
Page 180: Asennus
Johdon halkaisijan on oltava vähintään 0,75 mm (AWG18). Älä poista pulteilla kiinnitettyä kantta ennen turbopumpun kytkemistä HUOMIO! järjestelmään. Poista liittimien suoja ainoastaan sen jälkeen, kun turbopumppu on kiinnitetty HUOMIO! järjestelmään. 180/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 181 Turbo-V 3K-G tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Technical Information” -liitteen kaaviota). Turbo-V 3K-G voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää Turbo-V 3K-G vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 33000 Nm:n momentin akselinsa ympäri. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 181/360...
Page 182 KIRISTYS- MOMENTTI ISO 250 F Pultti M10-kierteillä 30 Nm VAROITUS! Turbo-V 3K-G -pumppua ei voida kiinnittää perustasta. Järjestelmä voidaan kiinnittää ainoastaan ISO 250F laippaa käyttämällä. Näiden asennusohjeiden noudattamatta jättäminen saattaa mahdollisen VAROITUS! roottorivian sattuessa johtaa pumpun irtoamiseen järjestelmästä, mistä voi esinevahinkojen lisäksi seurata vakavia henkilövahinkoja ja jopa...
Page 183 IP54-eristyksen. Turbo-V 3K-G laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että Turbo-V 3K-G laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.
Page 184: Käyttö
(Typpi tai Helium) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information” -liite). Älä käytä pumppua syövyttävien kaasujen tai höyryjen läheisyydessä: ne HUOMIO! saattavat vahingoittaa pumpun sisämateriaaleja. 184/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 185: Turbo-V 3K-G -Pumpun Käyttö
Anna Turbo-V 3K-G -pumpulle START-signaali yhdellä seuraavista tavoista: Liitä ohessa toimitettu I/O-liitin Anna START-etäsignaali I/O-liittimellä (ks. "Technical Information"-liitteen kappale "J1 - REMOTE I/O") Anna START-etäsignaali RS232/485 -sarjaliitännän kautta (ks. "Technical Information"-liitteen kappale "RS232/485 Communication Description"). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 185/360...
Page 186 Käytä sähkökaapelina ainoastaan tuotetta 9699957 tai 9699958 ja kiinnitä sähkökaapeli valvojaan erityisellä kannattimella (ks. seuraava kuva). Käytä tätä kaapelia ja pistoketta yhdessä oikein maadoitetun pistorasian kanssa, jotta vältyt sähköiskuilta ja toimit CE- säännösten vaatimusten mukaisesti. 186/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 187 Ohjekäsikirja Käyttö Kuva 3 Järjestelmä on varustettu vihreällä LED-valolla, jota ohjataan tilasignaalilla. Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TURBO-V 3K-G:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;  vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-, ...
Page 188: Turbo-V 3K-G -Pumpun Pysäytys
Purge- ja Vent-toimintojen hallinnan ja kommunikointimahdollisuuden sen järjestelmän kanssa, johon pumppu on kytketty I/O-, sarja- tai Profibus-portin välityksellä. Lisäksi toimenpide ei takaa roottorin välitöntä pysähtymistä, koska pyörintänopeus laskee suhteessa järjestelmän alipaineen määrään. 188/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 189: Huolto
"Request for Return” -kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen lähettämistä. Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 189/360...
Page 190: Hävittäminen
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Lisätietoja varten viitatkaa osoitteeseen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 190/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 191: Felhasználói Kézikönyv
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános információk 193 Tárolás Előkészítés telepítésre 196 Telepítés Használat A Turbo-V 3K-G használata 203 A rendszer elindítása A rendszer leállítása Vészleállítás 206 Karbantartás Megsemmisítés 208 Az eredeti utasítás fordítása...
Page 192: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz
érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 192/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 193: Általános Információk
„Technical Information” függelékben. Ez a berendezésen látható szimbólum azt jelzi a kezelőnek, hogy a saját biztonsága érdekében és a berendezés károsodásának elkerüléséhez el kell olvassa a használati utasításokat. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 193/360...
Page 194 A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! követnek, a berendezés károsodását okozhatják. A megjegyzések fontos, a szövegből kivonatolt információkat tartalmaznak. MEGJEGYZÉS 194/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 195: Tárolás
10 hónap. Ha bármely okból kifolyólag a tárolási idő ezt meghaladja, vissza kell küldeni a FIGYELEM! szivattyút a gyárba. Valamennyi információ elérése érdekében kéretik kapcsolatba lépni, a Agilent helyi képviselőjével. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 195/360...
Page 196: Előkészítés Telepítésre
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta kezeket vákuumnak FIGYELEM! kitett komponensek kezelésére. Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. A környezetnek való szokásos kitettség nem károsíthatja a Turbo-V 3K-G. Mégis MEGJEGYZÉS ajánlatos azt zárva és tömítve tartani, amíg nem telepítik a rendszerbe. Ez megakadályozza a rendszer szennyeződését.
Page 197 CD-ROM-on tartozékok zacskó IP-54 15 tűs csatlakozó "REMOTE I/O" számára a szivattyú indításához szükséges összes vezetékkel. IP-54 9 tűs csatlakozó soros csatlakozáshoz használandó "SERIAL" csatlakozóhoz Tartóbilincs a tápkábel (szerelt) megtartásához. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 197/360...
