Használat - Agilent Technologies TV 1001 SEM Notice De Mode D'emploi

11 Felhasználói Kézikönyv
Használat
Használat
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. Végezze
el az összes elektromos és pneumatikus csatlakoztatást a rendszer
használata előtt. A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti
szelep hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot.
VESZÉLY! Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne
érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat
közben! A magas hőmérséklet égési sérüléseket okozhat!
Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A
FIGYELEM!
csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt
vagy közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő
nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). Agresszív
gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy különleges
porttal, hogy lehetővé tegyék közömbös gáz (pl. N
viselő szivattyú számára (lásd "Technical Information" függelék).
A szivattyút soha ne használjuk olyan korrodáló gáz vagy gőz jelenlétében
FIGYELEM!
használni, amely károsíthatja a szivattyú belsejében lévő anyagokat.
VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, tűzveszélyes vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó
eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében!
164/296
, Ar) stabil áramlását védelmet
2
TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)