Table des Matières
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Inhalt
1
1.1
1.2
1.2.1
1.3
2
2.1
2.2
2.3
3
4
4.1
4.2
4.2.1
4.3
4.4
4.4.1
4.4.2
4.5
Flutanschluß
4.6
5
5.1
5.1.1
5.2
5.3
5.4
6
6.1
6.2
6.2.1
6.3
6.3.1
TCP121/380
6.3.2
Prüfen des Motors TPH/U 062
6.3.3
6.4
Lagerwechsel
7
Service
8
Ersatzteile
8.1
Ersatzteile Pumpe
8.2
Ersatzteile Luftkühlung
8.3
Ersatzteile Wasserkühlung
9
Zubehör
2
Contents
Abbreviated Instructions
(detachable)
1
General
1.1
Important Information
1.2
Safety Instructions
1.2.1
Working with the Turbomole-
cular Pump; Safety Information
1.3
Other Information
2
Technical Data
2.1
Final Pressure
2.2
Volume Flow Rate
2.3
Dimensions
3
Backing Pumps
4
Installation
4.1
Notes on Installation
4.2
High Vacuum Connection
4.2.1
Splinter Shield
4.3
Fore-Vacuum Connection
4.4
Cooling
4.4.1
Water Cooling
4.4.2
Air Cooling
4.4.2.1 Fitting the Air-Cooling Fan
4.5
Venting Connection
4.6
Electrical Connection
5
Operation
5.1
Switching on Procedure
5.1.1
Resetting
5.2
Heating the Turbo Pump
5.3
Switching off Procedure
5.4
Shutting down the Turbo Pump
6
Maintenance
6.1
Changing the Operating Fluid
Reservoir
6.2
Cleaning the Turbo Pump
6.2.1
Cleaning the Pump in fully
assembled Condition
6.3
Testing the Drive Motor
6.3.1
Testing the Motor TPH/U 062
with TCP 121/380 Electronic
Drive Unit
6.3.2
Testing the Motor TPH/U 062
without TCP Electronic Drive
Unit
6.3.3
TPH 055 with TCP 015 Electronic
6.4
Bearing Replacement
7
Service
8
Spare Parts
8.1
Spare Parts for the Pump
8.2
Spare Parts for Air Cooling
8.3
Spare Parts for Water Cooling
9
Accessories
Table des matières
Instructions abrégées (détachable)
1
Généralités
1.1
Indications importantes
1.2
Instructions relatives à la
sécurité
1.2.1
Instructions de sécurité pour le
travail avec la pompe turbo-
moléculaire
1.3
Indications diverses
2
Fiche techniques
2.1
Pression finale
2.2
Capacité d'aspiration
2.3
Encomprements
3
Pompes à vide primaire
4
Installation
4.1
Indications relatives à
l'installation
4.2
Raccord de vide élevé
4.2.1
Pare-éclats
4.3
Raccord de vide primaire
4.4
Refroidissement
4.4.1
Refroidissement à l'eau
4.4.2
Refroidissement à l'air
4.4.2.1 Montage du dispositif de
refroidissement à l'air
4.5
Raccord de remise à l'air
4.6
Branchement électrique
5
Fonctionnement
5.1
Mise en marche
5.1.1
Reset
5.2
Chauffage de la pompe turbo
5.3
Déconnexion
5.4
Mise à l'arrêt
6
Entretien
6.1
Changement du réservoir de
fluide moteur
6.2
Nettoyage de la pompe turbo
6.2.1
Nettoyage sans démonter la
pompe
6.3
Contrôle du moteur
d'entraînement
6.3.1
d'entraînement TCP 121/380
6.3.2
Contrôle du moteur TPH/U 062
ment TCP
6.3.3
6.4
Remplacement du palier
7
8
8.1
8.2
8.3
9
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