Page 198: Telepítés
Ne távolítsa el a csavarozott kupakot a turbószivattyúnak a rendszerhez való FIGYELEM! csatlakoztatása előtt. Csak azután vegye le a csatlakozók védőburkolatát, ha a turbószivattyú már FIGYELEM! rögzítve van a rendszerhez. 198/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 199 Information”. A Turbo-V 3K-G elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „Technical Information”). A Turbo-V 3K-G bármely helyzetben lehet telepíteni. Rögzítse a Turbo-V 3K-G stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 33000 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Page 200 RÖGZÍTŐ ESZKÖZ RÖGZÍTŐ NYOMATÉK ISO 250 F M10 csavarok 30 Nm A Turbo-V 3K-G nem rögzítehető az alapjával. A rendszer csak ISO 250F VESZÉLY! karimával rögzíthető. Ezen installációs utasítások figyelmen kívül hagyása, a rotor meghibásodása VESZÉLY! esetén, a rendszerből a szivattyú leválását eredményezheti, ami dologi kárt vagy komoly személyi sérülést vagy halált okozhat.
Page 201 Felhasználói Kézikönyv Telepítés A Turbo-V 3K-G a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik az FIGYELEM! EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának megfelelő hálózathoz. A Turbo-V 3K-G-nek olyan bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket úgy kell külső áramkörökhöz csatlakoztatni, hogy elektromos részek ne legyenek hozzáférhetők.
Page 202: Használat
érdekében a szivattyúhoz közömbös gázt (Nitrogén vagy Hélium) kell áramoltatni (lásd „Technical Information” függelék). A szivattyút soha ne használjuk olyan korrodáló gáz vagy gőz jelenlétében FIGYELEM! használni, amely károsíthatja a szivattyú belsejében lévő anyagokat. 202/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 203: A Turbo-V 3K-G Használata
(ha jelen van) a rendszer B/K csatlakozóját dugja be a tápkábelt szivattyúzza le a vákuumkamrát 0.1 mbarra adjon a Turbo-V 3K-G-nek start jelet a következő módszerek valamelyikével: a mellékelt B/K csatlakozó csatlakoztatása távoli start jel adása a B/K csatlakozón keresztül (lásd „Technical Information”...
Page 204 FIGYELEM! szállítják. A vezérlőnek a szivattyúról való leválasztását csak jogosult Agilent vákuumtechnológiai személyzet végezheti. Amikor legelőször futtatja a Turbo-V 3K-G, a vezérlő egység automatikusan MEGJEGYZÉS elindítja a rendszert egy különleges eljárással, amely védi a csapágyakat az esetleges sérülésektől (SOFT START). A rendszer lépésről lépésre, fokozatosan indul teljes sebességig 10 perctől 1 órán belülig.
Page 205 Felhasználói Kézikönyv Használat Ábra 3 A rendszer el van látve egy zölt állapotled jellel. A Turbo-V 3K-G-n elhelyezett zöld LED a villogásának gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit. nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog;  lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer emelkedőben, ...
Page 206: A Rendszer Leállítása
(lásd „Technical Information” függelék „RS 232/485 kommunikáció leírása”). Vészleállítás A Turbo-V 3K-G vészhelyzetben való azonnali leállításához le kell kapcsolni a tápfeszültséget. Mindig figyelni kell arra, hogy ez a művelet, azonfelül, hogy teljesen kikapcsolja a szivattyú táplálását, kikapcsolja a controller minden egyéb funkcióját is, mint például a Purge és az Ellenőrzött Vent vezérlést és azt a képességet, hogy...
Page 207: Karbantartás
Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A Turbo-V 3K-G nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő elektromos szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Page 208: Megsemmisítés
és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Részletes információk végett forduljon az alábbi címhez: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 208/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 209: Podrecznik Instrukcji
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne informacje 211 Magazynowanie 213 Przygotowanie do instalacji 214 Instalacja Użytkowanie Użytkowanie Turbo-V 3K-G 221 Jak uruchomić system 221 Jak zatrzymać Turbo-V 3K-G 224 Zatrzymanie Alarmowe 224...
Page 210: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych
ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 210/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 211: Ogólne Informacje
System Turbo-V 3K-G jest zintegrowanym systeme składającym się z pompy turbomolekularnej dla zastosowań wysokich i ultra wysokich próżni jak i przez odpowiedni system sterowania tzw. kontroler. System jest w stanie pompować...
Page 212 Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury. Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu. PRZYPIS 212/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 213: Magazynowanie
Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy UWAGA! odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 213/360...
Page 214: Przygotowanie Do Instalacji
UWAGA! części przeznaczonych do próżni. Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. Turbo-V 3K-G nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na działanie PRZYPIS atmosfery. Zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała dobrze zamknięta. Jest to w celu zabezpieczenia przed zanieczyszczeniem systemu.
Page 215 15 drogowy “REMOTE I/O” IP-54 z zintegrowanymi połączeniami potrzebnymi do uruchomienia pompy konektor 9-drogowy “SERIAL” IP-54 do zastosowania dla połączenia szeregowego wspornik do podtrzymania kabla zasilania (zamontowany). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 215/360...
Page 216: Instalacja
Kabel musi mieć przekrój co najmniej 0,75 mm (AWG18). Nie zdejmować zamocowanej śrubami pokrywy przed podłączeniem turbopompy UWAGA! do systemu. Zdjąć obudowę konektorów tylko wtedy, gdy turbopompa została przymocowana UWAGA! do systemu. 216/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 217 W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information”. Turbo-V 3K-G musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w “Technical Information”). Turbo-V 3K-G może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji . Zamocować Turbo-V 3K-G w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na...
Page 218 MOMENT DOKRĘCENIA ISO 250 F Śruba mocująca z gwintem M10 30 Nm Turbo-V 3K-G nie może być zamocowany poprzez własną podstawę. System ZAGROZENIE! może być zamocowany tylko poprzez własny kołnierz ISO 250F. Nieprzestrzeganie podanych instrukcji dotyczących instalacji, w przypadku ZAGROZENIE! wystąpienia usterki wirnika, może spowodować...
Page 219 żadna część znajdująca się pod napięciem nie mogła być dostępna. Należy upewnić się że izolacja podłączonego urządzenia do Turbo-V 3K-G, posiada odpowiednie odizolowanie nawet w stanie pojedynczej usterki zgodnie z wymaganiami normy EN 61010-1. Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z „Technical Information”.
Page 220: Użytkowanie
érdekében a szivattyúhoz közömbös gázt (Nitrogén vagy Hélium) kell áramoltatni (lásd „Technical Information” függelék). 220/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 221: Użytkowanie Turbo-V 3K-G
Aby uruchomić system należy wykonać następujące czynności: zdjąć (jeśli jest obecny) konektor I/O podłączyć zasilanie sieci doprowadzić ciśnienie wewnątrz komory próżniowej na wartość 0,1 mbar dostraczyć do Turbo-V 3K-G sygnał STARTU w jeden z następujących sposobów: Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 221/360...
Page 222 Odseparowanie kontrolera od korpusu pompy może być tylko wykonane przez personel upoważniony przez firmę Agilent Vacuum Technologies. Kiedy uruchamia się Turbo-V 3K-G po raz pierwszy, kontroler automatycznie PRZYPIS uruchamia system ze specjalną procedurą która chroni łożyska przed możliwym ich uszkodzeniem (SOFT START).
Page 223 Postać 3 System jest wyposażony w zieloną diodę LED pilotowaną przez sygnał stanu. Zielona dioda led znajdująca się na panelu przednim Turbo-V 3K-G wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan operacyjny systemu: zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie normalnych ...
Page 224: Jak Zatrzymać Turbo-V 3K-G
I/Os, linii szeregowej lub Profibus. Ponadto ta operacja nie może zagwarantować natychmiastowego zatrzymania wirnika, którego prędkość będzie się zmniejszała w zależności od stopnia próżni w układzie. 224/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 225: Konserwacja
–kopia- karty musi być włożony do opakowania systemu przed jego wysyłką. Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi normami w meritum sprawy. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 225/360...
Page 226: Przetworstwo Odpadow
W@ięcej informacji zamieszczono: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 226/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 227: Návod K Použití
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 228 Všeobecné informace 229 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití 238 Používání zařízení Turbo-V 3K-G 239 Jak se zařízení uvádí do provozu 239 Jak se zařízení zastavuje Nouzové...
Page 228: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy
NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 228/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 229: Všeobecné Informace
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěva Turbo-V 3K-G je integrovaný systém s turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zařízení může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs.
Page 230 činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Pozor hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení mohly POZOR! poškodit zařízení. Poznámky, vyjmuté z textu obsahují velmi důležité informace. POZNÁMKA 230/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 231: Uskladnění
10 měsíců ode dne  doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 231/360...
Page 232: Příprava K Instalaci
POZOR! manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. V normálním prostředí se vývěva Turbo-V 3K-G nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému. Tím se zamezí znečištění tohoto zařízení.
Page 233 I/O" (dálkové vstupy a výstupy) s veškerým propojením nezbytným pro spuštění čerpadla 9-kolíkový konektor pro připojení ke konektoru IP-54 "SERIAL", který se použije k sériovému připojení Příchytka pro uchycení napájecího kabelu (namontována). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 233/360...
Page 234: Instalace
+ zemnicí vodič). Průřez vodičů kabelu musí být nejméně 0,75 mm (AWG18). Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte šroubovací POZOR! víko. Odejměte zakrytí konektorů až poté, co bude turbovývěva připevněná k systému. POZOR! 234/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 235 V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Vývěva Turbo-V 3K-G se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz "Technical Information"). Vývěvu Turbo-V 3K-G lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu Turbo- V 3K-G upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné...
Page 236 POČET UTAHOVACÍ MOMENT ISO 250 F šrouby M10 30 Nm Vývěvu Turbo-V 3K-G nelze připevnit pomocí její podstavy. Toto zařízení lze NEBEZPEČÍ! připevnit pouze pomocí jeho příruby ISO 250F. Nedodržení těchto pokynů pro instalaci může v případě poškození rotoru NEBEZPEČÍ! způsobit odpojení...
Page 237 žádná elektrická součást nebyla přístupná. Pro zachování ochranného krytí IP-54 použijte odpovídající dodané konektory. Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě Turbo-V 3K-G byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice EN 61010-1. Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technical Information".
Page 238: Použití
(dusík nebo helium) pro ochranu ložisek vývěvy (viz Technical Information"). Nikdy nepoužívejte vývěvu v přítomnosti korozivních plynů nebo výparů, které by POZOR! mohly poškodit materiály použité uvnitř vývěvy. 238/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 239: Používání Zařízení Turbo-V 3K-G
I/O konektor (je-li) zapojte do síťové zásuvky vyčerpejte podtlakovou komoru na 0,1 mbar jedním z následujících způsobů přiveďte do vývěvy Turbo-V 3K-G spouštěcí signál: připojte dodaný odpovídající I/O konektor přiveďte do konektoru I/O spouštěcí signál ze vzdáleného místa (viz odstavec "J1-REMOTE I/O"...
Page 240 POZOR! Odpojení regulátoru od vývěvy musí provádět jenom oprávnění pracovníci firmy Agilent Vacuum Technologies. Když spouštíte vývěvu Turbo-V 3K-G úplně poprvé, ovládací jednotka spustí toto POZNÁMKA zařízení automaticky speciálním postupem, který chrání ložiska vývěry před případným poškozením (POZVOLNÝ ROZBĚH). Zařízení se pak postupně rozbíhá...
Page 241 (interval cca 400 ms): systém se pozvolna rozbíhá  nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na blokování”; rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.  Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 241/360...
Page 242: Jak Se Zařízení Zastavuje
RS232/RS 485" v příloze "Technical Information"). Nouzové zastavení Chcete-li vývěvu Turbo-V 3K-G v nouzové situaci okamžitě zastavit, je třeba přerušit síťové napájení. Je však třeba mít na paměti, že tato operace nejen kompletně vypne napájení čerpadla, ale zruší i všechny ostatní...
Page 243: Údržba
Návod k Použití Údržba Údržba Zařízení Turbo-V 3K-G nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 244: Likvidace
Podrobnejší informace můžete získat na internetové stránce: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 244/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 245: Návod Na Obsluhu
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 247 Uchovávanie Príprava na inštaláciu 250 Inštalácia Použitie Použitie zariadenia Turbo-V 3K-G 257 Ako zariadenie spustiť 257 Ako zariadenie zastaviť 260 Núdzové zastavenie Údržba Likvidácia...
Page 246: Bezpečnostné Návod Pre Turbomolekulárne Vývevy
NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované, aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy! 246/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 247: Všeobecné Informácie
„Technical Information“. Tento symbol, ktorý je aplikovaný na prístroji, upozorňuje operátora, že si musí prečítať návod na použitie pre zaistenie svojej bezpečnosti a pre zabránenie poškodeniu prístroja. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 247/360...
Page 248 Nebezpečíe majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu. POZNÁMKA 248/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 249: Uchovávanie
Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do POZOR! závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 249/360...
Page 250: Príprava Na Inštaláciu
Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Turbo-V 3K-G je dodaný v špeciálnom ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
Page 251 "REMOTE I/O", obsahujúci všetky spojenia potrebné pre spustenie vývevy. 9 kolíkový konektor IP-54 ako protikus pre sériový konektor používaný pre sériové spojenie Úchytná svorka a pre napájací kábel (namontovaná). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 251/360...
Page 252: Inštalácia
+ zemniaci vodič). Prierez vodičov kábla musí byť najmenej 0,75 mm (AWG18). Neodstraňujte priskrutkovaný ochranný kryt skôr, než pripojíte turbovývevu k POZOR! systému. Kryty z konektorov odstráňte až po pripevnení turbovývevy k sústave. POZOR! 252/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 253 V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Zariadenie Turbo-V 3K-G sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technical Information“). Zariadenie Turbo-V 3K-G môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe. Upevnite Turbo-V 3K-G do stabilnej polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby...
Page 254 ISO 250 F skrutky M10 30 Nm NEBEZPEČÍE! Turbo-V 3K-G nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky. Systém možno upevniť len pomocou vlastnej ISO príruby 250F. NEBEZPEČÍE! Nedodržanie týchto pokynov pre inštaláciu môže v prípade poškodenia rotora spôsobiť odpojenie čerpadla od systému, s následnými škodami na majetku alebo ublížením na zdraví...
Page 255 žiadna elektrická súčasť. Pre získanie úrovne ochrany IP-54 použite dodané protikusy konektorov. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k Turbo-V 3K-G má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1. O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technical Information”.
Page 256: Použitie
(dusík a hélium) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok „Technical Information“). Nikdy nepoužívajte vývevu v pre korozívne plyne alebo výpary, ktoré by mohli POZOR! poškodiť materiály, použité vo vnútri vývevy. 256/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 257: Použitie Zariadenia Turbo-V 3K-G
Systém naštartujte sledom nasledovných krokov: odpojte (ak je pripojený) I/O konektor zasuňte napájaciu šnúru vyčerpajte vákuovú komoru na 0,1 mbar Dajte signál pre spustenie vývevy Turbo-V 3K-G jedným z nasledovných spôsobov. pripojením dodaného protikusu I/O konektora poslaním vzdialeného signálu spustenia cez I/O konektor (pozri odstavec "J1-REMOTE I/O"...
Page 258 POZOR! Odpojenie kontrolného modulu od vývevy treba zveriť autorizovaným servisným technikom firmy Agilent Vacuum Technologies. Pri prvom spustení vývevy Turbo-V 3K-G kontrolný modul automaticky naštartuje POZNÁMKA systém zvláštnym postupom, ktorý chráni ložiská systému pred poškodením (SOFT START). Systém sa dosiahne plnú rýchlosť postupne v časovom intervale od 10 minút do jednej hodiny.
Page 259 Návod na Obsluhu Použitie Postava 3 Systém je vybavený zelenou stavovou LED-diódou. Zelená LED dióda LD1 na základnom čelnom paneli Turbo-V 3K-G base ukazuje frekvenciou blikania spôsob činnosti systému: žiadne blikanie: výveva normálne rotuje;  pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom z ...
Page 260: Ako Zariadenie Zastaviť
(pozri odstavec "Popis komunikácie cez RS232/RS 485" dodatku k "Technical Information"). Núdzové zastavenie Ak chcete zariadenie Turbo-V 3K-G okamžite vypnúť v stave núdze, musíte vytiahnuť kábel napájania zo zásuvky zdroja napájania. Je však potrebné mať na pamäti, že táto operácia, okrom toho, že úplne vypne napájanie vyradeného čerpadla i všetky ostatné...
Page 261: Údržba
Kópiu dotazníka vložte do balíka so systémom a odošlite spolu s ním. Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so špecifickými predpismi danej krajiny. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 261/360...
Page 262: Likvidácia
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Podrobnejšie informácie môžete získať na internetovej stránke: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 262/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 263: Priročnik Za Navodila
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 264 Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Uporaba Turbo-V 3K-G 274 Zagon sistema 274 Zaustavljanje sistema 277 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku...
Page 264: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 264/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 265: Splošne Informacije
Turbo-V 3K-G je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev.
Page 266 če se jih ne drži. Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme. POZOR! Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila. OPOMBA 266/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 267: Shranjevanje
 datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti POZOR! v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 267/360...
Page 268: Priprava Za Montažo
Priročnik za Navodila Priprava za montažo Naprava Turbo-V 3K-G je dobavljena v posebni zaščitni embalaži. Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte. Odstranite zaščito spajal samo potem, ko je turbočrpalka že priključena na sistem.
Page 269 15 pinski priključek IP-54 za »REMOTE I/O« priključek z vsemi medpovezavami, potrebnimi za zagon črpalke. 9 pinski priključek IP-54 za »SERIAL« priključek, ki se uporablja za serijsko povezavo Nosilec za napetostni kabel (vgrajen). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 269/360...
Page 270: Montaža
Presek kabla mora biti najmanj 0,75 mm (AWG18). Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Odstranite zaščito spajal samo potem, ko je turbočrpalka že priključena na POZOR! sistem. 270/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 271 V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information". Turbo-V 3K-G morate priključiti na primarno črpalko (glej "Technical Information"). Turbo-V 3K-G lahko namestite v poljuben položaj. Turbo-V 3K-G namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko prenese navor...
Page 272 Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 3K-G v skupino za drugo nameščanje (ali POZOR! prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.
Page 273: Uporaba
(Dušik ali Helij) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Technical Information”). Črpalke nikoli ne uporabljajte v prisotnosti razjednih plinov ali hlapov, ki bi lahko POZOR! poškodovali inertne materiale črpalke. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 273/360...
Page 274: Uporaba Turbo-V 3K-G
Oddajte oddaljeni signal za zagon preko I/O priključka (glej odstavek "J1-REMOTE I/O" v prilogi "Technical Information"). Oddajte oddaljeni signal za zagon preko RS 232/485 serijskega vmesnika (glej odstavek "RS232/RS 485 Opis komunikacij" v prilogi "Technical Information"). 274/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 275 POZOR! upravljalca iz črpalke mora izvesti samo pooblaščeno osebje Agilent Vacuum Technologies. Ko prvič zaženete Turbo-V 3K-G, kontrolna enota samodejno zažene sistem s OPOMBA posedbno proceduro, ki zavaruje tečaje proti poškodbam (SOFT START) Sistem se po korakih zažene do polne hitrosti v času od 10 minut do 1 ure. Ko sistem doseže polno hitrost se mehki zagon onemogoči in naslednji zagoni so normalni.
Page 276 Priročnik za Navodila Slika 3 Sistem ima zeleni statusni signal Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči Turbo-V 3K-G, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;  Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju ...
Page 277: Zaustavljanje Sistema
(glej odstavek "RS232/RS 485 Opis komunikacij" v prilogi "Technical Information"). Zaustavitev v sili Za zaustavitev naprave Turbo-V 3K-G v sili morate odstraniti napetost. Treba je vsekakor upoštevati dejstvo, da ta operacija ne le popolnoma onemogoči napajanje črpalke, temveč onemogoči tudi vse druge funkcije krmilnika, kot so na primer upravljanje nadzorovanega Čiščenja in Izpusta in sposobnost sporočanja s...
Page 278: Vzdrževanje
Priročnik za Navodila Vzdrževanje Turbo-V 3K-G ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 279: Odlaganje Opadkov
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Za podrobnejše informacije si oglejte spletno stran: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 279/360...
Page 280 Priročnik za Navodila 280/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 281: Instructions For Use
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 282 General Information Storage Preparation for Installation 286 Installation Use of Turbo-V 3K-G How to Start the System up 293 How to Stop the System Emergency Stop...
Page 282: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel WARNING! the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 282/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 283: General Information
The Turbo-V 3K-G is an integrated system with a turbomolecular pump for high and ultra-high vacuum applications with its relevant controller. The system can pump many types of gases or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid particles.
Page 284 The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment. The notes contain important information taken from the text. NOTE 284/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 285: Storage
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 285/360...
Page 286: Preparation For Installation
Instructions for Use Preparation for Installation The Turbo-V 3K-G is supplied in a special protective pack-ing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Page 287 9 pin mating connector IP-54 for "SERIAL" connector to be used for serial connection Retaining bracket to retain the power cable (mounted). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 287/360...
Page 288: Installation
0.75 mm (AWG18). Do not remove the bolted cap before connecting the turbopump to the system. CAUTION! Remove connector protections only after fixing the turbopump to the system. CAUTION! 288/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 289 The Turbo-V 3K-G must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). The Turbo-V 3K-G can be installed in any position. Fix the Turbo-V 3K-G in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 33000 Nm around its axis.
Page 290 M10 bolts 30 Nm WARNING! The Turbo-V 3K-G cannot be fixed by means of its base. The system can only be fixed through its ISO 250F flange. WARNING! Failure to comply with these installation instructions could result in the pump detaching from the system in the event of a rotor failure, which could cause property damage or serious injury or death.
Page 291 Use the provided mating connectors in order to maintain the IP-54 protection level. Be sure that the insulation of the device connected to the Turbo-V 3K-G is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1.
Page 292: Use
, He) for pump bearing protection (see the appendix "Technical Information"). Never use the pump with corrosive gases or vapor to avoid damage to the internal CAUTION! materials of the pump. 292/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 293: Use Of Turbo-V 3K-G
(if present) the system mating I/O connector plug on the mains pump the vacuum chamber down to 0.1 mbar give the Turbo-V 3K-G a start signal by one of the following methods: connecting the provided mating I/O connector giving a remote start signal through the I/O connector (see para.
Page 294 Detaching of the controller from the pump must be carried out by authorized Agilent Vacuum Technologies personnel only. When you run the Turbo-V 3K-G for the very first time, the control unit NOTE automatically starts the system with a special procedure which protects the bearings from possible damages (SOFT START).
Page 295 Figure 3 The system is provided with a green status led signal. The green LED located on the Turbo-V 3K-G base front panel indicates with its flashing frequency the system operating conditions: with no flashing: the pump is normally rotating;...
Page 296: How To Stop The System
"Technical Information"). Emergency Stop To immediately stop the Turbo-V 3K-G in an emergency condition it is necessary to remove the mains. It must be however noted that this operation, in addition to cutting off the pump power, also cuts off all...
Page 297: Maintenance
Instructions for Use Maintenance Maintenance The Turbo-V 3K-G does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...
Page 298: Disposal
Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 298/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 299: Technical Information
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual Technical Information Description of the Turbo-V 3K-G Pump Description Controller Description Technical Specification Turbo-V 3K-G Outline Interconnections J1 – Remote I/O Signal description Controlled Vent Procedure Stop Speed Reading 317 Active Stop Electrical Connections Examples: 318 J2 –...
Page 300 Vent Valve Installation Pump Purging and Venting Purge and Vent Installation Reason to Purge the Turbo-V 3K-G Pump during Operation 349 How to Purge the Turbo-V 3K-G Pump 350 How to Vent the Turbo-V 3K-G Pump 350 High Vacuum Flange Connection...
Page 301: Description Of The Turbo-V 3K-G
9698888 with ISO 250 F flange, controller with integrated purge/vent valves  9698889 with ISO 250 F flange, controller with ProfiBus options and with integrated purge/vent valves The following figures shows the Turbo-V 3K-G with ISO 250 F with and without Profibus option. 301/360...
Page 302: Pump Description
A first thermistor sensor is mounted near the upper bearing in order to read the bearing tempera-ture and to prevent the pump from overheating. A second thermistor sensor is mounted near the water-cooling channel in order to evaluate the cooling efficiency. 302/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 303 WARNING! The user must set the gas load (win.157) before starting the pump. For details see the following figure. The applied power limit is readable by serial line (window 155). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 303/360...
Page 304 The pump can operate in any position and must be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 40 NW flange. 304/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 305: Controller Description
At every power-up the controller is in “Remote Mode” of operation and accepts only commands from J1 remote I/O connector. To put it in “Serial Mode” of operation please refer to the serial com-mand table. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 305/360...
Page 306: Technical Specification
Cooling requirements Water Coolant water Recommended flow: 200 l/h Temperature: +15 °C to +30 °C Pressure: 3 to 5 bar (45 to 75 psi) Noise level <60 dB(A) at 1 meter 306/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 307 Environment protection IP54 Weight (ISO 250) kg (lbs) 52 (114.4) When the Turbo-V 3K-G has been stored at a temperature less than 5 °C, wait NOTE until the system has reached the above mentioned temperature before starting the pump. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 308 Inlet Pressure [mbar] TV3K-G: Compression ratio vs Foreline Pressure 1,E+09 1,E+08 1,E+07 1,E+06 1,E+05 1,E+04 1,E+03 1,E+02 1,E+01 1,E+00 1,00E-03 1,00E-02 1,00E-01 1,00E+00 1,00E+01 Foreline Pressure [mbar] Nitrogen Helium Argon 308/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 309: Turbo-V 3K-G Outline
Technical Information Turbo-V 3K-G Outline Turbo-V 3K-G Outline The following figure shows the Turbo-V 3K-G outlines (dimensions are in mm [inches]). BOTTOM VIEW FORELINE KF 40 PURGE/VENT VALVES PORT WATER COOLING FOR RUBBER VENT HOLE ON TUBE Ø 9.0 ENVELOPE...
Page 310: Interconnections
SIGNAL NAME INPUT/OUTPUT ISOLATION START/STOP (+) Optocoupled START/STOP (-) Optocoupled INTERLOCK (+) Optocoupled INTERLOCK (-) Optocoupled SPEED SETTING (+) Optocoupled FAULT COMMOMN Relay SOFT START (+) Optocoupled SET POINT Relay 310/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 311: Signal Description
12 to 24 V  duty cycle range: from 25 % to 75 % corresponding to a pump  speed from 500 Hz to 530 Hz linearly (see the following diagram). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 311/360...
Page 312 Both low speed value (win.117) and high-speed value (win.120) are limited between 500 Hz (can’t be set by the user) and “Maximum excitation frequency” (win.121, 530 Hz default). 312/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 313 (see the following example diagram). The voltage is provided between pins 14 and 15. An high impedance input should be connected to this output (> 100 kΩ). Figure 14 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 313/360...
Page 314 (in % of the threshold value) to avoid bouncing. For example: reference quantity: frequency (window 101=0)  threshold: 500 Hz (window 102=500)  hysteresis: 1% (window 103=1)  activation type: "active close" (window 104=1)  314/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 315 (start/stop, soft start…) and drive the valves by remote I/O connector, or vice versa. The valve operating mode can be set by serial line with win.125 and 146, see following diagram for details. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 315/360...
Page 316 Speed 100 Hz Open Purge Close Open Vent Controlled Fail -> Vent and Purge = Win 126 Win 147 Venting Close Closet Power Fail -> Purge and Vent = Closed 316/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 317: Controlled Vent Procedure
This function allows the user to brake the pump without venting. This function must be used carefully and with the help of Agilent personnel. The function can be activated by serial line (window 107). Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 317/360...
Page 318: Electrical Connections Examples
Technical Information Active Stop Electrical Connections Examples: Start-Stop or Interlock  Instead of switch is possible to use transistor. Soft Start, Speed Setting, Purge, Vent  318/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 319 Technical Information Active Stop Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 319/360...
Page 320: J2 - Serial
Technical Information Active Stop J2 – Serial This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the Turbo-V 3K-G. PIN N. SIGNAL NAME RESERVED TX (RS232) RX (RS232) SPARE A + (RS485) SPARE B –...
Page 321: Serial Cable Installation
(MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller (SLAVE); the controller answer with an ANSWER + CRC to the host. The MESSAGE is a string with the following format: <STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC> where: Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 321/360...
Page 322 <ETX> (End of transmission) = 0x03  <CRC> = XOR of all characters subsequent to <STX> and  including the <ETX> terminator. The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character. 322/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 323 The command execution has been successfully completed NACK 1 byte (0x15) The command execution has been failed Unknown 1 byte (0x32) The specified window in the command is not Window a valid window Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 323/360...
Page 324: Examples
The RS-485 is a 2-wire (gnd optional) half-duplex communication link. NOTE Examples Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW 324/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 325 Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 325/360...
Page 326 Destination: PC ADDR WINDOW DATA (STATUS) Command: READ SERIAL CONFIGURATION Source: PC Destination: Controller (with address = 3 in 485 mode) ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR WINDOW DATA 326/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 327: Window Meanings
1 = active open (N.C.) (default = 0) Set point hysteresis 0 to 100 (in % of threshold) (default = 2) Active stop 0 = NO 1 = YES (default = 0) Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 327/360...
Page 328 1 = on command (see win.146) Vent valve opening delay 0 to 65535 (expressed in 0.2 sec) (corresponding to 0 to 13107 sec) (default = 1) Reserved to Agilent service 328/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 329 Driving frequency in Hz Pump temperature °C Pump status Stop = 0 Waiting intlk = 1 Starting = 2 Auto-tuning = 3 Braking = 4 Normal = 5 Fail = 6 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 329/360...
Page 330 1 = RS 485 (default = 0) TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Figure 23 Window N. 206 Bit Description 330/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 331: Profibus Option
(measures) and output data (commands) to the controller, and in addiction provides standard and user related diagnostics, in order to allow the user to manage the exceptions. Mechanical This option is mounted in the “Option-1” space Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 331/360...
Page 332: Installation
00 to 7D are permitted; this setting is read by the interface during the power-on phase, so any change of the switch position after the power-on is ignored. 332/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 333: Indicators
Regular data exchange). This failure has priority (in the indication) over the previous. Blink fast Gateway fail (internal check) or wrong address set (address > 0x7D or address not stable during power-on). Blink slow Gateway operating properly. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 333/360...
Page 334: Software Operation And State Machine
Each device has its own state machine to manage the device operation. Status Meaning POWER_ON Interface set-up WAIT_PRM Wait for parameterisation from the master WAIT_CFG Wait for configuration from the master DATA_EX Regular data exchange 334/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 335 ProfiBus State machine is not in Data Exchange mode As a general rule, unrecoverable communication errors make each machine to jump to the state immediately following the power-on state (WAIT_PRM or SRC_ADDR) Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 335/360...
Page 336: Message Mapping
As a consequence of this, the scale and the meaning of some parameters depends directly to the specific model of Turbo Pump controller connected to the interface. 336/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 337: Profibus Message Mapping
Set how long the vent will remain open, then both purge and vent will be closed. Valid only in “purge/vent auto mode” (Parameter Buffer byte-15 B1=0); 0 = infinite (the valve remain open till a start command) Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 337/360...
Page 338 2 = time 3 = status (normal operation) B6. B7 - Analog Output Type Set the analog output on remote I/O connector proportional to: 0 = frequency 1 = power 338/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 339 0 = no (after a stop command the user can't know the real pump speed) 1 = yes (after a stop command the user can know the real rotor speed; see in Buff Byte Offset 6) Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 339/360...
Page 340 If > 60 °C the controller goes in fail and the pump is stopped °C 0-45 Pump Body Temperature Read the pump body temperature close to the water circuit. If > 42 °C the controller goes in fail and the pump is stopped 340/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 341 “Pump Body Temperature” are over the limit) B0 – Check Connection To Pump (the connection between controller and pump missing) Sccm Flow Meter Reading (Specific option, not available on standard models) Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 341/360...
Page 342 The parameters are never read back from the controller to the interface. The controller’s response at the write command (ACK, NACK, etc) is used to establish if the writing succeed or not. 342/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 343: Diagnostic Management
Controller response was “Unknown window” Controller response was “Bad Data Type” Controller response was “Over range” Controller response was “Bad operation” Controller response was an unknown response Parameter not supported by the controller Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 343/360...
Page 344: Diagnostic Buffer
(slave is parameterised by another master) Reserved Master Add (master address after parameterisation. FF= without parameter) Ident number high Ident number low External diagnosis “Header” length indication including header 344/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 345 7 - 4 Start/Stop/Interlock Mode diag status 3 - 0 Set Point Type diag status 7 - 4 Analog Out Type 3 - 0 Reserved 7 - 4 Reserved 3 - 0 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 345/360...
Page 346: Inlet Screen Installation
The following figure shows the ISO 250 F pump flange section with the protection screen fitted on it. As you can see, the overall dimensions do not change as the inlet screen remains inside the pump profile. 346/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 347 If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should CAUTION! be installed to prevent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump. The maximum temperature allowed for the inlet flange is 80 °C. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 347/360...
Page 348: Water Cooling Connection
The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is suggested. 348/360 Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D)
Page 349: Vent Valve Installation
Disrespect of these simple, basic rules may cause seriously damage the pump CAUTION! bearings and void pump warranty. Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01 (D) 349/360...
Page 350: How To Purge The Turbo-V 3K-G Pump
Close the process gases flowing into the system before sending the STOP signal to the Turbo-V 3K-G pump. Leaving the Turbo-V 3K-G pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the process gases from the system (e.g.
Page 351 Technical Information Pump Purging and Venting When the Turbo-V 3K-G pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures.
Page 352: High Vacuum Flange Connection
High Vacuum Flange Connection High Vacuum Flange Connection To connect the Turbo-V 3K-G pump to the ISO F inlet flange position the integrated inlet screen - centering ring as shown in the figure. Then fix the two flanges with the bolts as shown in the following figures (12 x M10 steel bolts for ISO F flange).
Page 353: Fore-Vacuum Pump Connection
Fore-Vacuum Pump Connection Fore-Vacuum Pump Connection A flange KF 40 NW is available to connect the Turbo-V 3K-G pump to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Page 354: Accessories And Spare Parts
Accessories and Spare Parts Description Part number Turbo-V 3K-G ISO 250 F system with integrated purge/vent valves 9698888 Turbo-V 3K-G T ISO 250 F with ProfiBus and integrated purge/vent 9698889 valves Mains cable NEMA Plug, 3m long 9699958 Mains cable European Plug, 3m long...
Page 360 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India (Sales) India (Service) Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies India Pvt. Ltd. 121 Hartwell Avenue Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C,...

Ce manuel est également adapté pour:

9698888 9698889

Agilent Technologies Turbo-V 3K-G Notice De Mode D'emploi

Liens rapides

Chapitres

Manuels Connexes pour Agilent Technologies Turbo-V 3K-G

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies Turbo-V 3K-G